JPH0737954A - コンタクト不良検出装置 - Google Patents

コンタクト不良検出装置

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JPH0737954A
JPH0737954A JP17942093A JP17942093A JPH0737954A JP H0737954 A JPH0737954 A JP H0737954A JP 17942093 A JP17942093 A JP 17942093A JP 17942093 A JP17942093 A JP 17942093A JP H0737954 A JPH0737954 A JP H0737954A
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JP
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electrode pad
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JP17942093A
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Inventor
Shigeru Muto
茂 武藤
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンタクト不良検出装置に関し、測定針とA
l電極パッド間の接触状態を容易に、かつ精度良く検出
する。 【構成】 被測定金属部材1,11に接触させる2個の測
定部材2a,2b,12a,12bと、該被測定金属部材
1,11に該2個の測定部材2a,2b,12a,12bを接
触した時の該2個の測定部材2a,2b,12a,12b間
の接触抵抗を測定する抵抗測定手段3と、該2個の測定
部材2a,2b,12a,12b間に所定の電流を供給する
電流供給手段と、該電流供給手段によって該2個の測定
部材2a,2b,12a,12b間に所定量の電流を流した
時の電圧測定値と目標電圧値とを比較判定し、この比較
判定結果に基づいて該2個の測定部材2a,2b,12
a,12bと該被測定金属部材1,11の接触状態が正常で
あるか異常であるかを判断する正常/異常判断手段9と
を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、コンタクト不良検出装
置に係り、詳しくは、半導体装置等におけるAl等の電
極パッド間の導通状態等を検出する技術に適用すること
ができ、特に、測定針とAl電極パッド間の接触状態を
容易に、かつ精度良く検出することができるコンタクト
不良検出装置に関する。
【0002】近年、半導体装置等における各Al電極パ
ッド間の配線等の導通状態等を検出する検出方法では、
各Al電極パッドに1本づつ測定針を立てて、テスター
により各Al電極パッド間の配線等の導通状態等を検出
しており、Al電極パッドと測定針の接触状態を確認す
る機能を有していなかった。このため、仮に測定針先に
ゴミ等の異物が付着して測定針とAl電極パッドが接触
不良を生じていた時、Al電極パッドと測定針先が接触
不良を生じた状態でAl電極間パッド間の測定を行って
しまい、その結果、Al電極パッド間の測定を精度良く
行い難いという不具合があった。
【0003】そこで、測定針とAl電極パッド間の接触
状態を容易に、かつ精度良く検出することができ、Al
電極パッド間の測定を精度良く行うことができるコンタ
クト不良検出装置が要求されている。
【0004】
【従来の技術】従来、半導体装置等における各Al電極
パッド間の配線等の導通状態等を検出する方法では、各
Al電極パッドに1本づつ測定針を立てて、テスターに
より各Al電極パッド間の配線等の導通状態等を検出し
ていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の検出方法では、各Al電極パッドに1本づつ測
定針を立てて、テスターにより各Al電極パッド間の配
線等の導通状態等を検出しており、Al電極パッドと測
定針の接触状態を確認する機能を有していなかったた
め、仮に測定針先にゴミ等の異物が付着して測定針とA
l電極パッドが接触不良を生じていると、Al電極パッ
ドと測定針先が接触不良を生じた状態でAl電極間パッ
ド間の測定を行ってしまい、その結果、Al電極パッド
間の測定を精度良く行い難いという問題があった。
【0006】そこで、従来では、測定針とAl電極パッ
ド間の接触抵抗を確認する場合は、製品から全面Alウ
ェーハへの切り換え作業を行っているが、この切り換え
作業は面倒であるうえ、この切り換え作業を行う分作業
工程数が増加する他、測定治具上の信号ライン上に抵抗
素子及びトランジスタ素子等が形成されている場合は素
子間をジャンパーする付加回路の増設が必要で、回路が
複雑化するという問題があった。
【0007】そこで、本発明は、製品から全面Alウェ
ーハへの切り換え作業を行うことなく、しかも測定治具
上の信号ライン上に抵抗素子及びトランジスタ素子等が
形成されている場合でも、測定針とAl電極パッド間の
接触状態を容易に、かつ精度良く検出することができ、
Al電極パッド間の測定を精度良く行うことができるコ
ンタクト不良検出装置を提供することを目的としてい
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明によるコンタクト
不良検出装置は、上記目的達成のため、被測定金属部材
に接触させる2個の測定部材と、該被測定金属部材に該
2個の測定部材を接触した時の該2個の測定部材間の接
触抵抗を測定する抵抗測定手段と、該2個の測定部材間
に所定量の電流を供給する電流供給手段と、該電流供給
手段によって該2個の測定部材間に所定量の電流を流し
た時の電圧測定値と目標電圧値とを比較判定し、この比
較判定結果に基づいて該2個の測定部材と該被測定金属
部材の接触状態が正常であるか異常であるかを判断する
正常/異常判断手段とを有することを特徴とするもので
ある。
【0009】本発明においては、前記判断手段により前
記接触状態が異常であると判定した時は、その旨を報知
する報知手段を設けるのが好ましく、この場合、異常で
ある旨を報知手段によりブザーを鳴らしたり、ランプを
点灯したりすれば確実に作業者に知らせることができ
る。本発明に係る前記被測定金属部材は、金属パッド又
はパッケージデバイスピンが好適であり、また、測定部
材は、測定針又はパッケージデバイスピンコネクターが
好適である。
【0010】
【作用】本発明では、後述する実施例の図1,2に示す
如く、同一電極パッド1に2本の測定針2a、2bを立
て、テスター3によって測定針2aと測定針2b間の電
極パッド1に対する導通状態を確認することができる
他、電流供給手段に繋がれたピン6より数十mAの電流
を流すことにより、測定針2aと電極パッド1、及び電
極パッド1と測定針2bとの経路の接触抵抗を読み取る
ことができる。しかも、この時の電圧降下分をコンパレ
ータ9側に取込んでREF電圧と比較判定することによ
り、ウェーハ測定途中で測定針2a,2b先に異物付着
等によるコンタクト不良が発生した場合、装置側へ異常
である旨の信号を出力することができる。そして、異常
である旨の信号を受けた装置は、ランプを点灯させたり
ブザーを鳴らしたりして作業者に電極パッド1と測定針
2a,2b間の接触不良を知らせることができる。
【0011】従って、従来の測定針先接触監視機能を有
していない場合よりも測定針2a、2bと電極パッド1
間の接触状態を容易に、かつ精度良く検出することがで
きるので、各電極パッド1間の測定を精度良く行うこと
ができる等、試験精度の向上を図ることができる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。 (実施例1)図1は本発明の実施例1に則したコンタク
ト不良検出装置の構成を示す図である。図1において、
1はAl等の電極パッドであり、2a,2bは同一の電
極パッド1に接触させる各々測定針であり、3は電極パ
ッド1に2本の測定針2a,2bを接触した時の2本の
測定針2a,2b間の導通状態(接触抵抗)を測定する
テスターであり、4は測定針2aとテスター3間のライ
ンに設けられたON/OFFスイッチであり、5は測定
針2bとテスター3間のラインに設けられたON/OF
Fスイッチである。そして、6は測定針2a,2b間に
所定量の電流を供給する電流供給源に接続されるピンで
あり、7はピン6と測定針2a間のラインに設けられた
ON/OFFスイッチであり、8は測定針2bと接地間
のラインに設けられたON/OFFスイッチであり、9
は電流供給源と接続されたピン6より2本の測定針2
a,2b間に所定量の電流を流した時の電圧降下値と目
標(REF)電圧値とを比較判定し、この比較判定結果
に基づいて電極パッド1と測定針2a,2b間の接触状
態が正常であるか異常であるかを判断し、該接触状態が
正常である場合はテスター装置へ正常である旨の信号を
出力し、該接触状態が異常である場合はテスター装置へ
異常である旨の信号を出力するコンパレータである。
【0013】次に、測定針2a,2bの電極パッド1に
対するコンタクトチェック方法を説明する。本実施例で
は、まず、スイッチ4,5をOFFするとともに、スイ
ッチ7,8をONし、電流供給源に接続されたピン6よ
り数十mAの電流を流し、図2に示す如く、この時の測
定針2aと電極パッド1の経路の接触抵抗Rc1 及び電
極パッド1と測定針2bの経路の接触抵抗Rc2 を読み
取る。そして、この時の電圧降下分をコンパレータ9側
に取り込んでREF電圧と比較判定し、この比較判定結
果に基づいて、測定針2a,2bと電極パッド1の接触
状態が正常である場合は、正常である旨の信号をテスタ
ー装置へ出力し、一方、測定針2a,2bと電極パッド
1の接触状態が異常である場合は、異常である旨の信号
をテスター装置へ出力する。
【0014】次に、デバイス測定を行う場合は、スイッ
チ4,5をONするとともにスイッチ7,8をOFFす
る。この時、デバイス測定を行うことができるととも
に、テスター3によって測定針2aと測定針2b間の導
通状態を確認することができる。このように、本実施例
では、同一電極パッド1に2本の測定針2a,2bを立
て、テスター3によって測定針2aと測定針2b間の電
極パッド1に対する導通状態を確認することができる
他、ピン6より数十mAの電流を流すことにより、測定
針2aと電極パッド1、及び電極パッド1と測定針2b
との経路の接触抵抗を読み取ることができる。しかも、
この時の電圧降下分をコンパレータ9側に取込んでRE
F電圧と比較判定することにより、ウェーハ測定途中で
測定針2a,2b先に異物付着等によるコンタクト不良
が発生した場合、装置側へ異常信号を出力することがで
きる。そして、異常である旨の信号を受けた装置は、ラ
ンプやブザー等をONして作業者に電極パッド1と測定
針2a,2b間の接触不良を知らせることができる。
【0015】従って、従来の測定針先接触監視機能を有
していない場合よりも測定針2a,2bと電極パッド1
間の接触状態を容易に、かつ、精度良く検出することが
できるので、各電極パッド1間の測定を精度良く行うこ
とができる等、試験精度の向上を図ることができる。 (実施例2)図3は本発明の実施例2に則したコンタク
ト不良検出装置の構成を示す図であり、図4は本発明の
実施例2に則したパッケージソケットを示す図である。
図3,4において、図1,2と同一符号は同一又は相当
部分を示し、10はパッケージソケットであり、11はパッ
ケージデバイスピンであり、12a,12bはパッケージデ
バイスピンコネクターである。
【0016】本実施例では、パッケージソケット10に実
施例1と同じコンタクト検出回路を適用した場合である
ので、実施例1と同様パッケージデバイスピン11とパッ
ケージデバイスピンコネクター12a,12b間の接触状態
を容易に、かつ精度良く検出することができる。
【0017】
【発明の効果】本発明によれば、製品から全面Alウェ
ーハへ切り換え作業を行うことなく、しかも測定治具上
の信号ライン上に抵抗素子及びトランジスタ素子等が形
成されている場合でも、測定針とAl電極パッド間の接
触状態を容易に、かつ精度良く検出することができ、A
l電極パッド間の測定を精度良く行うことができるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例1に則したコンタクト不良検出
装置の構成を示す図である。
【図2】本発明の実施例1に則したピンから接地までの
経路を示す回路図である。
【図3】本発明の実施例2に則したコンタクト不良検出
装置の構成を示す図である。
【図4】本発明の実施例2に則したパッケージソケット
を示す図である。
【符号の説明】
1 電極パッド 2a,2b 測定針 3 テスター 4,5,7,8 スイッチ 6 ピン 9 コンパレータ 10 パッケージソケット 11 パッケージデバイスピン 12a,12b パッケージデバイスピンコネクター

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定金属部材(1,11)に接触させる
    2個の測定部材(2a,2b,12a,12b)と、該被測
    定金属部材(1,11)に該2個の測定部材(2a,2
    b,12a,12b)を接触した時の該2個の測定部材(2
    a,2b,12a,12b)間の接触抵抗を測定する抵抗測
    定手段(3)と、該2個の測定部材(2a,2b,12
    a,12b)間に所定量の電流を供給する電流供給手段
    と、該電流供給手段によって該2個の測定部材(2a,
    2b,12a,12b)間に所定量の電流を流した時の電圧
    測定値と目標電圧値とを比較判定し、この比較判定結果
    に基づいて該2個の測定部材(2a,2b,12a,12
    b)と該被測定金属部材(1,11)の接触状態が正常で
    あるか異常であるかを判断する正常/異常判断手段
    (9)とを有することを特徴とするコンタクト不良検出
    装置。
  2. 【請求項2】 前記判断手段(9)により前記接触状態
    が異常であると判定した時、その旨を報知する報知手段
    を設けることを特徴とする請求項1記載のコンタクト不
    良検出装置。
  3. 【請求項3】 前記被測定金属部材(1,11)は、金属
    パッド(1)又はパッケージデバイスピン(11)であ
    り、前記測定部材(2a,2b,12a,12b)は、測定
    針(2a,2b)又はパッケージデバイスピンコネクタ
    ー(12a,12b)であることを特徴とする請求項1、2
    記載のコンタクト不良検出装置。
JP17942093A 1993-07-20 1993-07-20 コンタクト不良検出装置 Withdrawn JPH0737954A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001116522A (ja) * 1999-10-15 2001-04-27 Sharp Corp インターコネクタの溶接部の検査方法と検査装置
KR100739883B1 (ko) * 2006-11-07 2007-07-16 (주)피엘텍 프로브카드 신호채널의 검사장치 및 방법

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