JP3631589B2 - 誘電体磁器組成物および積層体 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は、高周波領域で使用する電子回路基板や電子部品等に適用される、低温焼成可能な誘電体磁器組成物および、例えば、共振器、コンデンサ、フィルタ等を内蔵した基板、電子部品等の導体を有する積層体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、誘電体材料として各種誘電体セラミックスが、共振器、コンデンサ、フィルタ等の電子部品に使用されている。そして、近年においては、携帯電話をはじめとする移動体通信等の発達および普及に伴い、電子回路基板や電子部品の材料として、誘電体セラミックスの需要が増大しつつある。
【0003】
電子回路や電子部品において、誘電体セラミックスと内部導体を同時焼成するに際しては、従来の誘電体セラミックスの焼成温度が1100℃以上という高温であったため、導体材料としては、比較的高融点であるPt、Pd、W、Mo等が使用されていた。これら高融点の導体材料は導通抵抗が大きいため、従来の電子回路基板において、共振回路やインダクタンスのQ値が小さくなってしまい、導体線路の伝送損失が大きくなる等の問題があった。
【0004】
そこで、係る問題点を解決すべく、導通抵抗の小さいAg、Cu等と同時焼成可能な、低温焼成の誘電体セラミックスが提案されている。例えば、本出願人が先に出願した特開平8−208330号公報に開示された誘電体磁器組成物は、MgO、CaO、TiO2 とB2 O3 、Li2 CO3 からなるものであり、900〜1050℃の比較的低温でAgやCu等の内部導体と同時に焼成でき、誘電体磁器の比誘電率εrが18以上、測定周波数7GHzでのQ値が2000以上、かつ共振周波数の温度係数τfが±40以内の優れた特性を有し、高周波電子部品の小型化と高性能化を実現できるものであった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特開平8−208330号公報に開示された誘電体磁器組成物は、焼結における収縮開始温度が845〜960℃と高温であるため、収縮開始温度が低温であるAgやCuを主成分とする導体材料との収縮挙動のマッチングが悪く、焼成された基板が反る、歪む等の問題があった。
【0006】
即ち、導体としては、Agおよび/またはCuを主成分とするもの、例えば、Ag、Cu、あるいはAg、Cuに対してガラス成分やセラミック成分、Pt、Pd等の金属を添加したものがあるが、これらの導体は、焼成時における収縮開始温度が高くとも650℃程度であるため、上記誘電体磁器組成物の収縮開始温度との差が大きく、これにより、基板が変形する等の問題があった。
【0007】
本発明は上記課題に鑑みなされたもので、誘電体磁器組成物の収縮開始温度を低くして、導体の収縮開始温度に近づけることができ、AgやCuを主成分とする導体と同時焼成した場合でも反りや歪みのない磁器を得ることができる誘電体磁器組成物および積層体を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の誘電体磁器組成物は、金属元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合酸化物であって、これらの金属元素酸化物の重量比による組成式をaMgO・bCaO・cTiO2と表した時、前記a、b、cが25.0≦a≦35.0、0.3≦b≦7.0、60.0≦c≦70.0、a+b+c=100を満足する主成分と、該主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2O3換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有してなるものである。
【0009】
また、金属元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合酸化物であって、その組成式が(100−x)MgTiO3−xCaTiO3(但し、式中xは重量比を表し、1≦x≦15)で表される主成分と、該主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2O3換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有してなるものである。
【0010】
本発明の積層体は、誘電体層を複数積層してなる誘電基体の内部および/または表面に、Agおよび/またはCuを主成分とする導体を有する積層体であって、前記誘電体層が、上記誘電体磁器組成物からなるものである。
【0011】
【作用】
本発明の誘電体磁器組成物では、900〜1050℃の比較的低温で焼成できるとともに、比誘電率εrやQ値が高く、かつ共振周波数の温度係数τfを比較的小さくすることができ、積層体(高周波電子回路基板や電子部品)の小型化と高性能化を実現できる。
【0012】
そして、本発明の誘電体磁器組成物では、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有せしめたので、焼結過程における収縮開始温度を815℃以下に低下させることができ、導体の収縮開始温度に近づけることができ、基板や電子部品において、Ag、Cuを主成分とする導体と同時焼成した場合でも基板等の反り、歪み等の発生を抑制することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の誘電体磁器組成物は、金属元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合酸化物であって、これらの金属元素酸化物の重量比による組成式をaMgO・bCaO・cTiO2と表した時、前記a、b、cが25.0≦a≦35.0、0.3≦b≦7.0、60.0≦c≦70.0、a+b+c=100を満足する主成分と、該主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2O3換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有してなるものである。
【0014】
本発明において、組成式におけるMgOの重量比aを25≦a≦35、CaOの重量比bを、0.3≦b≦7としたのは、MgOの重量比aが25重量%未満の場合やCaOの重量比bが7重量%を越える場合には、共振周波数の温度係数τfが正に大きくなりすぎてしまうからである。逆に、MgOの重量比aが35重量%を越える場合やCaOの重量比bが0.3重量%未満の場合には、共振周波数の温度係数τfが負に大きくなりすぎてしまうからである。よって、MgOの重量比aとCaOの重量比bは、25.0≦a≦35.0、0.3≦b≦7.0に特定され、とりわけ誘電体磁器の共振周波数の温度係数τfの観点からは28.0≦a≦34.0、0.4≦b≦6.5が好ましい。
【0015】
さらに、TiO2 の重量比cを60≦c≦70としたのは、TiO2 の重量比cが60重量%未満あるいは70重量%を越える場合にはQ値が低下するからである。よって、TiO2 の重量比cは60≦c≦70に特定され、とりわけ誘電体磁器のQ値の観点から64≦c≦68が好ましい。
【0016】
また、出発原料をMgTiO3とCaTiO3にすることにより、さらにQ値を向上させ、温度係数の制御が容易となる。つまり、(100−x)MgTiO3−xCaTiO3(但し、式中xは重量比を表し、1≦x≦15)で表される主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2O3換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有した場合である。
【0017】
ここで、主成分中のCaTiO3 の重量比を1≦x≦15としたのは、CaTiO3 の重量比が1重量%未満の場合には、共振周波数の温度係数τfがマイナス側に大きくずれ、また、前記重量比が15重量%を越える場合には共振周波数の温度係数τfがプラス側に大きくずれるからである。よって、CaTiO3 の重量比xは1〜15重量%に特定され、とりわけ、誘電体磁器の共振周波数の温度係数τfの観点からは1〜10重量%が好ましい。
【0018】
また、本発明では、上記主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2O3換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物を該アルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有するものである。
【0019】
このように主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2 O3 換算で3〜20重量部添加したのは、B2 O3 の添加量が3重量部未満の場合には1100℃でも焼結せず、AgまたはCuとの同時焼成ができなくなり、逆に20重量部を越える場合には結晶相が変化し、Q値が低下するからである。よって硼素含有化合物の添加量は、主成分に対してB2 O3 換算で3〜20重量部に特定され、とりわけ誘電体磁器のQ値の観点からは3〜9重量部が望ましい。硼素含有化合物としては、金属硼素、B2 O3 、コレマナイト、CaB2 O4 等がある。
【0020】
また、アルカリ金属含有化合物を該アルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部添加したのは、アルカリ金属含有化合物、例えばリチウム含有化合物の添加量が1重量部未満の場合には1100℃でも焼結せず、AgまたはCuとの同時焼成ができなくなり、逆に、10重量部を越える場合には結晶相が変化し、Q値が低下するからである。よって、アルカリ金属含有化合物の添加量は、主成分100重量部に対してアルカリ金属炭酸塩換算、例えばLi2 CO3 換算で1〜10重量部に特定され、とりわけ誘電体磁器のQ値の観点からは3〜7重量部が望ましい。
【0021】
アルカリ金属としては、Li、Na、Kを例示することができ、この中でもLiが特に望ましい。アルカリ金属含有化合物としては、上記アルカリ金属の炭酸塩、酸化物等を例示することができる。
【0022】
本発明の誘電体磁器組成物では、主成分100重量部に対して、さらにSr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有するものである。これらが0.2重量部未満の場合には、誘電体磁器の焼結過程における収縮開始温度が約840℃程度と高く、添加の効果が得られないからである。一方、該添加物が6重量部を超えると、誘電体磁器の比誘電率εrあるいはQ値が低下するからである。誘電体磁器の比誘電率εrあるいはQ値の観点からは、合計0.7〜4重量部が望ましい。
【0023】
尚、本発明においては、誘電特性に悪影響を及ぼさない範囲でSi、Zn、Mn、Zr等の酸化物を添加含有しても良く、この場合さらに低温焼成が可能となる。
【0024】
本発明の誘電体磁器組成物は、例えば、MgCO3、CaCO3、TiO2の各原料粉末を所定量となるように秤量し、混合粉砕し、これを1100〜1300℃の温度で大気中で1〜3時間仮焼する。得られた仮焼物に、例えばB2O3とLi2CO3の各粉末、およびSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y3O3のうち少なくとも1種の粉末を所定量となるように秤量し、混合粉砕し、プレス成形やドクターブレード法等の周知の方法により所定形状に成形した後、大気中等の酸化性雰囲気または窒素雰囲気中等の非酸化性雰囲気において、900〜1050℃において0.5〜2.0時間焼成することにより得られる。
【0025】
また、本発明の積層体は、誘電体層を複数積層してなる誘電基体の内部および/または表面に、Agおよび/またはCuを主成分とする導体を有するものであり、誘電体層として、上記した誘電体磁器組成物を用いたものである。
【0026】
導体としては、Agおよび/またはCuを主成分とするもの、例えば、Ag、Cu、あるいはAg、Cuに対してガラス成分やセラミック成分、Pt、Pd等の金属を添加したものも含まれる。これらの金属に対してガラス成分やセラミック成分を添加した導体は内部導体として、また、Ptを添加した導体は表面導体として好適に用いられる。このような導体は、焼成時における収縮開始温度は高くとも650℃程度である。
【0027】
本発明の誘電体磁器組成物は、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有することにより、収縮開始温度を815℃以下にすることができるため、導体の収縮開始温度に近づけることができる。
【0028】
【実施例】
実施例1
先ず、純度99%以上のMgCO3 、CaCO3 、TiO2 の各原料粉末を表1〜3に示す量となるように秤量し、該原料粉末に媒体として純水を加えて24時間、ZrO2 ボールを用いたボールミルにて混合した後、該混合物を乾燥し、次いで該乾燥物を大気中において1200℃の温度で1時間仮焼した。
【0029】
得られた仮焼物にB2 O3 、Li2 CO3 、SrCO3 、Al2 O3 、SiO2 、WO3 、Y2 O3 の粉末を表1〜3に示す割合となるように秤量し、上記ボールミルにて24時間、混合した後、バインダーとしてポリビニルアルコールを1重量%加えてから造粒し、該造粒物を約1t/cm2 の加圧力でプレス成形して直径約12mm、高さ10mmの円柱状の成形体を作製した。
【0030】
【表1】
【0031】
【表2】
【0032】
【表3】
【0033】
その後、前記成形体を大気中、400℃の温度で4時間加熱して脱バインダー処理し、引き続き大気中において表4〜6に示す各温度で60分間焼成した。得られた円柱体の両端面を平面研磨し、誘電体特性評価用試料を作製した。尚、試料No.54〜59は参考試料である。
【0034】
誘電体特性の評価は、前記評価用試料を用いて誘電体円柱共振器法により、共振周波数を6〜8GHzに設定して各試料の比誘電率εrと7GHzにおける1/tanδ、即ちQ値を測定するとともに、−40〜+85℃の温度範囲における共振周波数の温度係数τfを測定した。
【0035】
【表4】
【0036】
【表5】
【0037】
【表6】
【0038】
表4〜6によれば、本発明の誘電体磁器組成物では、焼結過程における収縮の開始温度が815℃以下、焼成温度が900〜1050℃と比較的低温であり、さらに、比誘電率εrが18以上、7GHzにおけるQ値が2000以上、かつ共振周波数の温度係数τfが±40以内の優れた特性を有することができることがわかる。尚、試料No.15、16はLi2 CO3 の代わりにNa2 CO3 を用いた。
【0039】
実施例2
先ず、純度99%以上のMgTiO3 、CaTiO3 の各原料粉末を表7、8に示す量となるように秤量し、該原料粉末に媒体として純水を加えて24時間、ZrO2 ボールを用いたボールミルにて混合した後、該混合物を乾燥し、次いで該乾燥物を大気中1200℃の温度で1時間仮焼した。
【0040】
得られた仮焼物にB2 O3 、Li2 CO3 、SrCO3 、Al2 O3 、SiO2 、WO3 、Y2 O3 の粉末を表7、8に示す割合となるように秤量し、上記ボールミルにて24時間、混合した後、バインダーとしてポリビニルアルコールを1重量%加えてから造粒し、該造粒物を約1t/cm2 の加圧力でプレス成形して直径約12mm、高さ10mmの円柱状の成形体を作製した。
【0041】
【表7】
【0042】
【表8】
【0043】
その後、前記成形体を大気中、400℃の温度で4時間加熱して脱バインダー処理し、引き続き表9、10に示す各温度で大気中60分間焼成した。かくして得られた円柱体の両端面を平面研磨し、誘電体特性評価用試料を作製した。誘電体特性の評価は、上記と同様にして求め、その結果を表9、10に記載した。尚、試料No.36〜41は、参考試料である。
【0044】
【表9】
【0045】
【表10】
【0046】
この表9、10によれば、本発明の誘電体磁器組成物では、焼結過程における収縮の開始温度が815℃以下、焼成温度が1050℃以下と比較的低温であり、さらに、比誘電率εrが18以上、Q値が3000以上、かつ共振周波数の温度係数τfが±30以内の優れた特性を有することがわかる。
【0047】
【発明の効果】
本発明の誘電体磁器組成物では、焼結過程における収縮の開始温度を815℃以下と導体の収縮開始温度に近づけることができ、また、焼成温度も1050℃以下と比較的低温であるため、AgやCu等と同時に焼成でき、かつ、同時焼成したとしても反りや歪みのない積層体(基板や電子部品)を得ることができる。
【0048】
さらに、高周波領域において高い比誘電率(18以上)を有するとともに、Q値(2000以上)も高く、かつ共振周波数の温度特性(±40以内)にも優れ、高周波電子回路基板や電子部品のより一層の小型化と高性能化が実現できる。
Claims (4)
- 金属元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合酸化物であって、これらの金属元素酸化物の重量比による組成式を
aMgO・bCaO・cTiO2
と表した時、前記a、b、cが
25.0≦a≦35.0
0.3≦b≦ 7.0
60.0≦c≦70.0
a+b+c=100
を満足する主成分と、該主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2O3換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有してなることを特徴とする誘電体磁器組成物。 - 金属元素としてMg、Ca、Tiを含有する複合酸化物であって、その組成式が(100−x)MgTiO3−xCaTiO3(但し、式中xは重量比を表し、1≦x≦15)で表される主成分と、該主成分100重量部に対して、硼素含有化合物をB2O3換算で3〜20重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で1〜10重量部、Sr含有化合物、Al含有化合物、W含有化合物およびY含有化合物のうち少なくとも1種をそれぞれSrCO3、Al 2 O 3 、WO 3 、Y2O3換算で合計0.2〜6重量部含有してなることを特徴とする誘電体磁器組成物。
- 誘電体層を複数積層してなる誘電基体の内部および/または表面に、Agおよび/またはCuを主成分とする導体を有する積層体であって、前記誘電体層が、請求項1記載の誘電体磁器組成物からなることを特徴とする積層体。
- 誘電体層を複数積層してなる誘電基体の内部および/または表面に、Agおよび/またはCuを主成分とする導体を有する積層体であって、前記誘電体層が、請求項2記載の誘電体磁器組成物からなることを特徴とする積層体。
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