JP2000208939A - 多層配線基板およびそれを用いた電子装置 - Google Patents

多層配線基板およびそれを用いた電子装置

Info

Publication number
JP2000208939A
JP2000208939A JP946999A JP946999A JP2000208939A JP 2000208939 A JP2000208939 A JP 2000208939A JP 946999 A JP946999 A JP 946999A JP 946999 A JP946999 A JP 946999A JP 2000208939 A JP2000208939 A JP 2000208939A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
wiring board
multilayer wiring
via hole
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP946999A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuya Kawachi
哲也 河内
Motoi Nakanishi
基 中西
Hiroaki Tanaka
裕明 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP946999A priority Critical patent/JP2000208939A/ja
Publication of JP2000208939A publication Critical patent/JP2000208939A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Shielding Devices Or Components To Electric Or Magnetic Fields (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 一方主面側と他方主面側との間を電磁波的に
十分に遮断することのできる多層配線基板を提供する。 【解決手段】 第1の電極13と第2の電極21を第1
のビアホール22で接続し、第2の電極21と第3の電
極14を第2のビアホール23で接続するとともに、第
2の配線層6における第1のビアホール22と第2のビ
アホール23の間隔を、ビア開口部16および17の開
口径よりも大きくなるように形成して多層配線基板20
を構成する。 【効果】 多層配線基板の一方主面側と他方主面側との
間の電磁波ノイズの遮断を実現することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、多層配線基板およ
びそれを用いた電子装置、特に高周波帯で用いられる多
層配線基板およびそれを用いた電子装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年の電子装置の高密度化にともなっ
て、電子部品の実装基板として多層配線基板が多く用い
られるようになってきている。
【0003】図6に、従来の多層配線基板の分解斜視図
を示す。図6において、多層配線基板1は、一方主面側
から順に第1の配線層2、絶縁層3、第1のグランド層
4、絶縁層5、第2の配線層6、絶縁層7、第2のグラ
ンド層8、絶縁層9、第3の配線層10の9つの層を積
層して構成されている。ここで、第1のグランド層4お
よび第2のグランド層8には第1のグランド電極11お
よび第2のグランド電極12がそれぞれ形成されてい
る。また、第1の配線層2には第1の電極13が、第3
の配線層10には第3の電極14がそれぞれ形成され、
両者は多層配線基板1を貫通するビアホール15を介し
て接続されている。そして、第1のグランド層4および
第2のグランド層8には、ビアホール15と第1のグラ
ンド電極11および第2のグランド電極12を絶縁する
ためのビア開口部16および17がそれぞれ設けられて
いる。
【0004】このように多層配線基板1を構成すること
によって、多層配線基板1の一方主面側と他方主面側を
電気的に接続することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図7に、図6に示した
多層配線基板1における、第1の電極13、ビアホール
15、第3の電極14を通る断面図を示す。図7に示す
ように、多層配線基板1においては、第1の電極13と
第3の電極14をビアホール15を介して接続すること
によって、第1の配線層2と第3の配線層10、すなわ
ち多層配線基板1の一方主面側と他方主面側が接続され
ていることが分かる。
【0006】ところで、多層配線基板1においては、内
層に第1のグランド層4および第2のグランド層8を設
けていることからも分かるように、ビアホール15によ
る接続部分を除いて、第1の配線層2と第3の配線層1
0の間では不必要な信号が遮断されている状態が望まし
い。これは、例えば第1の配線層2側で発生する電磁波
ノイズが第3の配線層10側には届かないような状態を
意味する。
【0007】しかしながら、多層配線基板1において
は、ビアホール15の周囲が、第1のグランド電極11
および第2のグランド電極12に設けられたビア開口部
16および17を介して、第1の配線層2から第3の配
線層10までが、その厚み方向にグランド電極に遮られ
ることなく連続して開口している。なお、ここでいう開
口とは電極で遮られていない状態を意味しており、絶縁
体が存在していても構わないものである。そのため、図
7に示すように、電磁波ノイズNが多層配線基板10の
一方主面側から他方主面側へ容易に伝搬してしまうとい
う問題がある。このような構成になっていると、たとえ
多層配線基板1の周縁部からの電磁波ノイズの漏れをな
くしても、一方主面側と他方主面側との間の電磁波ノイ
ズの遮断が不十分になり、多層配線基板1を用いた電子
装置が誤動作するという問題が発生する可能性がある。
【0008】本発明は上記の問題点を解決することを目
的とするもので、一方主面側と他方主面側との間で電磁
波ノイズを十分に遮断することのできる多層配線基板お
よびそれを用いた電子装置を提供する。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の多層配線基板は、第1の配線層と、第1の
グランド層と、第2の配線層と、第2のグランド層と、
第3の配線層を、それぞれ間に絶縁層を介して順に積層
してなる多層配線基板において、前記第1の配線層に形
成された第1の電極と前記第2の配線層に形成された第
2の電極を第1のビアホールで接続し、前記第2の電極
と前記第3の配線層に形成された第3の電極を第2のビ
アホールで接続するとともに、前記第2の配線層におけ
る前記第1のビアホールと前記第2のビアホールの間隔
を、前記第1および第2のグランド層にそれぞれ形成さ
れたビア開口部の開口径より大きくしたことを特徴とす
る。
【0010】また、本発明の多層配線基板は、前記第2
の電極を一端と他端を有する線路状に形成し、その一端
を前記第1のビアホールに接続し、他端を前記第2のビ
アホールに接続するとともに、前記第2の電極の側縁に
近接して、前記第1のグランド電極と前記第2のグラン
ド電極を第3のビアホールで接続したことを特徴とす
る。
【0011】また、本発明の多層配線基板は、前記第1
のビアホールおよび前記第2のビアホールおよび前第2
の電極に近接して電波吸収材料を設けたことを特徴とす
る。
【0012】また、本発明の電子装置は、上記の多層配
線基板を用いたことを特徴とする。
【0013】このように構成することにより、本発明の
多層配線基板においては、多層配線基板の一方主面側と
他方主面側との間の電磁波ノイズの遮断を実現すること
ができる。
【0014】また、本発明の電子装置においては、電子
装置の誤動作を防止し、安定に動作させることができ
る。
【0015】
【発明の実施の形態】図1に、本発明の多層配線基板の
一実施例の分解斜視図を示す。図1において、図6と同
一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を
省略する。
【0016】図1において、多層配線基板20は、第2
の配線層6に一端と他端を有する線路状の第2の電極2
1が形成され、第1の配線層2に形成された第1の電極
13と第2の配線層6に形成された第2の電極21の一
端を第1のビアホール22で接続し、第2の電極21の
他端と第3の配線層10に形成された第3の電極14を
第2のビアホール23で接続して構成されている。そし
て、第1のグランド層4には第1のビアホール22と第
1のグランド電極11を絶縁するためのビア開口部16
が、第2のグランド層8には第2のビアホール23と第
2のグランド電極12を絶縁するためのビア開口部17
がそれぞれ設けられている。また、第2の配線層6にお
ける第1のビアホール22と第2のビアホール23の間
隔L1は、ビア開口部16および17の開口径D1より
も大きくなるように形成されている。
【0017】ここで、図2に、図1に示した多層配線基
板20における、第1の電極13、第1のビアホール2
2、第2の電極21、第2のビアホール23、第3の電
極14を通る断面図を示す。図2に示すように、第1の
電極13と第3の電極14をビアホール22と第2の電
極21とビアホール23を順に介して接続することによ
って、第1の配線層2と第3の配線層10、すなわち、
多層配線基板20の一方主面側と他方主面側が接続され
ていることが分かる。
【0018】このように構成された多層配線基板20に
おいては、第2の配線層6における第1のビアホール2
2と第2のビアホール23の間隔L1が、ビア開口部1
6および17の開口径D1よりも長くなるように形成さ
れているため、2つのビア開口部16と17は多層配線
基板20の厚み方向において重ならず、多層配線基板2
0の一方主面側から他方主面側へ向かって連続する開口
部が存在しない。そのため、図2に示すように、例えば
多層配線基板20の一方主面側から来た電磁波ノイズN
は、第2のグランド層8に形成された第2のグランド電
極12に遮られて、他方主面側へ容易には伝搬しない。
逆に、他方主面側から来た電磁波ノイズは第1のグラン
ド層4に形成された第1のグランド電極11で遮られ
る。その結果、多層配線基板20の一方主面側と他方主
面側との間の電磁波ノイズの遮断を実現することができ
る。
【0019】なお、多層配線基板20においては第2の
電極21を直線の線路状としたが、これは直線の線路状
に限るものではなく、第2の配線層6における第1のビ
アホール22と第2のビアホール23の間隔が第1およ
び第2のグランド層4および8に設けられたビア開口部
16および17の開口径より大きいものであれば、折れ
曲がっていたりしても構わないものである。
【0020】図3に、本発明の多層配線基板の別の実施
例の分解斜視図を示す。図3において、図1と同一もし
くは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を省略す
る。
【0021】図3において、多層配線基板30は、第2
の配線層6に形成された線路状の第2の電極21の側縁
に近接して、第1のグランド層4に形成された第1のグ
ランド電極11と第2のグランド層8に形成された第2
のグランド電極12を接続する第3のビアホール31
が、合計4本設けられて構成されている。
【0022】このように構成された多層配線基板30に
おいては、第2の電極21の一端側から他端側へ、第2
の電極21の周囲の絶縁体内部を通って伝搬する電磁波
ノイズに対して、第3のビアホール31が第2の電極2
1の周囲の空間(絶縁体中)における遮蔽板として機能
する。そのため、多層配線基板30の一方主面側からビ
ア開口部16を通ってきた電磁波ノイズが、第2の電極
21の周囲の絶縁体を通って、さらにビア開口部17を
経由して他方主面側に伝搬するのを防止することができ
る。もちろん、多層配線基板30の他方主面側からビア
開口部17を通ってきた電磁波ノイズに対しても同様に
機能する。その結果、多層配線基板30の一方主面側と
他方主面側との間の電磁波ノイズの遮断をさらに高いレ
ベルで実現することができる。
【0023】なお、第3のビアホールの数やその間隔は
特に限定されるものではなく、数が多く、しかもその間
隔が狭いほど電磁波ノイズを遮断する効果は大きくなる
ものである。
【0024】図4に、本発明の多層配線基板のさらに別
の実施例の分解斜視図を示す。図4において、図1と同
一もしくは同等の部分には同じ記号を付し、その説明を
省略する。
【0025】図4において、多層配線基板40は、第2
のグランド層8の、第1のビアホール22の延長線との
交点を中心として電波吸収材料41が設けられ、また、
第1のグランド層4の、第2のビアホール23の延長線
との交点を中心として電波吸収材料42が設けられて構
成されている。
【0026】このように構成された多層配線基板40に
おいては、多層配線基板40の一方主面側からビア開口
部16を通ってきた電磁波ノイズは電波吸収材料41で
吸収される。これによって、電磁波ノイズが第2の電極
21の周囲の絶縁体を通って、さらにビア開口部17を
経由して他方主面側に伝搬するのを防止することができ
る。逆に、多層配線基板40の他方主面側からビア開口
部17を通ってきた電磁波ノイズに対しては、電波吸収
材料42で対応することができる。その結果、多層配線
基板40の一方主面側と他方主面側との間の電磁波ノイ
ズの遮断をさらに高いレベルで実現することができる。
【0027】なお、電波吸収材料を設ける位置は第1お
よび第2のグランド層4および8に限定されるものでは
なく、絶縁体層5や7の内部や、第2の配線層6の第2
の電極21の周辺など別のところに設けても構わないも
のである。また、個別に設けるのではなく、1つの電波
吸収材料の層として多層配線基板の中に積層しても構わ
ないものである。
【0028】また、多層配線基板40においては、図1
に示した多層配線基板20をベースにして電波吸収材料
41、42を設けて構成したが、図3に示した多層配線
基板30をベースにして電波吸収材料を設けて構成して
も構わないもので、多層配線基板40と同様の作用効果
を奏するものである。
【0029】なお、上記の3つの実施例においては、多
層配線基板の内部に形成するグランド層と配線層をそれ
ぞれ2つおよび1つとしたが、必要に応じてそれ以上に
設けられていても構わない。例えば、第1および第2の
グランド層の間に、第2の配線層以外に別の配線層やグ
ランド層を1つ以上設けても構わないもので、その場合
にも上記の3つの実施例と同様の作用効果を奏するもの
である。
【0030】図5に、本発明の多層配線基板を用いた電
子装置の一実施例の断面図を示す。図5において、電子
装置50は、金属製の筐体51の中に、筐体51の内部
を上下に分けるように本発明の多層配線基板52を配置
して構成されている。ここで、多層配線基板52は、上
記の各実施例で述べたように、第1の電極と第1のビア
ホールと第2の電極と第2のビアホールと第3の電極か
らなる経路53によって一方主面側の第1の配線層と他
方主面側の第2の配線層が電気的に接続されている。ま
た、多層配線基板52の第1および第2の配線層には電
子部品54が実装されている。そして、多層配線基板5
2の周縁部には第1および第2のグランド層と接続され
たグランド電極が形成されており、筐体51の内面との
間でハンダ55で接続されている。
【0031】このように電子装置50を構成することに
よって、多層配線基板52の一方主面側と他方主面側
で、多層配線基板52の周縁を介して電磁波ノイズが行
き来することを防止することができる。また、多層配線
基板52自身においても、上記の各実施例で説明した第
1,第2および第3の電極と第1および第2のビアホー
ルからなる構成によって、多層配線基板の一方主面側と
他方主面側との間のビア開口部を介して行き来する電磁
波ノイズの遮断を実現することができる。その結果、電
子装置50においては、多層配線基板52の一方主面側
と他方主面側との間の電磁波ノイズの行き来が原因とな
る誤動作を防止することができ、安定に動作させること
ができる。
【0032】
【発明の効果】本発明の多層配線基板によれば、第1の
配線層と、第1のグランド層と、第2の配線層と、第2
のグランド層と、第3の配線層を、それぞれ間に絶縁層
を介して順に積層してなる多層配線基板において、第1
の配線層に形成された第1の電極と第2の配線層に形成
された第2の電極を第1のビアホールで接続し、第2の
電極と第3の配線層に形成された第3の電極を第2のビ
アホールで接続するとともに、第2の配線層における第
1のビアホールと第2のビアホールの間隔を、第1およ
び第2のグランド層にそれぞれ形成された第1および第
2のグランド電極に第1および第2のビアホールと絶縁
するために設けられたビア開口部の開口径より大きくし
て構成することによって、多層配線基板の一方主面側と
他方主面側との間の電磁波ノイズの遮断を実現すること
ができる。
【0033】また、第2の電極を一端と他端を有する線
路状に形成し、その一端を第1のビアホールに接続し、
他端を第2のビアホールに接続するとともに、第2の電
極の側縁に近接して、第1のグランド電極と第2のグラ
ンド電極を第3のビアホールで接続することによって、
電磁波ノイズの遮断の効果をさらに高めることができ
る。
【0034】また、第1および第2のビアホールおよび
第2の電極に近接して電波吸収材料を設けることによっ
て、電磁波ノイズの遮断の効果をさらに高めることがで
きる。
【0035】また、本発明の電子装置によれば、本発明
の多層配線基板を用いることによって、誤動作を防止
し、安定に動作させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の多層配線基板の一実施例を示す分解斜
視図である。
【図2】図1に示した多層配線基板の断面図である。
【図3】本発明の多層配線基板の別の実施例を示す分解
斜視図である。
【図4】本発明の多層配線基板のさらに別の実施例を示
す分解斜視図である。
【図5】本発明の電子装置の一実施例を示す断面図であ
る。
【図6】従来の多層配線基板を示す分解斜視図である。
【図7】図6に示した多層配線基板の断面図である。
【符号の説明】
2…第1の配線層 3、5、7、9…絶縁層 4…第1のグランド層 6…第2の配線層 8…第2のグランド層 10…第3の配線層 11…第1のグランド電極 12…第2のグランド電極 13…第1の電極 14…第3の電極 16、17…ビア開口部 20、30、40…多層配線基板 21…第2の電極 22…第1のビアホール 23…第2のビアホール 31…第3のビアホール 41、42…電波吸収材料 50…電子装置 D1…ビア開口部の開口径 L1…第2の配線層における第1のビアホールと第2の
ビアホールの間隔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5E317 AA24 GG11 5E321 AA17 BB25 GG01 GG05 5E338 CC05 EE13 5E346 AA32 AA43 BB04 HH01

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の配線層と、第1のグランド層と、
    第2の配線層と、第2のグランド層と、第3の配線層
    を、それぞれ間に絶縁層を介して順に積層してなる多層
    配線基板において、 前記第1の配線層に形成された第1の電極と前記第2の
    配線層に形成された第2の電極を第1のビアホールで接
    続し、前記第2の電極と前記第3の配線層に形成された
    第3の電極を第2のビアホールで接続するとともに、前
    記第2の配線層における前記第1のビアホールと前記第
    2のビアホールの間隔を、前記第1および第2のグラン
    ド層にそれぞれ形成されたビア開口部の開口径より大き
    くしたことを特徴とする多層配線基板。
  2. 【請求項2】 前記第2の電極を一端と他端を有する線
    路状に形成し、その一端を前記第1のビアホールに接続
    し、他端を前記第2のビアホールに接続するとともに、
    前記第2の電極の側縁に近接して、前記第1のグランド
    電極と前記第2のグランド電極を第3のビアホールで接
    続したことを特徴とする、請求項1に記載の多層配線基
    板。
  3. 【請求項3】 前記第1のビアホールおよび前記第2の
    ビアホールおよび前記第2の電極に近接して電波吸収材
    料を設けたことを特徴とする、請求項1または2に記載
    の多層配線基板。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし3のいずれかに記載の多
    層配線基板を用いたことを特徴とする電子装置。
JP946999A 1999-01-18 1999-01-18 多層配線基板およびそれを用いた電子装置 Pending JP2000208939A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP946999A JP2000208939A (ja) 1999-01-18 1999-01-18 多層配線基板およびそれを用いた電子装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP946999A JP2000208939A (ja) 1999-01-18 1999-01-18 多層配線基板およびそれを用いた電子装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000208939A true JP2000208939A (ja) 2000-07-28

Family

ID=11721138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP946999A Pending JP2000208939A (ja) 1999-01-18 1999-01-18 多層配線基板およびそれを用いた電子装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000208939A (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002282512A (ja) * 2001-03-28 2002-10-02 Okumura Yu-Ki Co Ltd 遊技機
JP2003023249A (ja) * 2001-07-05 2003-01-24 Mitsubishi Electric Corp 層間接続構造
JP2004266180A (ja) * 2003-03-04 2004-09-24 Kyocera Corp 配線基板
KR100848848B1 (ko) * 2007-07-12 2008-07-28 삼성전기주식회사 전자기 밴드갭 구조물, 이를 포함하는 인쇄회로기판과 그제조방법
KR100956891B1 (ko) 2008-03-19 2010-05-11 삼성전기주식회사 전자기 밴드갭 구조물 및 인쇄회로기판
WO2010073831A1 (ja) * 2008-12-25 2010-07-01 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 多層配線基板および製造方法
CN101800216A (zh) * 2009-02-06 2010-08-11 伊姆贝拉电子有限公司 具有电磁干扰保护的电子模块
JP2011014692A (ja) * 2009-07-01 2011-01-20 Alps Electric Co Ltd 電子回路ユニット
US8304667B2 (en) 2008-03-28 2012-11-06 Nec Corporation Multilayer printed circuit board

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002282512A (ja) * 2001-03-28 2002-10-02 Okumura Yu-Ki Co Ltd 遊技機
JP4675510B2 (ja) * 2001-07-05 2011-04-27 三菱電機株式会社 層間接続構造
JP2003023249A (ja) * 2001-07-05 2003-01-24 Mitsubishi Electric Corp 層間接続構造
JP2004266180A (ja) * 2003-03-04 2004-09-24 Kyocera Corp 配線基板
JP4508540B2 (ja) * 2003-03-04 2010-07-21 京セラ株式会社 配線基板および電子装置
KR100848848B1 (ko) * 2007-07-12 2008-07-28 삼성전기주식회사 전자기 밴드갭 구조물, 이를 포함하는 인쇄회로기판과 그제조방법
JP2009021594A (ja) * 2007-07-12 2009-01-29 Samsung Electro-Mechanics Co Ltd 電磁気バンドギャップ構造物と、これを備えた印刷回路基板及びその製造方法
KR100956891B1 (ko) 2008-03-19 2010-05-11 삼성전기주식회사 전자기 밴드갭 구조물 및 인쇄회로기판
US8304667B2 (en) 2008-03-28 2012-11-06 Nec Corporation Multilayer printed circuit board
WO2010073831A1 (ja) * 2008-12-25 2010-07-01 インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション 多層配線基板および製造方法
CN101800216A (zh) * 2009-02-06 2010-08-11 伊姆贝拉电子有限公司 具有电磁干扰保护的电子模块
US10010019B2 (en) 2009-02-06 2018-06-26 Ge Embedded Electronics Oy Electronic module with EMI protection
US10470346B2 (en) 2009-02-06 2019-11-05 Ge Embedded Electronics Oy Electronic module with EMI protection
JP2011014692A (ja) * 2009-07-01 2011-01-20 Alps Electric Co Ltd 電子回路ユニット

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2894325B2 (ja) 電子回路のシールド構造
JP5733303B2 (ja) 配線基板及び電子装置
JPH03165058A (ja) 半導体装置
JPH09127232A (ja) ドップラーレーダモジュール
JP4584193B2 (ja) 導波管の接続構造
EP1590997B1 (en) A shielding arrangement
JP2008028218A (ja) 多層プリント基板
JP3531624B2 (ja) 伝送線路、集積回路および送受信装置
US11659658B2 (en) Multilayer board
JP2000208939A (ja) 多層配線基板およびそれを用いた電子装置
KR20070057278A (ko) 실드가 부착된 커넥터 및 회로 기판 장치
TW200401470A (en) Multilayer substrate and satellite broadcast reception apparatus
EP1324646B1 (en) Jumper chip component and mounting structure therefor
JP2004265929A (ja) 高周波多層プリント基板
JPH088573A (ja) シールドケース構造
JP4060445B2 (ja) アレーアンテナ給電装置
JPH05243782A (ja) 多層プリント基板
JP2005354368A (ja) 導波管方向性結合器
JP2000138425A (ja) 接続配線構造
JPH09307273A (ja) シールド構造を備えた高周波回路
JPH0537163A (ja) 回路装置
JP2005033081A (ja) 半導体装置
JP2001060827A (ja) マイクロストリップライン型電圧制御発振器
JPH05160613A (ja) 高周波基板
JPH11298241A (ja) アレーアンテナ給電装置

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20060223

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20060328

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20060815

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02