JP2512474B2 - 着色ムライトセラミック組成物 - Google Patents
着色ムライトセラミック組成物Info
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- JP2512474B2 JP2512474B2 JP62140444A JP14044487A JP2512474B2 JP 2512474 B2 JP2512474 B2 JP 2512474B2 JP 62140444 A JP62140444 A JP 62140444A JP 14044487 A JP14044487 A JP 14044487A JP 2512474 B2 JP2512474 B2 JP 2512474B2
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/10—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on aluminium oxide
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- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/16—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay
- C04B35/18—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on silicates other than clay rich in aluminium oxide
- C04B35/185—Mullite 3Al2O3-2SiO2
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- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、着色ムライトセラミック組成物に関し、と
くに電子部品用セラミックとして好適に用い得る着色ム
ライトセラミック組成物に関する。
くに電子部品用セラミックとして好適に用い得る着色ム
ライトセラミック組成物に関する。
（従来の技術） 近年、電子部品の高密度実装化、低コスト化に伴い、
パッケージおよび基板材料は低誘電率で高熱伝導性を有
し、機械的強度も高く、熱膨張係数が半導体素子の熱膨
張率に近く、低コストであることが要求されている。ま
た、気密性などの信頼性が要求されることはいうまでも
ない。これらの要求に対応して最近、窒化アルミニウム
セラミック、炭化ケイ素セラミック、低温焼成セラミッ
クおよびムライトセラミック等が開発されている。
パッケージおよび基板材料は低誘電率で高熱伝導性を有
し、機械的強度も高く、熱膨張係数が半導体素子の熱膨
張率に近く、低コストであることが要求されている。ま
た、気密性などの信頼性が要求されることはいうまでも
ない。これらの要求に対応して最近、窒化アルミニウム
セラミック、炭化ケイ素セラミック、低温焼成セラミッ
クおよびムライトセラミック等が開発されている。
（発明が解決しようとする問題点） 上記材料のうちムライトセラミックは低誘電率および
低熱膨張率を有する点で低温焼成セラミックと同等に優
れており、また、熱伝導率は低温焼成セラミックよりも
優れている。また、メタライズや外部リードのろう付け
及び後焼成による抵抗体の形成が従来のアルミナセラミ
ックに適用した方法を用いて信頼性高く行えるという利
点を有している。
低熱膨張率を有する点で低温焼成セラミックと同等に優
れており、また、熱伝導率は低温焼成セラミックよりも
優れている。また、メタライズや外部リードのろう付け
及び後焼成による抵抗体の形成が従来のアルミナセラミ
ックに適用した方法を用いて信頼性高く行えるという利
点を有している。
ところで、これまでムライト組成物はムライトの構成
成分であるAl2O3とSiO2の混合粉末を原料とし、これを1
600℃前後で焼成して得る方法が採用されているが、得
られる組成物中のムライト生成率は十分ではなく、機械
的強度や耐湿性の劣化につながっている。
成分であるAl2O3とSiO2の混合粉末を原料とし、これを1
600℃前後で焼成して得る方法が採用されているが、得
られる組成物中のムライト生成率は十分ではなく、機械
的強度や耐湿性の劣化につながっている。
これに対して、電融法などによるムライト粉末はムラ
イト生成率が高く、電子部品のパッケージや基板材料等
として有効である。そして、これらムライト粉末に焼結
助剤成分としてアルカリ土類金属化合物を添加したもの
があるが、このアルカリ土類金属化合物の添加では十分
な機械的強度を有する焼結体が得られない。なお、アル
カリ土類金属化合物に加えてジルコニアを添加すること
によって機械的強度の高いセラミックが得られている
が、強度は向上するものの、ジルコニアに起因するα線
量が半導体素子の誤動作につながるという問題点を有し
ている。
イト生成率が高く、電子部品のパッケージや基板材料等
として有効である。そして、これらムライト粉末に焼結
助剤成分としてアルカリ土類金属化合物を添加したもの
があるが、このアルカリ土類金属化合物の添加では十分
な機械的強度を有する焼結体が得られない。なお、アル
カリ土類金属化合物に加えてジルコニアを添加すること
によって機械的強度の高いセラミックが得られている
が、強度は向上するものの、ジルコニアに起因するα線
量が半導体素子の誤動作につながるという問題点を有し
ている。
また、半導体装置のパッケージとしてセラミック基板
を用いる場合は、紫外線を含む短波長領域の光による半
導体素子の誤動作を防ぐ必要があり、遮光性が求められ
る場合があるが、従来のムライトセラミックはすべて白
色系で遮光性に劣るという問題があった。
を用いる場合は、紫外線を含む短波長領域の光による半
導体素子の誤動作を防ぐ必要があり、遮光性が求められ
る場合があるが、従来のムライトセラミックはすべて白
色系で遮光性に劣るという問題があった。
本発明はこれら問題点を解消すべくなされたものであ
り、その目的とするところは、低誘電率、低熱膨張率と
いったムライト本来の優れた特性を損なうことなく、緻
密で機械的強度に優れかつ好適な遮光性を有する着色ム
ライトセラミック組成物を提供することを特徴とする。
り、その目的とするところは、低誘電率、低熱膨張率と
いったムライト本来の優れた特性を損なうことなく、緻
密で機械的強度に優れかつ好適な遮光性を有する着色ム
ライトセラミック組成物を提供することを特徴とする。
（発明の概要） 上記目的を達成するため、本発明では次の構成を備え
る。
る。
すなわち、ムライト粉末に添加剤として酸化イットリ
ウムを0.1〜20重量％、着色剤として酸化モリブデンと
酸化クロムのうち、少なくとも酸化モリブデンを0.1〜
１重量％加え、これを1300〜1750℃の温度範囲で焼成し
て成ることを特徴とする。
ウムを0.1〜20重量％、着色剤として酸化モリブデンと
酸化クロムのうち、少なくとも酸化モリブデンを0.1〜
１重量％加え、これを1300〜1750℃の温度範囲で焼成し
て成ることを特徴とする。
また、前記添加剤にさらにアルカリ土類金属酸化物の
うち少なくとも一種以上が0.1〜５重量％含有されてい
ることを特徴とする。
うち少なくとも一種以上が0.1〜５重量％含有されてい
ることを特徴とする。
本発明では、上記のように原料ムライト粉末の焼結助
剤として酸化イットリウム（Y2O3）を0.1〜20重量％の
範囲で添加し、着色剤を加えて1300〜1750℃の温度範囲
で焼成する。金属導体を形成する場合は、従来のタング
ステン、モリブデン−マンガン等をメタライズし、1500
〜1600℃の温度範囲で金属導体を同時焼成することがで
きる。
剤として酸化イットリウム（Y2O3）を0.1〜20重量％の
範囲で添加し、着色剤を加えて1300〜1750℃の温度範囲
で焼成する。金属導体を形成する場合は、従来のタング
ステン、モリブデン−マンガン等をメタライズし、1500
〜1600℃の温度範囲で金属導体を同時焼成することがで
きる。
原料ムライト粉末としては、アルミナと酸化ケイ素と
を混合して仮焼成によりムライト化し、これを粉砕した
粉末を用いることができる。本発明では上記のように酸
化イットリウムを添加することによって、上記の原料ム
ライト粉末を用いて十分な抗折強度を有するムライトセ
ラミック組成物を得ることができる。
を混合して仮焼成によりムライト化し、これを粉砕した
粉末を用いることができる。本発明では上記のように酸
化イットリウムを添加することによって、上記の原料ム
ライト粉末を用いて十分な抗折強度を有するムライトセ
ラミック組成物を得ることができる。
なお、最近では電融法等によって高純度のムライト粉
末が得られている。これら高純度のムライト粉末を用い
れば、緻密でかつ一層抗折強度を高いムライトセラミッ
ク組成物を得ることができる。なお、コスト面を考えな
ければ、AlやSiのアルコキシドや塩類からなる中間生成
物を噴霧分解するなどの方法により、高純度、微小粒子
化したムライト粉末を利用することもできる。
末が得られている。これら高純度のムライト粉末を用い
れば、緻密でかつ一層抗折強度を高いムライトセラミッ
ク組成物を得ることができる。なお、コスト面を考えな
ければ、AlやSiのアルコキシドや塩類からなる中間生成
物を噴霧分解するなどの方法により、高純度、微小粒子
化したムライト粉末を利用することもできる。
酸化イットリウムの添加量は原料ムライト粉末の粒度
や純度等によって最適添加量が変わる。たとえば、原料
ムライト粉末が粒径１μｍ程度のものであれば、酸化イ
ットリウムの添加量は0.5〜３重量％程度が良好とな
る。一般に、原料ムライト粉末の粒径が大きくなる程酸
化イットリウムの添加量が多くなる傾向にあるが、良好
なムライト相生成とのからみで一概にはいえない。
や純度等によって最適添加量が変わる。たとえば、原料
ムライト粉末が粒径１μｍ程度のものであれば、酸化イ
ットリウムの添加量は0.5〜３重量％程度が良好とな
る。一般に、原料ムライト粉末の粒径が大きくなる程酸
化イットリウムの添加量が多くなる傾向にあるが、良好
なムライト相生成とのからみで一概にはいえない。
ムライトセラミック組成物で、原料ムライト粉末とし
て粒径２μｍ以下の粉末を用いた場合、着色剤を使用し
ない場合の焼結体は白色であり透光性を有する。未着色
の厚さ約0.5mmの焼結基板を印刷物の上にのせた場合、2
mm角程度の大きさの文字が判読できた。
て粒径２μｍ以下の粉末を用いた場合、着色剤を使用し
ない場合の焼結体は白色であり透光性を有する。未着色
の厚さ約0.5mmの焼結基板を印刷物の上にのせた場合、2
mm角程度の大きさの文字が判読できた。
アルミナセラミックの着色剤として従来用いられてい
るものとしてはTiO2、Fe2O3、Cr2O3等がある。ムライト
セラミック組成物にこれら着色剤を添加する場合は、ム
ライト本来の特性を損なわない着色剤を選択する必要が
ある。上記着色剤のうち、Cr2O3は１重量％程度添加し
ても十分な着色が得られず、Fe2O3、TiO2は焼結体の誘
電特性を劣化させ、とくにTiO2は著しく誘電率を上昇さ
せてしまうので好ましくなかった。
るものとしてはTiO2、Fe2O3、Cr2O3等がある。ムライト
セラミック組成物にこれら着色剤を添加する場合は、ム
ライト本来の特性を損なわない着色剤を選択する必要が
ある。上記着色剤のうち、Cr2O3は１重量％程度添加し
ても十分な着色が得られず、Fe2O3、TiO2は焼結体の誘
電特性を劣化させ、とくにTiO2は著しく誘電率を上昇さ
せてしまうので好ましくなかった。
これに対し、MoO3を用いた場合は１重量％程度の添加
量でも十分な着色性を有し、また、Cr2O3を同時に添加
することによって微量でも着色性に優れ、ムライト本来
の誘電特性を大きく損うことなく、かつ、抗折強度をむ
しろ向上させる作用を有していた。
量でも十分な着色性を有し、また、Cr2O3を同時に添加
することによって微量でも着色性に優れ、ムライト本来
の誘電特性を大きく損うことなく、かつ、抗折強度をむ
しろ向上させる作用を有していた。
この場合、従来のアルミナセラミックでは、合計４重
量％程度の多量の着色剤を添加しなければ十分な遮光性
が得られず、これが誘電率を上昇させる一因となってい
たが、本発明ではMoO3が１重量％程度の微量でも十分な
遮光性が得られ、この微量の添加でもよいということが
誘電率の上昇を抑える重要な一因となっている。
量％程度の多量の着色剤を添加しなければ十分な遮光性
が得られず、これが誘電率を上昇させる一因となってい
たが、本発明ではMoO3が１重量％程度の微量でも十分な
遮光性が得られ、この微量の添加でもよいということが
誘電率の上昇を抑える重要な一因となっている。
このように、本発明に係るMoO3単独またはCr2O3を同
時に添加した着色ムライトセラミック組成物は、十分な
遮光性を有するセラミックパッケージ材料として得るこ
とができ、ムライト本来の低熱膨張率、低誘電率といっ
た特性を有し、かつ、抗折強度が高い焼結体として得る
ことができる。
時に添加した着色ムライトセラミック組成物は、十分な
遮光性を有するセラミックパッケージ材料として得るこ
とができ、ムライト本来の低熱膨張率、低誘電率といっ
た特性を有し、かつ、抗折強度が高い焼結体として得る
ことができる。
また、熱膨張率としてムライト本来の特性よりもさら
に低い値を得る目的のために、これら組成物にさらに従
来知られているアルカリ土類金属化合物、好ましくはMg
Oの添加により良好に達成することができる。
に低い値を得る目的のために、これら組成物にさらに従
来知られているアルカリ土類金属化合物、好ましくはMg
Oの添加により良好に達成することができる。
本発明に係る着色ムライトセラミック組成物は、上記
特性に加えてメタライズ性に優れ、外部リードをろう付
けした場合のろう付け強度（引き剥がし強度）も従来知
られているMgOを添加したムライトセラミックの場合の
およそ２倍程度になる。
特性に加えてメタライズ性に優れ、外部リードをろう付
けした場合のろう付け強度（引き剥がし強度）も従来知
られているMgOを添加したムライトセラミックの場合の
およそ２倍程度になる。
焼成後のメタライズ強度を外部リードの引き剥がし強
度でみたところ、従来のMgOを添加したムライトセラミ
ック組成物の場合には400（g/リード）程度であったの
が、本発明のムライトセラミック組成物の場合は、酸化
イットリウム２重量％添加の場合で700（g/リード）程
度に向上した。また、酸化イットリウムを５重量％添加
した場合はほぼ外部リードの引張り強度と同程度の大き
さにまで格段に向上し、引き剥がし試験でメタライズ部
が剥離せず、外部リードの部分で切断が生じたものが90
％以上となった。
度でみたところ、従来のMgOを添加したムライトセラミ
ック組成物の場合には400（g/リード）程度であったの
が、本発明のムライトセラミック組成物の場合は、酸化
イットリウム２重量％添加の場合で700（g/リード）程
度に向上した。また、酸化イットリウムを５重量％添加
した場合はほぼ外部リードの引張り強度と同程度の大き
さにまで格段に向上し、引き剥がし試験でメタライズ部
が剥離せず、外部リードの部分で切断が生じたものが90
％以上となった。
このように、本発明によるムライトセラミック組成物
ではメタライズ強度、ろう付け強度が格段に向上し、電
子部品材料として好適に使用できる。
ではメタライズ強度、ろう付け強度が格段に向上し、電
子部品材料として好適に使用できる。
本発明をさらに具体的に説明するために、以下実施例
を挙げて説明するが、本発明はこの実施例に限定される
ものではない。
を挙げて説明するが、本発明はこの実施例に限定される
ものではない。
（比較例１） 平均粒径約１μｍの電融ムライト粉末98重量部に酸化
イットリウム２重量部を加え、ｎ−ブタノール−トルエ
ン混合溶液を分散媒体として24時間ボールミル混合した
後、これにフタル酸−ジ−ｎ−ブチル３重量部とポリビ
ニルブチラール８重量部を加え、さらに24時間のボール
ミル混合を行った。得られた混合物を真空脱泡した後、
ドクターブレード法によってシートに成形した。得られ
たグリーンシートの密度は1.92g/cm3であった。次に、
これを1560℃、大気圧、弱還元性雰囲気中にて４時間の
焼成を行い、焼結体を得た。焼結体の密度は3.14g/cm3
であった。
イットリウム２重量部を加え、ｎ−ブタノール−トルエ
ン混合溶液を分散媒体として24時間ボールミル混合した
後、これにフタル酸−ジ−ｎ−ブチル３重量部とポリビ
ニルブチラール８重量部を加え、さらに24時間のボール
ミル混合を行った。得られた混合物を真空脱泡した後、
ドクターブレード法によってシートに成形した。得られ
たグリーンシートの密度は1.92g/cm3であった。次に、
これを1560℃、大気圧、弱還元性雰囲気中にて４時間の
焼成を行い、焼結体を得た。焼結体の密度は3.14g/cm3
であった。
（実施例１） 上記比較例１と同じ原料組成にMoO3を１重量部添加
し、これを比較例１と同様な手順によりシート成形し、
焼成を行った。グリーンシートの密度は1.94g/cm3、焼
結体の密度は3.16g/cm3であった。
し、これを比較例１と同様な手順によりシート成形し、
焼成を行った。グリーンシートの密度は1.94g/cm3、焼
結体の密度は3.16g/cm3であった。
（比較例２） 平均粒径約１μｍの電融ムライト粉末98重量部に、Mg
Oを２重量部加え、これを比較例１と同様な方法によっ
て焼結体を得た。グリーンシートの密度は1.92g/cm3、
焼結体の密度は3.11g/cm3であった。
Oを２重量部加え、これを比較例１と同様な方法によっ
て焼結体を得た。グリーンシートの密度は1.92g/cm3、
焼結体の密度は3.11g/cm3であった。
（比較例３） 平均粒径２μｍ以下のアルミナ粉末72重量部と平均粒
径約４μｍのシリカ粉末28重量部を樹脂製ポット中で、
アルミナボールと共に10時間ボールミル中で粉砕混合し
た。得られた粉末を大気中1300℃、40分の熱処理後、樹
脂製ポットとアルミナボールで24時間ボールミル粉砕
し、この工程を２度繰り返してムライト粉末を得た。こ
の粉末98重量部にMgOを２重量部加え、これを比較例１
と同様な手順に従って焼結体を得た。グリーンシートの
密度は1.86g/cm3、焼結体の密度は2.91g/cm3であった。
径約４μｍのシリカ粉末28重量部を樹脂製ポット中で、
アルミナボールと共に10時間ボールミル中で粉砕混合し
た。得られた粉末を大気中1300℃、40分の熱処理後、樹
脂製ポットとアルミナボールで24時間ボールミル粉砕
し、この工程を２度繰り返してムライト粉末を得た。こ
の粉末98重量部にMgOを２重量部加え、これを比較例１
と同様な手順に従って焼結体を得た。グリーンシートの
密度は1.86g/cm3、焼結体の密度は2.91g/cm3であった。
以上の各方法によって得られた各焼結体の特性を表１
に示す。表１から明らかなように、本発明に係る着色ム
ライトセラミック組成物は、誘電特性および熱膨張特性
が優れ、従来のものにくらべて抗折強度が優れている。
に示す。表１から明らかなように、本発明に係る着色ム
ライトセラミック組成物は、誘電特性および熱膨張特性
が優れ、従来のものにくらべて抗折強度が優れている。
誘電率は1MHz、20℃での値。抗折強度の単位は（kg/m
m2）、試料は7mm幅×2mm厚、span 40mm。熱膨張係数の
単位は（×10-6／℃）で、20〜320℃の値。
m2）、試料は7mm幅×2mm厚、span 40mm。熱膨張係数の
単位は（×10-6／℃）で、20〜320℃の値。
（発明の効果） 以上説明した如く、本発明の着色ムライトセラミック
組成物は優れた誘電特性および熱膨張特性を有し、抗折
強度および表面平滑性も従来品よりも優れ、かつムライ
ト本来の特性を備え、十分な遮光性を有する製品として
提供でき、電子部品材料として好適に使用することがで
きる。
組成物は優れた誘電特性および熱膨張特性を有し、抗折
強度および表面平滑性も従来品よりも優れ、かつムライ
ト本来の特性を備え、十分な遮光性を有する製品として
提供でき、電子部品材料として好適に使用することがで
きる。
Claims (2)
- 【請求項１】ムライト粉末に添加剤として酸化イットリ
ウムを0.1〜20重量％、着色剤として酸化モリブデンと
酸化クロムのうち、少なくとも酸化モリブデンを0.1〜
１重量％加え、これを1300〜1750℃の温度範囲で焼成し
て成ることを特徴とする着色ムライトセラミック組成
物。 - 【請求項２】前記添加剤にさらにアルカリ土類金属酸化
物のうち少なくとも一種以上が0.1〜５重量％含有され
ていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の着
色ムライトセラミック組成物。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62140444A JP2512474B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | 着色ムライトセラミック組成物 |
| KR1019880005236A KR890000373A (ko) | 1987-06-04 | 1988-05-06 | 뮤라이트 세라믹 조성물 |
| US07/199,332 US4935390A (en) | 1987-06-04 | 1988-05-26 | Mullite-based ceramic body |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62140444A JP2512474B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | 着色ムライトセラミック組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63303856A JPS63303856A (ja) | 1988-12-12 |
| JP2512474B2 true JP2512474B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=15268774
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62140444A Expired - Lifetime JP2512474B2 (ja) | 1987-06-04 | 1987-06-04 | 着色ムライトセラミック組成物 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4935390A (ja) |
| JP (1) | JP2512474B2 (ja) |
| KR (1) | KR890000373A (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5294576A (en) * | 1988-01-13 | 1994-03-15 | Shinko Electric Industries Co., Ltd. | Mullite ceramic compound |
| DE19623425B4 (de) * | 1996-06-12 | 2005-06-16 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Verfahren zur Herstellung reaktionsgebundener Mullit-haltiger Keramikformkörper und deren Verwendung |
| WO1999014781A1 (en) * | 1997-09-15 | 1999-03-25 | Osram Sylvania Inc. | Alumina arc tube seal having increased resistance to thermal shock |
| US6254822B1 (en) | 1998-10-01 | 2001-07-03 | Corning Incorporated | Production of porous mullite bodies |
| US6238618B1 (en) | 1998-10-01 | 2001-05-29 | Corning Incorporated | Production of porous mullite bodies |
| KR100651355B1 (ko) * | 2002-02-05 | 2006-11-28 | 에스케이 주식회사 | 산화카드뮴이 담지된 무기산화물 촉매상에서 케톤을제조하는 방법 |
| US8011519B2 (en) * | 2008-08-18 | 2011-09-06 | Corning Incorporated | Mullite module for liquid filtration |
| US9073793B2 (en) * | 2009-07-31 | 2015-07-07 | General Electric Company | Slurry compositions for making environmental barrier coatings and environmental barrier coatings comprising the same |
| US9212100B2 (en) * | 2009-07-31 | 2015-12-15 | General Electric Company | Environmental barrier coatings for high temperature ceramic components |
| US8986779B2 (en) * | 2009-07-31 | 2015-03-24 | General Electric Company | Methods of improving surface roughness of an environmental barrier coating and components comprising environmental barrier coatings having improved surface roughness |
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| US11078119B2 (en) | 2014-10-23 | 2021-08-03 | Ashapura Minechem Ltd. | Composites of sintered mullite reinforced corundum granules and method for its preparation |
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