JP2000289201A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１枚の基板または基板上に設けられた堆積層のいずれかに複数の圧力室を設けるとともに、前記圧力室よりも外側の堆積層に、個々の圧力室に対応する圧電アクチュエータ及びインク噴出用のノズルを形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記堆積層が半導体製造プロセスにより形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記基板がシリコン基板であり、前記シリコン基板に前記圧電アクチュエータを駆動する駆動回路が形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記圧電アクチュエータとノズル面との間に、前記圧電アクチュエータの変形に対する拘束力が小さな変形吸収層を設けたことを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェットプリンタ。
【請求項６】
１枚の基板または基板上に設けられた堆積層のいずれかに窪み加工によって複数の圧力室を形成したのち、前記圧力室を犠牲材で埋め込むとともに、前記圧力室より外側部分の堆積層に圧電アクチュエータ及びノズルを形成したのち、前記犠牲材を除去する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項１】
１枚の基板または基板上に設けられた堆積層のいずれかに複数の圧力室を設けるとともに、前記圧力室よりも外側の堆積層に、個々の圧力室に対応する圧電アクチュエータ及びインク噴出用のノズルを形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記堆積層が半導体製造プロセスにより形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
前記基板がシリコン基板であり、前記シリコン基板に前記圧電アクチュエータを駆動する駆動回路が形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記圧電アクチュエータとノズル面との間に、前記圧電アクチュエータの変形に対する拘束力が小さな変形吸収層を設けたことを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェットプリンタ。
【請求項６】
１枚の基板または基板上に設けられた堆積層のいずれかに窪み加工によって複数の圧力室を形成したのち、前記圧力室を犠牲材で埋め込むとともに、前記圧力室より外側部分の堆積層に圧電アクチュエータ及びノズルを形成したのち、前記犠牲材を除去する工程を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
図１は本発明の原理的構成の説明図であり、この図１を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。なお、図１は、ピエゾ方式インクジェットヘッドの概略的断面図であり、図における符号６，１０は、それぞれ振動板、上部電極である。
図１参照
（１）本発明は、インクジェットヘッドにおいて、１枚の基板１または基板１上に設けられた堆積層のいずれかに複数の圧力室２を設けるとともに、圧力室２よりも外側の堆積層に、個々の圧力室２に対応する圧電アクチュエータ４及びインク噴出用のノズル３を形成したことを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
図１は本発明の原理的構成の説明図であり、この図１を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明する。なお、図１は、ピエゾ方式インクジェットヘッドの概略的断面図であり、図における符号６，１０は、それぞれ振動板、上部電極である。
図１参照
（１）本発明は、インクジェットヘッドにおいて、１枚の基板１または基板１上に設けられた堆積層のいずれかに複数の圧力室２を設けるとともに、圧力室２よりも外側の堆積層に、個々の圧力室２に対応する圧電アクチュエータ４及びインク噴出用のノズル３を形成したことを特徴とする。
（２）また、本発明は、上記（１）において、前記堆積層が半導体製造プロセスにより形成されていることを特徴とする。（３）また、本発明は、上記（１）または（２）において、基板１がシリコン基板であり、このシリコン基板に圧電アクチュエータ４を駆動する駆動回路９が形成されていることを特徴とする。
（４）また、本発明は、上記（１）、（２）または（３）において、圧電アクチュエータ４とノズル面との間に、圧電アクチュエータ４の変形に対する拘束力が小さな変形吸収層５を設けたことを特徴とする。
（５）また、本発明は、インクジェトプリンタにおいて、上記（１）乃至（４）のいずれかのインクジェットヘッドを搭載したことを特徴とする。
（６）また、本発明は、インクジェットヘッドの製造方法において、１枚の基板１または基板１上に設けられた堆積層のいずれかに窪み加工によって複数の圧力室２を形成したのち、前記圧力室を犠牲材で埋め込むとともに、前記圧力室より外側部分の堆積層に圧電アクチュエータ４及びノズル３を形成したのち、犠牲材を除去する工程を有することを特徴とする。
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