JP2000277561A - 可動ステージ装置 - Google Patents
可動ステージ装置Info
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- JP2000277561A JP2000277561A JP11081664A JP8166499A JP2000277561A JP 2000277561 A JP2000277561 A JP 2000277561A JP 11081664 A JP11081664 A JP 11081664A JP 8166499 A JP8166499 A JP 8166499A JP 2000277561 A JP2000277561 A JP 2000277561A
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70858—Environment aspects, e.g. pressure of beam-path gas, temperature
- G03F7/709—Vibration, e.g. vibration detection, compensation, suppression or isolation
Abstract
(57)【要約】
【課題】 二軸ステージのＸ軸及びＹ軸とも駆動時に重
心位置を駆動でき、駆動後の残留振動を大幅に減少する
事の出来る可動ステージ装置を提供することにある。 【解決手段】 水平面内で平行移動される第１のテーブ
ルと、該第１のテーブルを駆動する第１駆動機構と、前
記第１のテーブルを載置したまま、これと直角方向に同
一水平面内で平行移動する第２のテーブルと、該第２の
テーブルを駆動する第２駆動機構とを備えた可動ステー
ジ装置であって、第１のテーブルの重心位置を検出する
検出手段と、該検出手段の検出結果と、予め測定された
第２のテーブルの重心位置とから第１、第２のテーブル
を合成した重心位置を算出し、この合成された重心位置
を第２駆動機構で駆動するので、駆動後の残留振動を大
幅に減少する事が出来る。
心位置を駆動でき、駆動後の残留振動を大幅に減少する
事の出来る可動ステージ装置を提供することにある。 【解決手段】 水平面内で平行移動される第１のテーブ
ルと、該第１のテーブルを駆動する第１駆動機構と、前
記第１のテーブルを載置したまま、これと直角方向に同
一水平面内で平行移動する第２のテーブルと、該第２の
テーブルを駆動する第２駆動機構とを備えた可動ステー
ジ装置であって、第１のテーブルの重心位置を検出する
検出手段と、該検出手段の検出結果と、予め測定された
第２のテーブルの重心位置とから第１、第２のテーブル
を合成した重心位置を算出し、この合成された重心位置
を第２駆動機構で駆動するので、駆動後の残留振動を大
幅に減少する事が出来る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術】本発明は可動ステージ装置に関
し、特に、ステージ駆動後に残留振動を減少することの
できる可動ステージ装置に関するものである。
し、特に、ステージ駆動後に残留振動を減少することの
できる可動ステージ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ワイヤーボンダ等の高速且つ高
精度で位置決めする事が要求される可動ステージ装置に
おいて駆動及びそれに続く停止後の残留振動が問題とな
っている。具体的にはワイヤーボンダ装置ではＸＹ可動
ステージが停止直後にボンディングする動作を行うが、
残留振動が存在するとボンディング性を著しく損なうこ
とになる。
精度で位置決めする事が要求される可動ステージ装置に
おいて駆動及びそれに続く停止後の残留振動が問題とな
っている。具体的にはワイヤーボンダ装置ではＸＹ可動
ステージが停止直後にボンディングする動作を行うが、
残留振動が存在するとボンディング性を著しく損なうこ
とになる。
【０００３】従来の可動ステージ装置の一例として、例
えば、テーブルをＸＹ方向に移動させるために、Ｙ軸方
向に移動する第１のテーブルをＸ軸方向に移動する第２
のテーブルに載せ、夫々ＸＹ方向に移動する事で位置制
御を行っていた。
えば、テーブルをＸＹ方向に移動させるために、Ｙ軸方
向に移動する第１のテーブルをＸ軸方向に移動する第２
のテーブルに載せ、夫々ＸＹ方向に移動する事で位置制
御を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上記の装
置では、第１のテーブルをＹ軸方向に移動すると、それ
を載せた第２のテーブルの全体としての重心位置が変わ
ってしまう。このため、第２のテーブルを駆動する際に
捻れが生じ、テーブルの駆動及び停止後の残留振動が発
生すると云う問題が存在していた。
置では、第１のテーブルをＹ軸方向に移動すると、それ
を載せた第２のテーブルの全体としての重心位置が変わ
ってしまう。このため、第２のテーブルを駆動する際に
捻れが生じ、テーブルの駆動及び停止後の残留振動が発
生すると云う問題が存在していた。
【０００５】そこで本願発明の目的は、二軸ステージ装
置において上軸及び下軸の駆動部が可動部の重心位置を
駆動することにより、ステージ駆動後の残留振動の少な
い可動ステージ装置を提供することである。
置において上軸及び下軸の駆動部が可動部の重心位置を
駆動することにより、ステージ駆動後の残留振動の少な
い可動ステージ装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため、基本的に以下に記載されたような構成を採用
するものである。すなわち本発明に係る可動ステージ装
置は、水平面内で平行移動される第１のテーブルと、該
第１のテーブルを駆動する第１駆動機構と、前記第１の
テーブルを載置したまま、これと直角方向に同一水平面
内で平行移動する第２のテーブルと、該第２のテーブル
を駆動する第２駆動機構とを備えた可動ステージ装置で
あって、第１のテーブルの重心位置を検出する検出手段
と、該検出手段の検出結果と、予め測定された第２のテ
ーブルの重心位置とから第１、第２のテーブルを合成し
た重心位置を算出し、この合成された重心位置を第２駆
動機構で駆動することを特徴とするものである。
するため、基本的に以下に記載されたような構成を採用
するものである。すなわち本発明に係る可動ステージ装
置は、水平面内で平行移動される第１のテーブルと、該
第１のテーブルを駆動する第１駆動機構と、前記第１の
テーブルを載置したまま、これと直角方向に同一水平面
内で平行移動する第２のテーブルと、該第２のテーブル
を駆動する第２駆動機構とを備えた可動ステージ装置で
あって、第１のテーブルの重心位置を検出する検出手段
と、該検出手段の検出結果と、予め測定された第２のテ
ーブルの重心位置とから第１、第２のテーブルを合成し
た重心位置を算出し、この合成された重心位置を第２駆
動機構で駆動することを特徴とするものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の可動ステージ装置は、上
記した様な従来技術に於ける問題点を解決する為、第１
のテーブルと、第１のテーブルを載置したままこれと直
角方向に平行移動する第２のテーブルとを備えた可動ス
テージ装置であって、第１のテーブルと、第２のテーブ
ルを合成した重心位置を算出し、この合成された重心位
置を駆動機構で駆動することによって、ステージ駆動後
の残留振動を少なくする事が出来る。
記した様な従来技術に於ける問題点を解決する為、第１
のテーブルと、第１のテーブルを載置したままこれと直
角方向に平行移動する第２のテーブルとを備えた可動ス
テージ装置であって、第１のテーブルと、第２のテーブ
ルを合成した重心位置を算出し、この合成された重心位
置を駆動機構で駆動することによって、ステージ駆動後
の残留振動を少なくする事が出来る。
【０００８】本実施例では、上軸である第１のテーブル
１２と第１駆動機構１３との間に駆動方向と直角方向に
動作できるＹ軸駆動ガイド１５を持ち、第１のテーブル
１２はＹ軸駆動ガイド１５を介して駆動される。Ｙ軸に
関してはガイドであるＹ軸ガイド１１は第１のテーブル
１２のＸ軸方向の重心位置に固定される。
１２と第１駆動機構１３との間に駆動方向と直角方向に
動作できるＹ軸駆動ガイド１５を持ち、第１のテーブル
１２はＹ軸駆動ガイド１５を介して駆動される。Ｙ軸に
関してはガイドであるＹ軸ガイド１１は第１のテーブル
１２のＸ軸方向の重心位置に固定される。
【０００９】また下軸であるＸ軸に関しては、第２のテ
ーブル１７が第２のテーブル１７に対して移動するた
め、重心位置は第１のテーブル１２の位置により変化す
る。そこで重心駆動のためにはＸ軸が駆動するもの、則
ち第２のテーブル１７と第１のテーブル１２の重心位置
を計算しその位置で駆動すればよい。本発明では第１の
テーブル１２の位置を検出し、第１のテーブル１２と第
２のテーブル１７のＹ軸方向重心を計算し、その重心位
置にＸ軸駆動連結部２１を移動し第２駆動機構１８によ
りＸ軸を駆動する。本方式では第１のテーブル１２がい
かなる位置にあっても第１のテーブル１２は常に重心位
置を駆動されることになる。そのことによりステージ駆
動後の残留振動は大幅に減少する。
ーブル１７が第２のテーブル１７に対して移動するた
め、重心位置は第１のテーブル１２の位置により変化す
る。そこで重心駆動のためにはＸ軸が駆動するもの、則
ち第２のテーブル１７と第１のテーブル１２の重心位置
を計算しその位置で駆動すればよい。本発明では第１の
テーブル１２の位置を検出し、第１のテーブル１２と第
２のテーブル１７のＹ軸方向重心を計算し、その重心位
置にＸ軸駆動連結部２１を移動し第２駆動機構１８によ
りＸ軸を駆動する。本方式では第１のテーブル１２がい
かなる位置にあっても第１のテーブル１２は常に重心位
置を駆動されることになる。そのことによりステージ駆
動後の残留振動は大幅に減少する。
【００１０】
【実施例】以下に、本発明に係る可動ステージ装置の一
具体例の構成を図面を参照しながら詳細に説明する。即
ち、図１は、本発明に係る可動ステージ装置の全体構成
を示す要部斜視図である。ここで、可動ステージ装置１
０は、水平面内でＹ軸ガイド１１にそって平行移動する
第１のテーブル１２と、該第１のテーブル１２を駆動す
る第１駆動機構１３と、前記第１のテーブル１２を載置
したまま、これと直角（Ｘ軸）方向に同一水平面内でＸ
軸ガイド１６にそって平行移動する第２のテーブル１７
と、該第２のテーブル１７をＸ軸方向に駆動する第２駆
動機構１８と、該第２駆動機構１８が第２のテーブル１
７を駆動する位置をＹ軸方向へ移動する重心調整モータ
２０と第１駆動機構１３、第２駆動機構１８、重心調整
モータ２０等を制御する制御機構２６を備えている。
具体例の構成を図面を参照しながら詳細に説明する。即
ち、図１は、本発明に係る可動ステージ装置の全体構成
を示す要部斜視図である。ここで、可動ステージ装置１
０は、水平面内でＹ軸ガイド１１にそって平行移動する
第１のテーブル１２と、該第１のテーブル１２を駆動す
る第１駆動機構１３と、前記第１のテーブル１２を載置
したまま、これと直角（Ｘ軸）方向に同一水平面内でＸ
軸ガイド１６にそって平行移動する第２のテーブル１７
と、該第２のテーブル１７をＸ軸方向に駆動する第２駆
動機構１８と、該第２駆動機構１８が第２のテーブル１
７を駆動する位置をＹ軸方向へ移動する重心調整モータ
２０と第１駆動機構１３、第２駆動機構１８、重心調整
モータ２０等を制御する制御機構２６を備えている。
【００１１】また、第１のテーブル１２のＸ軸方向の重
心（Ｇ１）位置には、Ｙ軸スライダー１４が固定されて
いる。そして、Ｙ軸スライダー１４の先端部は、Ｙ軸駆
動ガイド１５と係合しており、Ｘ軸方向に自在に移動す
る事ができる。更に、Ｙ軸駆動ガイド１５は、第１駆動
機構１３に固定されている。第１駆動機構１３は、制御
機構２６によって制御されている。
心（Ｇ１）位置には、Ｙ軸スライダー１４が固定されて
いる。そして、Ｙ軸スライダー１４の先端部は、Ｙ軸駆
動ガイド１５と係合しており、Ｘ軸方向に自在に移動す
る事ができる。更に、Ｙ軸駆動ガイド１５は、第１駆動
機構１３に固定されている。第１駆動機構１３は、制御
機構２６によって制御されている。
【００１２】第２のテーブル１７は、第１のテーブル１
２を載置したまま、Ｘ軸方向に同一水平面内でＸ軸ガイ
ド１６にそって平行移動する。そして、第２のテーブル
１７には、Ｙ軸方向に移動自在にＸ軸駆動ガイド１９が
取り付けられている。また、Ｘ軸駆動ガイド１９の移動
部にＸ軸駆動連結部２１が取り付けられている。一方、
Ｘ軸駆動ガイド１９は、ボールネジ２２に螺合してお
り、重心調整モータ２０を回転駆動する事により、固定
されたＸ軸駆動連結部２１をＹ軸方向へ移動する事がで
きる。
２を載置したまま、Ｘ軸方向に同一水平面内でＸ軸ガイ
ド１６にそって平行移動する。そして、第２のテーブル
１７には、Ｙ軸方向に移動自在にＸ軸駆動ガイド１９が
取り付けられている。また、Ｘ軸駆動ガイド１９の移動
部にＸ軸駆動連結部２１が取り付けられている。一方、
Ｘ軸駆動ガイド１９は、ボールネジ２２に螺合してお
り、重心調整モータ２０を回転駆動する事により、固定
されたＸ軸駆動連結部２１をＹ軸方向へ移動する事がで
きる。
【００１３】重心調整モータ２０は、制御機構２６によ
って制御されており、第１のテーブル１２のＹ軸方向へ
の移動量と、第２のテーブル１７の重心位置とから合成
された重心位置を算出し、Ｘ軸駆動ガイド１９の位置を
決定する。したがって、Ｘ軸駆動ガイド１９及びこれに
固定されたＸ軸駆動連結部２１は、第１のテーブル１２
の移動に拘わらず、常に両者の合成された重心位置に来
る様に制御される。
って制御されており、第１のテーブル１２のＹ軸方向へ
の移動量と、第２のテーブル１７の重心位置とから合成
された重心位置を算出し、Ｘ軸駆動ガイド１９の位置を
決定する。したがって、Ｘ軸駆動ガイド１９及びこれに
固定されたＸ軸駆動連結部２１は、第１のテーブル１２
の移動に拘わらず、常に両者の合成された重心位置に来
る様に制御される。
【００１４】Ｘ軸駆動連結部２１の先端部には、所定の
間隔を置いて２個のカムフォロワ２４が取り付けられて
いる。また、第２駆動機構１８の先端に取り付けられた
鍔状のカムフォロワガイド２３は、カムフォロワ２４に
Ｙ軸方向に移動可能に挟まれている。したがって、第２
駆動機構１８は、Ｘ軸駆動連結部２１を介して、常に第
１のテーブル１２及び第２のテーブル１７の合成された
重心位置を駆動する事となる
間隔を置いて２個のカムフォロワ２４が取り付けられて
いる。また、第２駆動機構１８の先端に取り付けられた
鍔状のカムフォロワガイド２３は、カムフォロワ２４に
Ｙ軸方向に移動可能に挟まれている。したがって、第２
駆動機構１８は、Ｘ軸駆動連結部２１を介して、常に第
１のテーブル１２及び第２のテーブル１７の合成された
重心位置を駆動する事となる
【００１５】また、固定されたＸ軸ベース２５上には、
Ｘ軸ガイド１６を介して第２のテーブル１７がＸ軸方向
に移動可能に載置されている。
Ｘ軸ガイド１６を介して第２のテーブル１７がＸ軸方向
に移動可能に載置されている。
【００１６】次に本発明の可動ステージ装置の動作につ
いて説明する。先ず、ＸＹステージ装置は、Ｙ軸方向に
駆動する時には第１駆動機構１３を駆動させ、第１駆動
機構１３を介して第１のテーブル１２を駆動する。その
時、第１駆動機構１３と第１のテーブル１２はＸ軸方向
に自在に移動できるＹ軸駆動ガイド１５を介して連結さ
れているため第１のテーブル１２の位置によらず第１駆
動機構１３のＹ軸スライダー１４は、第１のテーブル１
２に関するＸ軸方向重心を駆動することができる。
いて説明する。先ず、ＸＹステージ装置は、Ｙ軸方向に
駆動する時には第１駆動機構１３を駆動させ、第１駆動
機構１３を介して第１のテーブル１２を駆動する。その
時、第１駆動機構１３と第１のテーブル１２はＸ軸方向
に自在に移動できるＹ軸駆動ガイド１５を介して連結さ
れているため第１のテーブル１２の位置によらず第１駆
動機構１３のＹ軸スライダー１４は、第１のテーブル１
２に関するＸ軸方向重心を駆動することができる。
【００１７】また、Ｘ軸方向に移動する時は、第２駆動
機構１８を駆動させてカムフォロワ２４、Ｘ軸駆動連結
部２１、Ｘ軸駆動ガイド１９を介して第２のテーブル１
７を駆動する。その時、第１のテーブル１２の位置によ
り第２駆動機構１８が駆動するもののＹ方向重心位置は
変化する。したがって、Ｙ軸方向の重心位置を算出し、
その情報に基づき第１のテーブル１２と第２のテーブル
１７のＹ方向重心位置にＸ軸駆動連結部２１が来るよう
に重心駆動調整モータ２０により移動させる。これによ
りＸ軸方向の移動に関しても第１のテーブル１２の位置
によらず常にＹ軸方向重心位置を駆動することができ
る。
機構１８を駆動させてカムフォロワ２４、Ｘ軸駆動連結
部２１、Ｘ軸駆動ガイド１９を介して第２のテーブル１
７を駆動する。その時、第１のテーブル１２の位置によ
り第２駆動機構１８が駆動するもののＹ方向重心位置は
変化する。したがって、Ｙ軸方向の重心位置を算出し、
その情報に基づき第１のテーブル１２と第２のテーブル
１７のＹ方向重心位置にＸ軸駆動連結部２１が来るよう
に重心駆動調整モータ２０により移動させる。これによ
りＸ軸方向の移動に関しても第１のテーブル１２の位置
によらず常にＹ軸方向重心位置を駆動することができ
る。
【００１８】次に、本発明の他の実施例について図２を
参照して詳細に説明する。図２において、重心調整用の
駆動装置としてＶＣＭ（Voice Coil Motor）２７を用い
ている点で異なる。図１に示す第１の実施例ではＸ軸方
向の駆動時に第２のテーブル１７に加わる力は、基本的
にはＸ軸駆動連結部２１だけでなく、Ｘ軸ボールネジ２
２の支持部からも力を受ける可能性がある。それに対し
本実施例では、基本的にＸ軸駆動連結部２１だけから力
を受ける構造となる。
参照して詳細に説明する。図２において、重心調整用の
駆動装置としてＶＣＭ（Voice Coil Motor）２７を用い
ている点で異なる。図１に示す第１の実施例ではＸ軸方
向の駆動時に第２のテーブル１７に加わる力は、基本的
にはＸ軸駆動連結部２１だけでなく、Ｘ軸ボールネジ２
２の支持部からも力を受ける可能性がある。それに対し
本実施例では、基本的にＸ軸駆動連結部２１だけから力
を受ける構造となる。
【００１９】第１の実施例との相違点についてのみ説明
する。第２のテーブル１７には、Ｙ軸方向に移動自在に
Ｘ軸駆動ガイド１９が取り付けられている。また、Ｘ軸
駆動ガイド１９の移動部にＸ軸駆動連結部２１が取り付
けられている。一方、Ｘ軸駆動ガイド１９は、ＶＣＭ２
７に係合しており、ＶＣＭ２７を駆動する事により、固
定されたＸ軸駆動連結部２１をＹ軸方向へ移動する事が
できる。
する。第２のテーブル１７には、Ｙ軸方向に移動自在に
Ｘ軸駆動ガイド１９が取り付けられている。また、Ｘ軸
駆動ガイド１９の移動部にＸ軸駆動連結部２１が取り付
けられている。一方、Ｘ軸駆動ガイド１９は、ＶＣＭ２
７に係合しており、ＶＣＭ２７を駆動する事により、固
定されたＸ軸駆動連結部２１をＹ軸方向へ移動する事が
できる。
【００２０】以上のように構成した場合、第２駆動機構
１８は、基本的にＸ軸駆動連結部２１からの力を受ける
のみである。したがって、残留振動をほとんど発生する
事がない。
１８は、基本的にＸ軸駆動連結部２１からの力を受ける
のみである。したがって、残留振動をほとんど発生する
事がない。
【００２１】尚、本発明は以上の実施例に限ることなく
本発明の技術思想に基づいて種々の設計変更が可能であ
る。
本発明の技術思想に基づいて種々の設計変更が可能であ
る。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、上記した様な技術構成を採用
しているので、二軸ステージのＸ軸Ｙ軸とも駆動時に重
心位置を常に駆動できるので、ステージ駆動後における
の残留振動は大幅に減少する。したがって、ワイヤーボ
ンダ装置に使用した場合、ボンディング性能を著しく向
上する事が出来る。
しているので、二軸ステージのＸ軸Ｙ軸とも駆動時に重
心位置を常に駆動できるので、ステージ駆動後における
の残留振動は大幅に減少する。したがって、ワイヤーボ
ンダ装置に使用した場合、ボンディング性能を著しく向
上する事が出来る。
【００２３】また、駆動位置変更機構に、ボールネジを
使用した場合、駆動を円滑にする事が出来る。また、駆
動位置変更機構に、ボイスコイルモータを使用した場
合、迅速にテーブルを駆動する事が出来る。
使用した場合、駆動を円滑にする事が出来る。また、駆
動位置変更機構に、ボイスコイルモータを使用した場
合、迅速にテーブルを駆動する事が出来る。
【図１】図１は、本発明に係る可動ステージ装置の全体
構成を示す要部斜視図である。
構成を示す要部斜視図である。
【図２】図２は、同可動ステージ装置の他の実施例を示
す要部斜視図である。
す要部斜視図である。
１０ 可動ステージ装置 １１ Ｙ軸ガイド １２ 第１のテーブル １３ 第１駆動機構 １４ Ｙ軸スライダー １５ Ｙ軸駆動ガイド １６ Ｘ軸ガイド １７ 第２のテーブル １８ 第２駆動機構 １９ Ｘ軸駆動ガイド ２０ 重心調整モータ ２１ Ｘ軸駆動連結部 ２２ ボールネジ ２３ カムフォロワガイド ２４ カムフォロワ ２５ Ｘ軸ベース ２６ 制御機構
Claims (8)
- 【請求項１】 水平面内で平行移動される第１のテーブ
ルと、該第１のテーブルを駆動する第１駆動機構と、前
記第１のテーブルを載置したまま、これと直角方向に同
一水平面内で平行移動する第２のテーブルと、該第２の
テーブルを駆動する第２駆動機構とを備えた可動ステー
ジ装置であって、第１のテーブルの重心位置を検出する
検出手段と、該検出手段の検出結果と、予め測定された
第２のテーブルの重心位置とから第１、第２のテーブル
を合成した重心位置を算出し、この合成された重心位置
を第２駆動機構で駆動することを特徴とする可動ステー
ジ装置。 - 【請求項２】 前記第２のテーブルを駆動する第２駆動
機構が第２のテーブルと接触する位置を変更する駆動位
置変更機構を備えたことを特徴とする請求項１記載の可
動ステージ装置。 - 【請求項３】 前記第１のテーブルを駆動する第１駆動
機構は、接触式の駆動機構であることを特徴とする請求
項１記載の可動ステージ装置。 - 【請求項４】 前記第１のテーブルを駆動する第１駆動
機構は、非触式の駆動機構であることを特徴とする請求
項１記載の可動ステージ装置。 - 【請求項５】 前記第１駆動機構と第１のテーブルと
は、Ｙ軸スライダー及びＹ軸駆動ガイドを介して水平方
向移動可能に係合されていることを特徴とする請求項１
記載の可動ステージ装置。 - 【請求項６】 前記第２のテーブルと第２駆動機構と
は、Ｘ軸駆動連結部とカムフォロワとカムフォロワガイ
ドを介して係合されていることを特徴とする請求項１記
載の可動ステージ装置。 - 【請求項７】 前記駆動位置変更機構は、ボールネジを
使用するものであることを特徴とする請求項２記載の可
動ステージ装置。 - 【請求項８】 前記駆動位置変更機構は、ボイスコイル
モータにより駆動することを特徴とする請求項２記載の
可動ステージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08166499A JP3275872B2 (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 可動ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08166499A JP3275872B2 (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 可動ステージ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000277561A true JP2000277561A (ja) | 2000-10-06 |
| JP3275872B2 JP3275872B2 (ja) | 2002-04-22 |
Family
ID=13752608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08166499A Expired - Fee Related JP3275872B2 (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | 可動ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3275872B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006255843A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 可動ステージ装置およびステージの駆動方法 |
-
1999
- 1999-03-25 JP JP08166499A patent/JP3275872B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006255843A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 可動ステージ装置およびステージの駆動方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3275872B2 (ja) | 2002-04-22 |
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