JP2000327405A - 着色アルミナ質焼結体 - Google Patents
着色アルミナ質焼結体Info
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- JP2000327405A JP2000327405A JP11130066A JP13006699A JP2000327405A JP 2000327405 A JP2000327405 A JP 2000327405A JP 11130066 A JP11130066 A JP 11130066A JP 13006699 A JP13006699 A JP 13006699A JP 2000327405 A JP2000327405 A JP 2000327405A
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- oxide
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- sintered body
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 黒色系の識別容易な色を呈し、アルミナ質焼
結体が有する優れた特性をもちあわせた着色アルミナ質
焼結体を提供する。 【解決手段】 着色アルミナ質焼結体は、Ｔｉを酸化物
換算で０．５〜５重量％と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１
５重量％の割合で含有し、残部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに
焼結助剤成分ＣａＯ、ＳｉＯ2及びＭｇＯから成り、還
元性雰囲気中で焼成される。このため、黒色系の識別容
易な色を呈するとともに、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒを
比較的多量に添加した場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3焼
結体の絶縁性に近い優れた絶縁性を有し、またＡｌ2Ｏ3
と実質的に同等の強度を実現する。
結体が有する優れた特性をもちあわせた着色アルミナ質
焼結体を提供する。 【解決手段】 着色アルミナ質焼結体は、Ｔｉを酸化物
換算で０．５〜５重量％と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１
５重量％の割合で含有し、残部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに
焼結助剤成分ＣａＯ、ＳｉＯ2及びＭｇＯから成り、還
元性雰囲気中で焼成される。このため、黒色系の識別容
易な色を呈するとともに、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒを
比較的多量に添加した場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3焼
結体の絶縁性に近い優れた絶縁性を有し、またＡｌ2Ｏ3
と実質的に同等の強度を実現する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路素
子を収容する半導体素子収納用パッケージ、半導体集積
回路素子を搭載する多層配線基板等の絶縁基体に用いる
着色アルミナ質焼結体に関するものである。
子を収容する半導体素子収納用パッケージ、半導体集積
回路素子を搭載する多層配線基板等の絶縁基体に用いる
着色アルミナ質焼結体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりセラミックス素材に要求される
特性として、耐熱性等の熱的性質、強度等の機械的性
質、耐食性等の化学的性質、導電性等の電磁気的性質が
挙げられている。係る特性から各種配線基板や半導体素
子収納用パッケージ等における絶縁基体として、Ａｌ2
Ｏ3を主成分とし、焼結助剤成分としてＭｇＯ、Ｓｉ
Ｏ2、ＣａＯ等を適量添加して焼結したアルミナ質焼結
体が多用されてきた。
特性として、耐熱性等の熱的性質、強度等の機械的性
質、耐食性等の化学的性質、導電性等の電磁気的性質が
挙げられている。係る特性から各種配線基板や半導体素
子収納用パッケージ等における絶縁基体として、Ａｌ2
Ｏ3を主成分とし、焼結助剤成分としてＭｇＯ、Ｓｉ
Ｏ2、ＣａＯ等を適量添加して焼結したアルミナ質焼結
体が多用されてきた。
【０００３】近年、ＬＳＩの高速化や通信分野での情報
量の増加により、高周波領域での損失が少ない基体材料
が求められており、このような用途には従来から高純度
アルミナ材料が用いられている。高純度アルミナ材料
は、添加物が少ないことからＡｌ2Ｏ3が有する優れた特
性をそのまま活かすことができる。
量の増加により、高周波領域での損失が少ない基体材料
が求められており、このような用途には従来から高純度
アルミナ材料が用いられている。高純度アルミナ材料
は、添加物が少ないことからＡｌ2Ｏ3が有する優れた特
性をそのまま活かすことができる。
【０００４】Ａｌ2Ｏ3自体が白色であるため高純度アル
ミナ質焼結体は白色を呈している。しかし、電子部品、
半導体製造用部品、各種測定装置等においては、黒色系
の着色アルミナ質焼結体が要求されている。なぜなら
ば、わずかな塵埃がこれらの部品の精度や性能に大きく
影響するため、着色された焼結体の場合にはこれらの塵
埃の存在をいち早く見出すことができ、また、部品の摩
耗や破損の場合には、その部分を容易に識別できるとい
う利点があるからである。
ミナ質焼結体は白色を呈している。しかし、電子部品、
半導体製造用部品、各種測定装置等においては、黒色系
の着色アルミナ質焼結体が要求されている。なぜなら
ば、わずかな塵埃がこれらの部品の精度や性能に大きく
影響するため、着色された焼結体の場合にはこれらの塵
埃の存在をいち早く見出すことができ、また、部品の摩
耗や破損の場合には、その部分を容易に識別できるとい
う利点があるからである。
【０００５】また、半導体素子収納用パッケージ等の製
造時には、光学的にワイヤーボンディング位置を見分け
るためにコントラストが必要であり、白色のアルミナ質
焼結体より着色されたアルミナ質焼結体の方が好適であ
る。
造時には、光学的にワイヤーボンディング位置を見分け
るためにコントラストが必要であり、白色のアルミナ質
焼結体より着色されたアルミナ質焼結体の方が好適であ
る。
【０００６】従来、このような着色アルミナ質焼結体
は、Ａｌ2Ｏ3を主成分とし、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｃｕ
Ｏ、ＮｉＯ、Ｆｅ2Ｏ3等の顔料を添加した原料から成る
成形体を１３００℃以上の温度で焼成することにより着
色されていた。
は、Ａｌ2Ｏ3を主成分とし、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2、Ｃｕ
Ｏ、ＮｉＯ、Ｆｅ2Ｏ3等の顔料を添加した原料から成る
成形体を１３００℃以上の温度で焼成することにより着
色されていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
着色アルミナ質焼結体では、良好な着色性を得るために
顔料を多量に添加することによって、電気絶縁性、高温
物性等の低下を招き、アルミナ質焼結体特有の電気的、
機械的、熱的特性を損なってしまうという問題があっ
た。
着色アルミナ質焼結体では、良好な着色性を得るために
顔料を多量に添加することによって、電気絶縁性、高温
物性等の低下を招き、アルミナ質焼結体特有の電気的、
機械的、熱的特性を損なってしまうという問題があっ
た。
【０００８】また、例えば、半導体搭載用パッケージに
用いられる絶縁基板等のセラミック製品を製造する工程
では、搬送中に焼結体が相互に衝突したり、他の部材と
衝突したりすることがあり、この場合には焼結体の角が
損傷しやすく製品不良が多くなるという問題があった。
用いられる絶縁基板等のセラミック製品を製造する工程
では、搬送中に焼結体が相互に衝突したり、他の部材と
衝突したりすることがあり、この場合には焼結体の角が
損傷しやすく製品不良が多くなるという問題があった。
【０００９】本発明は上述の問題を解決するために創作
されたものであって、黒色系の識別容易な色を呈し、ア
ルミナ質焼結体が有する優れた特性をもちあわせた着色
アルミナ質焼結体を得ることを目的とする。また、本発
明の別の目的は、焼結体の破損を防止するアルミナ質焼
結体を得ることにある。
されたものであって、黒色系の識別容易な色を呈し、ア
ルミナ質焼結体が有する優れた特性をもちあわせた着色
アルミナ質焼結体を得ることを目的とする。また、本発
明の別の目的は、焼結体の破損を防止するアルミナ質焼
結体を得ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
着色アルミナ質焼結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜
５重量％と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％の割合
で含有し、残部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分Ｃ
ａＯ、ＳｉＯ2及びＭｇＯから成り、還元性雰囲気中で
焼成されるものである。
着色アルミナ質焼結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜
５重量％と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％の割合
で含有し、残部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分Ｃ
ａＯ、ＳｉＯ2及びＭｇＯから成り、還元性雰囲気中で
焼成されるものである。
【００１１】Ｔｉの含有量を酸化物換算で０．５〜５重
量％としたのは、Ｔｉの含有量が酸化物換算で０．５重
量％より少ない場合、黒色に近づける着色効果が低下
し、焼成温度が上昇し、欠け易くなるという傾向にある
一方、Ｔｉの含有量が５重量％より多い場合、絶縁抵抗
が低下し、絶縁基板としての用途に適さなくなるためで
ある。
量％としたのは、Ｔｉの含有量が酸化物換算で０．５重
量％より少ない場合、黒色に近づける着色効果が低下
し、焼成温度が上昇し、欠け易くなるという傾向にある
一方、Ｔｉの含有量が５重量％より多い場合、絶縁抵抗
が低下し、絶縁基板としての用途に適さなくなるためで
ある。
【００１２】Ｃｒの含有量を酸化物換算で５〜１５重量
％としたのは、Ｃｒの含有量が酸化物換算で５重量％よ
り少ない場合、焼成温度が上昇するとともに色彩が薄く
なる一方、１５重量％より多い場合、絶縁抵抗が低下し
欠け易くなるためである。
％としたのは、Ｃｒの含有量が酸化物換算で５重量％よ
り少ない場合、焼成温度が上昇するとともに色彩が薄く
なる一方、１５重量％より多い場合、絶縁抵抗が低下し
欠け易くなるためである。
【００１３】さらに、Ａｌ2Ｏ3、ＣａＯ、ＭｇＯ、Ｓｉ
Ｏ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔｉｏ2の混合物をプレス成形、押し出
し成形、ドクターブレード法等の周知の成形手段により
成形した後、Ｎ2、Ｈ2等を含有する還元性雰囲気中にお
いて１３５０〜１６５０℃の温度で１〜５時間焼成する
ことにより、Ａｌ2Ｏ3の粒成長が抑制され、緻密質な焼
結体を得ることができる。また、還元焼成により、グリ
ーンシートにビアやパターンを形成し同時焼成を行って
もビアやパターンが酸化することはなく、配線の電気抵
抗率が増大するのを防止することができる。
Ｏ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔｉｏ2の混合物をプレス成形、押し出
し成形、ドクターブレード法等の周知の成形手段により
成形した後、Ｎ2、Ｈ2等を含有する還元性雰囲気中にお
いて１３５０〜１６５０℃の温度で１〜５時間焼成する
ことにより、Ａｌ2Ｏ3の粒成長が抑制され、緻密質な焼
結体を得ることができる。また、還元焼成により、グリ
ーンシートにビアやパターンを形成し同時焼成を行って
もビアやパターンが酸化することはなく、配線の電気抵
抗率が増大するのを防止することができる。
【００１４】本発明の請求項１記載の着色アルミナ質焼
結体によると、黒色系の識別容易な色を呈するととも
に、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒを比較的多量に添加した
場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3焼結体の絶縁性に近い優
れた絶縁性を有し、またＡｌ2Ｏ3と実質的に同等の強度
を実現する。
結体によると、黒色系の識別容易な色を呈するととも
に、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒを比較的多量に添加した
場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3焼結体の絶縁性に近い優
れた絶縁性を有し、またＡｌ2Ｏ3と実質的に同等の強度
を実現する。
【００１５】本発明の請求項２記載の着色アルミナ質焼
結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜５重量％と、Ｃｒ
を酸化物換算で５〜１５重量％と、Ｍｏを酸化物換算で
０．１〜１．０重量％の割合で含有し、残部が主成分Ａ
ｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分ＣａＯ、ＳｉＯ2及びＭｇＯ
から成り、還元性雰囲気中で焼成されるものである。
結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜５重量％と、Ｃｒ
を酸化物換算で５〜１５重量％と、Ｍｏを酸化物換算で
０．１〜１．０重量％の割合で含有し、残部が主成分Ａ
ｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分ＣａＯ、ＳｉＯ2及びＭｇＯ
から成り、還元性雰囲気中で焼成されるものである。
【００１６】Ｔｉの含有量を酸化物換算で０．５〜５重
量％としたのは、Ｔｉの含有量が酸化物換算で０．５重
量％より少ない場合、黒色に近づける着色効果が低下
し、焼成温度が上昇し、欠け易くなるという傾向にある
一方、Ｔｉの含有量が５重量％より多い場合、絶縁抵抗
が低下し、絶縁基板としての用途に適さなくなるためで
ある。
量％としたのは、Ｔｉの含有量が酸化物換算で０．５重
量％より少ない場合、黒色に近づける着色効果が低下
し、焼成温度が上昇し、欠け易くなるという傾向にある
一方、Ｔｉの含有量が５重量％より多い場合、絶縁抵抗
が低下し、絶縁基板としての用途に適さなくなるためで
ある。
【００１７】Ｃｒの含有量を酸化物換算で５〜１５重量
％としたのは、Ｃｒの含有量が酸化物換算で５重量％よ
り少ない場合、焼成温度が上昇するとともに色彩が薄く
なる一方、１５重量％より多い場合、絶縁抵抗が低下し
欠け易くなるためである。
％としたのは、Ｃｒの含有量が酸化物換算で５重量％よ
り少ない場合、焼成温度が上昇するとともに色彩が薄く
なる一方、１５重量％より多い場合、絶縁抵抗が低下し
欠け易くなるためである。
【００１８】Ｍｏの含有量を酸化物換算で０．１〜１重
量％としたのは、Ｍｏの含有量が０．１重量％より少な
い場合、内部ポアが多く強度が低下し、１重量％より多
い場合、絶縁抵抗が低下することを考慮したものであ
る。このような適正量のＭｏを含有しているため、焼結
体に良好な黒色を付与するとともに焼結体の脱脂性及び
脱炭性を向上させ、内部ポアを減少させることができ
る。
量％としたのは、Ｍｏの含有量が０．１重量％より少な
い場合、内部ポアが多く強度が低下し、１重量％より多
い場合、絶縁抵抗が低下することを考慮したものであ
る。このような適正量のＭｏを含有しているため、焼結
体に良好な黒色を付与するとともに焼結体の脱脂性及び
脱炭性を向上させ、内部ポアを減少させることができ
る。
【００１９】さらに、Ａｌ2Ｏ3、ＣａＯ、ＭｇＯ、Ｓｉ
Ｏ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔｉｏ2の混合物をプレス成形、押し出
し成形、ドクターブレード法等の周知の成形手段により
成形した後、Ｎ2、Ｈ2等を含有する還元性雰囲気中にお
いて１３５０〜１６５０℃の温度で１〜５時間焼成する
ことにより、Ａｌ2Ｏ3の粒成長が抑制され、緻密質な焼
結体を得ることができる。また、還元焼成により、グリ
ーンシートにビアやパターンを形成し同時焼成を行って
もビアやパターンが酸化することはなく、配線の電気抵
抗率が増大するのを防止することができる。
Ｏ2、Ｃｒ2Ｏ3、Ｔｉｏ2の混合物をプレス成形、押し出
し成形、ドクターブレード法等の周知の成形手段により
成形した後、Ｎ2、Ｈ2等を含有する還元性雰囲気中にお
いて１３５０〜１６５０℃の温度で１〜５時間焼成する
ことにより、Ａｌ2Ｏ3の粒成長が抑制され、緻密質な焼
結体を得ることができる。また、還元焼成により、グリ
ーンシートにビアやパターンを形成し同時焼成を行って
もビアやパターンが酸化することはなく、配線の電気抵
抗率が増大するのを防止することができる。
【００２０】本発明の請求項２記載の着色アルミナ質焼
結体によると、黒色系の識別容易な色を呈するととも
に、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒを比較的多量に添加した
場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3焼結体の絶縁性に近い優
れた絶縁性を有し、またＡｌ2Ｏ3と実質的に同等の強度
を実現する。
結体によると、黒色系の識別容易な色を呈するととも
に、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒを比較的多量に添加した
場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3焼結体の絶縁性に近い優
れた絶縁性を有し、またＡｌ2Ｏ3と実質的に同等の強度
を実現する。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を示す
複数の実施例について説明する。 （第１実施例）本発明の第１実施例による着色アルミナ
質焼結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜５重量％と、
Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％の割合で含有し、残
部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分ＣａＯ、ＳｉＯ
2及びＭｇＯから成り、還元性雰囲気中で焼成されるも
のである。
複数の実施例について説明する。 （第１実施例）本発明の第１実施例による着色アルミナ
質焼結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜５重量％と、
Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％の割合で含有し、残
部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分ＣａＯ、ＳｉＯ
2及びＭｇＯから成り、還元性雰囲気中で焼成されるも
のである。
【００２２】平均粒径１〜３μｍ、純度９９．９％以上
のＡｌ2Ｏ3と、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＳｉＯ2からなる助
剤成分と、Ｃｒ2Ｏ3と、ＴｉＯ2の各粉末を表１に示す
割合になるように秤量後、水と混合しボールミルによっ
て粉砕混合し、粉砕混合されたスラリーを乾燥、解砕し
一次原料とする。一次原料にアクリル樹脂やブチラール
樹脂のバインダと、トルエン、キシレン、アルコール類
等の溶剤を混入しボールミルにて混合して粘度２０００
〜４００００ｃｐｓのスラリを作製した後、ドクターブ
レード法によってグリーンシートを作製し、このグリー
ンシートを還元焼成炉にてＮ2−Ｈ2混合ガス雰囲気中で
１３５０〜１６５０℃の温度で焼成した。
のＡｌ2Ｏ3と、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＳｉＯ2からなる助
剤成分と、Ｃｒ2Ｏ3と、ＴｉＯ2の各粉末を表１に示す
割合になるように秤量後、水と混合しボールミルによっ
て粉砕混合し、粉砕混合されたスラリーを乾燥、解砕し
一次原料とする。一次原料にアクリル樹脂やブチラール
樹脂のバインダと、トルエン、キシレン、アルコール類
等の溶剤を混入しボールミルにて混合して粘度２０００
〜４００００ｃｐｓのスラリを作製した後、ドクターブ
レード法によってグリーンシートを作製し、このグリー
ンシートを還元焼成炉にてＮ2−Ｈ2混合ガス雰囲気中で
１３５０〜１６５０℃の温度で焼成した。
【００２３】表１に上述の製法によって生成された着色
アルミナ質焼結体の特性を示す。表１に示す強度は、焼
結体より抗折試験片を切り出しＪＩＳＲ１６０１による
３点曲げ抗折強度を測定した結果である。また絶縁抵抗
は、ＪＩＳＣ２１４１に基づいて測定した結果である。
試料１１〜１４は比較例として生成された着色アルミナ
質焼結体である。
アルミナ質焼結体の特性を示す。表１に示す強度は、焼
結体より抗折試験片を切り出しＪＩＳＲ１６０１による
３点曲げ抗折強度を測定した結果である。また絶縁抵抗
は、ＪＩＳＣ２１４１に基づいて測定した結果である。
試料１１〜１４は比較例として生成された着色アルミナ
質焼結体である。
【表１】
【００２４】表１に示されるように、第１実施例におけ
る組成範囲を逸脱する試料１１〜１４では、色彩、強
度、絶縁抵抗において望ましい結果は得られなかった。
一方、第１実施例の組成範囲内にある試料１〜１０は、
いずれも良好な黒色系の色彩を呈し、強度、絶縁抵抗と
もに良好であり、顔料を含有しないアルミナと同等の優
れた機械的、電気的特性を実現している。すなわち、第
１実施例による着色アルミナ質焼結体は、黒色系の識別
容易な色を呈するとともに、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒ
を比較的多量に添加した場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3
焼結体の絶縁性に近い優れた絶縁性を有し、またＡｌ2
Ｏ3と実質的に同等の強度を実現している。
る組成範囲を逸脱する試料１１〜１４では、色彩、強
度、絶縁抵抗において望ましい結果は得られなかった。
一方、第１実施例の組成範囲内にある試料１〜１０は、
いずれも良好な黒色系の色彩を呈し、強度、絶縁抵抗と
もに良好であり、顔料を含有しないアルミナと同等の優
れた機械的、電気的特性を実現している。すなわち、第
１実施例による着色アルミナ質焼結体は、黒色系の識別
容易な色を呈するとともに、顔料成分であるＴｉ、Ｃｒ
を比較的多量に添加した場合であっても従来のＡｌ2Ｏ3
焼結体の絶縁性に近い優れた絶縁性を有し、またＡｌ2
Ｏ3と実質的に同等の強度を実現している。
【００２５】（第２実施例）本発明の第２実施例による
着色アルミナ質焼結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜
５重量％と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％と、Ｍ
ｏを酸化物換算で０．１〜１．０重量％の割合で含有
し、残部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分ＣａＯ、
ＳｉＯ2及びＭｇＯから成り、還元性雰囲気中で焼成さ
れるものである。
着色アルミナ質焼結体は、Ｔｉを酸化物換算で０．５〜
５重量％と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％と、Ｍ
ｏを酸化物換算で０．１〜１．０重量％の割合で含有
し、残部が主成分Ａｌ2Ｏ3並びに焼結助剤成分ＣａＯ、
ＳｉＯ2及びＭｇＯから成り、還元性雰囲気中で焼成さ
れるものである。
【００２６】平均粒径１〜３μｍ、純度９９．９％以上
のＡｌ2Ｏ3と、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＳｉＯ2からなる助
剤成分と、Ｃｒ2Ｏ3と、ＴｉＯ2と、ＭｏＯ3の各粉末を
表２に示す割合になるように秤量後、水と混合しボール
ミルによって粉破混合し、粉破混合されたスラリーを乾
燥、解砕し一次原料とする。一次原料にバインダーと溶
剤を混入しボールミルにて混合後、ドクターブレード法
によってグリーンシートを作製し、グリーンシートを還
元焼成炉にて１３５０〜１６５０℃の温度で焼成した。
のＡｌ2Ｏ3と、ＣａＯ、ＭｇＯ及びＳｉＯ2からなる助
剤成分と、Ｃｒ2Ｏ3と、ＴｉＯ2と、ＭｏＯ3の各粉末を
表２に示す割合になるように秤量後、水と混合しボール
ミルによって粉破混合し、粉破混合されたスラリーを乾
燥、解砕し一次原料とする。一次原料にバインダーと溶
剤を混入しボールミルにて混合後、ドクターブレード法
によってグリーンシートを作製し、グリーンシートを還
元焼成炉にて１３５０〜１６５０℃の温度で焼成した。
【００２７】表２に上述の製法によって生成された着色
アルミナ質焼結体の特性を示す。表２に示す強度は、焼
結体より抗折試験片を切り出しＪＩＳＲ１６０１による
３点曲げ抗折強度を測定した結果である。また絶縁抵抗
は、ＪＩＳＣ２１４１に基づいて測定した結果である。
アルミナ質焼結体の特性を示す。表２に示す強度は、焼
結体より抗折試験片を切り出しＪＩＳＲ１６０１による
３点曲げ抗折強度を測定した結果である。また絶縁抵抗
は、ＪＩＳＣ２１４１に基づいて測定した結果である。
【表２】
【００２８】表２に示されるように、第２実施例におけ
る組成範囲内にある試料２１〜３０は、表１に示される
ＭｏＯ3を含有しない試料１１〜１４に比較して色彩が
より黒色に近く強度がより高いという特性を示してい
る。すなわち、第２実施例による着色アルミナ質焼結体
は、黒色系の識別容易な色を呈するとともに、顔料成分
であるＴｉ、Ｃｒを比較的多量に添加した場合であって
も従来のＡｌ2Ｏ3焼結体の絶縁性に近い優れた絶縁性を
有し、またＡｌ2Ｏ3と実質的に同等の強度を実現してい
る。
る組成範囲内にある試料２１〜３０は、表１に示される
ＭｏＯ3を含有しない試料１１〜１４に比較して色彩が
より黒色に近く強度がより高いという特性を示してい
る。すなわち、第２実施例による着色アルミナ質焼結体
は、黒色系の識別容易な色を呈するとともに、顔料成分
であるＴｉ、Ｃｒを比較的多量に添加した場合であって
も従来のＡｌ2Ｏ3焼結体の絶縁性に近い優れた絶縁性を
有し、またＡｌ2Ｏ3と実質的に同等の強度を実現してい
る。
フロントページの続き (72)発明者 野崎 利夫 山口県美祢市大嶺町東分字岩倉2701番１ 株式会社住友金属エレクトロデバイス内 Ｆターム(参考） 4G030 AA07 AA08 AA16 AA22 AA36 AA37 BA12 BA20 CA08 GA14 GA20 GA26
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｔｉを酸化物換算で０．５〜５重量％
と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％の割合で含有
し、残部が主成分Ａｌ2Ｏ3と、焼結助剤成分ＣａＯ、Ｓ
ｉＯ2及びＭｇＯとから成り、還元性雰囲気中で焼成さ
れたことを特徴とする着色アルミナ質焼結体。 - 【請求項２】 Ｔｉを酸化物換算で０．５〜５重量％
と、Ｃｒを酸化物換算で５〜１５重量％と、Ｍｏを酸化
物換算で０．１〜１．０重量％の割合で含有し、残部が
主成分Ａｌ2Ｏ3と、焼結助剤成分ＣａＯ、ＳｉＯ2及び
ＭｇＯとから成り、還元性雰囲気中で焼成されたことを
特徴とする着色アルミナ質焼結体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11130066A JP2000327405A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 着色アルミナ質焼結体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11130066A JP2000327405A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 着色アルミナ質焼結体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000327405A true JP2000327405A (ja) | 2000-11-28 |
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ID=15025205
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP11130066A Pending JP2000327405A (ja) | 1999-05-11 | 1999-05-11 | 着色アルミナ質焼結体 |
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|---|---|
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006131437A (ja) * | 2004-11-02 | 2006-05-25 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | 積層パッケージ用着色セラミック焼結体 |
| JP2014111524A (ja) * | 2012-10-30 | 2014-06-19 | Kyocera Corp | アルミナ質焼結体および耐電圧部材ならびにマイクロ波透過窓 |
| WO2020032035A1 (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | 京セラ株式会社 | 基板 |
| WO2020032036A1 (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | 京セラ株式会社 | 筐体 |
| WO2020032037A1 (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | 京セラ株式会社 | 光学品の保持部材 |
| WO2020032034A1 (ja) * | 2018-08-08 | 2020-02-13 | 京セラ株式会社 | 遮光部材 |
| WO2022075028A1 (ja) | 2020-10-07 | 2022-04-14 | 東ソ－・エスジ－エム株式会社 | 黒色石英ガラスおよびその製造方法 |
-
1999
- 1999-05-11 JP JP11130066A patent/JP2000327405A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2022075028A1 (ja) | 2020-10-07 | 2022-04-14 | 東ソ－・エスジ－エム株式会社 | 黒色石英ガラスおよびその製造方法 |
| KR20230079076A (ko) | 2020-10-07 | 2023-06-05 | 토소 에스지엠 가부시키가이샤 | 흑색 석영 유리 및 그 제조 방법 |
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