JP5411206B2 - データ記憶のための機器 - Google Patents
データ記憶のための機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5411206B2 JP5411206B2 JP2011123685A JP2011123685A JP5411206B2 JP 5411206 B2 JP5411206 B2 JP 5411206B2 JP 2011123685 A JP2011123685 A JP 2011123685A JP 2011123685 A JP2011123685 A JP 2011123685A JP 5411206 B2 JP5411206 B2 JP 5411206B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- phase change
- storage medium
- waveguide
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000013500 data storage Methods 0.000 title description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 54
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 50
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims description 19
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 28
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 28
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 24
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 21
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 description 14
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 12
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 10
- 239000012792 core layer Substances 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 7
- 239000012782 phase change material Substances 0.000 description 6
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 4
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018321 SbTe Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001215 Te alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- QQHSIRTYSFLSRM-UHFFFAOYSA-N alumanylidynechromium Chemical compound [Al].[Cr] QQHSIRTYSFLSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000023077 detection of light stimulus Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000006023 eutectic alloy Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1353—Diffractive elements, e.g. holograms or gratings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/455—Arrangements for functional testing of heads; Measuring arrangements for heads
- G11B5/4555—Arrangements for functional testing of heads; Measuring arrangements for heads by using a spin-stand, i.e. a spinning disc or simulator
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/122—Flying-type heads, e.g. analogous to Winchester type in magnetic recording
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/123—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate
- G11B7/124—Integrated head arrangements, e.g. with source and detectors mounted on the same substrate the integrated head arrangements including waveguides
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1362—Mirrors
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1384—Fibre optics
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
- G11B7/1387—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector using the near-field effect
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B9/00—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor
- G11B9/04—Recording or reproducing using a method not covered by one of the main groups G11B3/00 - G11B7/00; Record carriers therefor using record carriers having variable electric resistance; Record carriers therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optical Head (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
本発明は、国立標準技術研究所（ＮＩＳＴ）と締結した契約第７０ＮＡＮＢ１Ｈ３０５６号を受け、米国政府の援助で行われた。米国政府は、本発明の一定の権利を有する。
本発明は、データ記憶のための機器に関し、より詳細には、相変化記憶媒体を使用する光記憶装置に係るものである。
光データ・システムにおいて、記憶媒体への情報の読み書きは光ビームに依存する。光ビームをどのくらい小さく集束できるかに関しては、回折限界という基本的な制約がある。この制限は、光の波長に直接関係する。波長が短いほど、光のスポットを小さくすることができ、したがって、所与の面積に、より多くのビットを記憶できる。解像限界は、アッベ（Ａｂｂｅ）の式によって以下のように与えられる。
解像力＝（波長×０．６１）／（開口数）
レーザ・スポットのサイズを小さくするには、より短い波長のレーザ及び／又はより大きい開口数のレンズを使用する必要がある。ＣＤからＤＶＤ、ＤＶＤからＤＶＤ−ブルーレイ（Ｂｌｕ−Ｒａｙ）への移行に際して、７８０ｎｍでの０．５５から、６３５ｎｍでは０．６よりも大きくし、最終的には、４０５ｎｍで０．８５に開口数を大きくし、レーザの波長を短くした。より短い波長の光及びより大きい開口数（ＮＡ）のレンズでは、より長い波長及びより小さいＮＡの光学系を使用するシステムに比べて、集束スポットの焦点深度（ＤＯＦ）がより浅くなる。ＤＯＦは、以下のように表現することができる。
レーザ・スポットのサイズを小さくするには、より短い波長のレーザ及び／又はより大きい開口数のレンズを使用する必要がある。ＣＤからＤＶＤ、ＤＶＤからＤＶＤ−ブルーレイ（Ｂｌｕ−Ｒａｙ）への移行に際して、７８０ｎｍでの０．５５から、６３５ｎｍでは０．６よりも大きくし、最終的には、４０５ｎｍで０．８５に開口数を大きくし、レーザの波長を短くした。より短い波長の光及びより大きい開口数（ＮＡ）のレンズでは、より長い波長及びより小さいＮＡの光学系を使用するシステムに比べて、集束スポットの焦点深度（ＤＯＦ）がより浅くなる。ＤＯＦは、以下のように表現することができる。
ＤＯＦ＝２×波長×（屈折率）／（開口数）２
遠視野光技術を使用して、記憶媒体上で回折限界未満のマークを検出することはできない。開口数０．８５及び波長４０５ｎｍを用いる最新のＤＶＤ−Ｂｌｕ−Ｒａｙ技術では、最小マーク・サイズは１４０ｎｍである。さらに、マークを読書きする媒体に関して焦点を正しい位置に保つには、サーボ・システムがかなりの作業を行うことを必要とする。なぜなら、動作中のディスクのぐらつきその他の不完全性により、焦点位置が変動するからである。
光記録システムにおけるデータ容量は、ＤＶＤ−Ｂｌｕ−Ｒａｙのものよりも大きくすることが求められている。
本発明は、第１表面を有する構成部品と、この第１表面に隣接する焦点に電磁放射を方向づける第１導波路と、この第１表面に隣接して位置決めされた記憶媒体と、この記憶媒体から反射された電磁放射を検出する検出器と、反射された電磁放射を収集し、この反射された電磁放射を検出器に向かって送るために、焦点に隣接して位置決めされた構造体とを備える機器を提供する。
別の観点では、本発明は、試料を検査する機器を提供する。この機器は、試料に隣接して位置決めされるように構成された第１表面を有する構成部品と、この第１表面に隣接する焦点に電磁放射を方向づける第１導波路と、試料又は試料上の汚染物質により反射された電磁放射を検出する検出器と、反射された電磁放射を収集し、この反射された電磁放射を検出器に向かって送るために、焦点に隣接して位置決めされた構造体とを備える。
本発明は、第１表面を有する構成部品と、この第１表面に隣接して位置決めされた相変化記憶媒体と、この第１表面に隣接する焦点に電磁放射を方向づけて、近接場放射を利用して相変化記憶媒体の一部の相を変化させる第１導波路と、この相変化記憶媒体に隣接して第１端部が位置決めされた第１電極と、記憶媒体の導電率の変化に応じて変化する第１電極内の電流を検出する検出器とを備える機器も含む。
本発明はさらに、相変化記憶媒体と、この相変化記憶媒体に隣接して第１端部が位置決めされた第１電極と、記憶媒体の導電率の変化に応じて変化する第１電極内の電流を検出する検出器とを備える機器を含む。
図面を参照すると、図１は、本発明に従って構築できる記録ヘッドを含むディスク・ドライブ１０のヘッド・ディスク組立体部分を絵画的に表現したものである。このディスク・ドライブは、ディスク・ドライブの様々な構成部品を収容するように寸法設定され構成されたハウジング１２を含む（この図では、上側部分が取り除かれ、下側部分が見えている）。このハウジング内で少なくとも１つのデータ記憶媒体１６を回転させるスピンドル・モータ１４が設けられる。ハウジング１２は、少なくとも１本のアーム１８を収容し、各アーム１８は、記録及び／又は読取り用のヘッド又は摺動体（スライダ）２２を伴う第１端部２０と、軸受け２６によってシャフトに旋回可能に装着された第２端部２４とを有する。アクチュエータ・モータ２８は、アーム１８を旋回点の周りで旋回させて、ディスク１６の所望の領域上でヘッド２２を位置決めするために、アームの第２端部２４に配置される。アクチュエータ・モータ２８は、この図には示さない当技術分野で周知の制御装置によって制御される。この記憶媒体は、矢印３０で示す方向に回転する。ディスクが回転すると、スライダは、空気軸受けに支えられてディスク表面の上を飛行する。
図２は、サスペンション・アーム３２及び構成部品又はスライダ３４の一部を、記録ディスク３６と組み合わせて概略的に表現したものである。データの書込み及び／又は読取りの間、このディスクは、スライダに対して相対的に、矢印３８で示す方向に移動する。このスライダは、ジンバル組立体４０によってサスペンション・アームに結合され、ディスクの表面４２に隣接して位置決めされ、空気軸受け４４によってディスク表面から離されている。このジンバル組立体は、サスペンション・アーム３２に連結された第１部分４１と、スライダ３４に連結された第２部分４２とを含む。この第２部分は、第１部分に対して片持ちになっている。このスライダは、前端部すなわち前方の端部４６及び後端部すなわち後方の端部４８を有する。この実施例では、前端部は、サスペンション・アームの旋回点に向き合い、後端部は、サスペンション・アームの旋回点の反対側を向く。このスライダは、後端部に隣接して装着された固体浸漬ミラー５０の形態の光学構造体を含む。矢印５２で示す光ビームがレーザによって生成され、光ファイバ５４によってスライダに向かって伝達される。ミラー５６が、光変換器に向かって光が反射されるようにサスペンション・アームの端部に装着される。格子を使用して、この光を固体浸漬ミラーに結合させることができる。この実施例の記録ディスクは、基板５８と、１つ又は複数の副層６０と、相変化材料を含む記録層６２と、１つ又は複数の被覆層６４とを含む。検出器６６は、ディスクを透過する光を検出するためにディスクの下に位置決めできる。
光記録を行うには、データ記憶媒体の表面に、例えば可視光、赤外光、又は紫外光の電磁波を方向づけ、それによって、この媒体の局所領域の温度が上がり、記憶媒体の記録層で相変化が生じる。記憶媒体からデータを読み取るために、この媒体に光を方向づけ、この媒体から反射される光、又はこの媒体を通過する光を検出できる。相変化材料中のマークは、反射又は透過する光の特性に影響を及ぼすことになり、影響を受けた特性の変化を利用して、媒体上にマークが存在するか否かを示すことができる。
記録層は、追記型又は書換え型の相変化材料などの活性被膜材料、追記型（ＷＯＲＭ）に適用する有機色素、或いは、例えば光磁気材料など、光照射／加熱の後で特性が変化する他の任意の材料を含むことができる。
最適な活性媒体の例には、ＶＩ族、Ｖ族、及びＩＩＩ族の元素などの相変化合金が含まれる。これらの合金は、加熱するとアモルファスから結晶（安定な状態）又はその逆の相転移を起こす。特定の実施例は、ＤＶＤ製品で使用されているＧｅ−Ｓｂ−Ｔｅ合金（核形成が支配的な結晶化）又はＡｇ−Ｉｎ−Ｓｂ−Ｔｅ（成長が支配的な結晶化）である。成長が支配的なドープされたＳｂＴｅ共晶合金は、小さなサイズのマークに適している。なぜなら、これらの結晶化時間は、マークのサイズが小さくなるとともに短くなるからである。このような相変化媒体は、１００ｎｍ未満の大きさの安定なアモルファスのマークを保持できることが示されている。
真空技術によって室温で相変化材料を被着させると、被着させたままの状態は、アモルファスであり、準安定である。この材料を結晶安定状態に転化させるには、（光又は熱により）初期化することが必要である。ディスク積層体における熱の管理を効果的に行うために、活性被膜に加えて、誘電体及び金属の被膜を追加することができる。特に熱に安定な構造の材料であるＺｎＳ−ＳｉＯ２で誘電体スペーサ及びキャップ層を形成することができ、それによって読書きサイクルを極めて多数回行うことができる。反射光を利用して読出しが行われる場合には、Ａｌ−Ｃｒ合金製の放熱及び反射層を追加できる。基板材料は、例えば、ガラス又はポリカーボネートにできる。媒体は、この媒体の表面上方にスライダを飛行させるのに必要とされる平滑度を確保するために、スパッタ後処理を行うことができる。
記録層は、マーク間の領域とは反射率の異なるマーク・パターンのらせんトラックを含む。集束されたレーザ・ビームがマークの上を通過すると、光量の変化を透過又は反射で検出することができる。反射モードでは、光は導波路構造体に再結合され、それから出て検出器に結合される。透過モードでは、ディスクの反対側に集光レンズ及び検出器が位置決めされる。マーク・パターンを表す検出器電流を復号してデジタル情報を作成する。
媒体に書込みを行うには、この媒体に短い（通常、数ナノ秒程度の）高出力レーザ・パルスを印加して、初期状態の結晶媒体をアモルファス化させる。媒体の消去を行うには、この媒体に、より長い（数マイクロ秒程度の）低出力パルスを印加して、媒体の一部を再結晶させ、媒体のその部分に記憶されたデータを消去する。アモルファス化温度は約６００℃であり、結晶化温度は約２００℃である。
相変化材料は、それらの相、すなわち結晶又はアモルファスのいずれかに応じて異なる光学定数を示す。相と相の間の変化は、レーザ光により誘起され、マークのサイズは、以下のアッベの式によって与えられる回折限界の基本的な制約によって制限される。
解像力＝（波長×０．６１）／（開口数）
しかし、例えばいわゆる超解像効果を利用して、このような記録材料に回折限界未満のサイズのマークを書き込むことのできる遠視野光技術が報告されている。光データ記憶における制限要因は、このような小さなマークを、過剰な読出しレーザ出力を印加することによって情報を破壊することなく、十分な搬送波対雑音比（ＣＮＲ）で読み出す能力である。
しかし、例えばいわゆる超解像効果を利用して、このような記録材料に回折限界未満のサイズのマークを書き込むことのできる遠視野光技術が報告されている。光データ記憶における制限要因は、このような小さなマークを、過剰な読出しレーザ出力を印加することによって情報を破壊することなく、十分な搬送波対雑音比（ＣＮＲ）で読み出す能力である。
図３は、固体浸漬ミラー構造体７０を概略的に表現したものである。この固体浸漬ミラーは、（コンデンサとも呼ぶ）方物面鏡７４の形態の平面導波路７２を含む。第１格子７６及び第２格子７８は、入射光を導波路に結合する分割格子を形成する。矢印８０及び８２で示される偏光の形態をした電磁放射は、これらの格子に方向づけられる。これらの格子は、導波路の長手方向軸線８４に平行な方向にずれており、そのため、導波路の半分８６に入射する結合光が、導波路の残りの半分８８に入射する光に関して１８０°ずれる。この導波路は、光を反射させるために側面９０及び９２で界面を提供する材料で構成される。導波路の側面９０及び９２は、焦点９４に光が集光される形状になっている。金属変換器９６は、この焦点に位置決めされる。好ましくは、この変換器は、金、銀、アルミニウム、又は銅などの金属でできている。
固体浸漬ミラー構造体は、波長未満のスポットに光を集束させて、相変化媒体に近接場光記録することができる。この構造体は、磁気ハード・ドライブで使用するものと同様にスライダ上に製作することができ、相変化記憶媒体の上方を光近接場程度の間隔で飛行して、回折限界よりもはるかに小さなサイズのマークを光学的に書き込む。
図３では、コンデンサは、平面固体浸漬ミラー（Ｐ−ＳＩＭ）である。焦点での導波路のそれぞれの半分における光同士の間の位相差のため、光の電場は、コンデンサの対称軸線に沿う長手方向に偏光する。長手方向の電場は、それが長手方向を向いているときに、変換器に強く結合する。固体浸漬ミラーの端部９８は、記憶媒体に隣接して位置決めでき、それによって、変換器の端部で放出される電磁放射を利用して媒体の一部を加熱できる。変換器の寸法、特に長さが正しく選択されている場合、この変換器は入射光に共振し、変換器の端部近傍の媒体中で極めて大きな電場を発生させる。
レーザ・ダイオードからの光は、格子によって、ＳｉＯ２クラッド上のコア層を含むことのできる平面導波路構造体に結合される。導波路の側面は放物線形状にでき、それによって、用いられる導波路積層構造体及び材料によって決まる寸法のスポットに、光の出力を集束させることができる。６３３ｎｍのレーザ・ダイオードを使用して、実効屈折率が約１．６のＳＩＭ構造について、１８０ｎｍ（トラックを横切る方向）×１３０ｎｍ（トラック内方向）のスポット・サイズが実証されている。
一実施例では、４０５ｎｍのレーザ・ダイオード及び実効屈折率が１．８のＴｉＯ２のコア層材料を使用して、スポット・サイズを１０７ｎｍ（トラックを横切る方向）×７７ｎｍ（トラック内方向）まで縮小でき、それによって約２１．７Ｇｂ／ｃｍ２（約１４０Ｇｂ／インチ２）の記録密度が得られる。ＤＶＤ−ブルーレイでは、２８０ｎｍのスポット・サイズを用い、約３．０Ｇｂ／ｃｍ２（約１９．５Ｇｂ／インチ２）の密度を実現する。このように、導波路構造体が一体型されたスライダを使用する光近接場記録構成の面密度は、ＤＶＤ−ブルーレイに比べて７倍の改善ができるはずである。（図３に示す）導波路放物線の焦点に配置された適切な金属でできているピンは、光のスポットを１００ｎｍ未満に抑えることができる。
図４は、固体浸漬ミラー構造体を含む構成部品又はスライダ１００の一部を概略的に表現したものである。固体浸漬ミラー構造体１０２は、スライダの本体１０４に装着される。この固体浸漬ミラー構造体は、放物線形状の平面導波路と、コア層の両側に位置決めされたクラッド層とを含む。導波路に光１０８を結合するために格子１０６が設けられる。アルミナとできる追加の透明層１１０は、固体浸漬ミラー構造体上に位置決めされる。金属ピン１１２は、スライダの空気軸受け表面１１４に隣接して、導波路の焦点に位置決めされる。相変化記憶媒体１１６は、空気軸受け１１８によってスライダから離隔される。
記憶媒体からデータを読み取るには、この記憶媒体に光を方向づけ、記録ディスク上のマークからの反射光を検出する。記憶媒体中のマークにより、反射光の特性、例えば強度が変化する。図５は、検出器１２２と、媒体上のマークからの反射光を検出器に向かって方向づける手段とを含む構成部品又はスライダ１２０の一部の等角図である。記録ビットから反射される光は、複数の方向に散乱し、そのため極めて弱くなるので（図８参照）、反射用の空洞又はへこみにより、これらの散乱光を収集し、これらを検出器に方向を変更する。より詳細には、ノッチ、へこみ、又はくぼみ１２６が、固体浸漬ミラー構造体の端部１２８の周りで、スライダの空気軸受け表面に形成される。ノッチ、へこみ、又はくぼみ１２６の内面１３０は、導波路１３２に沿って反射光を検出器に方向づける形状になっている。導波路１３２は、周囲の材料よりも屈折率の大きい材料を含むことができ、そのため光は、内部全反射によって導波路に沿って伝播する。或いは、光は、検出器まで空気中を伝播できる。
図５の実施例では、ＡＢＳのところに、結合した導波路とともに放物線の半分のへこみを配置する。このミラーは、散乱光を収集し、それを共通の一方向に案内して、弱い散乱光の検出を容易にする。この方向は、検出器の場所に応じて、ＡＢＳ表面に沿った任意の適切な軸に沿うものとできる。検出器は、スライダ内に一体化することもでき、または駆動部の外に配置することもできる。空洞の寸法は、好都合な場所に配置された検出器に可視光を案内できるように、数ミクロン（数波長）とすべきである。空洞のミラー表面の形状は、散乱光が選択した方向に効果的に送られるように調整される。
導波路は、所望の方向に光が反射されるように、金属化された側壁を有することもでき、または、内部全反射によって無損失で光が検出器に送られるように、低屈折率の外側クラッド層及び高屈折率のコア層を含む誘電体導波路とすることもできる。
図６は、固体浸漬ミラー構造体を含む図５のスライダ１２０の一部の等角図である。固体浸漬ミラー構造体１２４は、スライダ内に埋め込まれる。この固体浸漬ミラー構造体は、放物線形状の平面コア層と、このコア層の両側に位置決めされたクラッド層とを含む。金属ピン１２８は、スライドの空気軸受け表面１２９に隣接して、導波路の焦点に位置決めされる。相変化記憶媒体１３３は、空気軸受け１３４によってスライダから離される。へこみ１２６は、固体浸漬ミラー構造体の端部１３６の周りで、スライダの空気軸受け表面に形成される。へこみ１２６の内面１３８は、導波路に沿って反射光を矢印１４０及び１４２で示す方向に反射する形状になっている。検出器は、この反射光を感知するように装着することができ、導波路を介してへこみ１２６に結合することができる。図６には、検出器に至るチャネル用のへこみを示していないが、矢印１４０及び１４２で示す光を検出器に向かって透過させるように位置決めする。
代替として、スライダの上面で光を検出することができる。図５及び図６の実施例では、ＳＩＭは、タンタラ（酸化タンタル）又はチタニアなどの高屈折率のコア材料と、例えば酸化アルミニウムなどの低屈折率のクラッドとを含む。屈折率を調整してより小さくした別の被膜、例えばガラス内にＳＩＭを埋め込んで、多モード導波路を形成することができる。この場合、散乱光を方向変更してこの多モード導波路構造体に戻すことができる。こうすると、出力結合機構を逆に利用して、スライダの上面から散乱光の検出が可能になる。図７に、この考え方を示す。
図７は、本発明に従って構成された別の構成部品又はスライダ１４８の一部を概略的に表現したものである。固体浸漬ミラー構造体１５０は、スライダ内に埋め込まれる。この固体浸漬ミラー構造体は、放物線形状のコア層１５２と、このコア層の両側に位置決めされたクラッド層１６２及び１６４とを含む。金属ピン１５４は、スライダの空気軸受け表面１５６に隣接して、導波路の焦点のところに位置決めされる。相変化記憶媒体１５８は、空気軸受け１６０によってスライダから離される。アルミナとできる固体浸漬ミラー構造体１５０は、ガラスとできるクラッド層１６６と１６８の間に位置決めされる。一実施例では、コア層１５２の屈折率は約２とすることができ、クラッド層１６２及び１６４の屈折率は約１．６、クラッド層１６６及び１６８の屈折率は約１．４とできる。こうすると、例えばＡｌＴｉＣとできる材料１７０及び１７２で示すスライダ内に埋め込まれる多モード導波路１７６が形成される。ピン１５４で放出される光は、記憶媒体１５８で反射され、多モード導波路１７６に結合する。導波路１７６の端部表面を変更して、導波路の端部への光の結合を改善できる。スライダの上面に反射防止被覆（ＡＲ）を施すことができる。ＡＲ層の厚さは、導波路を上方向に伝播する光が、ＡＲ層の界面で反射されて導波路に戻らずに、検出器に向かう方向に導波路から出て結合するように調節できる。同じことが、スライダのＡＢＳ側に当てはまる。適切なＡＲ被覆は、記憶媒体から反射された光を効果的に外部導波路構造体に再結合する助けとなり得る。検出器１７４は、導波路１７６を透過した光を検出するように位置決めされる。
図７に、コア１５２並びにクラッド層１６２及び１６４を含むＳＩＭの断面を示す。これらはさらに、ガラス被膜１６６及び１６８に埋め込まれる。この低屈折率ガラス被膜は、アルミナのコア１５２およびクラッド層１６２、１６４のクラッドとして働き、そのため多モード導波路が形成される。このかなり広い導波路は、試料からの後方散乱光を、それらの入射角とは無関係に、ＳＩＭの上部に配置できる検出器１７４に方向づける。ＡＢＳのところのアルミナ／ガラス多モード導波路の物理的な寸法は、元のＳＩＭの寸法よりもはるかに大きい。
読出し機能は例えばスライダの異なる部分を使用することによって、代替として抵抗率の変化を検出して、相変化被膜中のアモルファス領域と結晶領域を見分けることができる。抵抗率の変化を検出するために、スライダに導電センサを埋め込むことができる。こうすると、ディスク構造が適切に調節されている場合には、スライダから相変化マークに流れ込む電流、或いは相変化マークから流れ出る電流を測定できる。アモルファスマークと結晶質マークの導電率の差のために、信号がつくられる。図９は、相変化媒体からのデータの読み取りに使用できる電極又は導線２０２を含む構成部品又はスライダ２００の一部を概略的に表現したものである。スライダ２００は、上記で説明した導波路に類似の導波路２０４を含む。電極２０２は、外部電圧源２０８への接続部の働きをするボンディング・パッド２０６に電気的に接続される。この実施例では、電圧源は、ボンディング・パッドと記憶媒体２１０の間に接続される。記録トラックの実施例２１２は、スライダの下に位置決めされて示されている。このトラックは、導電率がそれぞれ異なるアモルファス質マーク２１４及び結晶質部分２１６を含む。電極２０２と媒体２１０の間に電圧が印加されると、電極と媒体の間を電子が通り抜ける。電子トンネル密度は、電極が、この媒体の半金属性領域の上にあるか、導電性がより小さい領域の上にあるかに応じて増減する。電子トンネル密度の変化を表す電流の変化を検出するために、回路内にセンサ２１８を配置できる。この場合、これらの電流の変化は、記憶媒体上に記憶されたデータを表す。
別の実施例では、スライダは、空気軸受け表面に接してわずかな隙間（約１０ｎｍ程度）だけ離隔された２つの電極を含むことができる。こうすると、スライダがディスク表面の上方を飛行するときに、これらの電極間の抵抗率を測定できる。これら２つの電極間に十分な電位が印加される場合には、いくらかの電子が一方の電極から出て媒体を通り抜け、次いで、他方の電極に入る。この場合、トンネル電流の量は、隙間に隣接する媒体が、アモルファス又は半金属のいずれであるかによって決まる。
図１０は、相変化媒体からのデータの読み取りに使用できる２つの電極又は導線２２２及び２２４を含む構成部品又はスライダ２２０の一部を概略的に表現したものである。スライダ２２０は、上記で説明した導波路に類似の導波路２２６を含む。電極２２２及び２２４は、外部電圧源２３２への接続部の働きをするボンディング・パッド２２８及び２３０に電気的に接続される。この実施例では、電圧源は、これらのボンディング・パッド間に接続される。記録トラックの実施例２３４は、スライダの下に位置決めされて示されている。このトラックは、導電率がそれぞれ異なるアモルファス質マーク２３６及び半金属部分２３８を含む。これらの電極は、空気軸受け表面に隣接して隙間２４０だけスライダから離隔される。電極２２２と電極２２４の間に電圧が印加されると、これらの電極の一方と媒体の間、且つ媒体と他方の電極の間を電子が通り抜ける。電子トンネル密度は、これらの電極が、この媒体の半金属性領域の上にあるか、導電性がより小さい領域の上にあるかに応じて増減する。電子トンネル密度の変化を表す電流の変化を検出するために、回路内にセンサ２４２を配置できる。この場合、これらの電流の変化は、記憶媒体上に記憶されたデータを表す。
記憶媒体に隣接するこれらの電極の端部の間隔は、マーク・サイズと同程度でなければならず、これは、５〜７ｎｍの範囲、或いはそれよりも狭いことがある。ダウン・トラック方向のこれらの電極の端部の幅は、２０ｎｍ未満程度とできる。これらの電極は、例えばタングステンで構成できる。これらの電極について、代替形状を用いることもできる。例えば、これらの電極は、スライダの空気軸受け表面近くで尖らせることができる。
本発明は、光ディスク検査ツールによる欠陥検出において解像力が制限されるという問題にも対処できる。ＴＢ／インチ２を目指す今後の磁気データ記憶密度では、記録ヘッドの飛行高さを数ナノメートル程度に低くすることが必要とされる。このような低い飛行高さでは、基板の品質及び媒体被覆の方法を改善して、清浄度及び平滑度の最大化、並びにナノメートル未満の尺度での媒体の均質性を確保することが求められる。製作中にこれらの特性を制御し、仕上げられたディスクを試験するために、ナノメートル未満の解像力が得られる新規な高速の検査ツールが必要である。
媒体上、並びに金属製又はガラス製の基板上の粒子及び欠陥を識別する周知の光学的な方法は、散乱計測と組み合わせた走査型顕微エリプソメータである。それによって、集束されたレーザ・ビームで照明されたときに、光学的な特性に偏差が生じる領域として欠陥が検出される。小さな汚染物質又は欠陥は通常、材料及び欠陥サイズに大きく依存するそれらの散乱特性により検出される。遠視野構成で４０５ｎｍのレーザを使用する現在利用可能な一つの検査ツールでは、１００ｎｍの寸法の欠陥しか検出することができない。このような遠視野技術では、解像力は概ね回折によって制限され、アッベの式である解像力＝（波長×０．６１）／（開口数）に従って光の波長の約半分になる。その結果、寸法が回折限界未満の汚染物質についてのサイズ及び形状の情報は失われる。好都合な条件下では遠視野でもなおこのような小さな粒子を検出できるが、これらの粒子は、点散乱体としてしか識別することができず、これらが波長のほぼ半分の間隔で離れていても個々には解像できない。
ＳＩＭに基づくヘッドを近接場で照明センサとして使用して、スピン・スタンドに基づく検査ツールの光学的な解像力を向上させることが提案されている。ＳＩＭに基づくヘッドでは、ＡＢＳのところで、任意の小寸法の光スポットが得られる。ＡＢＳにおけるスポットの寸法は概ね、適切な偏光で照明されるヘッド内部の小型金属構造体の寸法によって決まる。理論的には、このようなスポットは、２０ｎｍにも小さくできるはずである。この金属構造体は、入射光の強い吸収体として働き、入射する光の場を表面プラズモン・ポラリトンに変換する。媒体側では、スポットの寸法は、所望の値に調節できるヘッド飛行高さにも依存する。このような「光ヘッド」を使用して、ＳＩＭに基づく光スライダの改善された光学解像力を利用することによって、欠陥及び汚染物質に関して、ガラス製及び金属製の基板の表面並びに仕上げた媒体ディスクを調べ、特徴づけることができる。
図６に、所望の波長未満の解像力を実現するのに必要な光構成部品を伴うスライダを示す。誘電体導波路は、（適切な手段によって）放物線案内層の上面で結合した出力を、ＡＢＳ表面の金属ピンに伝達する。この伝達された光は、スライダのＡＢＳの高さ（レベル）に置かれた放物線の焦点に集束する。このスライダをサスペンション上に装着して、試料の上方を適切な高さで飛行させ、それによって検査中のディスク上の粒子及び汚染物質を照明できる。
試料から散乱される光の検出は、いくつかの方法で実施できる。透明な基板（ガラス、プラスチックなど）の場合、散乱光の検出は、基板の裏面で従来型の高ＮＡコリメート光学系を使用して、できるだけ多くの光を収集し、それを検出器に送ることによって、透過により実施できる。金属ディスク又は記録層で被覆されたガラス・ディスクなどの不透明な基板の場合、散乱光の強度は、反射により測定できる。
図５及び図６に示すように、ＳＩＭを取り囲む領域内の記録ヘッドの空気軸受け表面（ＡＢＳ）を改変して別のミラー又はレンズ構造体を収容し、それによって基板からの後方散乱光を収集し、検出器に送ることができる。
図８は、記録媒体の表面上の粒子によって散乱される光を概略的に表現したものである。照明用近接場変換器（ピン）１８０の光学特性により、基板１８４の欠陥１８２、例えば誘電体粒子との相互作用が生じる。このため、図８に矢印で示すように、欠陥の周りである種の角度（ｃｏｓ２θ）で散乱するまとまった光になる。
本発明の近接場による書込み／読取り技術では、導波路構造体の一体化されたスライダを相変化媒体と組み合わせて使用し、それによって、合焦の安定性、脱着性、低コスト、及びＲＯＭ配給フォーマットとの互換性などの利点とともに、（ＤＶＤ−ブルーレイよりも大きな）大データ容量が得られる。
本発明は、近接場光記録用の機器及び方法を提供する。相変化材料ディスクに対してこの機器を使用して、小さなマークの書込みを行い、それらを読み取ることができる。この機器は、相変化媒体と、導波路構造体が一体化されたスライダとを含むことができる。
上記で説明した実施例では、導波路構造体は固体浸漬ミラーである。しかし、本発明の機器で、他の導波路構造体を使用することもできる。例えば、モード・インデックス・レンズ構造体を使用することができ、このモード・インデックス・レンズの焦点のところに金属ピンを配置できる。或いは、３次元導波路構造体を使用できる。
いくつかの実施例に関して本発明を説明してきたが、当業者には、添付の特許請求の範囲で定義する本発明の範囲から逸脱することなく、開示した実施例に様々な変更を加えることができることが明らかであろう。
４０ ジンバル組立体
５０ 固体浸漬ミラー
５４ 光ファイバ
５６ ミラー
６０ 副層
６２ 記録層
６４ カバー層
６６ 検出器
７０ 固体浸漬ミラー構造体
７２ 平面導波路
７４ 放物面鏡
７６ 第１格子
７８ 第２格子
９６ 金属変換器
１０２ 固体浸漬ミラー構造体
１０６ 格子
１１０ 透明層
１１２ 金属ピン
１１６ 相変化記憶媒体
１１８ 空気軸受け
１２２ 検出器
１２４ 固体浸漬ミラー構造体
１２６ くぼみ
１３２ 導波路
１３３ 相変化記憶媒体
１３４ 空気軸受け
１５０ 固体浸漬ミラー構造体
１５２ コア層
１５４ 金属ピン
１５８ 相変化記憶媒体
１６２、１６４ クラッド層
１６６、１６８ ガラス被膜
１７４ 検出器
１７６ 多モード導波路
１８０ 変換器、ピン
１８２ 欠陥
２０４ 導波路
２１０ 記憶媒体
２１２ 記録トラック
２２６ 導波路
２３４ 記録トラック
５０ 固体浸漬ミラー
５４ 光ファイバ
５６ ミラー
６０ 副層
６２ 記録層
６４ カバー層
６６ 検出器
７０ 固体浸漬ミラー構造体
７２ 平面導波路
７４ 放物面鏡
７６ 第１格子
７８ 第２格子
９６ 金属変換器
１０２ 固体浸漬ミラー構造体
１０６ 格子
１１０ 透明層
１１２ 金属ピン
１１６ 相変化記憶媒体
１１８ 空気軸受け
１２２ 検出器
１２４ 固体浸漬ミラー構造体
１２６ くぼみ
１３２ 導波路
１３３ 相変化記憶媒体
１３４ 空気軸受け
１５０ 固体浸漬ミラー構造体
１５２ コア層
１５４ 金属ピン
１５８ 相変化記憶媒体
１６２、１６４ クラッド層
１６６、１６８ ガラス被膜
１７４ 検出器
１７６ 多モード導波路
１８０ 変換器、ピン
１８２ 欠陥
２０４ 導波路
２１０ 記憶媒体
２１２ 記録トラック
２２６ 導波路
２３４ 記録トラック
Claims (6)
- 空気軸受け表面を有するスライダと、
前記空気軸受け表面に隣接して位置決めされた相変化記憶媒体と、
前記空気軸受け表面に隣接する焦点に電磁放射を方向づけて、近接場放射を利用して前記相変化記憶媒体の一部の相を変化させる第１導波路と、
前記第１導波路と並列に配置されるとともに、前記相変化記憶媒体に隣接して第１端部が位置決めされた第１電極と、
前記第１電極の第２端部に接続され、前記相変化記憶媒体の記録トラックにおける導電率の変化に応じて変化する前記第１電極内の電流を検出するセンサと、
前記相変化記憶媒体から反射された電磁放射を検出する検出器と、
前記相変化記憶媒体から反射された電磁放射を収集し、前記検出器に向かって前記反射された電磁放射を送るために、前記焦点に隣接して位置決めされた構造体とを備え、
前記構造体は、前記第１導波路を取り囲むように配置される第２導波路を含む、機器。 - 前記第１電極と前記相変化記憶媒体の間に接続された電圧源をさらに備える、請求項１に記載された機器。
- 前記相変化記憶媒体に隣接して第１端部が位置決めされた第２電極であって、前記第１電極の前記第１端部と前記第２電極の前記第１端部が、隙間により離間されている第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間に接続された電圧源とをさらに備える、請求項１に記載された機器。 - 近接場光を利用して相変化記録媒体の一部の相を変化させる機器であって、
相変化記憶媒体と、
前記相変化記録媒体に隣接する焦点に電磁放射を方向づけて、近接場放射を利用して前記相変化記憶媒体の一部の相を変化させる第１導波路と、
前記相変化記憶媒体に隣接して第１端部が位置決めされた第１電極と、
前記第１電極の第２端部に接続され、前記相変化記憶媒体の記録トラックにおける導電率の変化に応じて変化する前記第１電極内の電流を検出するセンサと、
前記相変化記憶媒体から反射された電磁放射を検出する検出器と、
前記相変化記憶媒体から反射された電磁放射を収集し、前記検出器に向かって前記反射された電磁放射を送るために、前記焦点に隣接して位置決めされた構造体とを備え、
前記構造体は、前記第１導波路を取り囲むように配置される第２導波路を含む、機器。 - 前記第１電極と前記相変化記憶媒体の間に接続された電圧源をさらに備える、請求項４に記載された機器。
- 前記相変化記憶媒体に隣接して第１端部が位置決めされた第２電極であって、前記第１電極の前記第１端部と前記第２電極の前記第１端部が、隙間により離間されている第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間に接続された電圧源をさらに備える、請求項４に記載された機器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US11/021,876 | 2004-12-22 | ||
| US11/021,876 US7596072B2 (en) | 2004-12-22 | 2004-12-22 | Optical recording using a waveguide structure and a phase change medium |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005367597A Division JP5064680B2 (ja) | 2004-12-22 | 2005-12-21 | 導波路構造体及び相変化媒体を使用する光記録 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011210363A JP2011210363A (ja) | 2011-10-20 |
| JP5411206B2 true JP5411206B2 (ja) | 2014-02-12 |
Family
ID=36595571
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005367597A Expired - Fee Related JP5064680B2 (ja) | 2004-12-22 | 2005-12-21 | 導波路構造体及び相変化媒体を使用する光記録 |
| JP2011123685A Expired - Fee Related JP5411206B2 (ja) | 2004-12-22 | 2011-06-01 | データ記憶のための機器 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005367597A Expired - Fee Related JP5064680B2 (ja) | 2004-12-22 | 2005-12-21 | 導波路構造体及び相変化媒体を使用する光記録 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7596072B2 (ja) |
| JP (2) | JP5064680B2 (ja) |
| CN (1) | CN1831987B (ja) |
| MY (1) | MY147313A (ja) |
Families Citing this family (55)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7272079B2 (en) * | 2004-06-23 | 2007-09-18 | Seagate Technology Llc | Transducer for heat assisted magnetic recording |
| US7473916B2 (en) * | 2005-12-16 | 2009-01-06 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and method for detecting contamination within a lithographic apparatus |
| WO2007105393A1 (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-20 | Konica Minolta Opto, Inc. | 記録ヘッド及び記録装置 |
| WO2007105392A1 (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-20 | Konica Minolta Opto, Inc. | 記録ヘッド及び記録装置 |
| US7643248B2 (en) * | 2006-06-30 | 2010-01-05 | Seagate Technology Llc | Optoelectronic emitter mounted on a slider |
| EP1926089B1 (en) * | 2006-11-21 | 2010-01-13 | Nitto Denko Corporation | Suspension board with circuit and producing method thereof |
| WO2008081909A1 (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-10 | Fujitsu Limited | ヘッドサスペンションアセンブリおよびキャリッジアセンブリ並びにヘッドスライダアセンブリの製造方法 |
| JP2009093774A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Fujitsu Ltd | ヘッドスライダ |
| JP2009104734A (ja) * | 2007-10-25 | 2009-05-14 | Konica Minolta Opto Inc | 微小スポット生成構造及び光ヘッド |
| JP2010015641A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Nitto Denko Corp | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
| JP4989572B2 (ja) * | 2008-07-07 | 2012-08-01 | 日東電工株式会社 | 回路付サスペンション基板およびその製造方法 |
| US8031433B2 (en) | 2008-09-05 | 2011-10-04 | Headway Technologies, Inc. | Method to make an integrated side shield PMR head with non conformal side gap |
| US8036069B1 (en) | 2010-05-28 | 2011-10-11 | Headway Technologies, Inc. | Plasmon shield to shape and reduce optical spot |
| US8059354B2 (en) * | 2009-01-29 | 2011-11-15 | Seagate Technology Llc | Transducer for data storage device |
| US8274866B2 (en) * | 2009-03-11 | 2012-09-25 | Konica Minolta Opto, Inc. | Optical recording head and optical recording apparatus |
| WO2010150581A1 (ja) * | 2009-06-23 | 2010-12-29 | コニカミノルタオプト株式会社 | 導光ユニットおよび情報記録装置 |
| US8254212B2 (en) * | 2009-06-25 | 2012-08-28 | Seagate Technology Llc | Integrated heat assisted magnetic recording device |
| JP5597000B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-10-01 | セイコーインスツル株式会社 | 記録用フレクシャ、それを備えるヘッドジンバルアセンブリ及び記録用フレクシャの製造方法 |
| JP5596997B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-10-01 | セイコーインスツル株式会社 | ヘッドジンバルアセンブリ |
| US8164855B1 (en) * | 2009-11-06 | 2012-04-24 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a write pole in an energy assisted magnetic recording disk drive |
| JP5597001B2 (ja) * | 2010-03-17 | 2014-10-01 | セイコーインスツル株式会社 | 近接場光アシスト磁気記録ヘッド、ヘッドジンバルアセンブリ及びそれを備えた情報記録再生装置 |
| US8649245B2 (en) * | 2010-03-29 | 2014-02-11 | Seagate Technology Llc | Direct waveguide light delivery to NFT for heat assisted magnetic recording |
| US8625941B1 (en) | 2010-05-20 | 2014-01-07 | Western Digital (Fremont), Llc | Broadband reflective waveguide metal gratings and their formation |
| US8351307B1 (en) | 2010-06-04 | 2013-01-08 | Western Digital (Fremont), Llc | Trailing edge optimized near field transducer having non-rectangular pin cross section |
| US8310901B1 (en) | 2010-06-09 | 2012-11-13 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing separate write and optical modules in an energy assisted magnetic recording disk drive |
| US8320219B1 (en) | 2010-06-15 | 2012-11-27 | Western Digital (Fremont), Llc | Trailing edge optimized near field transducer |
| US8441896B2 (en) | 2010-06-25 | 2013-05-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Energy assisted magnetic recording head having laser integrated mounted to slider |
| US8437229B2 (en) * | 2010-07-21 | 2013-05-07 | Seagate Technology Llc | Transducer assembly having grating slits parallel to longitudinal axis of waveguide |
| US8442367B2 (en) * | 2010-09-08 | 2013-05-14 | Seagate Technology Llc | Grating for VCSEL coupling to a heat assisted magnetic recording head |
| US8456964B1 (en) | 2010-11-16 | 2013-06-04 | Western Digital (Fremont), Llc | Energy assisted magnetic recording head having a reflector for improving efficiency of the light beam |
| US8462592B1 (en) | 2010-11-17 | 2013-06-11 | Western Digital (Fremont), Llc | Energy-assisted magnetic recording head having waveguide capable of providing small beam spots |
| US8325569B1 (en) | 2011-06-27 | 2012-12-04 | Western Digital (Fremont), Llc | EAMR head having improved optical coupling efficiency |
| US8599656B2 (en) | 2011-12-12 | 2013-12-03 | Headway Technologies, Inc. | Planar plasmon generator with a scalable feature for TAMR |
| US8670294B1 (en) | 2012-02-17 | 2014-03-11 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for increasing media absorption efficiency using interferometric waveguides |
| US8675455B1 (en) | 2012-02-17 | 2014-03-18 | Western Digital (Fremont), Llc | Systems and methods for controlling light phase difference in interferometric waveguides at near field transducers |
| US20130279310A1 (en) * | 2012-04-24 | 2013-10-24 | Seagate Technology Llc | Antireflection coating for slider |
| USD717777S1 (en) | 2012-09-27 | 2014-11-18 | Incipio Technologies, Inc. | Case |
| US9286920B1 (en) | 2013-01-31 | 2016-03-15 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for compensating for phase variations in an interferometric tapered waveguide in a heat assisted magnetic recording head |
| US8811128B1 (en) * | 2013-03-07 | 2014-08-19 | Seagate Technology Llc | Generating surface plasmons using electrical current |
| US9336814B1 (en) | 2013-03-12 | 2016-05-10 | Western Digital (Fremont), Llc | Inverse tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head |
| US9064527B1 (en) | 2013-04-12 | 2015-06-23 | Western Digital (Fremont), Llc | High order tapered waveguide for use in a heat assisted magnetic recording head |
| US9064528B1 (en) | 2013-05-17 | 2015-06-23 | Western Digital Technologies, Inc. | Interferometric waveguide usable in shingled heat assisted magnetic recording in the absence of a near-field transducer |
| US8947985B1 (en) | 2013-07-16 | 2015-02-03 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording transducers having a recessed pole |
| US8923102B1 (en) | 2013-07-16 | 2014-12-30 | Western Digital (Fremont), Llc | Optical grating coupling for interferometric waveguides in heat assisted magnetic recording heads |
| US9153276B2 (en) | 2013-07-30 | 2015-10-06 | Seagate Technology Llc | Laser optical power monitoring using thermal sensor of a head transducer |
| US9142233B1 (en) | 2014-02-28 | 2015-09-22 | Western Digital (Fremont), Llc | Heat assisted magnetic recording writer having a recessed pole |
| US9190085B1 (en) | 2014-03-12 | 2015-11-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Waveguide with reflective grating for localized energy intensity |
| CN103985395B (zh) * | 2014-05-22 | 2016-11-09 | 无锡微焦科技有限公司 | 一种滑动检测装置 |
| CN106707490B (zh) * | 2017-03-17 | 2019-07-19 | 北京航空航天大学 | 一种载玻片型超半球固浸显微系统 |
| US10360939B2 (en) | 2017-12-23 | 2019-07-23 | Western Digital Technologies, Inc. | Metal-insulator-metal near-field transducer for heat-assisted magnetic recording |
| US10249336B1 (en) | 2017-12-23 | 2019-04-02 | Western Digital Technologies, Inc. | Architecture for metal-insulator-metal near-field transducer for heat-assisted magnetic recording |
| US10279176B1 (en) * | 2018-06-11 | 2019-05-07 | First Step Holdings, Llc | Method and apparatus for increasing absorption of medications and cosmeceuticals through the skin of the user |
| US10964340B1 (en) | 2019-04-29 | 2021-03-30 | Seagate Technology Llc | Heat-assisted recording head having sub wavelength mirror formed of first and second materials |
| US11664051B1 (en) | 2021-03-29 | 2023-05-30 | Seagate Technology Llc | Heat-assisted recording head having mechanically robust subwavelength mirror with plasmonic liner |
| US11908499B1 (en) * | 2022-06-29 | 2024-02-20 | Seagate Technology Llc | Heat-assisted magnetic recording head with an integrated photodiode |
Family Cites Families (58)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3922776A (en) * | 1974-05-13 | 1975-12-02 | Vrc California | Method for making narrow track ferrite core flying pads |
| DE3118459C2 (de) * | 1981-05-09 | 1984-01-26 | Dr.-Ing. Rudolf Hell Gmbh, 2300 Kiel | Lichtaufnahme-Vorrichtung |
| US4750806A (en) * | 1985-06-17 | 1988-06-14 | Alcatel Usa Corporation | Glass fibers and capillaries with high temperature resistant coatings |
| US4771415A (en) * | 1985-02-27 | 1988-09-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical data storage and readout apparatus and head, using optical fibers between stationary and movable units |
| JPH0378124A (ja) * | 1989-08-18 | 1991-04-03 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式ヘッド装置 |
| EP0483438B1 (en) * | 1990-10-30 | 1996-01-17 | International Business Machines Corporation | Integrated optical head structure |
| US5199090A (en) * | 1992-03-06 | 1993-03-30 | Hewlett-Packard Company | Flying magnetooptical read/write head employing an optical integrated circuit waveguide |
| US5835458A (en) * | 1994-09-09 | 1998-11-10 | Gemfire Corporation | Solid state optical data reader using an electric field for routing control |
| US5808973A (en) * | 1995-09-06 | 1998-09-15 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Near field recording and reproducing apparatus |
| US6270696B1 (en) * | 1996-06-03 | 2001-08-07 | Terastor Corporation | Method of fabricating and integrating an optical assembly into a flying head |
| IL119020A (en) * | 1996-08-06 | 2000-02-29 | Elop Electrooptics Ind Ltd | Photochromic supra-density optical memory |
| US6885627B1 (en) * | 1997-03-25 | 2005-04-26 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Write protect for rewritable compact disks and digital video disks |
| US6324149B1 (en) * | 1997-05-27 | 2001-11-27 | Ricoh Company, Ltd. | Optical-pick-up device achieving accurate positioning of objective lens and solid-immersion lens and method of forming same |
| US6307827B1 (en) * | 1997-08-29 | 2001-10-23 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical device and information recording and reproducing device |
| US6324129B1 (en) * | 1998-01-08 | 2001-11-27 | Seagate Technology Llc | Near field magneto-optical head having read and write pinhole apertures |
| JP4083330B2 (ja) * | 1998-02-25 | 2008-04-30 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光メモリヘッド |
| US6831886B1 (en) * | 1998-11-27 | 2004-12-14 | Minolta Co., Ltd. | Optical head and optical head device |
| WO2000033298A2 (en) * | 1998-12-04 | 2000-06-08 | Terastor Corporation | Monolithic optical head |
| JP2000315330A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-11-14 | Ricoh Co Ltd | 情報記録再生装置 |
| JP2000292338A (ja) * | 1999-04-05 | 2000-10-20 | Seiko Instruments Inc | 光検出素子、近視野光ヘッドおよび近視野光用光検出器 |
| US6680900B1 (en) * | 1999-06-04 | 2004-01-20 | Ricoh Company, Ltd. | Optical-pickup slider, manufacturing method thereof, probe and manufacturing method thereof, and probe array and manufacturing method thereof |
| JP2001126282A (ja) * | 1999-08-17 | 2001-05-11 | Seiko Instruments Inc | 光情報記録再生装置 |
| JP4020233B2 (ja) * | 1999-08-25 | 2007-12-12 | セイコーインスツル株式会社 | 近視野光ヘッドとその製造方法 |
| US6700856B2 (en) * | 1999-12-28 | 2004-03-02 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Optical head, magneto-optical head, disk apparatus and manufacturing method of optical head |
| JP4313517B2 (ja) * | 2000-01-26 | 2009-08-12 | セイコーインスツル株式会社 | 記録媒体、近視野光ヘッド、光記録装置、及びそれらの製造方法 |
| US6714499B2 (en) * | 2000-01-27 | 2004-03-30 | Tosoh Corporation | Flying optical recording/playback head and method for controlling the flying height |
| US6574257B1 (en) * | 2000-02-01 | 2003-06-03 | Siros Technologies, Inc. | Near-field laser and detector apparatus and method |
| JP3882456B2 (ja) * | 2000-03-13 | 2007-02-14 | 株式会社日立製作所 | 近接場光プローブおよびそれを用いた近接場光学顕微鏡および光記録／再生装置 |
| JP2002082414A (ja) * | 2000-03-24 | 2002-03-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 光記録媒体並びにその再生方法及び再生装置 |
| KR100618992B1 (ko) * | 2000-04-03 | 2006-09-04 | 삼성전자주식회사 | 광기록 재생장치 |
| JP2001297470A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Sony Corp | 光学素子及びこれを用いた光学ヘッド、信号再生方法 |
| US7032427B2 (en) * | 2000-06-09 | 2006-04-25 | Seiko Instruments Inc. | Method for forming optical aperture, near-field optical head, method for fabricating near-field optical head, and information recording/reading apparatus |
| JP2002062479A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-28 | Minolta Co Ltd | ソリッドイマージョンミラーおよび再生装置 |
| US6707026B2 (en) * | 2000-08-04 | 2004-03-16 | Minolta Co., Ltd. | Solid immersion mirror and reproducing apparatus |
| JP3913014B2 (ja) * | 2000-08-31 | 2007-05-09 | 松下電器産業株式会社 | 情報記録媒体およびその製造方法ならびにその記録再生方法 |
| US20020054560A1 (en) * | 2000-11-09 | 2002-05-09 | Seagate Technology Llc | Transducer and method for reading and writing data from and to a medium |
| KR100438567B1 (ko) * | 2000-12-14 | 2004-07-02 | 엘지전자 주식회사 | 근접장 광기록장치 |
| KR100399052B1 (ko) * | 2000-12-22 | 2003-09-26 | 한국전자통신연구원 | 다중 기능 근접 탐침을 이용한 고밀도 정보 기록 및 재생 장치 |
| KR20020064822A (ko) * | 2001-02-03 | 2002-08-10 | 삼성전자 주식회사 | 근접장 기록/재생 광헤드 |
| US20020150035A1 (en) * | 2001-04-17 | 2002-10-17 | Iomega Corporation | Near-field optical recording system employing a monolithic read/write head |
| US6970413B2 (en) * | 2001-05-25 | 2005-11-29 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Data storage medium utilizing directed light beam and near-field optical sources |
| US7113474B2 (en) * | 2001-09-01 | 2006-09-26 | Energy Conversion Devices, Inc. | Increased data storage in optical data storage and retrieval systems using blue lasers and/or plasmon lenses |
| JP2003123307A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-04-25 | Fuji Xerox Co Ltd | 光ヘッドおよびディスク装置 |
| KR100438574B1 (ko) * | 2001-11-27 | 2004-07-02 | 엘지전자 주식회사 | 근접장 광기록재생장치 |
| US6975580B2 (en) * | 2001-12-18 | 2005-12-13 | Interntional Business Machines Corporation | Optical aperture for data recording having transmission enhanced by waveguide mode resonance |
| WO2003060882A1 (en) * | 2002-01-08 | 2003-07-24 | Seagate Technology Llc | Heat assisted magnetic recording head with hybrid write pole |
| US7272102B2 (en) * | 2002-03-29 | 2007-09-18 | Seagate Technology Llc | Ridge waveguide with recess |
| US6944101B2 (en) * | 2002-06-24 | 2005-09-13 | Seagate Technology Llc | Recording pole for delivering coincident heat and magnetic field |
| JP3833582B2 (ja) * | 2002-06-27 | 2006-10-11 | 富士通株式会社 | 光照射ヘッド及び情報記録再生装置 |
| AU2003218265A1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-19 | Seagate Technology Llc | Apparatus and method for producing a small spot of optical energy |
| WO2004003891A1 (en) * | 2002-06-28 | 2004-01-08 | Seagate Technology Llc | Heat assisted magnetic recording head with a planar waveguide |
| WO2004032118A1 (en) * | 2002-09-30 | 2004-04-15 | Seagate Technology Llc | Planar waveguide for heat assisted magnetic recording |
| US7068883B2 (en) * | 2002-10-01 | 2006-06-27 | Eastman Kodak Company | Symmetric, bi-aspheric lens for use in optical fiber collimator assemblies |
| US7280297B2 (en) * | 2002-10-31 | 2007-10-09 | International Business Machines Corporation | Optical storage system using an antenna for recording information data to a phase-change type medium |
| KR100525241B1 (ko) * | 2003-10-21 | 2005-10-31 | 삼성전기주식회사 | 전위차를 이용한 광섬유 탐침 및 그를 이용한 광기록 장치 |
| US7480214B2 (en) * | 2003-12-08 | 2009-01-20 | Seagate Technology Llc | Efficient waveguide coupler for data recording transducer |
| US7567387B2 (en) * | 2004-10-12 | 2009-07-28 | Seagate Technology Llc | Phase offset integrated solid immersion mirror and lens for a general phase front |
| US6980374B1 (en) * | 2004-11-12 | 2005-12-27 | Seagate Technology Llc | Solid immersion mirror |
-
2004
- 2004-12-22 US US11/021,876 patent/US7596072B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-12-21 MY MYPI20056097A patent/MY147313A/en unknown
- 2005-12-21 JP JP2005367597A patent/JP5064680B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-22 CN CN2005101361703A patent/CN1831987B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-08-27 US US12/548,688 patent/US8009545B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-06-01 JP JP2011123685A patent/JP5411206B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5064680B2 (ja) | 2012-10-31 |
| CN1831987A (zh) | 2006-09-13 |
| JP2011210363A (ja) | 2011-10-20 |
| US7596072B2 (en) | 2009-09-29 |
| US20100008208A1 (en) | 2010-01-14 |
| US20060133230A1 (en) | 2006-06-22 |
| CN1831987B (zh) | 2011-04-20 |
| US8009545B2 (en) | 2011-08-30 |
| MY147313A (en) | 2012-11-30 |
| JP2006179169A (ja) | 2006-07-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5411206B2 (ja) | データ記憶のための機器 | |
| KR100640703B1 (ko) | 광 투과를 강화하며 온도 상승을 억제하는 광학 엘리먼트 | |
| JP4230087B2 (ja) | 光学再生記録方法および光学装置 | |
| JP2000173093A (ja) | 光学素子および情報記録再生装置 | |
| WO2011010447A1 (ja) | 情報記録媒体、光学情報記録再生装置、光学情報記録再生方法及び情報記録媒体の製造方法 | |
| JPH0896412A (ja) | 情報記録媒体 | |
| EP1504448A1 (en) | Recording medium having high melting point recording layer, information recording method thereof, and information reproducing apparatus and method therefor | |
| JP4234013B2 (ja) | 光情報再生方法、光ヘッド装置、および光情報処理装置 | |
| US20100008202A1 (en) | Optical information recording medium, recording particle, method for reproducing optical information, optical information reproducing apparatus, method for recording optical information, and optical information recording apparatus | |
| JP2000331375A (ja) | 近接場光記録／再生装置 | |
| JPH0793797A (ja) | 光ヘッドおよびこれを用いたディスク装置 | |
| JP4169466B2 (ja) | 記録再生方法及び記録再生装置 | |
| US20110235495A1 (en) | Optical head and optical recording/reproducing apparatus | |
| JP2002109769A (ja) | 半導体レーザを搭載した高機能・高密度光学ヘッド | |
| US20040264333A1 (en) | [method of reading data from high density optical recording medium] | |
| EP1573722B1 (en) | Rewritable optical record carrier | |
| US6819648B1 (en) | Optical sample and method of writing and reading information on the same | |
| JP2000099979A (ja) | 集光光学装置 | |
| KR100604027B1 (ko) | 상변화 디스크 기록/재생 장치 및 기록/재생 방법 | |
| JP4286473B2 (ja) | 近視野光ヘッド | |
| JP2006294128A (ja) | 光メモリ装置 | |
| JP2002074744A (ja) | 光情報記録媒体および光情報記録方法 | |
| JP2000123405A (ja) | 光学ヘッド及びそれを用いた情報再生装置 | |
| KR20050040440A (ko) | 광기록매체 | |
| JP2002133717A (ja) | 光情報記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120918 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121217 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121220 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130117 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130122 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130218 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130514 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20130813 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20130816 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130913 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131105 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131107 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5411206 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |