JPH07151822A - ポゴピン圧力チェック機能付きテストボード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 接触不良の原因の一つであるポゴピン側の原
因を早期に発見し、テストの歩留まりを向上させるポゴ
ピン圧力チェック機能付きテストボードを提供する。 【構成】 ポゴピンを使用するテストヘッド部に装着す
るテストボードにおいて、ポゴピン１に接触し、接触圧
力に比例して内部抵抗が変化する圧力センサ半導体部３
をテストボード内に備え、圧力センサ半導体部３の出力
からポゴピン１の接触圧力を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、ＩＣ試験装置などの
テストヘッド部に装着し、ポゴピンを介して電気的に接
続するテストボードについてのものである。

【０００２】

【従来の技術】つぎに、ＩＣ試験装置におけるテストヘ
ッド部とテストボードの関係を図２を参照して説明す
る。ＩＣ試験装置は、テストヘッド部１０とテストボー
ド２０とを備え、テストボード２０の中央部に被測定Ｉ
Ｃ３０を装着して試験を行う。テストヘッド部１０には
それぞれ電気的な信号が接続されたポゴピンが多数個設
けられている。ポゴピンとは、内部にスプリングなどが
設けられ、接触部が上下動する構成の電気的な接触子で
ある。

【０００３】また、テストボード２０は被試験ＩＣ３０
を装着し、被試験ＩＣ３０の試験内容に応じてパターン
が形成され、試験を行う場合、テストヘッド部１０にテ
ストボード２０を装着し、テストボード２０上のパター
ンとテストヘッド部１０のポゴピンを接触させることに
より、被試験ＩＣ３０は電気的な信号が入力され、試験
が行われる。

【０００４】ここで、被試験ＩＣ３０の試験を確実に行
うためには、テストヘッド部１０のポゴピンとテストボ
ード２０上のパターンが確実に接触している必要があ
る。

【０００５】従来、テストヘッド部１０のポゴピンとテ
ストボード２０上のパターンが確実に接触しているかど
うかを確認するために、図示を省略した制御部により、
電気的に導通しているかどうかを検出するコンタクトテ
ストのテストプログラムを実行し、導通しているかどう
かを検出して判断していた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】テストプログラムでコ
ンタクトテストを実行する場合、ポゴピン内のスプリン
グの劣化やテストボードに対して垂直に接触していない
等による理由から、テストヘッド部１０のポゴピンがテ
ストボード２０上のパターンに接触する圧力が極端に弱
くても、判定をパスする事が多い。

【０００７】しかし、テスト中に振動等が発生した場
合、容易に接触不良が生じ、テスト不良となる場合があ
る。この考案は、接触不良の原因の一つであるポゴピン
側の原因を早期に発見し、テストの歩留まりを向上させ
るポゴピン圧力チェック機能付きテストボードの提供を
目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、この発明では、ポゴピンを使用するテストヘッド部
に装着するテストボードにおいて、ポゴピン１に接触
し、接触圧力に比例して内部抵抗が変化する圧力センサ
半導体部３をテストボード内に備え、圧力センサ半導体
部３の出力からポゴピン１の接触圧力を検出する。

【０００９】

【作用】次に、この発明によるテストボードの構成を図
１に示す。図１はテストヘッド部１０に装着されたテス
トボード２０の部分断面図であり、１はポゴピン、２は
ポゴピン受け座、３は圧力センサ半導体部、４は結線導
体、５はスルーホール、６は保護抵抗、７は計測ライン
の終端用スルーホール、８はボード芯層、９はボード保
護層である。

【００１０】図１で、被測定ポゴピン１は例として１ピ
ン分のみ示している。テストボードはボード芯層８とそ
れを上下方向から保護するボード保護層９からなり、ボ
ード芯層８の一部分に圧力センサ半導体部３を設け、圧
力センサ半導体部３の一部がポゴピン１と接触するよう
に、ボード保護層９にポゴピン受け座２が設けられてい
る。

【００１１】圧力センサ半導体部３は、例としてピエゾ
素子を使用することができ、結線導体４を介してテスト
ボード上の計測ラインと接続されている。スルーホール
５は計測ラインを外部へ出すためのものであり、終端用
スルーホール７は測定ラインを終端するためのものであ
る。保護抵抗６は計測ラインに必要により挿入する。ス
ルーホール５と終端用スルーホール７と保護抵抗６は実
際のテストボードに一般的に備えられるものであり、圧
力センサ半導体部３は、このようなテストパターン上の
構成の一部から電源を得て駆動する。

【００１２】図１で、テストボードがテストヘッド部１
０に装着されると、ポゴピン１は一定の圧力でポゴピン
受け座２に接触する。ポゴピン受け座２に対する接触圧
力は、圧力センサ半導体部３に伝わり、圧力に比例した
抵抗を出力する。

【００１３】テストヘッド部１０からポゴピン１に対し
電圧または電流を印加することにより、圧力センサ半導
体部３の抵抗値に応じて生じる電流値または電圧値を計
測すると、ポゴピン圧力に比例したデータが得られ、接
触圧力を考慮した良否判定が行われる。

【００１４】

【発明の効果】この発明によれば、ボードを装着したま
ま各ポゴピンの圧力を測定するので、ポゴピンのテスト
ボードに対する圧力が実使用状態に近い形で計測でき、
ポゴピンの接触圧力の低下による不良を早期に発見する
ことができるので、信頼性の高いテストを行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるテストヘッド部に装着したテス
トボードの部分構成断面図である。

【図２】ＩＣ試験装置におけるテストヘッド部とテスト
ボードの関係説明図である。

【符号の説明】

１ ポゴピン ２ ポゴピン受け座 ３ 圧力センサ半導体部 ４ 結線導体 ５ スルーホール ６ 保護抵抗 ７ 終端用スルーホール ８ ボード芯層 ９ ボード保護層 １０ テストヘッド部 ２０ テストボード ３０ 被測定ＩＣ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ポゴピンを使用するテストヘッド部に装
   着するテストボードにおいて、 ポゴピン(1) に接触し、接触圧力に比例して内部抵抗が
   変化する圧力センサ半導体部(3) をテストボード内に備
   え、圧力センサ半導体部(3) の出力からポゴピン(1) の
   接触圧力を検出することを特徴とするポゴピン圧力チェ
   ック機能付きテストボード。