JP2000311873A

JP2000311873A - ダイシングシート

Info

Publication number: JP2000311873A
Application number: JP37308499A
Authority: JP
Inventors: Kyoichi Yamamoto; 恭一山本; Koujun Uko; 公淳宇高; Takashi Takada; 尚高田
Original assignee: Inctec Inc
Current assignee: Inctec Inc
Priority date: 1999-02-26
Filing date: 1999-12-28
Publication date: 2000-11-07

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明の目的は、接着剤層の表面平滑性、膜
厚の均一性を容易とすると共に、ワーク材の微細加工を
容易にするダイシングシートを提供することにある。【解決手段】本発明のダイシングシートは、プラスチ
ックフィルム基材上に、加熱溶融型固形接着剤の有機溶
剤溶液塗布層を５μｍ〜３００μｍの乾燥後膜厚で設け
たものであり、また、プラスチックフィルム基材と加熱
溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層間であって、ワ
ークサイズ端部に対応した箇所に易剥離性部を設けたも
のである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シリコン、ガリウムヒ
素、ガラス材、磁性材、金属材、水晶、光学レンズ等の
ワーク材を多数枚仮着剤を介して重ね、接着固定後、一
定の大きさに精密切断したり、また、支持台上にワーク
材を仮着剤を介して固定し、ダイシングや穴開け、研磨
加工したり、更にはウエハと定盤との間の仮着といった
ような種々の加工に際しての仮着に有用なダイシングシ
ートに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、上述のような用途に対する仮着用
接着剤としては、石油系樹脂、パラフィンワックス、松
脂の変性物、昆虫の分泌物など例えば、重合ロジン、精
製ロジン、マレイン化ロジン、ロジンエステル、シェラ
ック樹脂、カルナバ、密蝋、モンタンワックス等の動植
物系、鉱物系が使用され、使用に際しては、グラファイ
ト架台やアルミ架台等の支持台上に固形接着剤を熱溶融
して塗布した後、ワーク材を積層し、固定し、ダイシン
グ（ DICING 、切断）、スクラビング（ SCRUBBING、研
削）やポリシング（ POLISHING、研磨）加工に供してい
た。

【０００３】しかしながら、支持台上に固形接着剤を熱
溶融して塗布するにあたっては、１００℃以上に加熱し
た支持台上に人的作業で溶融型固形接着剤を塗布し、ワ
ーク材を積層していくため危険作業となっており、ま
た、ワーク材を多数枚仮着剤を介して重ねて一定の大き
さに精密切断する作業にあたっては、接着剤の膜厚の均
一性が必要であり、また、位置合わせにしても熟練した
作業が必要である。

【０００４】また、ワーク材の研磨作業に際しては、ワ
ーク材の平滑性は接着剤層の平滑度や膜厚の均一性に影
響されるため、接着剤の塗布に際しては平滑塗布が要求
され、熟練を必要とするが、個人差があるため、良品率
の低下につながるという問題がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、接着
剤層の表面平滑性、膜厚の均一性を容易とすると共に、
ワーク材のダイシングやスクラビング加工等の微細加工
を容易にするダイシングシートを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決すべく鋭意検討した結果、プラスチックフィルム
基材上に、加熱溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層
を５μｍ〜３００μｍの乾燥後膜厚で設けたダイシング
シートとすることにより、上記の課題を達成できること
を見出した。

【０００７】また、上記のプラスチックフィルム基材に
おける加熱溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層面側
の濡れ指数が４０ｍＮ／ｍ〜４８ｍＮ／ｍであることを
特徴とする。

【０００８】また、上記の加熱溶融型固形接着剤が、酸
価が６５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上のセラック樹脂からなるこ
とを特徴とする。

【０００９】また、上記の加熱溶融型固形接着剤の有機
溶剤溶液塗布層中に、有機または無機フィラーを混合し
たことを特徴とする。

【００１０】また、上記のプラスチックフィルム基材の
膜厚が３．５μｍ〜２００μｍであることを特徴とす
る。

【００１１】また、上記のプラスチックフィルム基材と
加熱溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層との接着力
が０．２ＫＰａ〜６．０ＫＰａであることを特徴とす
る。

【００１２】また、上記のプラスチックフィルム基材と
加熱溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層間であっ
て、ワークサイズ端部に対応した箇所にパターン状に易
剥離性部を設けたことを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明のダイシングシートについ
て、図１にダイシングシートの一実施態様の平面図を示
し、図２に図１のＡ−Ａ′線での断面図を示す。図中、
１はプラスチックフィルム基材、２は加熱溶融型固形接
着剤の有機溶剤溶液塗布層、３はカバーフィルム、４は
易剥離性部を示す。

【００１４】プラスチックフィルム基材１は、ポリエチ
レンフィルム、ポリプロピレンフィルム、テフロンフィ
ルム、セルロースフィルム、ポリエステルフィルム、ポ
リカーボネートフィルム等が例示され、又、ポリエステ
ルフィルム上に弗素コート又はカルバミドコート或いは
ペインタブル性架橋シリコンをコーティングしたフィル
ムや、ポリエステルフィルムをベースとし、ドライラミ
ネート法でポリエチレンフィルム又はポリメチルペンテ
ンポリマーフィルムを積層したフィルム等が例示され、
また、合成樹脂フィルムにあっては延伸フィルムが好ま
しい。プラスチックフィルム基材は、接着剤層のキャリ
アフィルムとして機能するものであるので、膜厚として
は、支持性の観点から３．５μｍ〜２００μｍ、好まし
くは２０μｍ〜１００μｍである。

【００１５】また、接着剤層が塗布積層されるに際し、
ハジキやピンホールの発生を防止するために、基材の接
着剤塗布面側における濡れ状態が重要であり、本発明に
おいては、ＪＩＳＫ６７６８及びＫ６７８２で規定され
る濡れ指数が４０ｍＮ／ｍ〜４８ｍＮ／ｍ、好ましくは
４２ｍＮ／ｍ〜４５ｍＮ／ｍのものとするとよく、その
ためには、基材における接着剤層塗布面にはコロナ放電
処理やオゾン処理、ポリエチレンイミン処理等の表面処
理を施しておくとよい。また、これにより、ワーク材に
転写された際の接着剤層の表面状態を平滑表面とするこ
とができる。

【００１６】また、ワーク材に接着剤層を積層した際に
は、接着剤層との剥離性が要求されるので、プラスチッ
クフィルム基材と接着剤層との接着力は、０．２ＫＰａ
〜６．０ＫＰａ、好ましくは２．０ＫＰａ〜５．０ＫＰ
ａとしておくとよい。

【００１７】尚、ダイシングシートから接着剤層単体を
剥離し、手作業により予熱した状態のワーク材に貼着す
る作業を繰り返し、複数のワーク材を積層して仮留め
後、ダイシング工程する場合には、基材を後述するカバ
ーフィルムの如き易剥離性フィルムとしてもよい。

【００１８】次に、本発明における加熱溶融型固形接着
剤の有機溶剤溶液塗布層２としては、加熱溶融型固形接
着剤、可塑剤、必要に応じて有機または無機フィラーを
有機溶剤に溶解した溶液をプラスチックフィルム基材上
に塗布形成されるものである。

【００１９】加熱溶融型固形接着剤としては、プラスチ
ックフィルム基材との接着力を０．２ＫＰａ〜６．０Ｋ
Ｐａの範囲とできるものであり、例えばセラック樹脂、
水添ロジン樹脂、ロジン変性マレイン酸樹脂等が例示さ
れるが、加熱溶融型固形接着剤として酸価が６５ｍｇＫ
ＯＨ／ｇ以上のものを使用すると、ワーク材の微細加工
後の仮着接着剤の除去操作に際して、アルカリ水溶液や
低級アルコールを使用して容易に除去できるので好まし
い。

【００２０】また、加熱溶融型固形接着剤の融点を下
げ、塗布時の塗膜の平滑性を付与する目的で、可塑剤を
添加するとよく、例えばトリクレジルフォスフェート、
オレイン酸アマイド、カルバミン酸エステル、ジシクロ
ヘキシルフタレート等が例示され、添加量は、加熱溶融
型固形接着剤１００重量部に対して２重量部〜８０重量
部、好ましくは５重量部〜４０重量部である。

【００２１】また、加熱溶融型固形接着剤には、加工物
性向上、接着力、滑性付与を目的として、有機または無
機フィラーを含有させるとよく、有機フィラーとしては
ポリエチレンワックス、脂肪酸アマイド、天然ワックス
等が、また、無機フィラーとしてはシリカ、硫酸バリウ
ム、タルク、炭酸カルシウム等が例示され、いずれも、
粒径が１μｍ以下のものとするとよい。添加量は、加熱
溶融型固形接着剤１００重量部に対して０重量部〜１５
０重量部、好ましくは０重量部〜１２０重量部である。

【００２２】これらの組成を有機溶剤、例えばメタノー
ル、エタノール、酢酸エチル、またはその混合系に固形
分６０重量％〜８０重量％で溶解し、加熱溶融型固形接
着剤の有機溶剤溶液とされ、ロールコート法、バーコー
ト法、リバースコート法、ダイコート法等の塗布方法に
より、プラスチックフィルム基材上に、乾燥膜厚５μｍ
〜３００μｍ、好ましくは１０μｍ〜１００μｍで塗布
形成される。

【００２３】このようにして、塗布形成された加熱溶融
型固形接着剤層における軟化点は６０℃〜８０℃であ
り、また、溶融粘度は１４０℃で３００ｍＰａ・ｓ〜３
５００ｍＰａ・ｓのものとされるとよい。

【００２４】次に、カバーフィルム３は、塗布形成され
た加熱溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層２上に積
層されるもので、例えば無延伸のポリプロピレンフィル
ム、ポリエチレンフィルム、シリコーンコートポリエス
テルフィルムやポリウレタン延伸フィルム等が例示さ
れ、膜厚４．５μｍ〜２５μｍのものが例示される。

【００２５】本発明のダイシングシートにおいては、加
熱溶融型固形接着剤層はプラスチックフィルム基材１上
に塗布形成されるので、その膜厚は均一性に優れるもの
とでき、また、ワーク材に転写形成された際には、プラ
スチックフィルム基材やカバーフィルムの表面平滑面か
ら転写されるので、表面平滑性に優れたものとなり、そ
の表面粗さを±１０ｎｍ以下とすることができる。

【００２６】次に、プラスチックフィルム基材１と加熱
溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層２との間に設け
られる易剥離性部４について説明する。

【００２７】易剥離性部４は、罫線等のパターン状に形
成され、ワーク材を積層したり、また、ダイシングする
際のスリッター箇所の目安としたり、更に、接着剤層を
ワーク材や支持台上等に転写した際に、基材を接着剤層
から剥離する際のきっかけとなって易剥離性を付与する
ことを目的とするものである。

【００２８】易剥離性部としては、次の３つの方法によ
り形成することができる。

【００２９】第１図、第２図に示すように、パター
ン状に易剥離層４を設けて易剥離性部とすることができ
る。易剥離層４は、例えば、ケミカル転写法を利用し、
基本的に２層構成として形成することができる。この場
合、プラスチックフィルム基材側に第１層目をイソシア
ネート硬化型インキを使用して印刷により形成するとよ
く、例えば、硝化綿／ウレタン樹脂とイソシアネートの
２液系、硝化綿／ポリエステル樹脂とイソシアネートの
２液系等に顔料としてシリカ等を練り込んだり、フッソ
系樹脂等を熱離型剤として添加したものが挙げられる。
次に、第１層上に、第１層と同じパターン形状に積層さ
れる第２層としては、室温では第１層目と接着している
が、接着剤層をワーク材や支持台上等に熱転写する際の
熱で第１層目を架橋硬化させることにより第１層との熱
離型性を示すに至るもので、具体的には、塩化ゴムを主
体とし、テルペン系樹脂やアクリル系樹脂を併用した着
色インキを使用して形成させるとよい。この方法により
易剥離層４を形成すると、塗工時に接着剤層中のアルコ
ール溶剤によりスエリングしないで形成することができ
る。

【００３０】また、易剥離層４として、高周波ウエ
ルダー方式（高周波ミシン）による易剥離層としてもよ
く、この場合には、キレート処理カーボン、キレート処
理チタン等の絶縁性物質層で易剥離層を形成し、高周波
による易剥離層の発熱作用により易剥離層上の接着剤層
を軟化させ、接着剤層を剥離可能とする方式としてもよ
い。

【００３１】また、長尺のダイシングシート製造
後、例えばシリンダーロールに針状突起を設け、雌雄ロ
ール間の押圧により接着剤層にミシン目を形成し、その
ミシン目を剥離のきっかけとする易剥離性部としてもよ
い。

【００３２】易剥離性部４は、図２に示すように、プラ
スチックフィルム基材１と接着剤層２との間に設けられ
る。ダイシングシートの一実施態様の平面図である図１
により説明する。図中、４１、４２は易剥離層４の中心
線である。

【００３３】図１に図示するように、易剥離層４のパタ
ーン形状としては、例えばプラスチックフィルム基材１
（キャリアフィルム）上に、例えば幅２０ｍｍで塗布形
成される。易剥離層４は、ワーク材の大きさにもよる
が、例えば中心線４１、４２により形成される縦１２ｃ
ｍ×横５１ｃｍの長方形の枠状に形成される。また、易
剥離性部をミシン目とする場合には、プラスチックフィ
ルム基材１上に接着剤層を形成した後、上述した方法
で、中心線４１、４２の箇所に枠状に形成されるとよ
い。

【００３４】本発明のダイシングシートを使用してワー
ク材を微細加工するに際しての易剥離性部４の利用例を
以下に示す。図２に示すダイシングシートにおけるカバ
ーフィルム３を剥離し、その接着剤層２側から支持台上
の大判のワーク材上に積層し、易剥離性部４による易剥
離性を利用し接着剤層２をワーク材上に転写する。

【００３５】上記の型の易剥離性部の場合には、
熱圧により易剥離性とでき、また、の型の易剥離性
部の場合には高周波加熱により易剥離性とでき、さら
に、ミシン目の場合にはミシン目を利用して易剥離性と
できる。

【００３６】次いで、得られた接着剤層上に他の大判の
ワーク材を積層した後、さらに、先に転写された接着剤
層における易剥離性部を目安として他のダイシングシー
トを使用して同様に接着剤層を転写する。この作業を繰
り返し、大判のワーク材をそれぞれ接着剤層を介して２
０〜１００枚積層する。次いで、接着剤の軟化点より２
５℃〜４０℃高い温度で積層体を加熱圧着する。積層体
は、易剥離性部を目安としてダイヤモンドソー等により
切断加工され、多数枚重ねられた所望形状のワーク材が
同時にカッティングされる。カッティングされた積層体
は、アルカリ水溶液やアルコール中に浸漬されて接着剤
層を溶解・除去することにより、所望形状のワーク材と
できる。

【００３７】また、本発明のダインシングシートは、支
持台上にワーク材を固定する仮着剤用としても使用で
き、固定されたワーク材のダイシングや穴開け、研磨加
工、更にはウエハと定盤との間の仮着といったような微
細加工に利用できる。この場合にも、支持台や定盤上に
易剥離性部を利用して接着剤層を転写して形成するとよ
く、ワーク材やウエハを積層した後加熱圧着させ、それ
ぞれ支持台や定盤に固着することができる。表面平滑性
や膜厚の均一性に優れる接着剤層とできるので、ワーク
材やウエハの精密加工を可能とする。

【００３８】

【実施例】本発明を実施例により具体的に説明するが、
下記の実施例において測定した軟化点、接着力の測定方
法は下記の通りである。

【００３９】（軟化点の測定方法）ホットプレート（１
５０℃）上で溶融した試料を測定用リングに流しこみ、
自然冷却させる。試料上に鉄球を乗せる。ビーカーに水
を入れ、その内にリングを置き、電熱器でビーカーを温
め、試料が軟化して鉄球が下に落下した時の温度を軟化
点とした。

【００４０】（接着力の測定方法）ホットプレート（１
５０℃）上で２枚１組の測定用治具に試料を塗り、貼り
合わせる（ＳＵＳ／試料／ＳＵＳ）。１００ｇの重りを
乗せて自然冷却させ、接着させる。２５℃のウォーター
バスに１時間入れ、温度を安定させた後、ストログラフ
（東洋精機（株）製）を使用して引っ張り剪断剥離強度
を測定し、接着力とした。

【００４１】（実施例１）ポリエチレンテレフタレート
フィルム（膜厚２５μｍ、パナック工業（株）製）の表
面をコロナ処理し、濡れ指数が４５ｍＮ／ｍとしたの
ち、その処理面に、縦２ｍｍ×長さ５ｍｍの微細サイズ
のワーク材をカッティングできるように、図１に示すパ
ターンで、硝化綿／ポリエステル樹脂とイソシアネート
の２液型インキ（ザ・インクテック（株）製）を使用し
て第１層を印刷形成した。次いで、第１層上に、キレー
ト処理カーボン、塩素化ゴムとアクリル酸エステルから
なる着色インキ（ザ・インクテック（株）製）を第２層
として第１層と同一パターンで印刷形成し、２層構成か
らなる易剥離層４を２ｍｍ幅で形成した。

【００４２】次いで、易剥離層４を形成したポリエチレ
ンテレフタレートフィルム上に、下記組成・セラック樹脂（岐阜セラック（株）製「ＰＮ−Ｍ６０」、酸価７５ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分６０％のメタノール液）・・・・８１．７重量部・トリクレジルフォスフェート（新日本理化（株）製、純分１００％）・・・・２１．０重量部の接着剤溶液（固形分７０％）を２０μｍの膜厚で塗布
し、乾燥膜厚１５±３μｍの固形接着剤層を設けた。固
形接着剤層の軟化点は６８℃であり、また、接着力は
７．８ＭＰａであった。なお、セラック樹脂単品の場合
には、軟化点は７５℃であり、また、接着力は６．３Ｍ
Ｐａである。

【００４３】固形接着剤層上に、無延伸ポリプロピレン
フィルムを貼着してカバーフィルムを形成し、本発明の
ダイシングシートを得た。

【００４４】次に、ダイシングシートにおけるカバーフ
ィルムを剥離した後、架台上に接着剤層側から積層し、
１００℃で加熱圧着し、易剥離性部の硬化を利用して接
着剤層を転写した。ついで、その接着剤層上に、ワーク
材であるセラミックの大判基板（幅８０ｍｍ×長さ４０
０ｍｍ）を積層し、次いで、その大型基板上に、同様に
接着剤層を転写し、さらに、その接着剤層を介して他の
大型基板を同様に積層した。この積層工程を繰り返し、
大判基板を１０枚、接着剤層をそれぞれ介して積層した
後、１１０℃で加熱圧着し、冷却し、固定した。

【００４５】次いで、易剥離性部を目安としてダイヤモ
ンドソーを使用して、セラミックの大判基板を幅２ｍｍ
×長さ５ｍｍの微細サイズに切断した。切断後、積層物
を０．５％ＮａＯＨ水溶液に浸して積層された基板を分
離した。

【００４６】（実施例２）実施例１における加熱溶融型
接着剤溶液に代えて、下記組成・セラック樹脂（岐阜セラック（株）製「ＰＮ−Ｍ６０」、酸価７５ｍｇＫＯＨ／ｇ、固形分６０％のメタノール液）・・・・４７．８重量部・トリクレジルフォスフェート（新日本理化（株）製、純分１００％）・・・・８．３重量部・硫酸バリウム（堺化学工業（株）製）・・・・３３．０重量部．メタノール・・・・１０．９重量部の加熱溶融型接着剤溶液（固形分７０％）を使用した以
外は同様にして、ダイシングシートを作製した。上記の
固形接着剤層の軟化点は、７４℃であり、また、接着力
は１３．７ＭＰａであった。

【００４７】実施例１のダイシングシート同様に、ワー
ク材であるセラミックの大判基板の切断加工に使用でき
た。

【００４８】（実施例３）実施例２で作成したダイシン
グシートにおけるカバーフィルムを剥離して、実施例１
同様に、架台上に接着剤層側から積層した後、小型高周
波誘導加熱装置（コヤマ化学（株）製）を利用して、１
００〜４５０ＫＨｚ、５ＫＷの条件で印加し、易剥離性
部の発熱を利用して架台上に接着剤層を転写した。

【００４９】以下、実施例１のダイシングシート同様
に、ワーク材であるセラミックの大判基板の切断加工に
使用できた。

【００５０】（実施例４）実施例２で作成したダイシン
グシートにおけるカバーフィルムを剥離して、実施例１
同様に、架台上に接着剤層側から積層した後、超音波接
合装置（超音波工業（株）製）を利用して接着剤層の転
写と、印加エネルギーのアップによる接着剤層の熔断を
行ない、架台上に接着剤層を形成した。

【００５１】以下、実施例１のダイシングシート同様
に、ワーク材であるセラミックの大判基板の切断加工に
使用できた。

【００５２】

【発明の効果】本発明のダイシングシートを使用する
と、転写形成される接着剤層は膜厚が均一で、かつその
表面平滑性に優れるものとできるので、ワーク材の微細
加工に際して精密加工を可能とし、また、易剥離性部に
より、ワーク材の微細加工に際しての位置合わせを正確
にでき、また、接着剤層の転写に際しての作業性に優れ
るものとできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のダイシングシートの平面図
を示す。

【図２】図２は、本発明のダイシングシートの断面図
である。

【符号の説明】１はプラスチックフィルム基材、２は加熱溶融型固形接
着剤の有機溶剤溶液塗布層、３はカバーフィルム、４は
易剥離性部。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラスチックフィルム基材上に、加熱溶
融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層を５μｍ〜３００
μｍの乾燥後膜厚で設けたことを特徴とするダイシング
シート。
【請求項２】プラスチックフィルム基材における加熱
溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層面側の濡れ指数
が４０ｍＮ／ｍ〜４８ｍＮ／ｍであることを特徴とする
請求項１記載のダイシングシート。
【請求項３】加熱溶融型固形接着剤が、酸価が６５ｍ
ｇＫＯＨ／ｇ以上のセラック樹脂からなることを特徴と
する請求項１、または請求項２記載のダイシングシー
ト。
【請求項４】加熱溶融型固形接着剤の有機溶剤溶液塗
布層中に、有機または無機フィラーを混合したことを特
徴とする請求項１〜請求項３のいずれか一つ記載のダイ
シングシート。
【請求項５】プラスチックフィルム基材の膜厚が３．
５μｍ〜２００μｍであることを特徴とする請求項１〜
請求項４のいずれか一つ記載のダイシングシート。
【請求項６】プラスチックフィルム基材と加熱溶融型
固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層との接着力が０．２Ｋ
Ｐａ〜６．０ＫＰａであることを特徴とする請求項１〜
請求項５のいずれか一つ記載のダイシングシート。
【請求項７】プラスチックフィルム基材と加熱溶融型
固形接着剤の有機溶剤溶液塗布層間であって、ワークサ
イズ端部に対応した箇所にパターン状に易剥離性部を設
けたことを特徴とする請求項１〜請求項６のいずれか一
つ記載のダイシングシート。