JP2010202826A - 脆性材料用加工油および加工油組成物 - Google Patents
脆性材料用加工油および加工油組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010202826A JP2010202826A JP2009052062A JP2009052062A JP2010202826A JP 2010202826 A JP2010202826 A JP 2010202826A JP 2009052062 A JP2009052062 A JP 2009052062A JP 2009052062 A JP2009052062 A JP 2009052062A JP 2010202826 A JP2010202826 A JP 2010202826A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing oil
- brittle materials
- mass
- abrasive grains
- oil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
【課題】引火性が低く砥粒の分散安定性に優れる脆性材料用加工油、およびこれに砥粒を配合してなる加工油組成物を提供する。
【解決手段】脆性材料用加工油は、多価アルコール系化合物を基油とする脆性材料用加工油であって、該加工油全量基準で、質量平均分子量が500以上のイオン性界面活性剤を0.5〜30質量%、金属酸塩を0.1〜10質量%、水を5〜50質量%配合してなる。この脆性材料用加工油に砥粒を配合してなる加工油組成物は、引火性が低く砥粒の分散安定性にも優れる。
【選択図】なし
【解決手段】脆性材料用加工油は、多価アルコール系化合物を基油とする脆性材料用加工油であって、該加工油全量基準で、質量平均分子量が500以上のイオン性界面活性剤を0.5〜30質量%、金属酸塩を0.1〜10質量%、水を5〜50質量%配合してなる。この脆性材料用加工油に砥粒を配合してなる加工油組成物は、引火性が低く砥粒の分散安定性にも優れる。
【選択図】なし
Description
本発明は、脆性材料用加工油、およびこれに砥粒を配合してなる加工油組成物に関する。詳しくは、シリコンやセラミックス等の脆性材料をワイヤーソーで切断する際に用いられる脆性材料用加工油および加工油組成物に関する。
半導体製品の製造においては、脆性材料であるシリコンインゴットを切断する必要があり、加工精度および生産性の観点から一般にワイヤーソー加工が利用されている。ワイヤーソー加工においては遊離砥粒を加工油中に分散させたスラリーが用いられ、ピアノ線等からなるワイヤーソーにより脆性材料が切断される。加工油としては、鉱物油を主成分とする非水溶性の油剤が主に用いられている。具体的には、この加工油にSiCなどの砥粒を混合・分散させたスラリー状の切削液をインゴット切断装置の刃の部分に供給しながらインゴットの切断が行われる。
しかし、鉱物油を主成分とする従来の加工油は引火性の危険物であるため、消防法により貯蔵数量が制限されている。また、廃液についても環境問題を生じないような処理が必要となる。
そこで、鉱物油を主成分とする非水溶性の加工油ではなく、水溶性の加工油も種々提案されている。例えば、エチレングリコール等の親水性多価アルコール系化合物と、プロピレングリコール等の親油性多価アルコール系化合物と、水とからなる分散媒に砥粒を分散させた水性切削液が開示されている(特許文献1参照)。また、鉱物油系基油や合成系基油に水とノニオン系界面活性剤とベントナイトを配合し、且つ所定の脂肪酸エステルを含まないインゴット切断用砥粒分散媒組成物が開示されている(特許文献2参照)。
そこで、鉱物油を主成分とする非水溶性の加工油ではなく、水溶性の加工油も種々提案されている。例えば、エチレングリコール等の親水性多価アルコール系化合物と、プロピレングリコール等の親油性多価アルコール系化合物と、水とからなる分散媒に砥粒を分散させた水性切削液が開示されている(特許文献1参照)。また、鉱物油系基油や合成系基油に水とノニオン系界面活性剤とベントナイトを配合し、且つ所定の脂肪酸エステルを含まないインゴット切断用砥粒分散媒組成物が開示されている(特許文献2参照)。
しかしながら、特許文献1、2に開示されたシリコンインゴット切断用の水性加工油組成物は、引火性は低いものの砥粒を分散させたスラリーの状態が必ずしも安定しているとは言い難い。すなわち、砥粒が沈降してしまいやすく、安定してシリコンインゴットを切削することが困難である。
そこで、本発明の目的は、引火性が低く砥粒の分散安定性に優れる脆性材料用加工油、およびこれに砥粒を配合してなる加工油組成物を提供することにある。
前記課題を解決すべく、本発明は、以下のような脆性材料用加工油、およびこれに砥粒を配合してなる加工油組成物を提供するものである。
(1)多価アルコール系化合物を基油とする脆性材料用加工油であって、該加工油全量基準で、質量平均分子量が500以上の界面活性剤を0.5〜30質量%、金属酸塩を0.1〜10質量%、水を5〜50質量%配合してなることを特徴とする脆性材料用加工油。
(2)上述の(1)に記載の脆性材料用加工油において、前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコールおよびポリアルキレングリコールの少なくともいずれかである
ことを特徴とする脆性材料用加工油。
(3)上述の(1)に記載の脆性材料用加工油において、前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコール誘導体およびポリアルキレングリコール誘導体の少なくともいずれかであり、前記各誘導体は、水酸基の少なくとも一部がエーテル結合あるいはエステル結合によりヒドロカルビル基と結合した構造であることを特徴とする脆性材料用加工油。
(4)上述の(1)から(3)までのいずれか1つに記載の脆性材料用加工油において、前記界面活性剤がイオン性界面活性剤であることを特徴とする脆性材料用加工油。
(5)上述の(4)に記載の脆性材料用加工油において、前記イオン性界面活性剤がポリカルボン酸またはその塩であることを特徴とする脆性材料用加工油。
(6)上述の(1)から(5)までのいずれか1つに記載の脆性材料用加工油において、さらに、防錆剤、消泡剤、金属不活性化剤およびpH調整剤のうち、少なくともいずれか1種を配合してなることを特徴とする脆性材料用加工油。
(7)上述の(1)から(6)までのいずれか1つに記載の脆性材料用加工油に、砥粒を配合してなることを特徴とする加工油組成物。
(2)上述の(1)に記載の脆性材料用加工油において、前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコールおよびポリアルキレングリコールの少なくともいずれかである
ことを特徴とする脆性材料用加工油。
(3)上述の(1)に記載の脆性材料用加工油において、前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコール誘導体およびポリアルキレングリコール誘導体の少なくともいずれかであり、前記各誘導体は、水酸基の少なくとも一部がエーテル結合あるいはエステル結合によりヒドロカルビル基と結合した構造であることを特徴とする脆性材料用加工油。
(4)上述の(1)から(3)までのいずれか1つに記載の脆性材料用加工油において、前記界面活性剤がイオン性界面活性剤であることを特徴とする脆性材料用加工油。
(5)上述の(4)に記載の脆性材料用加工油において、前記イオン性界面活性剤がポリカルボン酸またはその塩であることを特徴とする脆性材料用加工油。
(6)上述の(1)から(5)までのいずれか1つに記載の脆性材料用加工油において、さらに、防錆剤、消泡剤、金属不活性化剤およびpH調整剤のうち、少なくともいずれか1種を配合してなることを特徴とする脆性材料用加工油。
(7)上述の(1)から(6)までのいずれか1つに記載の脆性材料用加工油に、砥粒を配合してなることを特徴とする加工油組成物。
本発明によれば、水を含んで引火性が低くかつ優れた砥粒分散性を有する脆性材料用加工油およびこれに砥粒を配合してなる加工油組成物が提供される。
本発明の脆性材料用加工油は、多価アルコール系化合物を基油として、質量平均分子量が500以上の界面活性剤と、金属酸塩と、水とを配合してなるものである。
本発明で用いられる多価アルコール系化合物としては、水溶性および加工性の観点よりアルキレングリコールやポリアルキレングリコールが好ましく用いられる。アルキレングリコールとしては、分子量が小さく粘度の低いプロピレングリコールやエチレングリコールが加工性の観点より好ましいが、分子量が100以下であれば他のアルキレングリコールでも特に支障はない。なお、金属酸塩の分散効果の観点から、エチレングリコールよりプロピレングリコールのほうが好ましい。
また、分子量が400以下であれば、ポリエチレングリコールのようなポリアルキレングリコールでもよい。
さらに、前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコール誘導体やポリアルキレングリコール誘導体であってもよい。具体的には、水酸基の少なくとも一部がエーテル結合あるいはエステル結合によりヒドロカルビル基と結合した構造であってもよい。ヒドロカルビル基としては、例えばアルキル基が挙げられる。
本発明で用いられる多価アルコール系化合物としては、水溶性および加工性の観点よりアルキレングリコールやポリアルキレングリコールが好ましく用いられる。アルキレングリコールとしては、分子量が小さく粘度の低いプロピレングリコールやエチレングリコールが加工性の観点より好ましいが、分子量が100以下であれば他のアルキレングリコールでも特に支障はない。なお、金属酸塩の分散効果の観点から、エチレングリコールよりプロピレングリコールのほうが好ましい。
また、分子量が400以下であれば、ポリエチレングリコールのようなポリアルキレングリコールでもよい。
さらに、前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコール誘導体やポリアルキレングリコール誘導体であってもよい。具体的には、水酸基の少なくとも一部がエーテル結合あるいはエステル結合によりヒドロカルビル基と結合した構造であってもよい。ヒドロカルビル基としては、例えばアルキル基が挙げられる。
本発明の脆性材料用加工油で用いられる界面活性剤は、イオン性面活性剤、両性界面活性剤(双性界面活性剤)、および非イオン性界面活性剤(ノニオン性界面活性剤)のいずれでもよい。非イオン性界面活性剤としては、酸化プロピレンと酸化エチレンとのブロック共重合物、ポリアルキレングリコールおよびその誘導体などが挙げられる。
これらの中では、砥粒の分散効果の点でイオン性界面活性剤が好ましい。イオン性界面活性剤は、親水性部分(親水基)がアニオンとなり得るアニオン性界面活性剤と、親水基がカチオンとなり得るカチオン性界面活性剤とに大別される。アニオン性界面活性剤の親水基としては、カルボン酸、スルホン酸、あるいはリン酸構造を持つものが挙げられる。また、カチオン性界面活性剤の親水基としては、テトラアルキルアンモニウム構造を持つものが挙げられる。アニオン性界面活性剤の場合、親水基は遊離の酸でもよいが、ナトリウム塩やカリウム塩のような塩となっているほうが砥粒の分散性向上の点で好ましい。
本発明では、上述した各界面活性剤の中で、アニオン性界面活性剤が砥粒の分散効果の点で最も好ましい。特に、ポリカルボン酸(塩)として知られているものが好適に使用できる。例えば、非架橋型高分子ポリカルボン酸(塩)が好ましく用いられる。このような非架橋型高分子ポリカルボン酸(塩)は、カルボキシル基を有するモノマーのホモポリマーであってもよく、カルボキシル基を有するモノマーと、カルボキシル基を有する2種以上の他のモノマーまたはカルボキシル基を有さない2種以上の他のモノマーとのコポリマーであってもよい。ホモポリマーとしては、例えば、ポリ(メタ)アクリル酸またはその塩、ポリクロトン酸またはその塩、ポリイタコン酸またはその塩等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーと、カルボキシル基を有する2種以上の他のモノマーとのコポリマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸−マレイン酸共重合体またはその塩、アクリル酸−クロトン酸共重合体またはその塩、アクリル酸−スルホン酸共重合体またはその塩があげられる。カルボキシル基を有するモノマーと、カルボキシル基を有さない2種以上の他のモノマーとのコポリマーとしては、エチレン−マレイン酸共重合体またはその塩、メタクリル酸−アクリル酸エチル共重合体またはその塩が挙げられる。この中でも特にアクリル酸/マレイン酸共重合体が好ましく、共重合比(モル比)は75/25〜50/50である。また、塩としてはナトリウム塩、カリウム塩などが挙げられるがナトリウム塩が好ましい。また、用いる非架橋型高分子ポリカルボン酸(塩)は1種以上を単独でまたは併用することができる。
上述した界面活性剤の質量平均分子量は500以上であり、好ましくは1000以上であり、より好ましくは3000以上である。質量平均分子量が500未満であると、加工油に砥粒を配合した際に砥粒分散効果が劣る。一方、界面活性剤の質量平均分子量が10万を超えると、加工油の粘度が高くなりすぎてワイヤーソー加工時の加工精度や加工高率に悪影響を及ぼすおそれがある。それ故、界面活性剤の質量平均分子量は10万以下が好ましく、1万以下がより好ましい。このような質量平均分子量は、例えば、ゲル浸透クロマトグラフィーにより測定すればよい。
また、上述した界面活性剤の配合量は、加工油全量基準で0.5〜30質量%であるが、好ましくは1〜20質量%である。界面活性剤の配合量が0.5質量%未満であると、砥粒の分散効果が劣る。一方、上述した界面活性剤の配合量が30質量%を超えると粘度が上がりすぎてしまい、加工性に劣る。
また、上述した界面活性剤の配合量は、加工油全量基準で0.5〜30質量%であるが、好ましくは1〜20質量%である。界面活性剤の配合量が0.5質量%未満であると、砥粒の分散効果が劣る。一方、上述した界面活性剤の配合量が30質量%を超えると粘度が上がりすぎてしまい、加工性に劣る。
本発明の脆性材料用加工油で用いられる金属酸塩は、加工油中に沈降した砥粒を加工油中に再分散させる効果を奏する。このような効果を奏する金属酸塩としては、例えば、アルミン酸塩、アンチモン酸塩、ウラン酸塩、塩化金ソーダ、クロム酸ソーダ、クロム酸鉛、すず酸塩、タンスグテン酸ソーダ、バナジウム酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、モリブデン酸ソーダ、ケイ酸カリウムなどが挙げられる。
これらの金属酸塩は1種以上を単独でまたは併用することができるがその配合量は、加工油全量基準で0.1〜10質量%であり、好ましくは0.5〜5質量%である。配合量が0.1質量%未満では、効果が低く、10質量%を超えると加工油中に沈殿が生じやすくなる。
これらの金属酸塩は1種以上を単独でまたは併用することができるがその配合量は、加工油全量基準で0.1〜10質量%であり、好ましくは0.5〜5質量%である。配合量が0.1質量%未満では、効果が低く、10質量%を超えると加工油中に沈殿が生じやすくなる。
本発明の脆性材料用加工油に配合される水は、引火性を下げるための必須成分であり、水道水でもよいが、蒸留水あるいはイオン交換水のような不純物を含まない水が好ましい。水の配合量は、加工全量基準で5〜50質量%であり、10〜30質量%であることが好ましい。水の配合量が5質量%未満であると、引火性が生じるおそれがあり、一方、水の配合量が50質量%を超えると、該加工油に砥粒を添加して加工油組成物(水性切削液)として用いようとする場合に、砥粒の分散性を著しく低下させてしまうおそれがある。
さらに、本発明の水性脆性材料加工油には、発明の効果を損なわない範囲で、防錆剤、消泡剤、金属不活性化剤およびpH調整剤等を配合してもよい。
防錆剤としては、アルキルベンゼンスルフォネート、ジノニルナフタレンスルフォネート、アルケニルコハク酸エステル、多価アルコールエステル等が挙げられる。配合量としては、放電加工油全量基準で0.01〜5質量%程度が好ましい。
消泡剤としては、シリコーン油、フルオロシリコーン油およびフルオロアルキルエーテル等が挙げられる。配合量としては、放電加工油全量基準で0.01〜5質量%程度が好ましい。
防錆剤としては、アルキルベンゼンスルフォネート、ジノニルナフタレンスルフォネート、アルケニルコハク酸エステル、多価アルコールエステル等が挙げられる。配合量としては、放電加工油全量基準で0.01〜5質量%程度が好ましい。
消泡剤としては、シリコーン油、フルオロシリコーン油およびフルオロアルキルエーテル等が挙げられる。配合量としては、放電加工油全量基準で0.01〜5質量%程度が好ましい。
金属不活性化剤は、主に銅腐食防止剤として用いられるが、例えば、ベンゾトリアゾール、イミダゾリン、ピリミジン誘導体、およびチアジアゾール等が挙げられる。これらの1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。配合量は放電加工油全量基準で0.01〜1質量%程度が好ましい。放電加工機の電極としては、通常銅が使用されるため、上記範囲の金属不活性化剤を配合することによって、放電加工油中に微量混入してくる銅等の金属酸化物の酸化触媒としての作用を抑制することができる。
pH調整剤は砥粒を加工油中へ安定して分散させる働きをする。砥粒を配合した加工油組成物としての好ましいpH調整範囲は4〜12であり、好ましくは4〜11であり、さらに好ましくは、5〜10である。pHが4未満であると、防錆性が悪化するおそれがあり、pHが12より高いとシリコンが腐食するおそれがある。このようなpH調整剤としては、酢酸、リンゴ酸、クエン酸などの有機酸やその塩、リン酸などとその塩が挙げられる。
以上のように、本発明の脆性材料加工油は、所定の多価アルコールを基油として、所定の界面活性剤と金属酸塩、さらには水を含んでいるため、これに砥粒を配合してなる加工油組成物(スラリー)は、引火性が低く、優れた砥粒分散性および砥粒の再分散性を備えている。従って、本発明の加工油組成物は、ワイヤーソーやマルチワイヤーソー等を用いて脆性材料をワイヤーソー加工する際に好適に用いられる。脆性材料としては、シリコン、水晶、セラミックスおよびカーボン等が挙げられる。砥粒としては、特に制限なく使用することができ、例えばSiC(シリコンカーバイド)砥粒、アルミナ砥粒、ダイヤモンド砥粒などが挙げられる。遊離砥粒の配合量は目的に合わせて適宜決定できるが、通常は、質量比で脆性材料用加工油:遊離砥粒が95:5〜10:90、好ましくは90:10〜30:70である。
次に、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれらの例によって何ら限定されるものではない。
〔実施例1〜5、比較例1〜6〕
以下に示す基油および添加剤を用いて、表1に示す配合組成の加工油(供試油)を調製し、さらに砥粒を配合して各種の評価を行った。評価結果も併せて表1に示す。
以下に示す基油および添加剤を用いて、表1に示す配合組成の加工油(供試油)を調製し、さらに砥粒を配合して各種の評価を行った。評価結果も併せて表1に示す。
(基油)
(1) プロピレングリコール
(2) ポリエチレングリコール200
エチレンオキサイドへのエチレンオキサイド付加物(両末端水酸基、数平均分子量:200)
(3) エチレングリコール
(1) プロピレングリコール
(2) ポリエチレングリコール200
エチレンオキサイドへのエチレンオキサイド付加物(両末端水酸基、数平均分子量:200)
(3) エチレングリコール
(添加剤)
(1) ポリアクリル酸ナトリウム(質量平均分子量 5,000)
日本触媒製アクアリックDL365
(2) アクリル酸/マレイン酸共重合体塩(質量平均分子量 5,000)
日本触媒製アクアリックTL37
(3) タンスグテン酸ナトリウム2水和物
(4) モリブデン酸ナトリウム2水和物
(5) ケイ酸カリウム
日本化学工業製B珪酸カリ
(6) クエン酸
(7) 水(蒸留水)
(1) ポリアクリル酸ナトリウム(質量平均分子量 5,000)
日本触媒製アクアリックDL365
(2) アクリル酸/マレイン酸共重合体塩(質量平均分子量 5,000)
日本触媒製アクアリックTL37
(3) タンスグテン酸ナトリウム2水和物
(4) モリブデン酸ナトリウム2水和物
(5) ケイ酸カリウム
日本化学工業製B珪酸カリ
(6) クエン酸
(7) 水(蒸留水)
(砥粒)
フジミインコーポレーテッド製の砥粒であるGC1000およびGC3000を使用した。いずれも、炭化ケイ素(SiC)を主成分とする砥粒であり、平均粒径が異なる。
フジミインコーポレーテッド製の砥粒であるGC1000およびGC3000を使用した。いずれも、炭化ケイ素(SiC)を主成分とする砥粒であり、平均粒径が異なる。
(評価方法)
(1) 砥粒混合時の粘度
供試油と砥粒を1:1(質量比)で混合し、スラリー状態となった直後に、B型回転粘度計(東機産業製TVB−10)を用いて、25℃で測定した。
(2) pH
市販のpHメーターを用い、上記(1)にて得られたスラリーのpHを25℃で測定した。
(1) 砥粒混合時の粘度
供試油と砥粒を1:1(質量比)で混合し、スラリー状態となった直後に、B型回転粘度計(東機産業製TVB−10)を用いて、25℃で測定した。
(2) pH
市販のpHメーターを用い、上記(1)にて得られたスラリーのpHを25℃で測定した。
(3) 砥粒分散安定性試験
上記(1)のスラリ−(混合直後)を内容積120mlのシリンダー(内径28mm)に100ml入れ、30℃の雰囲気下で放置した。放置5時間後に液分離層(砥粒と供試油とが分離した層)が液全体に占める割合を求めた。具体的には、以下の式にて液分離層の比率(%)を計算した。
液分離層の比率(%)=(液分離層の体積(ml)/全体の体積(ml))×100
(4) 沈降砥粒の流動性試験
(3)の砥粒分散安定性試験と同じ条件で24時間放置した後のシリンダーを反転させた。そして、堆積していた砥粒が流動した体積を1時間後に測定した。
上記(1)のスラリ−(混合直後)を内容積120mlのシリンダー(内径28mm)に100ml入れ、30℃の雰囲気下で放置した。放置5時間後に液分離層(砥粒と供試油とが分離した層)が液全体に占める割合を求めた。具体的には、以下の式にて液分離層の比率(%)を計算した。
液分離層の比率(%)=(液分離層の体積(ml)/全体の体積(ml))×100
(4) 沈降砥粒の流動性試験
(3)の砥粒分散安定性試験と同じ条件で24時間放置した後のシリンダーを反転させた。そして、堆積していた砥粒が流動した体積を1時間後に測定した。
(評価結果)
表1における実施例1〜5の結果より、本発明の水溶性脆性材料加工油は、所定の多価アルコール系化合物を基油として、所定の界面活性剤、金属酸塩および水を所定量配合してなるので、砥粒の分散安定性に優れる。また、スラリ−の撹拌停止後、沈降した砥粒の再分散性にも優れる。それ故、ワイヤーソー加工時の加工精度や加工効率が高く作業性にも優れることが理解できる。特に、プロピレングリコールやポリエチレングルコール200のような低粘度の基油を用いながらも砥粒の分散安定性に優れることは特筆すべきである。一方、表1の比較例1〜6では、本発明で必須とされる添加剤のいずれかを欠いているため、いずれも砥粒の分散安定性に劣る。また、所定の界面活性剤と金属酸塩の双方を欠いている比較例3〜5では砥粒の再分散性が非常に悪い。なお、実施例2と比較例2は、ともに非常に細かな砥粒(GC3000)を配合してスラリーとした系であるが、比較例2では、所定の界面活性剤が配合されていないため、砥粒の分散安定性実施例1よりも劣っている。
表1における実施例1〜5の結果より、本発明の水溶性脆性材料加工油は、所定の多価アルコール系化合物を基油として、所定の界面活性剤、金属酸塩および水を所定量配合してなるので、砥粒の分散安定性に優れる。また、スラリ−の撹拌停止後、沈降した砥粒の再分散性にも優れる。それ故、ワイヤーソー加工時の加工精度や加工効率が高く作業性にも優れることが理解できる。特に、プロピレングリコールやポリエチレングルコール200のような低粘度の基油を用いながらも砥粒の分散安定性に優れることは特筆すべきである。一方、表1の比較例1〜6では、本発明で必須とされる添加剤のいずれかを欠いているため、いずれも砥粒の分散安定性に劣る。また、所定の界面活性剤と金属酸塩の双方を欠いている比較例3〜5では砥粒の再分散性が非常に悪い。なお、実施例2と比較例2は、ともに非常に細かな砥粒(GC3000)を配合してスラリーとした系であるが、比較例2では、所定の界面活性剤が配合されていないため、砥粒の分散安定性実施例1よりも劣っている。
本発明の脆性材料用加工油は、これに砥粒を配合した加工油組成物として脆性材料(シリコンインゴット、水晶、セラミックス等)のワイヤーソー加工に好適に用いられる。
Claims (7)
- 多価アルコール系化合物を基油とする脆性材料用加工油であって、
該加工油全量基準で、質量平均分子量が500以上の界面活性剤を0.5〜30質量%、金属酸塩を0.1〜10質量%、水を5〜50質量%配合してなる
ことを特徴とする脆性材料用加工油。 - 請求項1に記載の脆性材料用加工油において、
前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコールおよびポリアルキレングリコールの少なくともいずれかである
ことを特徴とする脆性材料用加工油。 - 請求項1に記載の脆性材料用加工油において、
前記多価アルコール系化合物が、アルキレングリコール誘導体およびポリアルキレングリコール誘導体の少なくともいずれかであり、
前記各誘導体は、水酸基の少なくとも一部がエーテル結合あるいはエステル結合によりヒドロカルビル基と結合した構造である
ことを特徴とする脆性材料用加工油。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の脆性材料用加工油において、
前記界面活性剤がイオン性界面活性剤である
ことを特徴とする脆性材料用加工油。 - 請求項4に記載の脆性材料用加工油において、
前記イオン性界面活性剤がポリカルボン酸またはその塩である
ことを特徴とする脆性材料用加工油。 - 請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載の脆性材料用加工油において、
さらに、防錆剤、消泡剤、金属不活性化剤およびpH調整剤のうち、少なくともいずれか1種を配合してなる
ことを特徴とする脆性材料用加工油。 - 請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載の脆性材料用加工油に、
砥粒を配合してなることを特徴とする加工油組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009052062A JP5350839B2 (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 脆性材料用加工油および加工油組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009052062A JP5350839B2 (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 脆性材料用加工油および加工油組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010202826A true JP2010202826A (ja) | 2010-09-16 |
JP5350839B2 JP5350839B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=42964624
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009052062A Expired - Fee Related JP5350839B2 (ja) | 2009-03-05 | 2009-03-05 | 脆性材料用加工油および加工油組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5350839B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013202518A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Neos Co Ltd | 水溶性消泡剤および低泡性加工油剤 |
CN103602491A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种金属加工用润滑油 |
CN103602490A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种改进的切削液组合物 |
CN103602476A (zh) * | 2013-11-18 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种改进的防锈加工切削液 |
CN103602488A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种金属加工用切削液组合物 |
CN103627490A (zh) * | 2013-11-18 | 2014-03-12 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种改进的高渗透性切削液 |
JP2016211000A (ja) * | 2016-08-31 | 2016-12-15 | 出光興産株式会社 | 水性加工液 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03181598A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-07 | Yushiro Chem Ind Co Ltd | 切断加工用油剤 |
JPH10259395A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Fujimi Inkooporeetetsudo:Kk | 切断用加工液および切断用組成物、ならびにそれを用いた固体材料の切断方法 |
JPH11302681A (ja) * | 1998-04-21 | 1999-11-02 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 水性組成物、これを用いた水性切削液、これらの製造方法、ならびにこの水性切削液を用いた切削方法 |
JP2000198995A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-18 | Fujimi Inc | 切断用加工液 |
JP2000226594A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Kao Corp | 切削油 |
JP2002114970A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-16 | Asahi Denka Kogyo Kk | 水系ラップ液及び水系ラップ剤 |
JP2003082381A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-19 | Dai Ichi Kogyo Seiyaku Co Ltd | 非引火性水系切削液組成物及び非引火性水系切削液 |
JP2005113039A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Kohjin Co Ltd | 水性切削液、水性スラリー及びこれを用いる硬脆性難削材料の切断方法 |
JP2006088455A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Haruo Okahara | シリコン加工用水溶性切削剤組成物及び加工方法 |
JP2006096951A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Kyodo Yushi Co Ltd | 水溶性切断加工用油剤、スラリー、及び切断加工方法 |
JP2006182901A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Yushiro Chem Ind Co Ltd | 切断加工用水溶性油剤改質剤および切断加工用水溶性油剤 |
-
2009
- 2009-03-05 JP JP2009052062A patent/JP5350839B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03181598A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-07 | Yushiro Chem Ind Co Ltd | 切断加工用油剤 |
JPH10259395A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Fujimi Inkooporeetetsudo:Kk | 切断用加工液および切断用組成物、ならびにそれを用いた固体材料の切断方法 |
JPH11302681A (ja) * | 1998-04-21 | 1999-11-02 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 水性組成物、これを用いた水性切削液、これらの製造方法、ならびにこの水性切削液を用いた切削方法 |
JP2000198995A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-18 | Fujimi Inc | 切断用加工液 |
JP2000226594A (ja) * | 1999-02-04 | 2000-08-15 | Kao Corp | 切削油 |
JP2002114970A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-16 | Asahi Denka Kogyo Kk | 水系ラップ液及び水系ラップ剤 |
JP2003082381A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-19 | Dai Ichi Kogyo Seiyaku Co Ltd | 非引火性水系切削液組成物及び非引火性水系切削液 |
JP2005113039A (ja) * | 2003-10-09 | 2005-04-28 | Kohjin Co Ltd | 水性切削液、水性スラリー及びこれを用いる硬脆性難削材料の切断方法 |
JP2006088455A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Haruo Okahara | シリコン加工用水溶性切削剤組成物及び加工方法 |
JP2006096951A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-04-13 | Kyodo Yushi Co Ltd | 水溶性切断加工用油剤、スラリー、及び切断加工方法 |
JP2006182901A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Yushiro Chem Ind Co Ltd | 切断加工用水溶性油剤改質剤および切断加工用水溶性油剤 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013202518A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Neos Co Ltd | 水溶性消泡剤および低泡性加工油剤 |
CN103602476A (zh) * | 2013-11-18 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种改进的防锈加工切削液 |
CN103627490A (zh) * | 2013-11-18 | 2014-03-12 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种改进的高渗透性切削液 |
CN103602491A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种金属加工用润滑油 |
CN103602490A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种改进的切削液组合物 |
CN103602488A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-02-26 | 青岛广联达精密机械有限公司 | 一种金属加工用切削液组合物 |
JP2016211000A (ja) * | 2016-08-31 | 2016-12-15 | 出光興産株式会社 | 水性加工液 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5350839B2 (ja) | 2013-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5639996B2 (ja) | 脆性材料用加工液及び硬質材料用加工液 | |
JP5350839B2 (ja) | 脆性材料用加工油および加工油組成物 | |
JP4481898B2 (ja) | 水性砥粒分散媒組成物 | |
KR100494296B1 (ko) | 비인화성 수계 절삭액 조성물 및 비인화성 수계 절삭액 | |
JP6039935B2 (ja) | 水性加工液 | |
WO2012115099A1 (ja) | 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液 | |
JP5464055B2 (ja) | 水性切削液及び水性切削剤 | |
KR20110013417A (ko) | 안정한 수성 슬러리 현탁액 | |
JP6204029B2 (ja) | 水性加工液 | |
JP4566045B2 (ja) | 水性砥粒分散媒組成物 | |
JP3933748B2 (ja) | ワイヤソー用水溶性切削液 | |
JP2003082380A (ja) | 非引火性水系切削液組成物及び非引火性水系切削液 | |
JP5420498B2 (ja) | 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液 | |
JP3508970B2 (ja) | 砥粒の水性分散媒組成物及びその切削液を用いるインゴットの切断方法 | |
JP5750525B2 (ja) | 固定砥粒ワイヤソー用水溶性加工液 | |
JP4194783B2 (ja) | 水溶性切断加工用油剤 | |
JP2002060777A (ja) | ワイヤーソー用水性スラリー | |
JP6232480B2 (ja) | 水性加工液 | |
JP4206162B2 (ja) | 切削油 | |
JP2003082381A (ja) | 非引火性水系切削液組成物及び非引火性水系切削液 | |
JP7231934B2 (ja) | 水溶性切削加工液 | |
JP2008246668A (ja) | 水性砥粒分散媒組成物及び加工用水性スラリー並びにそれらを用いた加工方法 | |
KR101699973B1 (ko) | 와이어 쏘우용 수성 절삭액 조성물 | |
KR20110015192A (ko) | 와이어 쏘우용 수용성 절삭액 조성물 | |
KR20120021748A (ko) | 와이어 쏘우용 수성 절삭액 조성물 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111024 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130726 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |