JP2000315771A - 半導体集積回路 - Google Patents

半導体集積回路

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JP2000315771A
JP2000315771A JP11124358A JP12435899A JP2000315771A JP 2000315771 A JP2000315771 A JP 2000315771A JP 11124358 A JP11124358 A JP 11124358A JP 12435899 A JP12435899 A JP 12435899A JP 2000315771 A JP2000315771 A JP 2000315771A
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pads
semiconductor integrated
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internal circuits
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Shuji Hioki
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査用冶具のプローブ数と検査装置の測定
端子数の両方を削減できる半導体集積回路を提供するこ
と。 【解決手段】 通常動作モードとテストモードとを有
する半導体装置であって、複数の内部回路と、これら複
数の内部回路を外部と電気的に接続するための複数のパ
ッドと、テストモードにおいて外部から印加される少な
くとも1つの選択信号に従って複数の内部回路の内の1
つを選択する選択手段と、通常動作モードにおいて複数
の内部回路を複数のパッドにそれぞれ電気的に接続する
と共に、テストモードにおいて選択手段の出力に従って
複数の内部回路の内の選択された1つのみを複数のパッ
ドの内の所定の1つに電気的に接続する複数の開閉手段
とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には半導体
集積回路に関し、特に、検査装置(LSIテスター等)
を用いて被検査デバイスを検査する際に、検査装置との
接続を容易にした半導体集積回路に関する。
【従来の技術】従来、LCD(大型液晶表示装置)ドラ
イバ用ICのように多数の出力端子を有する半導体集積
回路を検査する場合には、すべての出力端子のテストを
行うために、半導体集積回路の端子数と同じ数のプロー
ブをプローブカード上に立てて、多ピンへの対応が可能
な高機能LSIテスターを用いて検査を行っていた。図
2に、従来の半導体集積回路とプローブとの関係を示
す。図2において、半導体集積回路1が例えば300個
の端子を有している場合には、LSIテスターに接続さ
れるプローブ2をプローブカード上に300本立てて半
導体集積回路1との接続を行っていた。しかしながら、
半導体集積回路における端子と端子との間隔は年々狭く
なっており、物理的に全ての端子にプローブを立てるこ
とが困難になってきている。また、ピン数の多いプロー
ブカードや多ピンへの対応が可能な高機能LSIテスタ
ーは高価であり、そのため検査費用も高額になってしま
う。一方、日本国特許出願公開公報(特開)平10−4
8289号には、多数の出力端子を有する半導体集積回
路の試験を、その出力端子の数より測定端子の数が少な
いLSIテスターで行うことが掲載されている。図3
は、上記文献に掲載されている半導体集積回路と治具の
構成を示す図である。図3において、半導体集積回路の
内部にはアナログスイッチ16〜19が設けられてお
り、これによりドライバ12〜15の出力を出力パッド
20〜23にそれぞれ接続するか切り離すかを切り換え
る。出力パッド20と21の出力は、プローブ26に接
続されて治具上でショ−トされ、LSIテスターの1つ
の測定端子に接続される。また、出力パッド22と23
の出力は、プローブ27に接続されて治具上でショ−ト
され、LSIテスターのもう1つの測定端子に接続され
る。まず、制御端子24をローレベルに、25をハイレ
ベルに設定すると、アナログスイッチ16と18がオ
ン、17と19がオフになり、ドライバ12と14の出
力が測定端子に接続される。次に、制御端子24をハイ
レベルに、25をローレベルに設定すると、アナログス
イッチ16と18がオフ、17と19がオンになり、ド
ライバ13と15の出力が測定端子に接続される。これ
により、少数の測定端子を備える安価なLSIテスター
で多数の出力パッドを有する半導体集積回路の検査が可
能となる。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記半
導体集積回路によれば、LSIテスターの測定端子の数
は削減されるが、検査用冶具のプローブは半導体集積回
路の出力パッドと同じ数だけ必要なので、その数は削減
されない。そこで、上記の点に鑑み、本発明は、検査用
冶具のプローブ数と検査装置の測定端子数との両方を削
減できる半導体集積回路を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、本発明に係る半導体集積回路は、通常動作モードと
テストモードとを有し、複数の内部回路と、これら複数
の内部回路を外部と電気的に接続するための複数のパッ
ドと、テストモードにおいて外部から印加される少なく
とも1つの選択信号に従って複数の内部回路の内の1つ
を選択する選択手段と、通常動作モードにおいて複数の
内部回路を複数のパッドにそれぞれ電気的に接続すると
共に、テストモードにおいて選択手段の出力に従って複
数の内部回路の内の選択された1つのみを複数のパッド
の内の所定の1つに電気的に接続する複数の開閉手段と
を具備する。ここで、複数の開閉手段が、通常動作モー
ドにおいて複数の内部回路を複数のパッドにそれぞれ電
気的に接続すると共に、テストモードにおいて選択手段
の出力に従って複数の内部回路の内の選択された1つを
複数のパッドの内の対応する1つに電気的に接続する複
数の第1の開閉手段と、通常動作モードにおいて複数の
パッドを互いに電気的に分離すると共に、テストモード
において選択された内部回路に対応するパッドを所定の
パッドに電気的に接続する少なくとも1つの第2の開閉
手段とを含んでも良い。あるいは、複数の開閉手段が、
通常動作モードにおいて複数の内部回路を複数のパッド
にそれぞれ電気的に接続すると共に、テストモードにお
いて選択手段の出力に従って複数の内部回路の内の選択
された1つのみを複数のパッドの内の対応する1つに電
気的に接続する複数の第1の開閉手段と、通常動作モー
ドにおいて複数のパッドを互いに電気的に分離すると共
に、テストモードにおいて複数のパッドを互いに電気的
に接続する少なくとも1つの第2の開閉手段とを含んで
も良い。また、複数の開閉手段の各々がアナログスイッ
チを含んでも良い。さらに、選択信号の数をn個とし
て、内部回路の数を2n個とすれば、効率的である。以
上の様に構成した本発明に係る半導体装置によれば、選
択信号の設定によって複数の内部回路の内のいずれか1
つを選択して特定のパッドに接続することができるの
で、検査用治具のプローブは特定のパッドのみに立てれ
ば良いことになる。
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について説明する。図1は、本発明の一実施形
態に係る半導体集積回路を示す図である。図1におい
て、半導体集積回路は、複数の内部回路と、これらの内
部回路に外部から信号を入力し、あるいはこれらの内部
回路から外部に信号を出力するための複数のパッドを含
んでいる。尚、各々の内部回路において入力信号と出力
信号とを切り換えることにより、各々のパッドを入出力
兼用パッドとして使用してもかまわない。ここでは、一
例として、4個の内部回路C1〜C4と、対応する4個
のパッドP1〜P4を示す。半導体集積回路の内部に
は、内部回路C1〜C4をパッドP1〜P4にそれぞれ
電気的に接続するか切り離すかを切り換えるアナログス
イッチS11〜S14と、隣接する2個のパッド間を電
気的に接続するか切り離すかを切り換えるアナログスイ
ッチS21〜S23が設けられている。各々のアナログ
スイッチの一方の端子にはゲートG1〜G4の対応する
出力が印加され、他方の端子にはゲートG1〜G4の対
応する出力が反転バッファB1〜B4によりそれぞれ反
転されて印加される。ゲートG1〜G4は、テスト信号
によって制御されると共に、ゲートG1〜G4に含まれ
るAND回路の反転入力には、選択信号A、Bが、反転
バッファBa1、Bb1又は反転バッファBa2、Bb
2を介して印加される。パッドPt、Pa、Pbは、そ
れぞれテスト信号、選択信号A、選択信号Bを入力する
ためのパッドである。次に、この半導体集積回路の動作
について説明する。通常モードにおいては、テスト信号
がローレベルにされ、このとき、選択信号A、Bの如何
にかかわらずゲートG1〜G4の出力は強制的にハイレ
ベルにされるものとする。これにより、アナログスイッ
チS11〜S14はオンになり、内部回路C1〜C4を
パッドP1〜P4にそれぞれ電気的に接続する。一方、
アナログスイッチS21〜S23はオフとなり、パッド
間は互いに電気的に分離される。テストモードにおいて
は、テスト信号がハイレベルにされ,ゲートG1〜G4
はAND回路として動作する。まず、選択信号A、Bを
ローレベルに設定すると、ゲートG1の出力はハイレベ
ル、ゲートG2〜G4の出力はローレベルになる。これ
により、アナログスイッチS11がオン、S12〜S1
4がオフ、S21がオフ、S22〜S23がオンにな
り、内部回路C1がパッドP1に接続される。次に、選
択信号Aをローレベル、選択信号Bをハイレベルに設定
すると、ゲートG2の出力はハイレベル、ゲートG1、
G3〜G4の出力はローレベルになる。これにより、ア
ナログスイッチS12がオン、S11、S13〜S14
がオフ、S22がオフ、S21、S23がオンになり、
内部回路C2がパッドP2さらにはパッドP1に接続さ
れる。次に、選択信号Aをハイレベル、選択信号Bをロ
ーレベルに設定すると、ゲートG3の出力はハイレベ
ル、ゲートG1〜G2、G4の出力はローレベルにな
る。これにより、アナログスイッチS13がオン、S1
1〜S12、S14がオフ、S23がオフ、S21〜S
22がオンになり、内部回路C3がパッドP3さらには
パッドP1に接続される。次に、選択信号A、Bをハイ
レベルに設定すると、ゲートG4の出力はハイレベル、
ゲートG1〜G3の出力はローレベルになる。これによ
り、アナログスイッチS14がオン、S11〜S13が
オフ、S21〜S23がオンになり、内部回路C4がパ
ッドP4さらにはパッドP1に接続される。即ち、選択
信号A、Bの設定によって、内部回路C1〜C4の内の
いずれか1つを選択してパッドP1に接続することがで
きるので、検査用治具のプローブはパッドP1のみに立
てれば良いことになる。このような構成を160個の内
部回路を含む半導体集積回路に使用すれば、検査のため
に必要なプローブの数は160個から40個に削減され
る。その際、40組の内部回路の検査において、ゲート
G1〜G4等からなる選択回路は共通に使用できる。一
般的には、選択信号の数をn個とすると、2n個の内部
回路までを共通のパッドで検査できる。従って、160
個の内部回路を含む半導体集積回路において、1つの選
択信号のみを用いる場合には、2個の内部回路を1組と
すれば必要なプローブの数は80個となり、3つの選択
信号を用いる場合には、8個の内部回路を1組とすれば
必要なプローブの数は20個となる。上記実施形態にお
いて、例えば、内部回路C4を検査する場合には、全て
の隣接するパッド間をショートしたが、パッドP4とパ
ッドP1との間をショートするようにしても良い。ま
た、例えば、内部回路C2を検査する場合には、アナロ
グスイッチS21とS23をオンにしてS22をオフに
したが、アナログスイッチS13〜S14がオフとなっ
ているので、アナログスイッチS21〜S23の全てを
オンにしてもかまわない。さらに、アナログスイッチの
替りに、他の電気的な開閉手段を用いてもかまわない。
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、半導
体集積回路の検査のために必要な検査用冶具のプローブ
数と検査装置の測定端子数の両方を削減することによ
り、半導体集積回路の製造コストをさらに削減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る半導体集積回路を示
す図である。
【図2】従来の半導体集積回路とプローブとの関係を示
す図である。
【図3】従来の半導体集積回路と治具の構成を示す図で
ある。
【符号の説明】
C1〜C4 内部回路 P1〜P4、Pt、Pa、Pb パッド S11〜S14、S21〜S23 アナログスイッチ B1〜B4、Ba1〜Ba2、Bb1〜Bb2 反転バ
ッファ G1〜G4 ゲート
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成11年5月7日(1999.5.7)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 半導体集積回路
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般的には半導体
集積回路に関し、特に、検査装置(LSIテスター等)
を用いて被検査デバイスを検査する際に、検査装置との
接続を容易にした半導体集積回路に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、LCD(大型液晶表示装置)ドラ
イバ用ICのように多数の出力端子を有する半導体集積
回路を検査する場合には、すべての出力端子のテストを
行うために、半導体集積回路の端子数と同じ数のプロー
ブをプローブカード上に立てて、多ピンへの対応が可能
な高機能LSIテスターを用いて検査を行っていた。
【0003】図2に、従来の半導体集積回路とプローブ
との関係を示す。図2において、半導体集積回路1が例
えば300個の端子を有している場合には、LSIテス
ターに接続されるプローブ2をプローブカード上に30
0本立てて半導体集積回路1との接続を行っていた。し
かしながら、半導体集積回路における端子と端子との間
隔は年々狭くなっており、物理的に全ての端子にプロー
ブを立てることが困難になってきている。また、ピン数
の多いプローブカードや多ピンへの対応が可能な高機能
LSIテスターは高価であり、そのため検査費用も高額
になってしまう。
【0004】一方、日本国特許出願公開公報(特開)平
10−48289号には、多数の出力端子を有する半導
体集積回路の試験を、その出力端子の数より測定端子の
数が少ないLSIテスターで行うことが掲載されてい
る。
【0005】図3は、上記文献に掲載されている半導体
集積回路と治具の構成を示す図である。図3において、
半導体集積回路の内部にはアナログスイッチ16〜19
が設けられており、これによりドライバ12〜15の出
力を出力パッド20〜23にそれぞれ接続するか切り離
すかを切り換える。出力パッド20と21の出力は、プ
ローブ26に接続されて治具上でショ−トされ、LSI
テスターの1つの測定端子に接続される。また、出力パ
ッド22と23の出力は、プローブ27に接続されて治
具上でショ−トされ、LSIテスターのもう1つの測定
端子に接続される。まず、制御端子24をローレベル
に、25をハイレベルに設定すると、アナログスイッチ
16と18がオン、17と19がオフになり、ドライバ
12と14の出力が測定端子に接続される。次に、制御
端子24をハイレベルに、25をローレベルに設定する
と、アナログスイッチ16と18がオフ、17と19が
オンになり、ドライバ13と15の出力が測定端子に接
続される。これにより、少数の測定端子を備える安価な
LSIテスターで多数の出力パッドを有する半導体集積
回路の検査が可能となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記半
導体集積回路によれば、LSIテスターの測定端子の数
は削減されるが、検査用冶具のプローブは半導体集積回
路の出力パッドと同じ数だけ必要なので、その数は削減
されない。
【0007】そこで、上記の点に鑑み、本発明は、検査
用冶具のプローブ数と検査装置の測定端子数との両方を
削減できる半導体集積回路を提供することを目的とす
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
め、本発明に係る半導体集積回路は、通常動作モードと
テストモードとを有し、複数の内部回路と、これら複数
の内部回路を外部と電気的に接続するための複数のパッ
ドと、テストモードにおいて外部から印加される少なく
とも1つの選択信号に従って複数の内部回路の内の1つ
を選択する選択手段と、通常動作モードにおいて複数の
内部回路を複数のパッドにそれぞれ電気的に接続すると
共に、テストモードにおいて選択手段の出力に従って複
数の内部回路の内の選択された1つのみを複数のパッド
の内の所定の1つに電気的に接続する複数の開閉手段と
を具備する。
【0009】ここで、複数の開閉手段が、通常動作モー
ドにおいて複数の内部回路を複数のパッドにそれぞれ電
気的に接続すると共に、テストモードにおいて選択手段
の出力に従って複数の内部回路の内の選択された1つを
複数のパッドの内の対応する1つに電気的に接続する複
数の第1の開閉手段と、通常動作モードにおいて複数の
パッドを互いに電気的に分離すると共に、テストモード
において選択された内部回路に対応するパッドを所定の
パッドに電気的に接続する少なくとも1つの第2の開閉
手段とを含んでも良い。
【0010】あるいは、複数の開閉手段が、通常動作モ
ードにおいて複数の内部回路を複数のパッドにそれぞれ
電気的に接続すると共に、テストモードにおいて選択手
段の出力に従って複数の内部回路の内の選択された1つ
のみを複数のパッドの内の対応する1つに電気的に接続
する複数の第1の開閉手段と、通常動作モードにおいて
複数のパッドを互いに電気的に分離すると共に、テスト
モードにおいて複数のパッドを互いに電気的に接続する
少なくとも1つの第2の開閉手段とを含んでも良い。
【0011】また、複数の開閉手段の各々がアナログス
イッチを含んでも良い。
【0012】さらに、選択信号の数をn個として、内部
回路の数を2n個とすれば、効率的である。
【0013】以上の様に構成した本発明に係る半導体装
置によれば、選択信号の設定によって複数の内部回路の
内のいずれか1つを選択して特定のパッドに接続するこ
とができるので、検査用治具のプローブは特定のパッド
のみに立てれば良いことになる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について説明する。
【0015】図1は、本発明の一実施形態に係る半導体
集積回路を示す図である。
【0016】図1において、半導体集積回路は、複数の
内部回路と、これらの内部回路に外部から信号を入力
し、あるいはこれらの内部回路から外部に信号を出力す
るための複数のパッドを含んでいる。尚、各々の内部回
路において入力信号と出力信号とを切り換えることによ
り、各々のパッドを入出力兼用パッドとして使用しても
かまわない。ここでは、一例として、4個の内部回路C
1〜C4と、対応する4個のパッドP1〜P4を示す。
【0017】半導体集積回路の内部には、内部回路C1
〜C4をパッドP1〜P4にそれぞれ電気的に接続する
か切り離すかを切り換えるアナログスイッチS11〜S
14と、隣接する2個のパッド間を電気的に接続するか
切り離すかを切り換えるアナログスイッチS21〜S2
3が設けられている。各々のアナログスイッチの一方の
端子にはゲートG1〜G4の対応する出力が印加され、
他方の端子にはゲートG1〜G4の対応する出力が反転
バッファB1〜B4によりそれぞれ反転されて印加され
る。
【0018】ゲートG1〜G4は、テスト信号によって
制御されると共に、ゲートG1〜G4に含まれるAND
回路の反転入力には、選択信号A、Bが、反転バッファ
Ba1、Bb1又は反転バッファBa2、Bb2を介し
て印加される。
【0019】パッドPt、Pa、Pbは、それぞれテス
ト信号、選択信号A、選択信号Bを入力するためのパッ
ドである。
【0020】次に、この半導体集積回路の動作について
説明する。
【0021】通常モードにおいては、テスト信号がロー
レベルにされ、このとき、選択信号A、Bの如何にかか
わらずゲートG1〜G4の出力は強制的にハイレベルに
されるものとする。これにより、アナログスイッチS1
1〜S14はオンになり、内部回路C1〜C4をパッド
P1〜P4にそれぞれ電気的に接続する。一方、アナロ
グスイッチS21〜S23はオフとなり、パッド間は互
いに電気的に分離される。
【0022】テストモードにおいては、テスト信号がハ
イレベルにされ,ゲートG1〜G4はAND回路として
動作する。
【0023】まず、選択信号A、Bをローレベルに設定
すると、ゲートG1の出力はハイレベル、ゲートG2〜
G4の出力はローレベルになる。これにより、アナログ
スイッチS11がオン、S12〜S14がオフ、S21
がオフ、S22〜S23がオンになり、内部回路C1が
パッドP1に接続される。
【0024】次に、選択信号Aをローレベル、選択信号
Bをハイレベルに設定すると、ゲートG2の出力はハイ
レベル、ゲートG1、G3〜G4の出力はローレベルに
なる。これにより、アナログスイッチS12がオン、S
11、S13〜S14がオフ、S22がオフ、S21、
S23がオンになり、内部回路C2がパッドP2さらに
はパッドP1に接続される。
【0025】次に、選択信号Aをハイレベル、選択信号
Bをローレベルに設定すると、ゲートG3の出力はハイ
レベル、ゲートG1〜G2、G4の出力はローレベルに
なる。これにより、アナログスイッチS13がオン、S
11〜S12、S14がオフ、S23がオフ、S21〜
S22がオンになり、内部回路C3がパッドP3さらに
はパッドP1に接続される。
【0026】次に、選択信号A、Bをハイレベルに設定
すると、ゲートG4の出力はハイレベル、ゲートG1〜
G3の出力はローレベルになる。これにより、アナログ
スイッチS14がオン、S11〜S13がオフ、S21
〜S23がオンになり、内部回路C4がパッドP4さら
にはパッドP1に接続される。
【0027】即ち、選択信号A、Bの設定によって、内
部回路C1〜C4の内のいずれか1つを選択してパッド
P1に接続することができるので、検査用治具のプロー
ブはパッドP1のみに立てれば良いことになる。このよ
うな構成を160個の内部回路を含む半導体集積回路に
使用すれば、検査のために必要なプローブの数は160
個から40個に削減される。その際、40組の内部回路
の検査において、ゲートG1〜G4等からなる選択回路
は共通に使用できる。
【0028】一般的には、選択信号の数をn個とする
と、2n個の内部回路までを共通のパッドで検査でき
る。従って、160個の内部回路を含む半導体集積回路
において、1つの選択信号のみを用いる場合には、2個
の内部回路を1組とすれば必要なプローブの数は80個
となり、3つの選択信号を用いる場合には、8個の内部
回路を1組とすれば必要なプローブの数は20個とな
る。
【0029】上記実施形態において、例えば、内部回路
C4を検査する場合には、全ての隣接するパッド間をシ
ョートしたが、パッドP4とパッドP1との間をショー
トするようにしても良い。
【0030】また、例えば、内部回路C2を検査する場
合には、アナログスイッチS21とS23をオンにして
S22をオフにしたが、アナログスイッチS13〜S1
4がオフとなっているので、アナログスイッチS21〜
S23の全てをオンにしてもかまわない。
【0031】さらに、アナログスイッチの替りに、他の
電気的な開閉手段を用いてもかまわない。
【0032】
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、半導
体集積回路の検査のために必要な検査用冶具のプローブ
数と検査装置の測定端子数の両方を削減することによ
り、半導体集積回路の製造コストをさらに削減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る半導体集積回路を示
す図である。
【図2】従来の半導体集積回路とプローブとの関係を示
す図である。
【図3】従来の半導体集積回路と治具の構成を示す図で
ある。
【符号の説明】 C1〜C4 内部回路 P1〜P4、Pt、Pa、Pb パッド S11〜S14、S21〜S23 アナログスイッチ B1〜B4、Ba1〜Ba2、Bb1〜Bb2 反転バ
ッファ G1〜G4 ゲート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03K 19/00 Fターム(参考) 2G032 AF02 AJ03 AK14 AK15 AL05 4M106 AA02 AA07 AC08 AC09 AD01 AD14 AD23 DD10 DD11 DJ14 5F038 AV13 BE04 BE06 DT02 DT04 DT05 EZ20 5J056 AA00 BB53 BB60 CC00 FF07 FF10

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 通常動作モードとテストモードとを有す
    る半導体集積回路であって、 複数の内部回路と、 前記複数の内部回路を外部と電気的に接続するための複
    数のパッドと、 テストモードにおいて外部から印加される少なくとも1
    つの選択信号に従って前記複数の内部回路の内の1つを
    選択する選択手段と、 通常動作モードにおいて前記複数の内部回路を前記複数
    のパッドにそれぞれ電気的に接続すると共に、テストモ
    ードにおいて前記選択手段の出力に従って前記複数の内
    部回路の内の選択された1つのみを前記複数のパッドの
    内の所定の1つに電気的に接続する複数の開閉手段と、
    を具備する前記半導体集積回路。
  2. 【請求項2】 前記複数の開閉手段が、 通常動作モードにおいて前記複数の内部回路を前記複数
    のパッドにそれぞれ電気的に接続すると共に、テストモ
    ードにおいて前記選択手段の出力に従って前記複数の内
    部回路の内の選択された1つを前記複数のパッドの内の
    対応する1つに電気的に接続する複数の第1の開閉手段
    と、 通常動作モードにおいて前記複数のパッドを互いに電気
    的に分離すると共に、テストモードにおいて前記選択さ
    れた内部回路に対応するパッドを前記所定のパッドに電
    気的に接続する少なくとも1つの第2の開閉手段と、を
    含む、請求項1に記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】 前記複数の開閉手段が、 通常動作モードにおいて前記複数の内部回路を前記複数
    のパッドにそれぞれ電気的に接続すると共に、テストモ
    ードにおいて前記選択手段の出力に従って前記複数の内
    部回路の内の選択された1つのみを前記複数のパッドの
    内の対応する1つに電気的に接続する複数の第1の開閉
    手段と、 通常動作モードにおいて前記複数のパッドを互いに電気
    的に分離すると共に、テストモードにおいて前記複数の
    パッドを互いに電気的に接続する少なくとも1つの第2
    の開閉手段と、を含む、請求項1に記載の半導体集積回
    路。
  4. 【請求項4】 前記複数の開閉手段の各々がアナログス
    イッチを含む、請求項1〜3のいずれかに記載の半導体
    集積回路。
  5. 【請求項5】 前記選択信号の数がn個であり、前記内
    部回路の数が2n個である、請求項1〜4のいずれかに
    記載の半導体集積回路。
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