JP3420430B2 - 誘電体磁器組成物及び電子部品 - Google Patents

誘電体磁器組成物及び電子部品

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JP3420430B2 JP13518296A JP13518296A JP3420430B2 JP 3420430 B2 JP3420430 B2 JP 3420430B2 JP 13518296 A JP13518296 A JP 13518296A JP 13518296 A JP13518296 A JP 13518296A JP 3420430 B2 JP3420430 B2 JP 3420430B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロ波領域で
使用され、電子回路基板や電子部品等に適用される誘電
体磁器組成物及び、例えば、内部および/または表面に
導体を有する共振器、コンデンサ、フィルタ等の電子部
品に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より誘電体材料として各種誘電体セ
ラミックスが電子回路基板や電子部品等に広く使用され
ており、近年、携帯電話に代表される移動体通信等の高
周波機器の発展と普及に伴い、高周波領域で使用する電
子回路基板や電子部品として誘電体セラミックスが積極
的に利用されるようになってきた。
【0003】金属元素として希土類元素(Ln),A
l,CaおよびTiを含み、これらの成分のモル比によ
る組成式でaLn2 x ・bAl2 3 ・cCaO・d
TiO2 と表わされる誘電体磁器組成物が、特開平8−
77829号公報に開示されており、この誘電体磁器組
成物は、Q値が最大5800程度(1GHz)の高Q値
を有している。
【0004】しかしながら、この誘電体磁器組成物は1
500〜1700℃で焼成する必要があるため、このよ
うな組成の誘電体セラミックスからなる電子回路基板等
と導体を同時焼成するに際しては、導体が誘電体セラミ
ックスの焼成温度で溶融することがないように、該導体
には、誘電体セラミックスの焼成温度よりも高い融点を
有する、例えば、Pt、Pd、W、Mo等の金属が用い
られていた。
【0005】しかしながら、前記金属は導通抵抗が大き
いことから、従来の電子回路基板では、共振回路のQ値
が小さくなってしまい、導体線路の伝送損失が大きくな
る等の問題があった。
【0006】そこで係る問題を解消するために導通抵抗
の小さいAgやCu等の金属を導体として採用し、低温
で同時焼成できる誘電体セラミックスが種々提案されて
いる。更に、最近の高周波電子回路基板や電子部品に対
する小型化と高性能化の要求に応えるために、特定の周
波数領域で比誘電率εrを高くすることにより共振器の
小型化を可能とし、また、誘電体セラミックスのQ値を
高くすることにより、共振器のQ値も高くすることがで
きて低損失となることから、各種の複合誘電体が提案さ
れている。
【0007】従来、例えば、特開平4−292460号
公報に開示された誘電体磁器組成物は、アノーサイト−
チタン酸カルシウム系のガラスとTiO2 からなるもの
で、低温焼成できるため導体としてAgやCu等の金属
と同時焼成ができるものであった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記誘
電体磁器組成物は、導体として使用するAgやCu等の
金属と同時焼成できるものの、誘電体セラミックスのQ
値は6GHzの測定周波数で最大330程度(1GHz
換算では2000程度)と低く、比誘電率εrが4〜6
GHzの高周波領域の測定では16未満と低く、高周波
電子回路基板や電子部品の小型化、高性能化には限界が
あるという課題があった。
【0009】また、上記したaLn2 x ・bAl2
3 ・cCaO・dTiO2 で表わされる誘電体磁器組成
物については、上記したように高Q値を有するものの、
焼成温度が1500〜1700℃と高く、一方ガラス等
を添加して低温焼成化を図った場合は、Q値等の特性が
劣化するという課題があった。
【0010】
【発明の目的】本発明は上記課題に鑑みなされたもの
で、高Q値を維持したまま、900〜1050℃の比較
的低温でAgやCu等の導体金属と同時に焼成でき、高
周波電子回路基板や電子部品の小型化と高性能化を実現
できる誘電体磁器組成物および電子部品を提供すること
を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の誘電体磁器組成
物は、金属元素として希土類元素(Ln),Al,Ca
およびTiを含有する複合酸化物であって、これらのモ
ル比による組成式をaLn2 x ・bAl2 3 ・cC
aO・dTiO2 と表した時、a, b, c, dおよびx
の値が、0.056≦a≦0.214、0.056≦b
≦0.214、0.286≦c≦0.500、0.23
0<d<0.470、3≦x≦4、a+b+c+d=1
を満足する主成分100重量部に対して、ホウ素含有化
合物をB2 3 換算で7〜30重量部、アルカリ金属含
有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で7〜20重量部添
加含有してなるものである。
【0012】また、本発明の電子部品は、誘電体磁器
と、該誘電体磁器の内部および/または表面に形成され
た導体とを具備する電子部品であって、前記誘電体磁器
が、金属元素として希土類元素(Ln),Al,Caお
よびTiを含有する複合酸化物であって、これらのモル
比による組成式をaLn2 x ・bAl2 3 ・cCa
O・dTiO2 と表した時、a, b, c, dおよびxの
値が、0.056≦a≦0.214、0.056≦b≦
0.214、0.286≦c≦0.500、0.230
<d<0.470、3≦x≦4、a+b+c+d=1を
満足する主成分100重量部に対して、ホウ素含有化合
物をB2 3 換算で7〜30重量部、アルカリ金属含有
化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で7〜20重量部添加
含有してなり、かつ、前記導体が、AgまたはCuを主
成分とするものである。
【0013】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、誘電体セラミ
ックスの高Q値を維持したまま、900〜1050℃の
比較的低温でAgやCu等の導体金属と同時に焼成で
き、高周波電子回路基板や電子部品の小型化と高性能化
を実現できる。
【0014】そして、本発明においては、硼素含有化合
物とアルカリ金属含有化合物を同時に含有するものであ
るが、これは、上記主成分に対して硼素含有化合物のみ
を配合した場合には、その配合量が少ないと焼成温度を
十分に低下させることができず、AgやCuの融点温度
以下の温度で焼結させることができない。
【0015】また、配合量が多いと焼結温度は低下する
が、硼素含有化合物は、焼成時等の高温下で主成分のL
n−Al−Ca−Tiからなる高Q値の結晶相と反応す
るので、配合量が多すぎた場合は、焼成後において未反
応のLn−Al−Ca−Tiからなる高Q値の結晶相の
残存量が少なくなり、高いQ値を維持することができな
い。従って、硼素含有化合物のみを添加した場合には、
低い焼結温度と高周波領域における誘電特性が共に優れ
たものを得ることができないからである。
【0016】即ち、硼素含有化合物のみを添加含有した
場合は、その添加含有量がB2 3換算で7重量部未満
では焼結温度が1050℃以下にはならない。また、B
2 3 換算で30重量部よりも多い場合には焼結温度を
1050℃以下に低下できるが、硼素含有化合物は焼成
時等高温下において上述したようにLn−Al−Ca−
Tiからなる高Q値の結晶相と反応するため、Q値が低
下してしまうからである。
【0017】この組成物の場合、硼素含有化合物の添加
による組成物の焼結温度低下効果と焼成後の磁器組成物
の誘電特性向上効果とは背反関係にあり、硼素含有化合
物のみを添加した組成物では、低い焼結温度と高いQ値
等の優れた誘電特性とを共に備えた組成物を得ることが
困難である。
【0018】一方、主成分にLi,Na等のアルカリ金
属含有化合物のみを添加した場合には、たとえ添加量を
増加させたとしても、組成物の焼結温度を低下させるこ
とが殆どできず、1050℃以下で焼結できる組成物を
得ることができない。
【0019】これに対して、硼素含有化合物とアルカリ
金属含有化合物とを、各々特定量比で組み合わせ添加配
合した本発明の組成物では、硼素含有化合物とLn−A
l−Ca−Tiからなる高Q値の結晶相との過度の反応
が抑制され、かつ、硼素含有化合物のみの添加の場合と
比較してさらに焼結温度を低下させることができると同
時にQ値の低下を抑制できるため、AgまたはCuを主
成分とする金属導体との同時焼成が可能となる。
【0020】
【発明の実施の形態】本発明の誘電体磁器組成物は、モ
ル比による組成式をaLn2 x ・bAl23 ・cC
aO・dTiO2 と表した時、a, b, c, dおよびx
の値が一定の値である主成分100重量部に対して、ホ
ウ素含有化合物およびアルカリ金属含有化合物を所定量
含有するものである。
【0021】本発明において、Ln2 x のモル比aを
0.056≦a≦0.214に設定したのは、0.05
6よりも小さい場合、また0.214よりも大きい場合
はQ値が低下するためである。Q値を向上するという観
点から、特に0.078≦a≦0.1166とすること
が好ましい。Lnとしては、Sc,Y,La,Ce,P
r,Nd,Sm,Eu,Gd,Tb,Dy,Ho,E
r,Yb等があるが、これらのうちでもNdが最も望ま
しい。
【0022】Al2 3 のモル比bを0.056≦b≦
0.214に設定したのは、0.056よりも小さい場
合はQ値の低下、もしくは焼結性が悪く、また0.21
4よりも大きい場合はQ値が低下するためである。Q値
を向上するという観点から、特に0.078≦b≦0.
1166とすることが好ましい。
【0023】CaOのモル比cを0.286≦c≦0.
500に設定したのは、0.286よりも小さい場合
や、0.500よりも大きい場合はQ値が低下するため
である。Q値を向上するという観点から、特に0.39
0≦c≦0.47とすることが好ましい。
【0024】TiO2 のモル比dを0.230<d<
0.470に設定したのは、0.23以下の場合や、
0.470以上の場合はQ値が低下するためである。Q
値を向上するという観点から特に0.340≦d≦0.
422とすることが好ましい。
【0025】本発明の誘電体磁器組成物は、主成分10
0重量部に対して、ホウ素含有化合物をB2 3 換算で
7〜30重量部、アルカリ金属含有化合物をアルカリ金
属炭酸塩換算で7〜20重量部添加含有してなるもので
あるが、このように主成分100重量部に対して、ホウ
素含有化合物をB2 3 換算で7〜30重量部添加した
のは、B2 3 の添加量が7重量部未満の場合には11
00℃でも焼結せず、AgまたはCuとの同時焼成がで
きなくなり、逆に30重量部を超える場合には結晶相が
変化し、磁器特性が劣化するからである。よって、ホウ
素含有化合物の添加量は、主成分100重量部に対して
2 3 換算で7〜30重量部に特定され、とりわけ誘
電体磁器のQ値の観点からは10〜25重量部が望まし
い。ホウ素含有化合物としては、金属ホウ素、B
2 3 、コレマナイト、CaB2 4 等がある。
【0026】また、アルカリ金属含有化合物をアルカリ
金属炭酸塩換算で7〜20重量部添加含有したのは、ア
ルカリ金属含有化合物の添加含有量が7重量部未満の場
合には1100℃でも焼結せず、AgまたはCuとの同
時焼成ができなくなり、逆に20重量部を超える場合に
は結晶相が変化し、磁器特性が劣化するからである。
【0027】よって、アルカリ金属含有化合物の添加含
有量は、主成分100重量部に対してアルカリ金属炭酸
塩換算で7〜20重量部に特定され、とりわけ誘電体磁
器のQ値の観点からは10〜17重量部が望ましい。
【0028】アルカリ金属としては、Li,Na,Kが
あるが、これらのうちでも低温焼成化および高Q値とい
う点からLiが最も望ましい。
【0029】本発明においては、特に、主成分100重
量部に対して、硼素含有化合物をB2 3 換算で7〜3
0重量部、アルカリ金属含有化合物を該アルカリ金属炭
酸塩換算で7〜20重量部、B2 3 換算での硼素含有
化合物とアルカリ金属炭酸塩換算でのアルカリ金属含有
化合物の合量を10重量部以上とすることにより、焼結
温度をより低下させることができ、Agを主成分とする
内部導体と同時に焼成することができる。
【0030】また、本発明においては、St,Zr,S
i,Hf等の不可避不純物が存在することがある。ま
た、誘電体特性に悪影響を及ぼさない範囲でSi、Z
n、Mn等の酸化物を添加しても良く、この場合、更に
低温焼成が可能となる。
【0031】本発明の誘電体磁器組成物は、例えば、純
度99%以上のNd2 3 、Al23 、CaO、Ti
2 の各原料粉末を所定量となるように秤量し、混合粉
砕し、これを大気中等の酸化性雰囲気において1000
〜1300℃の温度で0.5〜5時間仮焼する。得られ
た仮焼物にB2 3 , Li2 CO3 の各粉末を所定量と
なるように秤量し、混合粉砕し、プレス成形等の周知の
方法により成形した後、大気中において脱バインダー処
理し、この後、大気中等の酸化性雰囲気または窒素雰囲
気中等の非酸化性雰囲気において、900〜1050℃
において0.5〜2.0時間焼成することにより得られ
る。
【0032】本発明の電子部品は、誘電体磁器と、該誘
電体磁器の内部および/または表面に形成された導体と
を具備する電子部品であって、誘電体磁器が前述した誘
電体磁器組成物により形成し、導体がAgまたはCuを
主成分とするものである。AgまたはCuを主成分とす
るものとは、AgまたはAgを含む合金や、Cuまたは
Cuを含む合金を主成分とするものである。電子部品の
みでなく、誘電体磁器と、該誘電体磁器の内部および/
または表面に形成された導体とを具備する基板において
も、前記誘電体磁器として本発明の誘電体磁器組成物は
有効である。
【0033】上記したような誘電体磁器組成物を、コン
デンサや共振器、フィルター等の電子部品の誘電体層と
して用いることにより、内部導体としてAgやCuを使
用でき、コストを低減できるとともに小型化を促進する
ことができる。
【0034】
【実施例】先ず、純度99%以上の希土類元素酸化物
(Ln2 X )、Al2 3 、CaO、TiO2 の各原
料粉末を、表1,2に示す組成となるように秤量し、該
原料粉末に媒体として純水を加えて24時間、ZrO2
ボールを用いたボールミルにて混合した後、該混合物を
乾燥し、次いで該乾燥物を大気中において1200℃の
温度で2時間仮焼した。
【0035】得られた仮焼物100重量部に対してB2
3 粉末とアルカリ金属炭酸塩粉末を表1,2に示す割
合となるように秤量し、ZrO2 ボールを用いたボール
ミルにて24時間、混合した後、バインダーとしてポリ
ビニルアルコールを1重量%加えてから造粒し、該造粒
物を約1t/cm2 の加圧力でプレス成形して直径約1
0mm、高さ5〜8mmの円柱状の成形体を成形した。
【0036】その後、前記成形体を大気中、400℃の
温度で4時間加熱して脱バインダー処理し、引き続いて
表1に示す各温度で大気中60分間焼成した。かくして
得られた円柱体の両端面を平面研磨し、直径約8mm、
高さ3.5〜6mmの誘電体特性評価用試料を作製し
た。
【0037】誘電体特性の評価は、前記評価用試料を用
いて誘電体円柱共振器法により、共振周波数を6〜11
GHzの範囲で比誘電率εrとQ値を測定するととも
に、−40〜+85℃の温度範囲における共振周波数の
温度係数τfを測定した。Q値は1GHzでのQ値(Q
×f(fは測定周波数))に換算した。これらの結果を
表1,2に記載する。
【0038】尚、共振周波数の温度係数τfは、25℃
の共振周波数を基準にして−40℃および+85℃にお
ける共振周波数の温度係数τfを算出した結果、本発明
の試料についてはすべて0±30ppm/℃を満足して
いた。
【0039】
【表1】
【0040】
【表2】
【0041】これらの表1,2によれば、本発明の誘電
体磁器組成物では、900〜1050℃の比較的低温で
焼成でき、さらに、比誘電率εrが15以上、Qfが4
000以上であり、aLn2 x ・bAl2 3 ・cC
aO・dTiO2 で示される誘電体磁器組成物のQf値
よりも低下するものの、高Q値を維持したまま、900
〜1050℃で低温焼成できることが判る。
【0042】
【発明の効果】本発明の誘電体磁器組成物は、Q値等の
誘電特性を劣化させることなく、900〜1050℃の
比較的低温で焼成することができ、AgやCu等の導体
金属と同時に焼成でき、高周波電子回路基板や電子部品
のより一層の小型化と高性能化が実現できる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−76633(JP,A) 特開 平8−77829(JP,A) 特開 平7−182922(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C04B 35/42 - 35/50 CA(STN) REGISTRY(STN)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】金属元素として希土類元素(Ln),A
    l,CaおよびTiを含有する複合酸化物であって、こ
    れらのモル比による組成式を aLn2 x ・bAl2 3 ・cCaO・dTiO2 と表した時、a, b, c, dおよびxの値が 0.056≦a≦0.214 0.056≦b≦0.214 0.286≦c≦0.500 0.230<d<0.470 3≦x≦4 a+b+c+d=1 を満足する主成分100重量部に対して、ホウ素含有化
    合物をB2 3 換算で7〜30重量部、アルカリ金属含
    有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で7〜20重量部添
    加含有してなることを特徴とする誘電体磁器組成物。
  2. 【請求項2】誘電体磁器と、該誘電体磁器の内部および
    /または表面に形成された導体とを具備する電子部品で
    あって、前記誘電体磁器が、金属元素として希土類元素
    (Ln),Al,CaおよびTiを含有する複合酸化物
    であって、これらのモル比による組成式を aLn2 x ・bAl2 3 ・cCaO・dTiO2 と表した時、a, b, c, dおよびxの値が 0.056≦a≦0.214 0.056≦b≦0.214 0.286≦c≦0.500 0.230<d<0.470 3≦x≦4 a+b+c+d=1 を満足する主成分100重量部に対して、ホウ素含有化
    合物をB2 3 換算で7〜30重量部、アルカリ金属含
    有化合物をアルカリ金属炭酸塩換算で7〜20重量部添
    加含有してなり、かつ、前記導体が、AgまたはCuを
    主成分とすることを特徴とする電子部品。
  3. 【請求項3】誘電体磁器と、該誘電体磁器の内部および
    /または表面に形成された導体とが同時焼成して形成さ
    れることを特徴とする請求項2記載の電子部品。
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