JP2006255843A - 可動ステージ装置およびステージの駆動方法 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、移動対象物を適宜所定の位置に一時停止させる動作を正確かつ高速に行うことができ、さらに制御装置による制御が簡素化され得る可動ステージ装置およびステージの駆動方法を提供することにある。
【解決手段】
互いに連結された複数のステージ3a、3bと、該ステージをそれぞれ移動させるアーム部7、8と、シャフト2に軸支され、かつ所定のパターンで形成されたガイド部10、11を有しかつアーム部7、8と連結された、少なくとも一つのカムガイド6と、前記アーム部7、8とガイド部10、11とでそれぞれ構成される複数のカム機構とを備えた可動ステージ装置100であって、シャフト2が回転されることでカムガイド6が回転され、カム機構ごとに、ガイド部10、11のパターンに応じてアーム部7、8がカム駆動され、該アーム部7、8それぞれに対応するステージ3a、3bが一時停止されながら移動される。
【選択図】 図1
Description
図10(a)、(b)は、このような可動ステージ装置700の一例を示す。
図10(a)、(b)においてx軸、y軸、z軸は互いに直交している。
図10(a)、(b)に示すように、従来の可動ステージ装置700は、例えばサーボモータ等からなる2つのシャフト駆動部1a、1bと、該シャフト駆動部1aに回転可能に軸支されたシャフト2aと、シャフト駆動部1bに回転可能に軸支されたシャフト2bと、ステージ3を有する。
シャフト2bも同様に、その外周部分にボール螺子の雄螺子が形成されていて、中心軸がx軸方向に一致するように配置されており、前記シャフト駆動部1bの駆動により前記中心軸を中心に回転駆動される。
上部ステージ3aは、下部ステージ3b上に搭載され、シャフト2aの外周に形成された前記雄螺子と螺子嵌合される雌螺子が内部に貫通形成され、ボール螺子構造によりシャフト2aとy軸方向に移動可能に接続されている。
またこの上部ステージ3aはその上に加工等を行うために移動させる物品4(以下、移動対象物4と称する)を載置する構成となっている。
下部ステージ3bは台座3c上に配置され、上部ステージ3aと同様に、シャフト2bの外周部分に形成された雄螺子と螺子嵌合される雌螺子が内部に貫通形成され、ボール螺子構造によりシャフト2bとx軸方向に移動可能に接続されている。
シャフト駆動部1a、1bはそれぞれ制御装置5によって駆動制御される。
その場合の上部ステージ3a、下部ステージ3bの一時停止動作は、それぞれ、シャフト駆動部1a、1bの駆動を停止させてシャフト2a、2bの回転を止めることで行われていた。
まず第一の課題として、移動対象物4を所定の正確な位置で一時停止させるまでに時間がかかりすぎ、移動対象物4の加工等の処理を正確かつ高速に行うことが困難であった。
上述のとおり、上部ステージ3a、下部ステージ3bの移動を停止させるためにはシャフト2a、2bの回転を止める必要があるが、このときシャフト2a、2bの制動力に対抗するシャフト2a、2bの回転慣性力の影響で、シャフト2a、2bを正確な回転量のところで回転停止させることが難しかった。したがって、上部ステージ3aと下部ステージ3bを、一度の停止動作で、正確な位置で一時停止させることが困難であった。
図11は、図10(a)、(b)に示した従来の可動ステージ装置700およびステージ3の駆動方法によって移動対象物4を移動させ停止させるのに要する時間を示す模式的なグラフであり、移動対象物4を移動させ始めてからの時間を横軸にとり、その移動量を縦軸にとったものである。
図11に示すように、従来の可動ステージ装置700、およびステージ3の駆動方法では、上述のシャフト2a、2bの回転慣性力の影響で、規定の移動量L1に対して移動量過多(図11中の実線参照)もしくは移動量不足(図11中の一点鎖線参照)が起こるため、その度に、シャフト駆動部1a、1bを順方向または逆方向に適宜回転駆動させて移動量を補正していた。したがって移動対象物4の位置を所望の位置で停止させるまでにどうしても時間がかかってしまい、所望の時間T1以内で上部ステージ3a、3bの位置を停止させることが困難であった。
つまり本発明では、複数のステージの一時停止動作の際にシャフトの回転を止めないので、該複数のステージの一時停止動作の速度や正確性に、シャフトの制動に対抗したシャフトの回転慣性力の影響が関与しない。
よってそれぞれのステージの高速かつ正確な移動、一時停止動作が実現される。
またこのような可動ステージ装置によれば、該ガイド部のパターンを精密に作り込んでおくことにより、複数のステージを任意の正確な位置まで高速に移動させ一時停止させることができる。
したがってシャフトを回転駆動させ続けることさえできれば、回転駆動量の制御精度の低いモータを使用した場合であっても、所定の位置にそれぞれのステージを正確に移動し、一時停止させることができる。
さらにこのような可動ステージ装置は、1つのシャフトの回転運動を複数の方向や角度の移動に伝達する構造であるため、1つのシャフトの回転を1つの方向にのみ伝達する従来の可動ステージ装置に比較して、制御装置による制御を簡素化することが可能である。
つまり本発明では、複数のステージの停止動作の際にシャフトの回転を止めないので、該複数のステージの一時停止動作の速度や正確性に、シャフトの制動に対抗したシャフトの回転慣性力の影響が関与しない。
よってそれぞれのステージの高速かつ正確な移動、一時停止動作が実現される。
またこのようなステージの駆動方法によれば、該ガイド部のパターンを精密に作り込んでおくことにより、複数のステージを任意の正確な位置まで高速に移動させ、一時停止させることができる。
したがってシャフトを回転駆動させ続けることさえできれば、回転駆動量の制御精度の低いモータを使用した場合であっても、所定の位置にそれぞれのステージを正確に移動し、一時停止させることができる。
さらにこのようなステージの駆動方法によれば、1つのシャフトの回転運動を複数の方向や角度の移動に伝達する方法であるため、1つのシャフトの回転を1つの方向にのみ伝達する従来方法に比較して、制御装置による制御を簡素化することが可能である。
図1(a)、(b)は、本発明の第一の実施形態となる可動ステージ装置100の一例を示す平面図である。
図1(a)、(b)においてx軸、y軸、z軸は互いに直交している。
図1(a)、(b)に示すように、可動ステージ装置100は、例えばサーボモータまたはステッピングモータ等からなるシャフト駆動部1と、該シャフト駆動部1に回転可能に軸支され、y軸方向に中心軸ysを有するシャフト2と、該シャフト2の先端部に軸支されたカムガイド6と、該カムガイド6に図1(a)上においてy軸方向右側に隣り合って配置されたステージ3と、第一のアーム部7と、第二のアーム部8とを有する。
なお図中の符号5はシャフト駆動部1の駆動を制御する制御装置である。
下部ステージ3bの上面には、y軸方向に形成された溝部9を有する。
台座3cは地面に固定されており、その上に下部ステージ3bがx軸方向に移動可能に連結されており、さらにその上に上部ステージ3aが、y軸方向に移動可能に連結されている。
カムガイド6は第一のガイド部10と第二のガイド部11とを有し、第一のガイド部10は、第一のアーム部7とカム機構を形成し、第二のガイド部11は第二のアーム部8とカム機構を形成している。
図2(a)に示すように、カムガイド6は、y軸方向に対して所定のパターンで位置変化するように形成された第一のガイド部10を有する。
この第一のガイド部10は、カムガイド6の、ステージ3側に面する底面部6a(端面部)において、y軸方向に階段状に形成された段部である。
このようにパターンが形成されたカムガイド6の第一のガイド部10には、図1(a)、(b)に示すように、第一のアーム部7の一端部に設けられたガイドローラ7aが回転可能にy軸方向に押し当てられている。
前記ガイドローラ7aは、直動アーム部7bの一方の端部に回転可能に取り付けられている。またバネ部7cは、一方の端部が直動アーム部7bに固定され、他方の端部が下部ステージ3bに固定され、直動アーム部7bを常に第一のカムガイド6aに対して押し付けるように付勢された状態とされている。
直動アーム部7bは、バネ部7cのバネ弾性力によって前記ガイドローラ7a側が伸縮する略棒状の部材であり、その中央部は上部ステージ3aに一体に貫通固定されている。
以上のように第一のガイド部10と第一のアーム部7とによるカム機構が構成されている。
図2(a)に示すように、カムガイド6は、その側面部6cに、y軸方向に対して所定のパターンで位置変化するように形成された第二のガイド部11を有する。この第二のガイド部11は、カムガイド6の側面部6cに開口し、かつy軸方向の両側から一定の幅で後述するガイドローラ8aを挟み込んでガイドするように形成された溝部である。
図2(c)は、図2(a)の一点鎖線でカムガイド6を切断しそれを矢印yvのように見た平面断面図である。図2(c)に示すように、第二のガイド部11はカムガイド6の側面部6cの表面上を約一周して略円形を描くように形成されている。なお図面中、符号11aはy軸方向に位置変化しない平坦部を示し、符号11bはy軸方向に位置変化する傾斜部を示している。平坦部11aと傾斜部11bとの間は、曲線部によるR付けが施されている(図に反映せず)。
第二のアーム部8は、図1(a)、(b)に示すように、ガイドローラ8a、8cと、L字アーム部8bとを有している。
L字アーム部8bは屈曲部8dで折れ曲がりとする略L字型をした部材であり、一方の端部に前記ガイドローラ8aが、他方の端部にガイドローラ8cがそれぞれ回転可能に取り付けられている。
屈曲部8dは台座3cに対して軸固定されており、L字アーム部8bが該屈曲部8dを中心としてx−y平面上で回動することができるような構造になっている。
ガイドローラ8cは、下部ステージ3bの溝部9に嵌め込まれており、第二のアーム部8の回動に伴って該溝部9内で回転しながらy軸方向にのみ移動できるよう規制されている。
以上のように第二のガイド部11と第二のアーム部8とが構成されている。
図3(a)には把持具13の平面図を示す。
把持具13はx軸、y軸、z軸すべての方向で位置固定されており、図1(b)および図3(a)に示すように、ピン12をx軸方向に5本把持するもので、ピン12の把持を解除するとともに次のピン12が供給され、それらを把持するように構成されている。把持具13に固定された隣接するピン12の中心同士の幅は2α(αは移動対象物4の貫通孔14の中心同士の間隔)である。
図1(a)、(b)、図3(b)に示すように、移動対象物4は、x軸、y軸方向に、等間隔αにて10×10で配列された貫通孔14が形成された板状の基板である。
図3(b)に示すように、移動対象物4の10×10の貫通孔14は、2×10の貫通孔14のグループG1〜G5として5列にグループ分けされており、それぞれのグループの貫通孔14に同時にピン12が落とし込まれることになる。
この実施形態では、可動ステージ100により、移動対象物4を連続矢印Aのようにx軸、y軸に交互に移動させる。
M−1:x軸方向に距離αだけ正の向きに移動する。
M−2:一定時間停止する(このときピン12の落とし込みを行う)。
M−3:y軸方向に距離αだけ正の向きに移動する。
M−4:一定時間停止する(このときピン12の落とし込みを行う)。
M−5:x軸方向に距離αだけ負の向きに移動する。
M−6:一定時間停止する(このときピン12の落とし込みを行う)。
M−7:y軸方向に距離αだけ正の方向に移動する。
M−8:一定時間停止する(このときピン12の落とし込みを行う)。
図4(a)は、図2(b)に示すように、第一のガイド部10のx−y軸平面における平面視において、カムガイド6の側面部6cが形成する外周円の中心点YC1(シャフト2中心軸ysが通過する点)と、ガイドローラ7aの初期配置点SP1と、ガイドローラ7aが移動する点CP1について、円の中心点YC1を中心に点SP1と点CP1とが成す角度θ1と、点SP1と点CP1とのy軸方向の位置変化量y1の関係(折れ線L1)を示すカムパターン図である。
第二のガイド部11のパターンは、図4(b)の折れ線L2に示すように、まず最初の角度範囲ではy軸方向の正の向きに位置変化し(傾斜部11bに対応)、次の角度範囲でy軸方向に位置変化せず(平坦部11aに対応)、さらに次の角度範囲でy軸方向の負の向きに位置変化し、さらに次の範囲ではy軸方向に位置変化しない、というパターンを繰り返すものである。
まず初期状態として図1(a)、(b)に示すように、ピン12を把持した把持具13と移動対象物4の位置を相対的に調整し、H1−1、H2−1、H3−1、H4−1、H5−1の位置(図3(b)参照)にある貫通孔14上に、把持具13に把持されたピン12のそれぞれを位置させる。
この状態で、制御装置5からの指令により、シャフト駆動部1を駆動し、一定速度でシャフト2を略一回転させる。これにより、シャフト2と一体に固定されたカムガイド6もシャフト2の中心軸ysを中心に回転する。
ガイドローラ7aが平坦部10aを通っているとき、すなわち第一のガイド部10のy軸方向の位置変化がないときは、ガイドローラ7aのy軸方向の位置変化もないので、第一のアーム部7の位置変化による上部ステージ3aの移動は生じない。
ガイドローラ7aが傾斜部10bを通っているときは、すなわち第一のガイド部10のy軸方向の位置変化があるときは、ガイドローラ7aもそれに応じてy軸方向に位置変化するため、直動アーム部7bはバネ部7cによる付勢力に抗ってy軸方向に移動する(カム駆動される)。
したがって直動アーム部7bと一体に固定された上部ステージ3aは下部ステージ3b上においてy軸方向に移動する。
このとき第一のアーム部7はバネ部7cのバネ弾性力により常に第一のガイド部10に押し付けられているので、直動アーム部7bの動作は常に第一のガイド部10のy軸方向の位置変化に追従する。
ガイドローラ8aが平坦部11aを通っているとき、すなわち第二のガイド部11のy軸方向の位置変化がないときは、ガイドローラ8aのy軸方向の位置変化もないので、第二のアーム部8の位置変化による下部ステージ3bの移動は生じない。
ここで屈曲部8dは軸固定されているため、第二のアーム部8は該屈曲部8dを中心に回動することになる(カム駆動される)。このときガイドローラ8aが作用点、屈曲部8dが支点、ガイドローラ8cが力点となるテコの原理が作用し、ガイドローラ8cから下部ステージ3bにx軸方向に回転モーメントによる押圧力が付与される。
下部ステージ3bは、台座3c上においてx軸方向にのみ移動するよう規制されているため、上述の回転モーメントによりx軸方向に移動する。
なおこのときガイドローラ8cは下部ステージ3bとともにx軸方向に移動しながら、y軸方向にも溝部9内において移動することで、回動することができる。
したがって移動対象物4はx軸方向の正の向きに移動する。
したがって移動対象物4はx軸方向の負の向きに移動する。
したがって移動対象物4はy軸方向の正の向きに移動する。
したがって移動対象物4は位置停止する。
なお把持具13には、次のピン12の落とし込みのタイミングまでに次のピン12が供給される。
このように、ステージ3を順次移動させた後に位置停止させ、その位置でピン12を5本ずつ落とし込む、という動作を20回繰り返すことで、移動対象物4の全ての貫通孔14に、計100本のピン12を落とし込むことができる。
図7において実線は第一の実施形態の場合を示し、一点鎖線は参考として、従来例(図10(a)、(b)参照)における移動量過多の場合を示す。
図7に示すように、第一の実施形態の可動ステージ装置100とステージ3の駆動方法によれば、移動対象物4を所望の移動量L1まで移動させるのに要する時間を、従来例よりも格段に早くすることができ、規定の時間T1以内、という目標時間を十分クリアできる。
すなわち上述の動作M−1、M−5では、第二のガイド部11のパターンのy軸方向の変化により、下部ステージ3bがx軸方向に移動するとともに、その上に固定された上部ステージ3a、および該上部ステージ3aと固定された第一のアーム部7もx軸方向に移動することになる。
したがって、図6(a)、(b)に示すように、ガイドローラ7aと第一のガイド部10の接触位置がx軸方向に矢印Kのように変化してしまう(以下、ガイドローラ7aの接触位置ずれと称する)。
図5のガイド部10、11のパターンに示すように、第一のガイド部10の動作M−1、M−5に対応する領域と隣接する、動作M−2、M−6の領域は、該動作M−1、M−5の領域から連続する平坦部10aとして形成されているため、これが上記ガイドローラ7aの接触位置ずれに対する位置ずれ代となることでこのような問題が未然に防止されている。
つまり可動ステージ装置100では、上部ステージ3a、下部ステージ3bの停止動作の際にシャフト2の回転を止めないので、シャフト2の回転制動時の回転慣性力の影響は該上部ステージ3a、下部ステージ3bの一時停止動作に対して、関係しない。
よってそれぞれの上部ステージ3a、下部ステージ3bの高速かつ正確な一時停止動作が実現される。
したがってそれぞれの上部ステージ3a、下部ステージ3bを非常に正確な位置で一時停止させることが要求される場合であっても、シャフト駆動部1として回転駆動量の制御精度の低いステッピングモータなどのモータを使用することができる。
また仮に複数のカムガイド6をシャフト2に組み付けることを考えた場合、その組み付け精度が低いと、それぞれのアーム部7、8同士の位置または姿勢の変化のタイミングのずれが生じることが懸念されるが、1つのカムガイド6に複数のガイド部10、11を設けた第一の実施形態ではそれを防止することができるので好ましい。
このように第二のアーム部8にテコの原理を応用することで下部ステージ3bの移動方向を任意に決定できる。
図8(a)に第二の実施形態の可動ステージ装置200を示す。
図8(a)に示す可動ステージ装置200は、カムガイド15に形成された1つのガイド部16に対して、2つのアーム部7,8の一端部がそれぞれ接続されてカム機構が形成されている。なおその他の点では、可動ステージ装置100と同様に構成されている。
可動ステージ装置200は、x軸とy軸の移動が互いに所定のタイミングずれて同じ動作で繰り返される場合に、必要とされるガイド部の数を削減し、カムガイド15を小型化できる点で好ましい。
図8(b)に第三の実施形態の可動ステージ装置300を示す。
図8(b)の可動ステージ装置300は、略円柱体形状をなすカムガイド17のそれぞれのガイド部18、19が両方とも底面部17a、17bの端面に形成された段部からなる。なおその他の点では、可動ステージ装置100と同様に構成されている。
ここで、第二のアーム部8も第一のアーム部7と同様にバネ部8eでガイド部19に押し付けることにより、ガイドローラ8aをガイド部19のパターンの変化に追従させている。
このような可動ステージ装置300では、カムガイド17の底面部17a、17bの端面を用いたカム機構を複数形成しているため、カムガイドが小型化され、好ましい。
図8(c)に第四の実施形態の可動ステージ装置400を示す。
図8(c)の可動ステージ装置400は、第一の実施形態中のカムガイド6が別体のカムガイド24、25として構成されており、その他の点では、可動ステージ装置100と同様に構成されている。
この場合、例えばカムガイド24のみを異なるパターンの第一のガイド部10が形成されたものに変更することができる利点がある。
図9に第五の実施形態の可動ステージ装置500を示す。
図9の可動ステージ装置500は、ステージ3と、略円柱体形状のカムガイド20を有している。
ステージ3は、y軸方向に移動する上部ステージ3aと、該上部ステージ3aの下部に配置されx軸方向に移動する下部ステージ3bと、該下部ステージ3bの側面に配置されz軸方向に移動する側面ステージ3dと、該側面ステージ3dに軸支されz軸方向を中心に回動する回動ステージ3eと、前記側面ステージ3dをz軸方向に移動可能に支持する台座3fを有する。
ガイド部21bは、第一の実施形態の第二のガイド部11と同様に、カムガイド20の側面部に形成された溝部からなり、第二のアーム部8とカム機構を形成し、下部ステージ3bをx軸方向に移動させる。
ガイド部21cは、第一の実施形態の第二のガイド部11と同様に、カムガイド20の側面部に形成された溝部からなり、第三のアーム部22とカム機構を形成し、下部ステージ3bが固定されz軸方向に移動可能な側面ステージ3dをz軸方向に移動させる。
ガイド部21dは、第一の実施形態の第二のガイド部11と同様に、カムガイド20の側面部に形成された溝部からなり、第四のアーム部23とカム機構を形成し、側面ステージ3dが固定されz軸方向を中心に回動する回動ステージ3eを回動させる。
可動ステージ装置500はその他の点では第一の実施形態の可動ステージ100と同様に構成されている。
可動ステージ装置500によれば、移動対象物4をx軸、y軸、z軸の任意の方向およびx−y平面上の任意の角度に移動することができる。
2、2a、2b シャフト
3 ステージ
3a 上部ステージ
3b 下部ステージ
3c 台座
4 移動対象物
5 制御装置
6 カムガイド
6a、6b 底面部
6c 側面部
7 第一のアーム部
7a ガイドローラ
7b 直動アーム部
7c バネ部
8 第二のアーム部
8a ガイドローラ
8b L字アーム部
8c ガイドローラ
8d 屈曲部
8e バネ部
9 溝部
10 ガイド部
11 ガイド部
12 ピン
13 把持具
14 貫通孔
15 カムガイド
16 ガイド部
17 カムガイド
18 ガイド部
19 ガイド部
20 カムガイド
21a〜21e カムガイド
22 第三のアーム部
23 第四のアーム部
24、25 カムガイド
100、200、300、400、500、700 可動ステージ装置
Claims (6)
- それぞれ異なる方向および/または角度に移動可能に互いに連結された複数のステージと、
前記複数のステージをそれぞれ移動させる複数のアーム部と、
シャフトに軸支され、かつ所定のパターンで形成されたガイド部を有していて、かつ前記アーム部と連結された、少なくとも一つのカムガイドと、
前記アーム部と前記ガイド部とでそれぞれ構成される、複数のカム機構と
を備えた可動ステージ装置であって、
前記シャフトが回転されることによりカムガイドが回転され、前記カム機構ごとに、前記ガイド部のパターンに応じて前記アーム部がカム駆動され、前記複数のアーム部それぞれに対応する前記ステージが一時停止されながら移動されること
を特徴とする可動ステージ装置。 - 前記カムガイドに形成されたガイド部は、対応する前記アーム部の一端部を二方向から挟みこむ溝部であること
を特徴とする請求項1記載の可動ステージ装置。 - 前記カムガイドに形成されたガイド部は、対応する前記アーム部の一端部が押し付けられた、カムガイド端面部に形成された段部であること
を特徴とする請求項1または請求項2記載の可動ステージ装置。 - 少なくとも一つの前記アーム部は、L字アームであり、前記カムガイドのガイド部のパターンに応じて回動することで、対応する前記ステージを移動させるように構成されていること
を特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の可動ステージ装置。 - 少なくとも一つの前記アーム部は、該カムガイドのガイド部のパターンに応じて直進運動することで、対応する前記ステージを移動させるように構成されていること
を特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の可動ステージ装置。 - シャフトを回転駆動させ、
該シャフトにそれぞれ軸支され、かつ所定のパターンのガイド部を有する、少なくとも一つのカムガイドを回転させ、
前記カムガイドに形成されたガイド部のパターンに応じて、複数のアーム部をカム駆動させ、該複数のアーム部のカム駆動に応じて、互いに連結された複数のステージを異なる方向に移動させる
ことを特徴とするステージの駆動方法。
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