JP2000292467A

JP2000292467A - 計測装置

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Publication number: JP2000292467A
Application number: JP11103747A
Authority: JP
Inventors: Takashi Kuwabara; 孝桑原
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1999-04-12
Filing date: 1999-04-12
Publication date: 2000-10-20
Anticipated expiration: 2019-04-12
Also published as: JP3728745B2

Abstract

(57)【要約】【課題】コンタクトチェックの判断をある一定期間継
続して行うことが可能な計測装置を提供することを目的
とする。【解決手段】プラス電流端子とプラス電圧端子に第１
の診断用定電流源回路を接続し、この両端に発生する電
圧から接触不良を検知してエラー信号を出力する第１の
診断回路と、マイナス電流端子とマイナス電圧端子に第
２の診断用定電流源回路を接続し、この両端に発生する
電圧から接触不良を検知してエラー信号を出力する第２
の診断回路を備えた４線式抵抗測定を行う計測装置にお
いて、前記第１及び第２の診断回路は、入力信号と基準
電圧の比較信号を出力するコンパレータと、前記コンパ
レータの出力と制御信号のアンド信号を出力するアンド
回路によって構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定物の測定を
行う前あるいは後に、計測装置と被測定物との結線状態
を診断する診断機能を備えた計測装置に関し、特に診断
回路を改善することによって、結線状態の診断を短時間
で正確に行うことが可能な計測装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、プリント基板の高密度実装化にと
もない、例えばこれに実装するチップ抵抗のように微小
サイズの部品が大量に生産されている。このようなチッ
プ抵抗を大量生産する製造ラインでは微小サイズの部品
を高速で短時間に検査する必要があるため、測定用リー
ド線とチップ抵抗との間に接触不良が発生しやすく、こ
れに伴なう誤測定が多発していた。

【０００３】その対策として、例えばチップ抵抗の抵抗
測定を行う場合、その前あるいは後に、計測装置と被測
定物を接続する測定用リード線が被測定物に完全に結線
されているか否かの診断（以下、コンタクトチェックと
いう。）を行い、両者の結線状態が正常と判断された時
の測定値を有効値として採用している。また、チップ抵
抗を大量生産する製造ラインにおいて、このコンタクト
チェックに要する時間は、およそ１ｍｓｅｃ程度であ
る。

【０００４】このような目的に用いる従来のコンタクト
チェック機能を備えた計測装置の構成を図３を用いて説
明する。同図は従来のコンタクトチェック機能を備えた
４線式抵抗計測装置の一例を示す構成図である。

【０００５】同図において、被測定物である被測定抵抗
１の一端アは、測定用リード線２ａ及び３ａを介して計
測装置１００のプラス電流端子２及びプラス電圧端子３
に接続され、被測定抵抗１の他の一端イは、測定用リー
ド線５ａ及び４ａを介して計測装置１００のマイナス電
流端子５及びマイナス電圧端子４に接続されている。ま
た、ここで図中に記された２ｂ〜５ｂは、各測定用リー
ド線２ａ〜５ａの接触抵抗を含めた配線抵抗である。

【０００６】計測装置１００の内部では、第１の診断用
定電流源回路１０の電流出力端子ウがスイッチ回路６の
可動接点ｂに接続され、電流入力端子エがスイッチ回路
７の可動接点ｂに接続されている。また、前記電流出力
端子ウ及び電流入力端子エは第１の差動アンプ１３に接
続され、この第１の差動アンプ１３の出力は第１の診断
回路１６の入力に接続されている。

【０００７】同様に、第２の診断用定電流源回路１２の
電流出力端子オがスイッチ回路８の可動接点ｂに接続さ
れ、電流入力端子カがスイッチ回路９の可動接点ｂに接
続されている。また、前記電流出力端子オ及び電流入力
端子カは第２の差動アンプ１５に接続され、この第２の
差動アンプ１５の出力は第２の診断回路１８の入力に接
続されている。

【０００８】更に、測定用定電流源回路１１の電流出力
端子はスイッチ回路６の可動接点ａに接続され、電流入
力端子はスイッチ回路９の可動接点ａに接続されてい
る。また、スイッチ回路７の可動接点ａとスイッチ回路
８の可動接点ａは差動アンプ１４に接続され、この差動
アンプ１４の出力はＡ／Ｄ変換器１７の入力に接続され
ている。

【０００９】スイッチ回路６の固定接点ｃはプラス電流
端子２に接続され、スイッチ回路７の固定接点ｃはプラ
ス電圧端子３に接続され、スイッチ回路８の固定接点ｃ
はマイナス電圧端子４に接続され、スイッチ回路９の固
定接点ｃはマイナス電流端子５に接続されている。ま
た、これらのスイッチ回路の動作はＣＰＵ１９から制御
される。

【００１０】また、第１の診断回路１６及びＡ／Ｄ変換
器１７と第２の診断回路１８の出力は、ＣＰＵ１９に接
続されている。

【００１１】上記のような構成の計測装置１００の動作
について以下に説明する。まず、計測装置１００が被測
定抵抗１の抵抗測定を行う場合、ＣＰＵ１９から各スイ
ッチ回路６〜９の固定接点ｃを可動接点ａに接続する制
御信号が各スイッチ回路６〜９に出力される。これによ
って、各スイッチ回路６〜９の固定接点ｃは可動接点ａ
に接続される。

【００１２】この時、測定用定電流源回路１１から既知
の定電流Ｉ１１がプラス電流端子２とマイナス電流端子
５を介して被測定抵抗１に供給され、被測定抵抗１の両
端で発生する電圧がプラス電圧端子３とマイナス電圧端
子４を介して差動アンプ１４に入力される。

【００１３】差動アンプ１４の出力は、Ａ／Ｄ変換器１
７によってデジタル値に変換されＣＰＵ１９に入力され
る。ＣＰＵ１９は、ここで得られたデジタル値Ｄ１７を
前記既知の定電流Ｉ１１で除算することによって被測定
抵抗１の抵抗値を求めることが可能である。

【００１４】次に計測装置１００がコンタクトチェック
を行う場合は、ＣＰＵ１９から各スイッチ回路６〜９の
固定接点ｃを可動接点ｂに接続する制御信号が各スイッ
チ回路６〜９に出力される。これによって、各スイッチ
回路６〜９の固定接点ｃは可動接点ｂに接続される。

【００１５】この時、第１の診断用定電流源回路１０か
ら定電流Ｉ１０がプラス電流端子２を介して測定用リー
ド線２ａと３ａを通過し、プラス電圧端子３を介して第
１の診断用定電流源回路１０に帰還する。この時、第１
の診断用定電流源回路１０の両端には、測定リード線２
ａと３ａの配線抵抗２ｂと３ｂに対応する電圧Ｖ１０が
発生し、この電圧Ｖ１０は差動アンプ１３に入力され、
その出力は第１の診断回路１６に入力される。

【００１６】第１の診断回路１６に入力される差動アン
プ１３の出力信号Ａ１３は、測定用リード線２ａと３ａ
が被測定抵抗１の一端アに完全に結線された状態の時、
配線抵抗２ｂと３ｂを加算した値に定電流Ｉ１０を乗算
した値となる。そしてこの値は、測定用リード線２ａと
３ａの長さによって異なるが一般的に小さな値である。
また、逆に測定用リード線２ａと３ａが被測定抵抗１の
一端アにおいて接触不良をおこし完全に結線された状態
でない場合、被測定抵抗１の一端アにおいて接触抵抗が
増大するため、出力信号Ａ１３は一般的に大きな値とな
る。第１の診断回路１６は、この出力信号Ａ１３の値を
適切に調整された基準電圧と比較することにより、測定
抵抗１の一端アにおける接触不良を検出し、エラー信号
Ｄ１６を発生してＣＰＵ１９に出力する。

【００１７】ＣＰＵ１９は、前記エラー信号Ｄ１６が入
力されると、前記被測定抵抗１の抵抗値を無効とし、異
常が発生したことを測定者に通知する。また、計測装置
１００が例えばチップ抵抗の製造ラインの検査装置とし
て用いられている場合は、この時点で、被測定抵抗１を
不良品として選別する。

【００１８】また、上記と同様のコンタクトチェック
は、上記と同様に構成された第２の診断用定電流源回路
１２と差動アンプ１５と第２の診断回路１８を用いて、
測定リード線４ａ及び５ａについても行われ、ここで接
触不良が検出されるとエラー信号Ｄ１８がＣＰＵ１９に
出力される。

【００１９】ここで、第１の診断回路１６の構成図を図
４に示す。同図において、差動アンプ１３の出力信号Ａ
１３は、基準電圧２１との比較信号を出力するコンパレ
ータ２０に接続され、その出力はＤフリップフロップ２
３の入力端子Ｄに接続される。

【００２０】Ｄフリップフロップ２３は、ＣＰＵ１９か
ら入力される制御信号ＥＮのアップエッジによって入力
端子Ｄに入力された信号をラッチし、その信号を出力端
子Ｑから出力する回路である。このＤフリップフロップ
２３の出力がエラー信号Ｄ１６としてＣＰＵ１９に出力
される。

【００２１】このような構成の第１の診断回路１６にお
いて、測定用リード線２ａ及び３ａと被測定抵抗１との
間に接触不良が発生した場合の動作を図５に示すタイム
チャートを用いて説明する。同図は、このような場合に
おける差動アンプ１３の出力Ａ１３と、コンパレータ２
０の出力Ｄ２０と、フリップフロップ２３の制御信号Ｅ
Ｎと、エラー信号Ｄ１６の関係を示す図である。

【００２２】図５において、ＣＰＵ１９は、コンタクト
チェックを開始する時、（Ｔ１に示すタイミングであ
る。）前記各スイッチ回路６〜９に対して制御信号を出
力し、各スイッチ回路６〜９の固定接点ｃを可動接点ｂ
に接続する。

【００２３】この時、差動アンプ１３の出力信号Ａ１３
が、第１の診断回路１６に入力される。この時入力され
る出力信号Ａ１３は、前述の理由により基準電圧２１よ
り大きい高い値となる。（Ｔ２に示すタイミングであ
る。）

【００２４】コンパレータ２０は、出力信号Ａ１３と基
準電圧２１を比較し、出力信号Ａ１３が基準電圧２１よ
り大きいので出力Ｄ２０をハイ状態とする。（Ｔ３に示
すタイミングである。）

【００２５】ＣＰＵ１９は、コンタクトチェックを開始
して一定時間が経過するとＤフリップフロップ２３に制
御信号ＥＮを出力する。（Ｔ４に示すタイミングであ
る。）

【００２６】Ｄフリップフロップ２３は制御信号ＥＮの
アップエッジを検出し、（Ｔ５に示すタイミングであ
る。）この時入力端子Ｄに入力されたハイ状態の出力信
号Ｄ２０をラッチし、出力端子Ｑよりエラー信号Ｄ１６
としてＣＰＵ１９へ出力する。（Ｔ６に示すタイミング
である。）

【００２７】次にＣＰＵ１９は、前記各スイッチ回路６
〜９に対して制御信号を出力し、各スイッチ回路６〜９
の固定接点ｃを可動接点ａに接続し、コンタクトチェッ
クを終了する。（Ｔ７に示すタイミングである。）つま
り、各スイッチ回路６〜９の固定接点ｃが可動接点ｂに
接続されている期間Ｔ８が計測装置１００がコンタクト
チェックを実施している期間である。

【００２８】また、前記第１の診断回路１６において、
測定用リード線２ａと３ａが被測定抵抗１に正常に結線
され接触不良が発生していない場合の動作を図６に示す
タイムチャートを用いて説明する。同図に示した信号
は、図５と同様である。

【００２９】図６において、ＣＰＵ１９は、コンタクト
チェックを開始する時、（Ｔ１に示すタイミングであ
る。）前記各スイッチ回路６〜９に対して制御信号を出
力し、各スイッチ回路６〜９の固定接点ｃを可動接点ｂ
に接続する。

【００３０】この時、差動アンプ１３の出力信号Ａ１３
が、第１の診断回路１６に入力される。この時入力され
る出力信号Ａ１３は、前述の理由により基準電圧２１よ
り小さい値となる。（Ｔ２に示すタイミングである。）

【００３１】コンパレータ２０は、出力信号Ａ１３と基
準電圧２１を比較し、出力信号Ａ１３が基準電圧２１よ
り大きいので出力Ｄ２０をロー状態とする。（Ｔ３に示
すタイミングである。）

【００３２】ＣＰＵ１９は、コンタクトチェックを開始
して一定時間が経過するとＤフリップフロップ２３に制
御信号ＥＮを出力する。（Ｔ４に示すタイミングであ
る。）

【００３３】Ｄフリップフロップ２３は制御信号ＥＮの
アップエッジを検出し、（Ｔ５に示すタイミングであ
る。）この時入力端子Ｄに入力されたロー状態の出力信
号Ｄ２０をラッチする。この時、Ｄフリップフロップ２
３の出力端子Ｑから出力される信号はロー状態であり、
エラー信号Ｄ１６はＣＰＵ１９へ出力されない。（Ｔ６
に示すタイミングである。）

【００３４】次にＣＰＵ１９は、前記各スイッチ回路６
〜９に対して制御信号を出力し、各スイッチ回路６〜９
の固定接点ｃを可動接点ａに接続し、コンタクトチェッ
クを終了する。（Ｔ７に示すタイミングである。）

【００３５】このような動作によって、第１の診断回路
１６は、測定用リード線２ａ及び３ａと被測定抵抗１と
のコンタクトチェックを実施し、エラー信号Ｄ１６はＣ
ＰＵ１９へ出力する。尚、第２の診断回路１８は、第１
の診断回路１６と同じ構成の回路であり、測定用リード
線４ａ及び５ａと被測定抵抗１とのコンタクトチェック
を上記と同様の動作によって実施し、エラー信号Ｄ１８
をＣＰＵ１９へ出力する

【００３６】計測装置１００は、上記に説明した構成の
回路を用いて被測定抵抗と測定用リード線とのコンタク
トチェックを実施し、両者の結線状態が正常と判断され
た時の測定値を有効値として用いることにより誤測定を
防止することが可能となる。

【００３７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の計
測装置では、コンタクトチェックの判断が瞬間的に行わ
れるため、接触不良の状態によってはコンタクトチェッ
クの誤判断が発生するという問題点があった。

【００３８】これは、図４に示した第１の診断回路１６
において、コンタクトチェックの判断を、ＣＰＵ１９か
ら出力される制御信号ＥＮのアップエッジが検出された
瞬間のコンパレータ２０の出力信号Ｄ２０の状態で判断
しているために発生する問題である。例えば、図７に示
すように、測定用リード線と被測定抵抗１との接触不良
によって、差動アンプ１３の出力Ａ１３が激しく変動し
ている場合、正しくは接触不良と判断されるべきとこ
ろ、制御信号ＥＮのアップエッジがＴ１０のタイミング
に来た時、これは正常と判断されてしまう。

【００３９】ここでコンタクトチェックが正常と判断さ
れたことによって、計測装置１００は被測定抵抗の抵抗
測定を行うが、このような不安定な信号が差動アンプ１
４を介してＡ／Ｄ変換器１７に入力されたとしても、Ａ
／Ｄ変換器１７が積分型であった場合は、入力信号が平
均化され、抵抗測定値が正常な範囲に入ってしまう場合
がある。

【００４０】計測装置１００が例えばチップ抵抗の製造
ラインの検査装置として用いられている場合、このよう
な場合は、コンタクトチェックも抵抗測定値も正常であ
るため、正しくは不良品であるべき被測定抵抗が良品と
して判断されてしまう。

【００４１】また、例えばチップ抵抗の製造ラインにお
いて、測定用リード線が被測定抵抗に完全に接触するた
めの安定時間が充分にとられている場合は、図７に示し
たような状態となる可能性は極めて小さく、従来の計測
装置でも信頼性に問題は無かった。しかし、近年ではチ
ップ抵抗の需要の増大と共に製造ラインのタクトタイム
は年々短くなり、測定用リード線が被測定抵抗に完全に
接触するための安定時間も限界まで短くする必要性に迫
られている。一方、製品の品質と信頼性に対する要求は
年々厳しくなっている。このような状況において従来の
計測装置では測定の高い信頼性を確保することは困難で
ある。

【００４２】本発明は、上記課題を解決するもので、コ
ンタクトチェックの判断をある一定期間継続して行うこ
とが可能な計測装置を提供することを目的とする。

【００４３】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために請求項１に記載の発明では、４線式抵抗測定を
行う計測装置において、前記プラス電流端子とプラス電
圧端子に第１の診断用定電流源回路を接続し、前記プラ
ス電流端子からプラス電圧端子に定電流を供給し、この
第１の診断用定電流源回路の両端に発生する電圧を第１
の差動アンプに入力して得られる出力から前記プラス電
流端子及びプラス電圧端子から被測定物に接続された配
線の接触不良を検知してエラー信号を出力する第１の診
断回路と、前記マイナス電流端子とマイナス電圧端子に
第２の診断用定電流源回路を接続し、前記マイナス電流
端子からマイナス電圧端子に定電流を供給し、この第２
の診断用定電流源回路の両端に発生する電圧を第２の差
動アンプに入力して得られる出力から前記マイナス電流
端子及びマイナス電圧端子から被測定物に接続された配
線の接触不良を検知してエラー信号を出力する第２の診
断回路と、前記第１の診断回路と前記第２の診断回路が
出力するエラー信号を入力し、前記被測定物と計測装置
の接触不良を検出すると共に計測装置全体を制御するＣ
ＰＵを備えた計測装置において、前記第１の診断回路
は、前記第１の差動アンプの出力と基準電圧の比較信号
を出力するコンパレータと、前記コンパレータの出力と
制御信号のアンド信号を出力するアンド回路によって構
成され、前記第２の診断回路は、前記第２の差動アンプ
の出力と基準電圧の比較信号を出力するコンパレータ
と、前記コンパレータの出力と制御信号のアンド信号を
出力するアンド回路によって構成されたことを特徴とす
るものである。

【００４４】これにより、前記コンパレータの出力と前
記制御信号のアンド信号を診断回路から出力するエラー
信号として出力することが可能となる。

【００４５】請求項２から６記載の発明では、請求項１
に記載の計測装置において、コンタクトチェックと通常
測定の切換えを安価でシンプルな回路で実現することが
可能となる。

【００４６】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明に係る計測装置に適用された診
断回路の一実施例を示す回路図である。その他の部分は
図３に示した従来例と同様であるため、その説明を省略
する。

【００４７】図１は、本発明に係る計測装置に適用され
た第１の診断回路１６’の構成を示す回路図である。ま
た、第２の診断回路１８は第１の診断回路１６’と同一
構成の回路であるため、その説明を省略する

【００４８】図１において、差動アンプ１３の出力信号
Ａ１３は、基準電圧２１との比較信号を出力するコンパ
レータ２０に接続され、その出力はアンドゲート２７の
入力端子に接続される。

【００４９】また、アンドゲート２７の他の入力端子に
は、ＣＰＵ１９から入力される制御信号ＥＮ’が接続さ
れている。このアンドゲート２７の出力がエラー信号Ｄ
１６としてＣＰＵ１９に出力される。

【００５０】このような構成の第１の診断回路１６’に
おいて、問題点として説明した図７のように、測定用リ
ード線と被測定抵抗１との接触不良によって、差動アン
プ１３の出力Ａ１３が激しく変動している場合の動作を
図２に示すタイムチャートを用いて説明する。同図は、
差動アンプ１３の出力Ａ１３と、コンパレータ２０の出
力Ｄ２０と、アンドゲート２７に入力された制御信号Ｅ
Ｎ’と、エラー信号Ｄ１６の関係を示す図である。

【００５１】図２において、ＣＰＵ１９は、コンタクト
チェックを開始する時、（Ｔ１に示すタイミングであ
る。）前記各スイッチ回路６〜９に対して制御信号を出
力し、各スイッチ回路６〜９の固定接点ｃを可動接点ｂ
に接続する。

【００５２】この時、差動アンプ１３の出力信号Ａ１３
が、第１の診断回路１６に入力される。この時入力され
る出力信号Ａ１３は、同図に示すように激しく変動する
信号である。

【００５３】コンパレータ２０は、出力信号Ａ１３と基
準電圧２１を比較し、同図に示すような不規則なパルス
状の出力信号Ｄ２０を出力する。

【００５４】ＣＰＵ１９は、コンタクトチェックを開始
して一定時間が経過するとアンドゲートの入力に接続さ
れた制御信号ＥＮ’をハイ状態とする。（Ｔ３に示すタ
イミングである。）

【００５５】アンドゲート２７は、制御信号ＥＮ’とコ
ンパレータ２０のアンド信号を出力する。従って、アン
ドゲート２７は制御信号ＥＮ’がハイ状態の期間Ｔ２に
おいて継続してコンパレータ２０の出力信号Ｄ２０をエ
ラー信号Ｄ１６としてＣＰＵ１９へ出力する。

【００５６】次にＣＰＵ１９は、前記各スイッチ回路６
〜９に対して制御信号を出力し、各スイッチ回路６〜９
の固定接点ｃを可動接点ａに接続し、コンタクトチェッ
クを終了する。（Ｔ７に示すタイミングである。）

【００５７】つまり、本発明の計測装置は、コンタクト
チェック回路を図１のような構成とすることによって、
コンタクトチェックの判断をある一定期間継続して行う
ことが可能となる。従ってＣＰＵ１９は、コンタクトチ
ェック回路に入力される信号が測定用リード線の接触不
良等によって激しく変動する場合においても確実に接触
不良を検知することが可能となる。

【００５８】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。

【００５９】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によれば次のような効果がある。請求項１に記載
の発明では、計測装置において、コンタクトチェックの
判断を一定期間継続して行うことが可能となるため、コ
ンタクトチェックの検出感度が向上し、信頼性の高い抵
抗測定を行うことが可能となる。従って本発明の計測装
置を例えばチップ抵抗の製造ラインの検査装置として用
いる場合、短時間で正確に良品と不良品の判別を行うこ
とが可能となる。

【００６０】請求項２から６に記載の発明では、請求項
１に記載された発明の計測装置において、コンタクトチ
ェックと通常測定の切換えを安価でシンプルな回路で実
現することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る計測装置の一実施例を示す回路図
である。

【図２】本発明に係る計測装置の各部の信号を説明する
タイムチャートである。

【図３】従来の計測装置の一例を示す構成図である。

【図４】従来の計測装置の診断回路の一例を示す回路図
である。

【図５】従来の計測装置の各部の信号を説明するタイム
チャートである。

【図６】従来の計測装置の各部の信号を説明するタイム
チャートである。

【図７】従来の計測装置の各部の信号を説明するタイム
チャートである。

【符号の説明】

１被測定抵抗２プラス電流端子３プラス電圧端子４マイナス電圧端子５マイナス電流端子６、７、８、９スイッチ回路１０、１２診断用定電流源回路１１測定用定電流源回路１３、１４、１５差動アンプ１６第１の診断回路１７Ａ／Ｄ変換器１８第１の診断回路１９ＣＰＵ２０コンパレータ２１基準電圧２３Ｄフリップフロップ２７ＡＮＤゲート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】プラス電流端子とマイナス電流端子に測定
用定電流源回路を接続し、前記プラス電流端子とマイナ
ス電流端子を介して被測定物に定電流を供給するととも
に、プラス電圧端子及びマイナス電圧端子を介して前記
被測定物の両端に発生する電圧を測定回路によって測定
し、前記被測定物の抵抗値を求める４線式抵抗測定を行
う計測装置であって、前記プラス電流端子とプラス電圧端子に第１の診断用定
電流源回路を接続し、前記プラス電流端子からプラス電
圧端子に定電流を供給し、この第１の診断用定電流源回
路の両端に発生する電圧を第１の差動アンプに入力して
得られる出力から前記プラス電流端子及びプラス電圧端
子から被測定物に接続された配線の接触不良を検知して
エラー信号を出力する第１の診断回路と、前記マイナス電流端子とマイナス電圧端子に第２の診断
用定電流源回路を接続し、前記マイナス電流端子からマ
イナス電圧端子に定電流を供給し、この第２の診断用定
電流源回路の両端に発生する電圧を第２の差動アンプに
入力して得られる出力から前記マイナス電流端子及びマ
イナス電圧端子から被測定物に接続された配線の接触不
良を検知してエラー信号を出力する第２の診断回路と、前記第１の診断回路と前記第２の診断回路が出力するエ
ラー信号を入力し、前記被測定物と計測装置の接触不良
を検出すると共に計測装置全体を制御するＣＰＵを備え
た計測装置において、前記第１の診断回路は、前記第１の差動アンプの出力と
基準電圧の比較信号を出力するコンパレータと、前記コ
ンパレータの出力と制御信号のアンド信号を出力するア
ンド回路によって構成され、前記第２の診断回路は、前記第２の差動アンプの出力と
基準電圧の比較信号を出力するコンパレータと、前記コ
ンパレータの出力と制御信号のアンド信号を出力するア
ンド回路によって構成されたことを特徴とする計測装
置。
【請求項２】前記プラス電流端子とマイナス電流端子
は、被測定物の抵抗測定を行う場合、前記測定用定電流
源回路に接続されるように構成されたことを特徴とする
請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】前記プラス電圧端子とマイナス電圧端子
は、被測定物の抵抗測定を行う場合、前記測定回路に接
続されるように構成されたことを特徴とする請求項１に
記載の計測装置。
【請求項４】前記プラス電流端子とプラス電圧端子は、
接触不良の診断を行う場合、前記第１の診断用定電流源
回路に接続されるように構成されたことを特徴とする請
求項１に記載の計測装置。
【請求項５】前記マイナス電流端子とマイナス電圧端子
は、接触不良の診断を行う場合、前記第２の診断用定電
流源回路に接続されるように構成されたことを特徴とす
る請求項１に記載の計測装置。
【請求項６】前記測定回路は、前記プラス電圧端子とマ
イナス電圧端子の電圧信号をそれぞれ入力する差動アン
プと、この差動アンプの出力をデジタル変換するＡ／Ｄ
変換器によって構成されたことを特徴とする請求項１に
記載の計測装置。