JP2000226594A - 切削油 - Google Patents

切削油

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JP2000226594A JP11027388A JP2738899A JP2000226594A JP 2000226594 A JP2000226594 A JP 2000226594A JP 11027388 A JP11027388 A JP 11027388A JP 2738899 A JP2738899 A JP 2738899A JP 2000226594 A JP2000226594 A JP 2000226594A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】優れた切削性能と作業性の優れた水溶性切削油
を提供すること。 【解決手段】ベントナイト、水、アミン化合物及び非イ
オン性有機化合物を配合した切削油、さらに炭素数1〜
10のカルボン酸及び無機酸からなる群より選ばれた少
なくとも1種を配合した切削油。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、切削油に関する。
更に詳しくはシリコン単結晶や多結晶、その他化合物半
導体やセラミックス等のインゴットの切削性を向上させ
うる切削油に関する。
【0002】
【従来の技術】現在シリコンインゴット等は、遊離砥粒
等の研磨材を用いてワイヤソー等を用いる方法により切
削されている。砥粒は切削油に比較して著しく比重が高
いため、切削油と砥粒からなるスラリー状の切削油組成
物から比重の高い砥粒が沈降する。そのため、タンク内
や配管内等において砥粒が堆積することによって、砥粒
含有率が低下し、切削性能及び切削精度が低下するとい
う問題や、長時間作業を停止した場合に沈降堆積した砥
粒がハードケークを形成し、再び均一に再分散させるこ
とが困難になるという問題が生じる。
【0003】これらの問題を解決するために、遊離砥粒
を含有する切削油組成物において、種々の沈降防止剤の
使用が提案されている。例えば沈降防止剤として、無機
ベントナイト等に代表される粘土鉱物、脂肪酸石鹸、脂
肪酸アミド等が知られており、砥粒などの固体粒子の沈
降防止に対して一応の効果が認められている。
【0004】しかしながら、前記沈降防止剤の使用のみ
では、十分な砥粒分散性を得ることができないという欠
点を有する。また安定した切削性能の観点から、切削時
にスラリーが粘度変化を起こしにくい切削油組成物が求
められている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、砥粒
の沈降を抑制し、かつ使用時の砥粒スラリーの粘度変化
が小さいことにより切削性能を低下することなく、さら
に砥粒が沈降した場合においても砥粒を容易に再分散さ
せることができることにより、優れた切削性能と作業性
の優れた水溶性切削油を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、〔1〕 少な
くともベントナイト、水、アミン化合物及び非イオン性
有機化合物を配合してなる切削油、並びに〔2〕 前記
〔1〕記載の切削油に、さらに炭素数1〜10のカルボ
ン酸及び無機酸からなる群より選ばれた少なくとも1種
を配合してなる切削油、に関する。
【0007】
【発明の実施の形態】ベントナイトには、粘土鉱物であ
る無機ベントナイトと、無機ベントナイトを有機アミン
類で処理した有機複合体である有機ベントナイトとがあ
る〔「無機素材技術読本」第50〜63頁、日刊工業新
聞社〕。本発明の切削油においては、分散媒中での分散
性の観点から、無機ベントナイトがより好ましく用いら
れる。無機ベントナイトとしては、精製無機ベントナイ
トが好ましい。なお、精製無機ベントナイトとは、「無
機素材技術読本」第59〜63頁、日刊工業新聞社に記
載のベントナイトであり、水簸(すいひ)精製されたベ
ントナイトをいう。
【0008】水溶性切削油の基油として非イオン性有機
化合物を含有した分散媒に、分散が困難なベントナイト
を、後述のように配合することによって、効果的に分散
させることができる。さらに、得られた切削油は、ベン
トナイトの存在により、砥粒の沈降を抑制し、かつ使用
時の砥粒スラリーの粘度変化が小さいため、切削性能を
低下することなく、さらに砥粒が沈降した場合において
も砥粒を容易に再分散させることができるという優れた
効果を発揮する。したがって、本発明の切削油は、優れ
た切削性能と作業性を有する。
【0009】具体的には、本発明の切削油は、少なくと
もベントナイト、水、アミン化合物及び非イオン性有機
化合物を配合してなる切削油であり、ベントナイトが効
率よく分散されるという優れた性質を有する。前記切削
油は、少なくともベントナイト、水、アミン化合物及び
非イオン性有機化合物を、特に限定されることなく公知
の方法で配合することにより得られる。前記切削油を構
成する成分(ベントナイト、水、アミン化合物及び非イ
オン性有機化合物)に加え、さらに酸を配合した切削油
は、ベントナイトが一層効率よく分散されるという優れ
た性質を有する。
【0010】本発明において、ベントナイトの配合量
は、砥粒の沈降を防止し、かつ優れた切削性を十分に発
揮しうる切削油の粘度を確保する観点から、切削油中、
0.05〜5重量%が好ましく、0.1〜3重量%が更
に好ましい。
【0011】前記水としては、イオン交換水等が挙げら
れる。前記水の配合量は、ベントナイトの分散性及び水
の揮発による切削油の粘度変化の防止の観点から、切削
油中、3〜60重量%が好ましく、5〜60重量%が更
に好ましく、7〜50重量%が特に好ましい。
【0012】アミン化合物は、ベントナイトの分散性の
観点から、一級及び二級アミン化合物が好ましい。更に
好ましくは炭素数1〜16のアルキル基又は炭素数2〜
16のアルケニル基を有する一級アミン化合物が好まし
く、炭素数1〜10のアルキル基又は炭素数2〜10の
アルケニル基を有する一級アミン化合物が特に好まし
い。アミン化合物は、アルキル基を有する化合物がより
好ましい。具体例としては、メチルアミン、ブチルアミ
ン、ヘキシルアミン、オクチルアミン、デシルアミン、
2−オクチルアミン等が挙げられる。アミン化合物の配
合量は、ベントナイトの分散性の観点から、切削油中、
0.05〜5重量%が好ましく、0.2〜3重量%が更
に好ましい。
【0013】非イオン性有機化合物としては、ポリオキ
シアルキレン化合物、脂肪族アルカノールアミド、多価
アルコール脂肪酸エステルが挙げられる。非イオン性有
機化合物は、単独又は2種以上混合して用いてもよい。
【0014】非イオン性有機化合物の配合量は、切削油
の潤滑性の観点から、切削油中、20〜95重量%が好
ましい。
【0015】非イオン性有機化合物は、切削油の潤滑性
の観点から、式(I): R1 O(EO)m (A1 O)n 2 (I) 及び式(II): R3 O(A2 O)P 4 (II) で表された化合物が好ましい。
【0016】式(I)において、R1 及びR2 は水素原
子又は炭素数1〜24の炭化水素基を示し、それぞれ同
一でも異なってもよい。砥粒を含有した切削油組成物の
粘度変化を低減させる観点から、少なくとも一方は炭化
水素基である。
【0017】前記炭化水素基は、切削性能を十分発揮さ
せる観点から、炭素数は、1以上であり、切削後に得ら
れた切削物の洗浄の容易性の観点から、24以下であ
り、22以下であることが好ましく、18以下であるこ
とがさらに好ましい。前記炭化水素基は、脂肪族又は芳
香族炭化水素基のいずれでもよく、脂肪族炭化水素基で
ある場合、飽和又は不飽和のいずれでもよく、かつ直鎖
又は分岐鎖のいずれでもよい。
【0018】式(I)において、EOはオキシエチレン
基を示し、A1 Oは、炭素数3若しくは4のオキシアル
キレン基を示す。前記A1 Oとしては、オキシプロピレ
ン基(以下、POという)又はオキシブチレン基が挙げ
られる。また、式(I)において、(EO)m (A
1 O)n は、平均付加モル数mのEOと平均付加モル数
nのA1 Oとからなるランダム体又はブロック体を示
す。
【0019】前記m及びnは、それぞれ0.5〜50の
数である。切削後に得られた切削物の洗浄の容易性の観
点から、mは0.5以上であり、低温流動性の観点か
ら、nは0.5以上であることが好ましい。nが2以上
のとき、式(I)の化合物中のA1 Oは、同一でも異な
っていてもよく、異なる場合は、ランダム体でもブロッ
ク体でもよい。式(I)の化合物は単独又は2種以上混
合して用いてもよい。
【0020】式(I)で示された化合物の配合量の総量
は、切削油の潤滑性の観点から、切削油中、20〜95
重量%が好ましく、30〜80重量%が更に好ましい。
【0021】式(II)で表される化合物は、式(I)の
化合物と併用され、切削油の粘度調整、切削後の被切削
物を水洗浄した際の廃水の油水分離性能の向上を目的と
して用いられる。
【0022】式(II)の化合物は、R3 及びR4 はそれ
ぞれ同一でも異なっていてもよい水素原子又は炭素数1
〜8の炭化水素基を示し、A2 OはEO又はPOのいず
れかを示し、平均付加モル数pは0.5〜10の数であ
る。式(II)の化合物は、単独又は2種以上混合して用
いてもよい。
【0023】式(II)で示された化合物の配合量の総量
は、十分な粘度を得、廃水の油水分離性能を発揮させる
観点から、切削油中、10〜60重量%が好ましく、2
0〜50重量%が更に好ましい。
【0024】式(I)の化合物と式(II)の化合物の配
合量の総量は、切削油の潤滑性の観点から、切削油中、
30〜95重量%が好ましく、40〜80重量%がより
好ましい。
【0025】酸は、炭素数1〜10のカルボン酸及び無
機酸からなる群より選ばれた少なくとも1種が使われ
る。無機酸としては、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸等が挙
げられる。前記カルボン酸は、ベントナイトの分散性の
観点から、炭素数1〜8のカルボン酸が好ましく、炭素
数1〜5のカルボン酸がより好ましい。具体例として
は、蟻酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸等が挙げ
られる。
【0026】酸の配合量は、ベントナイトの分散性の観
点から、切削油中、0.05〜5重量%が好ましく、
0.2〜3重量%が更に好ましい。
【0027】また、本発明の切削油において、前記酸を
配合する場合、酸とアミン化合物は両者の塩として配合
してもよい。
【0028】本発明においては、前記切削油に、さらに
各種添加剤を含有させることができる。例えば、界面活
性剤、増粘剤、消泡剤、防錆剤、防腐剤等を用いてもよ
い。
【0029】本発明の切削油は、ベントナイト、水、ア
ミン化合物、非イオン性有機化合物、酸、各種添加剤等
を、ホモミキサー、ホモジナイザー等の攪拌機で攪拌す
ることにより調製することができるが、ベントナイトを
より効果的に切削油に分散させる観点から、水に膨潤さ
せたベントナイト、アミン化合物、非イオン性有機化合
物、酸、各種添加剤等を、ホモミキサー、ホモジナイザ
ー等の攪拌機で攪拌することにより調製することが好ま
しい。この際、水は、ベントナイトを膨潤させる時に全
て用いてもよく、水に膨潤させたベントナイトと他の成
分とを配合する際に膨潤時に使用した水の残部を加えて
もよい。
【0030】前記切削油と砥粒を均一に混合することに
より、切削油組成物が得られる。前記切削油と砥粒とを
含有した切削油組成物は、前記切削油を用いるため、砥
粒の沈降による切削性能の低下を抑制できるという優れ
た効果を発揮する。
【0031】砥粒は、切削用に一般に使用される砥粒を
使用することができる。金属、金属又は半金属の炭化
物、金属又は半金属の窒化物、金属又は半金属の酸化
物、金属又は半金属のホウ化物、及びダイヤモンド等で
ある。金属又は半金属元素は、周期律表の3A、4A、
5A、3B、4B、5B、6B、7B又は8B族由来の
ものである。具体的には、アルミナ粒子、SiC粒子、
ダイヤモンド粒子、MgO粒子、酸化セリウム粒子、酸
化ジルコニウム粒子、コロイダルシリカ粒子又はヒュー
ムドシリカ粒子等が挙げられ、切削速度の観点からSi
C粒子が好ましい。
【0032】砥粒の平均粒径は、被切削物の材質や要求
品質等により適宜選択でき、0.5〜50μmが好まし
い。
【0033】切削油組成物における砥粒の含有量は、切
削油組成物の流動性及び切削効率の観点から、好ましく
は20〜70重量%、更に好ましくは30〜60重量%
である。
【0034】切削油組成物における切削油の濃度は、切
削速度や要求品質等に応じて種々選択でき、切削油組成
物の流動性及び切削効率等の観点から、好ましくは30
〜80重量%、さらに好ましくは40〜70重量%であ
る。
【0035】本発明の切削油組成物は、切削油と砥粒と
を公知の攪拌機等で均一に攪拌することにより得ること
ができる。
【0036】前記切削油組成物を用いる場合、切削の対
象となる被切削物の材質は、シリコン単結晶や多結晶、
GaAs、その他の半導体やセラミックス等のインゴッ
ト等が挙げられる。
【0037】切削油組成物の用途としては、インゴット
等のワイヤソーによる切削、ブレードソーによる切削等
が挙げられ、特にインゴット等のワイヤソーによる切削
が好適である。
【0038】切削油組成物を用いる切削方法としては、
本発明の切削油組成物を50〜250μm程度の細いワ
イヤーに絡ませて使用することにより、シリコン単結晶
等のインゴットを効率よく切削する方法等が挙げられ
る。
【0039】
【実施例】調製例 表1に実施例1〜5、比較例1及び2の切削油の調製時
の組成を示す。なお、表1中、EO及びPOの付加モル
数は、平均付加モル数を示す。また、n−Buは、n−
ブチル基を示す。
【0040】
【表1】
【0041】実施例1〜5の切削油は、精製無機ベント
ナイトをイオン交換水により膨潤させたものを用い調製
した。
【0042】試験例1 本発明品の砥粒分散性及び再分散性を以下の方法で試験
した。砥粒〔組成:SiC;GC#600、(株)フジ
ミインコーポレーテッド社製〕50重量部と、実施例1
〜5、比較例1又は2の切削油50重量部とを200m
lのビーカに採取し、ホモミキサー(特殊化工(株)社
製、型式T.K オートホモミキサー、撹拌羽根:ディスパ
ー羽根)を用い25℃で、3000 rpmで3分攪拌し、切削
油と砥粒とが均一になったスラリー状の切削油組成物8
0mlを調製した。得られた切削油組成物80mlを1
00mlのサンプル管(直径37mm、高さ100m
m)に入れた。ついで、調製後1時間、24時間及び4
8時間のそれぞれの時点で、砥粒の沈降状態(測定時の
砥粒層容量)を調べた。また調製後48時間の砥粒層の
再分散性を調べた。
【0043】砥粒分散性は、分散性=(測定時の砥粒層
容量/調製時切削油組成物容量)×100(%)で表
し、数値が100%に近いほど分散性が良好であること
を示す。
【0044】砥粒再分散性は、切削油組成物を調製後4
8時間経過した試料を水平に傾け、砥粒層の流動性を以
下の基準で判定した。結果を表2に示す。
【0045】〔砥粒の再分散性判断基準〕 ○:サンプル管を傾けた際、砥粒層が流動する ×:サンプル管を傾けた際、砥粒層が殆ど流動しない
【0046】
【表2】
【0047】表2の結果より、実施例1〜5の切削油を
用いた場合、砥粒の分散性が優れており、切削油組成物
調製後48時間経過後も砥粒層は流動性を保持し、再分
散が容易であることが示される。
【0048】試験例2 本発明の切削油を用いて得られた切削油組成物の使用時
の粘度変化を調べるため、以下の試験を行なった。実施
例1〜5の切削油(本発明)各々250gと、砥粒〔組
成:SiC、GC#800(株)フジミインコーポレー
ティッド社製〕250gとを500mlのステンレス製
のビーカーに採取し、ホモミキサー(特殊化工(株)社
製型式T.Kオートホモミキサー、撹拌羽根:ディスパ
ー羽根)を用いて25℃、3000rpm で3分間攪拌し均一
にした。ついで、25℃における粘度(攪拌前粘度)を
B型粘度計で測定した。さらに、25℃、3000rpm で10
時間撹拌した。撹拌後の25℃における粘度(攪拌後粘
度)をB型粘度計で測定し、粘度変化率=(撹拌後粘度
/撹拌前粘度)×100(%)を求めた。結果を表3に
示す。
【0049】
【表3】
【0050】表3の結果より、実施例1〜5を用いて得
られた切削油組成物は、使用時の粘度変化がほとんどな
いことが示される。
【0051】
【発明の効果】本発明の切削油は、優れた砥粒の分散性
を有し、該切削油を用いて得られた切削油組成物の粘度
変化が小さいため、良好な切削性能が得られるという優
れた効果を奏する。また、本発明の切削油を用いて得ら
れた切削油組成物は、長時間放置した場合、たとえ砥粒
が沈降したとしても、砥粒の流動性があり砥粒の再分散
性が容易で作業性に優れるという優れた性質を有する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C10M 145:36 129:32 125:18) C10N 30:02 30:04 40:22 Fターム(参考) 4H104 AA01Z AA10C AA16C AA17C AA20C AA24A BB16C BB45A BB46A BE02C BE03C CB15A CB16A CB17A LA01 LA02 PA50 QA02 RA01

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくともベントナイト、水、アミン化
    合物及び非イオン性有機化合物を配合してなる切削油。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の切削油に、さらに炭素数
    1〜10のカルボン酸及び無機酸からなる群より選ばれ
    た少なくとも1種を配合してなる切削油。
  3. 【請求項3】 非イオン性有機化合物が、式(I): R1 O(EO)m (A1 O)n 2 (I) 〔式中、R1 及びR2 はそれぞれ同一でも異なっていて
    もよい水素原子又は炭素数1〜24の炭化水素基であり、
    かつ少なくとも一方が炭化水素基であり、EOはオキシ
    エチレン基、A1 Oは炭素数3若しくは4のオキシアル
    キレン基を示し、(EO)m (A1 O)n は平均付加モ
    ル数mのEOと平均付加モル数nのA1 Oとからなるラ
    ンダム体又はブロック体を示し、m及びnはそれぞれ
    0.5〜50の数、mとnとの和は1〜100の数であ
    り、nが2以上のときA1 Oは同一でも異なっていても
    よいランダム体又はブロック体を示す〕で表される化合
    物である請求項1又は2記載の切削油。
  4. 【請求項4】 非イオン性有機化合物として、さらに式
    (II): R3 O(A2 O)P 4 (II) 〔式中、R3 及びR4 はそれぞれ同一でも異なっていて
    もよい水素原子又は炭素数1〜8の炭化水素基を示し、
    2 Oはオキシエチレン基又はオキシプロピレン基いず
    れかを示し、平均付加モル数pは0.5〜10の数であ
    る〕で表される化合物を配合してなる、請求項3記載の
    切削油。
  5. 【請求項5】 アミン化合物が、炭素数1〜16のアル
    キル基又は炭素数2〜16のアルケニル基を有する一級
    アミン化合物である、請求項1〜4いずれか記載の切削
    油。
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