JP3472419B2 - 着色アルミナ質焼結体及びその製造方法 - Google Patents
着色アルミナ質焼結体及びその製造方法Info
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- oxide
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体素子収納用パ
ッケージ等の絶縁基体、特に高周波領域で用いられる多
層配線基板や半導体素子収納用パッケージ等の絶縁基体
に好適な着色アルミナ質焼結体とその製造方法に関する
ものである。
ッケージ等の絶縁基体、特に高周波領域で用いられる多
層配線基板や半導体素子収納用パッケージ等の絶縁基体
に好適な着色アルミナ質焼結体とその製造方法に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりセラミックス素材に要求される
特性としては、耐熱性等の熱的性質、強度等の機械的性
質、耐食性等の化学的性質、導電性等の電磁気的性質が
挙げられ、係る特性から各種配線基板や半導体素子収納
用パッケージ等における絶縁基体としては、Ａｌ2 Ｏ3
を主成分とし、焼結助剤としてＭｇＯ、ＳｉＯ2 、Ｃａ
Ｏ等を適量添加して焼結したアルミナ質焼結体が多用さ
れてきた。
特性としては、耐熱性等の熱的性質、強度等の機械的性
質、耐食性等の化学的性質、導電性等の電磁気的性質が
挙げられ、係る特性から各種配線基板や半導体素子収納
用パッケージ等における絶縁基体としては、Ａｌ2 Ｏ3
を主成分とし、焼結助剤としてＭｇＯ、ＳｉＯ2 、Ｃａ
Ｏ等を適量添加して焼結したアルミナ質焼結体が多用さ
れてきた。
【０００３】近年、ＬＳＩの高速化や通信分野での情報
量の増加により、高周波領域での損失が少ない基体材料
が求められており、このような用途には従来から高純度
アルミナ材料が用いられている。
量の増加により、高周波領域での損失が少ない基体材料
が求められており、このような用途には従来から高純度
アルミナ材料が用いられている。
【０００４】前記高純度アルミナ材料は、添加物が少な
いことからＡｌ2 Ｏ3 が有する電気的に優れた特性をそ
のまま活かすことができるが、Ａｌ2 Ｏ3 自体は白色で
あるので高純度アルミナ質焼結体も白色を呈している。
いことからＡｌ2 Ｏ3 が有する電気的に優れた特性をそ
のまま活かすことができるが、Ａｌ2 Ｏ3 自体は白色で
あるので高純度アルミナ質焼結体も白色を呈している。
【０００５】一方、電子部品、半導体製造用部品、各種
測定装置等においては、黒色等の着色アルミナ質焼結体
が要求されている。その理由は、わずかな塵埃がこれら
部品の精度や性能に大きく影響するため、着色された焼
結体の場合にはこれらの塵埃の存在をいち早く見出すこ
とができる他、部品の摩耗や破損の場合には、その部分
を容易に識別できるという利点があるからである。
測定装置等においては、黒色等の着色アルミナ質焼結体
が要求されている。その理由は、わずかな塵埃がこれら
部品の精度や性能に大きく影響するため、着色された焼
結体の場合にはこれらの塵埃の存在をいち早く見出すこ
とができる他、部品の摩耗や破損の場合には、その部分
を容易に識別できるという利点があるからである。
【０００６】また、半導体素子収納用パッケージ等の製
造時には、光学的にワイヤーボンディング位置を見分け
るためにもコントラストが必要であり、白色のアルミナ
質焼結体よりも着色されたアルミナ質焼結体の方が好適
である。
造時には、光学的にワイヤーボンディング位置を見分け
るためにもコントラストが必要であり、白色のアルミナ
質焼結体よりも着色されたアルミナ質焼結体の方が好適
である。
【０００７】このような着色アルミナ質焼結体として
は、従来よりＡｌ2 Ｏ3 を主成分とし、ＷＯ3 やＭｏＯ
3 等の顔料を添加した原料から成る成形体を、１３００
℃以上の温度で焼成することにより着色されていた。
は、従来よりＡｌ2 Ｏ3 を主成分とし、ＷＯ3 やＭｏＯ
3 等の顔料を添加した原料から成る成形体を、１３００
℃以上の温度で焼成することにより着色されていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
着色アルミナ質焼結体では、着色剤としてＷＯ3 やＭｏ
Ｏ3 等の顔料を添加することから、電気的特性の低下や
高温物性、即ち機械的特性の低下等を引き起こす場合が
あり、特に１ＧＨｚ以上の高周波領域においては誘電損
失が増大する等、アルミナ質焼結体特有の電気的、機械
的、熱的特性を損なってしまうという課題があった。
着色アルミナ質焼結体では、着色剤としてＷＯ3 やＭｏ
Ｏ3 等の顔料を添加することから、電気的特性の低下や
高温物性、即ち機械的特性の低下等を引き起こす場合が
あり、特に１ＧＨｚ以上の高周波領域においては誘電損
失が増大する等、アルミナ質焼結体特有の電気的、機械
的、熱的特性を損なってしまうという課題があった。
【０００９】
【発明の目的】本発明は前記課題を解決するために成さ
れたもので、その目的は高周波領域において多層配線基
板や半導体素子収納用パッケージ等の絶縁基体として本
来のアルミナ質焼結体が有する電気的特性を損なうこと
なく、かつ黒色系の識別容易な色を呈した着色アルミナ
質焼結体を得ることにある。
れたもので、その目的は高周波領域において多層配線基
板や半導体素子収納用パッケージ等の絶縁基体として本
来のアルミナ質焼結体が有する電気的特性を損なうこと
なく、かつ黒色系の識別容易な色を呈した着色アルミナ
質焼結体を得ることにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明者等は前記課題に
鑑み鋭意検討した結果、着色成分として、Ｎｂ又はＮｂ
化合物と、それにＹあるいはＹ化合物、Ｙｂ、Ｙｂ化合
物の１種以上を添加したアルミナ質焼結体では、黒色系
の識別容易な色彩が得られるとともに高周波領域におけ
る誘電損失をアルミナ本体の誘電損失よりも低減できる
上、従来の高純度アルミナ質焼結体よりも機械的特性を
も向上できることを見出し本発明に至った。
鑑み鋭意検討した結果、着色成分として、Ｎｂ又はＮｂ
化合物と、それにＹあるいはＹ化合物、Ｙｂ、Ｙｂ化合
物の１種以上を添加したアルミナ質焼結体では、黒色系
の識別容易な色彩が得られるとともに高周波領域におけ
る誘電損失をアルミナ本体の誘電損失よりも低減できる
上、従来の高純度アルミナ質焼結体よりも機械的特性を
も向上できることを見出し本発明に至った。
【００１１】即ち、本発明の着色アルミナ質焼結体は、
Ｎｂを酸化物換算で０．０５〜５重量％と、Ｙ、Ｙｂの
うち少なくとも１種を酸化物換算で総量０．０２〜５重
量％の割合で含有し、残部がＡｌ2Ｏ3と不可避不純物と
から成るもので、１ＧＨｚ以上の高周波領域に用いられ
る回路基板絶縁基体用に用いられることを特徴とするも
ので、特に測定周波数８．５ＧＨｚにおける誘電損失が
４．２×１０ -4 以下であることが望ましく、さらにその
製造方法としては、Ｎｂ又はＮｂ化合物を酸化物換算で
０．０５〜５重量％と、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合
物のうち少なくとも１種を酸化物換算で総量０．０２〜
５重量％の割合で含有し、残部がＡｌ2Ｏ3から成る成形
体を、還元性雰囲気中で焼成することを特徴とするもの
である。
Ｎｂを酸化物換算で０．０５〜５重量％と、Ｙ、Ｙｂの
うち少なくとも１種を酸化物換算で総量０．０２〜５重
量％の割合で含有し、残部がＡｌ2Ｏ3と不可避不純物と
から成るもので、１ＧＨｚ以上の高周波領域に用いられ
る回路基板絶縁基体用に用いられることを特徴とするも
ので、特に測定周波数８．５ＧＨｚにおける誘電損失が
４．２×１０ -4 以下であることが望ましく、さらにその
製造方法としては、Ｎｂ又はＮｂ化合物を酸化物換算で
０．０５〜５重量％と、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合
物のうち少なくとも１種を酸化物換算で総量０．０２〜
５重量％の割合で含有し、残部がＡｌ2Ｏ3から成る成形
体を、還元性雰囲気中で焼成することを特徴とするもの
である。
【００１２】
【作用】本発明の着色アルミナ質焼結体及びその製造方
法は、従来から焼結助剤として用いられるＳｉＯ2 、Ｃ
ａＯ、ＭｇＯ等を添加しない高純度アルミナ質焼結体で
あり、これに着色成分としてＮｂ又はＮｂ化合物を酸化
物換算で０．０５〜５重量％添加し、それにＹ、Ｙｂ、
Ｙ化合物、Ｙｂ化合物うち少なくとも１種を酸化物換算
で総量０．０２〜５重量％の割合で添加含有させること
により、高周波領域で従来の高純度アルミナ質焼結体よ
りも誘電損失の低減化と、高強度化を図ることができる
と同時に、識別可能な色彩に着色させることができる。
法は、従来から焼結助剤として用いられるＳｉＯ2 、Ｃ
ａＯ、ＭｇＯ等を添加しない高純度アルミナ質焼結体で
あり、これに着色成分としてＮｂ又はＮｂ化合物を酸化
物換算で０．０５〜５重量％添加し、それにＹ、Ｙｂ、
Ｙ化合物、Ｙｂ化合物うち少なくとも１種を酸化物換算
で総量０．０２〜５重量％の割合で添加含有させること
により、高周波領域で従来の高純度アルミナ質焼結体よ
りも誘電損失の低減化と、高強度化を図ることができる
と同時に、識別可能な色彩に着色させることができる。
【００１３】これにより、特に１ＧＨｚ以上の高周波領
域に用いられる配線基板や高速処理ＬＳＩ等の半導体素
子収納用パッケージや高周波用の各種回路基板の絶縁基
体として有効に利用できる。
域に用いられる配線基板や高速処理ＬＳＩ等の半導体素
子収納用パッケージや高周波用の各種回路基板の絶縁基
体として有効に利用できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明のアルミナ質焼結体は、Ｎ
ｂ又はＮｂ化合物を酸化物換算で０．０５〜５重量％、
特に０．１〜２重量％と、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化
合物のうち少なくとも１種を酸化物換算で総量０．０２
〜５重量％、特に０．０５〜２重量％の割合で含有し、
残部がＡｌ2 Ｏ3 と不可避不純物とから成るものであ
る。
ｂ又はＮｂ化合物を酸化物換算で０．０５〜５重量％、
特に０．１〜２重量％と、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化
合物のうち少なくとも１種を酸化物換算で総量０．０２
〜５重量％、特に０．０５〜２重量％の割合で含有し、
残部がＡｌ2 Ｏ3 と不可避不純物とから成るものであ
る。
【００１５】ここで、前記Ｎｂ又はＮｂ化合物の含有量
が酸化物換算で０．０５重量％よりも少ないと黒色系の
着色効果又は誘電損失の低減効果が小さく、５重量％を
越えると誘電損失が大きくなり、誘電損失の低減という
点からは０．１〜２重量％がより望ましい。
が酸化物換算で０．０５重量％よりも少ないと黒色系の
着色効果又は誘電損失の低減効果が小さく、５重量％を
越えると誘電損失が大きくなり、誘電損失の低減という
点からは０．１〜２重量％がより望ましい。
【００１６】また、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合物の
うち少なくとも１種の含有量が酸化物換算で総量が０．
０２重量％よりも少なくなると誘電損失の低減効果が小
さく、５重量％を越えるとアルミナ質焼結体の焼結性が
悪化するとともに誘電損失も大きくなり、機械的特性も
低下する。
うち少なくとも１種の含有量が酸化物換算で総量が０．
０２重量％よりも少なくなると誘電損失の低減効果が小
さく、５重量％を越えるとアルミナ質焼結体の焼結性が
悪化するとともに誘電損失も大きくなり、機械的特性も
低下する。
【００１７】従って、前記総量は０．０２〜５重量％に
特定され、諸特性を満足する点からは０．０５〜２重量
％であることがより望ましい。
特定され、諸特性を満足する点からは０．０５〜２重量
％であることがより望ましい。
【００１８】尚、Ａｌ2 Ｏ3 に対して、一般に焼結助剤
として添加されるＭｇＯ、ＳｉＯ2、ＣａＯ等は、高周
波領域での損失を著しく増加させる場合があるため、本
発明の着色アルミナ質焼結体では、これら焼結助剤等を
実質的に含まず、Ｎｂ、Ｎｂ化合物及びＹ、Ｙｂ、Ｙ化
合物、Ｙｂ化合物以外の成分としては、Ａｌ2 Ｏ3 と不
可避不純物から成るものである。
として添加されるＭｇＯ、ＳｉＯ2、ＣａＯ等は、高周
波領域での損失を著しく増加させる場合があるため、本
発明の着色アルミナ質焼結体では、これら焼結助剤等を
実質的に含まず、Ｎｂ、Ｎｂ化合物及びＹ、Ｙｂ、Ｙ化
合物、Ｙｂ化合物以外の成分としては、Ａｌ2 Ｏ3 と不
可避不純物から成るものである。
【００１９】ここにいう不可避不純物とは、出発原料中
に含有される不可避不純物又は製造工程中に不可避的に
混入する成分であって、これらは総量で０．２重量％以
下であることが望ましい。
に含有される不可避不純物又は製造工程中に不可避的に
混入する成分であって、これらは総量で０．２重量％以
下であることが望ましい。
【００２０】また、原料粉末として使用するＡｌ2 Ｏ3
としては、良好な高周波特性を得るためには、純度が９
９．９％以上であることが望ましく、平均粒径も焼結性
を高めるためには２．０μｍ以下であることが望まし
い。
としては、良好な高周波特性を得るためには、純度が９
９．９％以上であることが望ましく、平均粒径も焼結性
を高めるためには２．０μｍ以下であることが望まし
い。
【００２１】本発明における着色アルミナ質焼結体の製
造に際し、主成分のＡｌ2 Ｏ3 粉末に対して、Ｎｂ又は
Ｎｂ化合物と、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合物のうち
少なくとも１種を所定量添加する場合には、前記Ｎｂ化
合物として、酸化物、あるいは焼成工程により前記のよ
うな酸化物となり得る酸化物等の他、炭化物、窒化物、
臭化物等を用いても良く、またＹ化合物、Ｙｂ化合物も
酸化物の他、炭化物、窒化物、フッ化物等を用いても良
い。
造に際し、主成分のＡｌ2 Ｏ3 粉末に対して、Ｎｂ又は
Ｎｂ化合物と、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合物のうち
少なくとも１種を所定量添加する場合には、前記Ｎｂ化
合物として、酸化物、あるいは焼成工程により前記のよ
うな酸化物となり得る酸化物等の他、炭化物、窒化物、
臭化物等を用いても良く、またＹ化合物、Ｙｂ化合物も
酸化物の他、炭化物、窒化物、フッ化物等を用いても良
い。
【００２２】次に、前記組成物に有機バインダー等を添
加して十分に混合した後、所望の成形手段、例えば金型
プレス法、冷間静水圧プレス法、押し出し成形法、ドク
ターブレード法等により任意の形状に成形し、これを望
ましくは水蒸気含有雰囲気中で熱処理して有機バインダ
ーの除去を行った後、焼成する。
加して十分に混合した後、所望の成形手段、例えば金型
プレス法、冷間静水圧プレス法、押し出し成形法、ドク
ターブレード法等により任意の形状に成形し、これを望
ましくは水蒸気含有雰囲気中で熱処理して有機バインダ
ーの除去を行った後、焼成する。
【００２３】前記焼成は、還元性雰囲気、１２００〜１
７００℃の温度で０．５〜２４時間程度焼成することに
より、相対密度が９７％以上の緻密質な黒色系に着色さ
れた識別効果に優れた高純度の着色アルミナ質焼結体を
得ることができる。
７００℃の温度で０．５〜２４時間程度焼成することに
より、相対密度が９７％以上の緻密質な黒色系に着色さ
れた識別効果に優れた高純度の着色アルミナ質焼結体を
得ることができる。
【００２４】
【実施例】原料粉末として、純度が９９．９％、平均粒
径が２μｍのＡｌ2 Ｏ3 粉末に対して、添加物としてＮ
ｂ、Ｎｂ化合物、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合物を表
１に示すような割合となるように秤量後、ボールミルで
混合し、これを乾燥造粒後、１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧
力でプレス成形し、次いで表１に示すような条件で焼成
した。
径が２μｍのＡｌ2 Ｏ3 粉末に対して、添加物としてＮ
ｂ、Ｎｂ化合物、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合物を表
１に示すような割合となるように秤量後、ボールミルで
混合し、これを乾燥造粒後、１０００ｋｇ／ｃｍ2 の圧
力でプレス成形し、次いで表１に示すような条件で焼成
した。
【００２５】尚、Ａｌ2 Ｏ3 単味及び添加物として従来
のＷＯ3 やＭｏＯ3 を用いて作製したアルミナ質焼結体
を比較例とした。
のＷＯ3 やＭｏＯ3 を用いて作製したアルミナ質焼結体
を比較例とした。
【００２６】
【表１】
【００２７】得られた焼結体に対して色調を判定すると
ともに、該焼結体よりＪＩＳ規格のＲ１６０１に準じて
抗折試験片を切り出して３点曲げ抗折強度を、またアル
キメデス法により相対密度を算出した。
ともに、該焼結体よりＪＩＳ規格のＲ１６０１に準じて
抗折試験片を切り出して３点曲げ抗折強度を、またアル
キメデス法により相対密度を算出した。
【００２８】また、各試料を直径１５ｍｍ、厚さ７．５
ｍｍの円柱体形状に加工し、両端面を銅板で挟み、誘電
体共振法により測定周波数を８．５ＧＨｚとした場合の
ＴＥ０１１モードの共振特性条件で比誘電率及び誘電正
接を測定し、誘電率及び誘電損失を評価した。
ｍｍの円柱体形状に加工し、両端面を銅板で挟み、誘電
体共振法により測定周波数を８．５ＧＨｚとした場合の
ＴＥ０１１モードの共振特性条件で比誘電率及び誘電正
接を測定し、誘電率及び誘電損失を評価した。
【００２９】
【表２】
【００３０】表の結果から明らかなように、比較例の試
料番号１では、白色でしかもボイドが認められ、誘電損
失も１５×１０-4と大で、抗折強度も３００ＭＰａと低
いものであり、これに焼結助材と着色剤としてＷＯ3 や
ＭｏＯ3 を添加した試料番号２、３の従来の着色アルミ
ナ質焼結体でも誘電損失は大きいものであった。
料番号１では、白色でしかもボイドが認められ、誘電損
失も１５×１０-4と大で、抗折強度も３００ＭＰａと低
いものであり、これに焼結助材と着色剤としてＷＯ3 や
ＭｏＯ3 を添加した試料番号２、３の従来の着色アルミ
ナ質焼結体でも誘電損失は大きいものであった。
【００３１】また、同じくＮｂ成分が酸化物換算で本発
明の範囲外である試料番号４、９ではいずれも誘電損失
が大となり、また、Ｙ、Ｙｂ成分の酸化物換算の添加量
が本発明の範囲外である試料番号１０、１７、１８は、
いずれも焼結が不十分となり磁器強度が低下し、誘電損
失も大である。
明の範囲外である試料番号４、９ではいずれも誘電損失
が大となり、また、Ｙ、Ｙｂ成分の酸化物換算の添加量
が本発明の範囲外である試料番号１０、１７、１８は、
いずれも焼結が不十分となり磁器強度が低下し、誘電損
失も大である。
【００３２】これに対して、本発明に基づき着色剤とし
てＮｂ成分を含有させ、更にこれにＹ、Ｙｂ成分を含有
させることにより、識別可能な着色ができ、かつ磁器強
度も向上し、誘電損失も大幅に低下する結果が得られ
た。
てＮｂ成分を含有させ、更にこれにＹ、Ｙｂ成分を含有
させることにより、識別可能な着色ができ、かつ磁器強
度も向上し、誘電損失も大幅に低下する結果が得られ
た。
【００３３】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の着色アルミ
ナ質焼結体及びその製造方法は、高周波領域で従来の高
純度アルミナ質焼結体よりも誘電損失の低減化と、高強
度化を実現できると同時に、黒色系の識別効果に優れた
色調が得られ、特に１ＧＨｚ以上の高周波領域に用いら
れる配線基板や高速処理ＬＳＩ用の半導体素子収納用パ
ッケージや高周波用の各種回路基板等の絶縁基体として
有効に利用できる。
ナ質焼結体及びその製造方法は、高周波領域で従来の高
純度アルミナ質焼結体よりも誘電損失の低減化と、高強
度化を実現できると同時に、黒色系の識別効果に優れた
色調が得られ、特に１ＧＨｚ以上の高周波領域に用いら
れる配線基板や高速処理ＬＳＩ用の半導体素子収納用パ
ッケージや高周波用の各種回路基板等の絶縁基体として
有効に利用できる。
Claims (3)
- 【請求項１】Ｎｂを酸化物換算で０．０５〜５重量％
と、Ｙ、Ｙｂのうち少なくとも１種を酸化物換算で総量
０．０２〜５重量％の割合で含有し、残部がＡｌ2Ｏ3と
不可避不純物とから成ることを特徴とする１ＧＨｚ以上
の高周波領域に用いられる回路基板絶縁基体用の着色ア
ルミナ質焼結体。 - 【請求項２】測定周波数８．５ＧＨｚにおける誘電損失
が４．２×１０ -4 以下であることを特徴とする請求項１
または請求項２記載の着色アルミナ質焼結体。 - 【請求項３】 Ｎｂ又はＮｂ化合物を酸化物換算で０．０
５〜５重量％と、Ｙ、Ｙｂ、Ｙ化合物、Ｙｂ化合物のう
ち少なくとも１種を酸化物換算で総量０．０２〜５重量
％の割合で含有し、残部がＡｌ2Ｏ3から成る成形体を、
還元性雰囲気中で焼成することを特徴とする１ＧＨｚ以
上の高周波領域に用いられる回路基板絶縁基体用の着色
アルミナ質焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28700796A JP3472419B2 (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | 着色アルミナ質焼結体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28700796A JP3472419B2 (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | 着色アルミナ質焼結体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10130049A JPH10130049A (ja) | 1998-05-19 |
| JP3472419B2 true JP3472419B2 (ja) | 2003-12-02 |
Family
ID=17711830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28700796A Expired - Fee Related JP3472419B2 (ja) | 1996-10-29 | 1996-10-29 | 着色アルミナ質焼結体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3472419B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5203313B2 (ja) * | 2008-09-01 | 2013-06-05 | 日本碍子株式会社 | 酸化アルミニウム焼結体及びその製法 |
| EP3733629A4 (en) * | 2017-12-27 | 2021-09-15 | Showa Denko K.K. | ALUMINA SINTERED BODY PRECURSOR, ALUMINA SINTERED BODY PRODUCTION PROCESS, ABRASIVE GRAIN PRODUCTION PROCESS AND ALUMINA SINTERED BODY |
-
1996
- 1996-10-29 JP JP28700796A patent/JP3472419B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10130049A (ja) | 1998-05-19 |
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