JP2014111524A - アルミナ質焼結体および耐電圧部材ならびにマイクロ波透過窓 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化アルミニウムの含有量を80質量%以上、遷移金属の酸化物およびアルカリ土類金属の酸化物を含み、酸化アルミニウムをαモル%、遷移金属の酸化物をβモル%、アルカリ土類金属の酸化物をγモル%としたとき、α+β+γ=100であり、比率β/γの値を0.5以上2.0以下として、さらに酸化アルミニウムとアルカリ土類金属の酸化物からなるスピネルを含み、このスピネルに遷移金属を含有してなることを特徴とするアルミナ質焼結体とすることにより二次電子放出係数を8以下とすることができ、焼結体の平均結晶粒子径を10μm以下とすることでさらに二次電子放出係数を小さくすることができる。
【選択図】なし
Description
特徴とするものである。
、照射面積0.1〜0.3mm2とする。そして、パルスビームの照射によって放出された二次電子をファラデーカップ内に捕獲して微少電流計で二次電子電流(I2)を測定し、I2の値をI1の値で除することで求めることができる。
たものであり、本実施形態のアルミナ質焼結体によれば、この沿面絶縁破壊到達電圧は6kV/mm以上となるものである。
率β/γの値が0.5以上2.0以下であることが好ましい。比率β/γの値が0.5以上2.0以下
であることにより、さらに二次電子放出係数の値は小さくなり、沿面絶縁破壊到達電圧の値は大きくなる。特に、比率β/γの値は、0.8以上1.5以下であることがより好ましい。また、酸化アルミニウムは、90モル%以上であることが好ましい。
質量%の分散剤とを攪拌機内に入れて混合・攪拌してスラリーとした後、これを噴霧造粒装置(スプレードライヤー)にて造粒し、顆粒を得る。
ることが好ましい。そして、このような熱処理を行なうことにより、二次電子放出係数を8以下にすることができ、沿面絶縁破壊到達電圧の値の大きいアルミナ質焼結体を得ることができる。なお、大気雰囲気で熱処理したときには、付着物が残りやすく、熱処理後において付着物が再付着しやすい。
くとも80質量%以上となるように秤量する。
下となるように秤量することが好ましい。
下の大きさであり、粒度分布における累積80%の粒径が平均粒径の1.75倍以下のものを用いればよい。このように、水酸化マグネシウム粉末よりも平均粒径の小さい酸化アルミニウム粉末を用いることにより、アルミナの活性を促し、アルカリ土類金属(マグネシウム)およびアルミニウムの酸化物の結晶であるスピネルを形成しやすくなる。また、酸化チタン粉末の平均粒径が、水酸化マグネシウム粉末の平均粒径の0.6倍以下の大きさのもの
を用いることにより、アルミナおよびスピネルに遷移金属(チタン)が含まれやすくなる。そして、秤量後の作製方法については、上記同様の方法で行なう。
質量%のPVA(ポリビニールアルコール)と、100質量%の溶媒と、0.2質量%の分散剤とを攪拌機内に入れて混合・攪拌してスラリーとした。その後、このスラリーを噴霧造粒装置(スプレードライヤー)にて造粒して顆粒を得た。
照射面積0.1mm2の条件で、パルスビームの照射によって放出された二次電子をファラ
デーカップ内に捕獲して微少電流計で二次電子電流(I2)を測定し、I2/I1の値を算出して表1に示した。
た電圧を金属電極間の距離である沿面距離(試料厚み5mm)で除すことにより沿面絶縁破壊到達電圧を算出し、表1に示した。
二次電子放出係数が8以下であることから、沿面絶縁破壊到達電圧が6kV/mm以上の良好な値を示し、本実施形態のアルミナ質焼結体は、沿面絶縁破壊が起こりにくいものであることがわかった。
び沿面絶縁破壊到達電圧の値より、800〜1400℃の温度で、5分〜1時間(60分)で熱処
理することが好ましいことがわかった。
電圧を測定する試験を実施した。
〜2.0であることにより、二次電子放出係数の値を小さくすることができ、沿面絶縁破壊
電圧の値を大きくできることがわかった。また、より好ましくは、遷移金属の酸化物およびアルカリ土類金属の酸化物の比率β/γの値が0.8〜1.5であることがよいことがわかった。
した。また、酸化アルミニウム粉末の平均粒径は、表5に示す通りとし、その他の作製方法については、実施例2の試料No.23と同様の方法、二次電子放出係数および沿面絶縁破壊到達電圧については実施例1と同様の方法により測定した。また、試料の平均結晶粒径については、プラニメトリック法にて測定し、二次電子放出係数および沿面絶縁破壊到達電圧の結果とともに表5に示した。なお、試料No.50と試料No.43とは、同じ試料を示すものである。
が少ないことから、信頼性が高く、長期間にわたる使用が可能となることがわかった。
Claims (8)
- アルミナの結晶を含み、該アルミナの含有量が80質量%以上であり、二次電子放出係数が8以下であることを特徴とするアルミナ質焼結体。
- 遷移金属の酸化物およびアルカリ土類金属の酸化物を含むことを特徴とする請求項1に記載のアルミナ質焼結体。
- 前記アルカリ土類金属およびアルミニウムの酸化物の結晶であるスピネルを含み、前記アルミナおよび前記スピネルに遷移金属を含んでいることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のアルミナ質焼結体。
- 前記遷移金属の酸化物が酸化チタンであり、前記アルカリ土類金属の酸化物が酸化マグネシウムであることを特徴とする請求項2または請求項3に記載のアルミナ質焼結体。
- 前記アルミナをαモル%、前記遷移金属の酸化物をβモル%、前記アルカリ土類金属の酸化物をγモル%としたとき、α+β+γ=100であり、比率β/γの値が0.5以上2.0以下であることを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれかに記載のアルミナ質焼結体。
- 平均結晶粒径が10μm以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のアルミナ質焼結体。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のアルミナ質焼結体に電極を備えてなることを特徴とする耐電圧部材。
- 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載のアルミナ質焼結体からなることを特徴とする高周波またはマイクロ波透過窓。
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