JP2000193891A - 二光束干渉対物レンズ装置 - Google Patents
二光束干渉対物レンズ装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 干渉縞の幅および方向の調整を片手操作で行
うことができ、使い勝手および作業効率の向上が可能な
二光束干渉対物レンズ装置を提供する。 【解決手段】 対物レンズ１と、この対物レンズと試料
４との間に配設されたプリズム１２と、このプリズムの
一方の分割光路中に配設されたリファレンスミラー１３
と、干渉縞の幅および方向を調整するためにリファレン
スミラーを傾角する傾角装置１４とを有する。傾角装置
は、対物レンズ１の光軸からリファレンスミラー１３ま
での距離を略一定に保ったままリファレンスミラー１３
を対物レンズの光軸と平行な軸を中心として揺動させる
幅調整手段４１と、リファレンスミラーを一方の分割光
路を中心として回動させる方向調整手段５１とを備え
る。
うことができ、使い勝手および作業効率の向上が可能な
二光束干渉対物レンズ装置を提供する。 【解決手段】 対物レンズ１と、この対物レンズと試料
４との間に配設されたプリズム１２と、このプリズムの
一方の分割光路中に配設されたリファレンスミラー１３
と、干渉縞の幅および方向を調整するためにリファレン
スミラーを傾角する傾角装置１４とを有する。傾角装置
は、対物レンズ１の光軸からリファレンスミラー１３ま
での距離を略一定に保ったままリファレンスミラー１３
を対物レンズの光軸と平行な軸を中心として揺動させる
幅調整手段４１と、リファレンスミラーを一方の分割光
路を中心として回動させる方向調整手段５１とを備え
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、二光束干渉対物レ
ンズ装置に関する。たとえば、顕微鏡などに取り付けて
使用される二光束干渉対物レンズ装置に関する。
ンズ装置に関する。たとえば、顕微鏡などに取り付けて
使用される二光束干渉対物レンズ装置に関する。
【０００２】
【背景技術】対物レンズ、光路分割用プリズムおよびリ
ファレンスミラーを備えた二光束干渉対物レンズ装置が
知られている。たとえば、図６に示すように、対物レン
ズ１０１と、この対物レンズ１０１と試料１０４との間
に配設された光路分割用プリズム１０２と、この光路分
割用プリズム１０２の一方の分割光路中に配設されたリ
ファレンスミラー１０３とを備えた二光束干渉対物レン
ズ装置が知られている。
ファレンスミラーを備えた二光束干渉対物レンズ装置が
知られている。たとえば、図６に示すように、対物レン
ズ１０１と、この対物レンズ１０１と試料１０４との間
に配設された光路分割用プリズム１０２と、この光路分
割用プリズム１０２の一方の分割光路中に配設されたリ
ファレンスミラー１０３とを備えた二光束干渉対物レン
ズ装置が知られている。
【０００３】この二光束干渉対物レンズ装置において、
いま、対物レンズ１０１の上側または光路分割用プリズ
ム１０２の左側から照明光を入射させると、その光は、
光路分割用プリズム１０２によりリファレンスミラー１
０３および試料１０４に分割されて照射される。する
と、それぞれにおいて反射した光が光路分割用プリズム
１０２で重ね合わされて干渉され、対物レンズ１０１を
通り、観察装置本体に導かれる。
いま、対物レンズ１０１の上側または光路分割用プリズ
ム１０２の左側から照明光を入射させると、その光は、
光路分割用プリズム１０２によりリファレンスミラー１
０３および試料１０４に分割されて照射される。する
と、それぞれにおいて反射した光が光路分割用プリズム
１０２で重ね合わされて干渉され、対物レンズ１０１を
通り、観察装置本体に導かれる。
【０００４】このとき、対物レンズ１０１の光軸上で、
光路分割用プリズム１０２と試料１０４との距離Ｌ１、
光路分割用プリズム１０２とリファレンスミラー１０３
との距離Ｌ２が、Ｌ１＝Ｌ２のときに０次の干渉縞が発
生し、距離Ｌ１と距離Ｌ２との差がλ／２，λ，３λ／
２……とλ／２ずつ増すに従って、１次、２次、３次の
干渉縞が発生する。なお、λは照明光の波長である。従
って、この干渉縞を解析することによって、種々の物理
量を測定することができる。
光路分割用プリズム１０２と試料１０４との距離Ｌ１、
光路分割用プリズム１０２とリファレンスミラー１０３
との距離Ｌ２が、Ｌ１＝Ｌ２のときに０次の干渉縞が発
生し、距離Ｌ１と距離Ｌ２との差がλ／２，λ，３λ／
２……とλ／２ずつ増すに従って、１次、２次、３次の
干渉縞が発生する。なお、λは照明光の波長である。従
って、この干渉縞を解析することによって、種々の物理
量を測定することができる。
【０００５】ところで、この種の二光束干渉対物レンズ
装置では、干渉縞の幅および方向を調整するために、リ
ファレンスミラーを傾角する傾角装置を備えているが、
従来の傾角装置として、実用新案登録第２５２０９５０
号公報に開示された次の２つの構造が知られている。 干渉縞の幅および方向を調整するために、リファレ
ンスミラーを傾角させる調整つまみ２個と、リファレン
スミラーを試料面の共役の位置に移動させるための調整
つまみ１個を有する構造。 対物レンズの光軸を中心として、リファレンスミラ
ーを傾角させる調整つまみ２個を有する構造。
装置では、干渉縞の幅および方向を調整するために、リ
ファレンスミラーを傾角する傾角装置を備えているが、
従来の傾角装置として、実用新案登録第２５２０９５０
号公報に開示された次の２つの構造が知られている。 干渉縞の幅および方向を調整するために、リファレ
ンスミラーを傾角させる調整つまみ２個と、リファレン
スミラーを試料面の共役の位置に移動させるための調整
つまみ１個を有する構造。 対物レンズの光軸を中心として、リファレンスミラ
ーを傾角させる調整つまみ２個を有する構造。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した構造
のものでは、次のような欠点がある。の構造の傾角装
置では、対物ねじ部と干渉縞調整のための傾角装置の操
作部が対物レンズ光軸を中心とする回転方向に対して固
定であるため、試料に対して像にピント位置を合わせた
のち、リファレンスミラーを試料と共役の位置にするた
めに、調整つまみを操作して干渉縞を出現させ、干渉縞
の幅および方向を調整するために別の２個の調整つまみ
を操作しなければならないので、操作性に問題がある。
のものでは、次のような欠点がある。の構造の傾角装
置では、対物ねじ部と干渉縞調整のための傾角装置の操
作部が対物レンズ光軸を中心とする回転方向に対して固
定であるため、試料に対して像にピント位置を合わせた
のち、リファレンスミラーを試料と共役の位置にするた
めに、調整つまみを操作して干渉縞を出現させ、干渉縞
の幅および方向を調整するために別の２個の調整つまみ
を操作しなければならないので、操作性に問題がある。
【０００７】の構造の傾角装置では、２個の調整つま
みを同時に操作しながら、干渉縞の幅および方向を調整
しなければならないため、２個の調整つまみをそれぞれ
同時に調整するためには、両手を使わなければならず、
非常に操作性が悪い。
みを同時に操作しながら、干渉縞の幅および方向を調整
しなければならないため、２個の調整つまみをそれぞれ
同時に調整するためには、両手を使わなければならず、
非常に操作性が悪い。
【０００８】本発明の目的は、このような従来の欠点を
全て解消し、干渉縞の幅および方向の調整を片手操作で
行うことができ、使い勝手および作業効率の向上が可能
な二光束干渉対物レンズ装置を提供することにある。
全て解消し、干渉縞の幅および方向の調整を片手操作で
行うことができ、使い勝手および作業効率の向上が可能
な二光束干渉対物レンズ装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の二光束干渉対物
レンズ装置は、対物レンズと、この対物レンズと試料と
の間に配設された光路分割部材と、この光路分割部材の
一方の分割光路中に配設されたリファレンスミラーと、
このリファレンスミラーの反射光と前記光路分割部材に
よる他方の分割光路中に配設された試料からの反射光と
から生じる干渉縞の幅および方向を調整するために前記
リファレンスミラーを傾角する傾角装置とを有する二光
束干渉対物レンズ装置において、前記傾角装置は、前記
対物レンズの光軸からリファレンスミラーまでの距離を
略一定に保ったままリファレンスミラーを前記対物レン
ズの光軸と平行な軸を中心として揺動させる幅調整手段
と、前記リファレンスミラーを前記一方の分割光路を中
心として回動させる方向調整手段とを備え、前記幅調整
手段および方向調整手段が独立的に操作可能に設けられ
ていることを特徴とする。ここで、対物レンズの光軸か
らリファレンスミラーまでの距離が略一定とは、対物レ
ンズの光軸からリファレンスミラーまでの距離が同じ場
合、僅かに異なる場合の双方を含む意味である。
レンズ装置は、対物レンズと、この対物レンズと試料と
の間に配設された光路分割部材と、この光路分割部材の
一方の分割光路中に配設されたリファレンスミラーと、
このリファレンスミラーの反射光と前記光路分割部材に
よる他方の分割光路中に配設された試料からの反射光と
から生じる干渉縞の幅および方向を調整するために前記
リファレンスミラーを傾角する傾角装置とを有する二光
束干渉対物レンズ装置において、前記傾角装置は、前記
対物レンズの光軸からリファレンスミラーまでの距離を
略一定に保ったままリファレンスミラーを前記対物レン
ズの光軸と平行な軸を中心として揺動させる幅調整手段
と、前記リファレンスミラーを前記一方の分割光路を中
心として回動させる方向調整手段とを備え、前記幅調整
手段および方向調整手段が独立的に操作可能に設けられ
ていることを特徴とする。ここで、対物レンズの光軸か
らリファレンスミラーまでの距離が略一定とは、対物レ
ンズの光軸からリファレンスミラーまでの距離が同じ場
合、僅かに異なる場合の双方を含む意味である。
【００１０】このような構成によれば、干渉縞の幅を調
整するための幅調整手段と、干渉縞の方向を調整するた
めの方向調整手段とが独立的に操作可能に設けられてい
るから、たとえば、片手で幅調整手段を操作して干渉縞
の幅を調整したのち、方向調整手段を操作して干渉縞の
方向を調整できる。従って、干渉縞の幅および方向の調
整を片手操作で行うことができる。しかも、幅調整手段
を操作したとき、対物レンズの光軸からリファレンスミ
ラーまでの距離が略一定に保たれたままリファレンスミ
ラーが対物レンズの光軸と平行な軸を中心として揺動さ
れるから、干渉縞の０次の縞を視野の中央に固定した状
態で干渉縞の幅を調整できる。また、方向調整手段を操
作すると、リファレンスミラーが一方の分割光路を中心
として回動されるから、幅調整手段で設定した干渉縞の
幅を維持した状態で干渉縞の方向を調整できる。従っ
て、使い勝手および作業効率の向上が可能である。
整するための幅調整手段と、干渉縞の方向を調整するた
めの方向調整手段とが独立的に操作可能に設けられてい
るから、たとえば、片手で幅調整手段を操作して干渉縞
の幅を調整したのち、方向調整手段を操作して干渉縞の
方向を調整できる。従って、干渉縞の幅および方向の調
整を片手操作で行うことができる。しかも、幅調整手段
を操作したとき、対物レンズの光軸からリファレンスミ
ラーまでの距離が略一定に保たれたままリファレンスミ
ラーが対物レンズの光軸と平行な軸を中心として揺動さ
れるから、干渉縞の０次の縞を視野の中央に固定した状
態で干渉縞の幅を調整できる。また、方向調整手段を操
作すると、リファレンスミラーが一方の分割光路を中心
として回動されるから、幅調整手段で設定した干渉縞の
幅を維持した状態で干渉縞の方向を調整できる。従っ
て、使い勝手および作業効率の向上が可能である。
【００１１】本発明の他の二光束干渉対物レンズ装置
は、対物レンズと、この対物レンズと試料との間に配設
された光路分割部材と、この光路分割部材の一方の分割
光路中に配設されたリファレンスミラーと、このリファ
レンスミラーの反射光と前記光路分割部材による他方の
分割光路中に配設された試料からの反射光とから生じる
干渉縞の幅および方向を調整するために前記リファレン
スミラーを傾角する傾角装置とを有する二光束干渉対物
レンズ装置において、前記傾角装置は、前記対物レンズ
に連結され内部に前記光路分割部材を配置した第１の収
納筒と、この第１の収納筒に連結され内部に前記リファ
レンスミラーを配置した第２の収納筒と、前記対物レン
ズの光軸からリファレンスミラーまでの距離を略一定に
保ったままリファレンスミラーを前記対物レンズの光軸
と平行な軸を中心として揺動させる幅調整手段と、前記
第２の収納筒を前記一方の分割光路を中心として回動さ
せる方向調整手段とを備えることを特徴とする。
は、対物レンズと、この対物レンズと試料との間に配設
された光路分割部材と、この光路分割部材の一方の分割
光路中に配設されたリファレンスミラーと、このリファ
レンスミラーの反射光と前記光路分割部材による他方の
分割光路中に配設された試料からの反射光とから生じる
干渉縞の幅および方向を調整するために前記リファレン
スミラーを傾角する傾角装置とを有する二光束干渉対物
レンズ装置において、前記傾角装置は、前記対物レンズ
に連結され内部に前記光路分割部材を配置した第１の収
納筒と、この第１の収納筒に連結され内部に前記リファ
レンスミラーを配置した第２の収納筒と、前記対物レン
ズの光軸からリファレンスミラーまでの距離を略一定に
保ったままリファレンスミラーを前記対物レンズの光軸
と平行な軸を中心として揺動させる幅調整手段と、前記
第２の収納筒を前記一方の分割光路を中心として回動さ
せる方向調整手段とを備えることを特徴とする。
【００１２】このような構成によれば、上述した作用効
果（片手操作、使い勝手および作業効率の向上）に加
え、内部にリファレンスミラーを配置した第２の収納筒
を一方の分割光路を中心として回動させる操作によっ
て、干渉縞の方向を調整できるから、干渉縞の方向調整
を微調整できる。しかも、傾角装置は、内部に光路分割
部材を配置した第１の収納筒と、この第１の収納筒に連
結され内部にリファレンスミラーを配置した第２の収納
筒と、リファレンスミラーを対物レンズの光軸と平行な
軸を中心として揺動させる幅調整手段と、第２の収納筒
を一方の分割光路を中心として回動させる方向調整手段
とから構成されているから、通常の対物レンズに対し
て、傾角装置の第１の収納筒を連結するだけで、二光束
干渉対物レンズ装置を構成できる。
果（片手操作、使い勝手および作業効率の向上）に加
え、内部にリファレンスミラーを配置した第２の収納筒
を一方の分割光路を中心として回動させる操作によっ
て、干渉縞の方向を調整できるから、干渉縞の方向調整
を微調整できる。しかも、傾角装置は、内部に光路分割
部材を配置した第１の収納筒と、この第１の収納筒に連
結され内部にリファレンスミラーを配置した第２の収納
筒と、リファレンスミラーを対物レンズの光軸と平行な
軸を中心として揺動させる幅調整手段と、第２の収納筒
を一方の分割光路を中心として回動させる方向調整手段
とから構成されているから、通常の対物レンズに対し
て、傾角装置の第１の収納筒を連結するだけで、二光束
干渉対物レンズ装置を構成できる。
【００１３】以上において、前記幅調整手段は、前記第
２の収納筒内に前記対物レンズの光軸と平行な軸を中心
として揺動可能に支持されかつ前記前記リファレンスミ
ラーを有する保持部材と、前記第２の収納筒に前記一方
の分割光路方向に沿って螺合された調整つまみと、この
調整つまみの軸方向への移動を前記保持部材の揺動に変
換する運動変換機構とを備えることが望ましい。このよ
うにすれば、干渉縞の方向を調整するための第２の収納
筒に、干渉縞の幅を調整するための調整つまみが一方の
分割光路方向に沿って螺合されているから、つまり、第
２の収納筒と調整つまみが一方の分割光路の同軸上にか
つ近接して配置されているから、たとえば、干渉縞の幅
調整から方向調整、または、方向調整から幅調整への切
り替えを迅速に行うことができる。
２の収納筒内に前記対物レンズの光軸と平行な軸を中心
として揺動可能に支持されかつ前記前記リファレンスミ
ラーを有する保持部材と、前記第２の収納筒に前記一方
の分割光路方向に沿って螺合された調整つまみと、この
調整つまみの軸方向への移動を前記保持部材の揺動に変
換する運動変換機構とを備えることが望ましい。このよ
うにすれば、干渉縞の方向を調整するための第２の収納
筒に、干渉縞の幅を調整するための調整つまみが一方の
分割光路方向に沿って螺合されているから、つまり、第
２の収納筒と調整つまみが一方の分割光路の同軸上にか
つ近接して配置されているから、たとえば、干渉縞の幅
調整から方向調整、または、方向調整から幅調整への切
り替えを迅速に行うことができる。
【００１４】また、前記第１の収納筒は、前記対物レン
ズの光軸を中心として回動可能に設けられていることが
望ましい。このようにすれば、幅調整手段および方向調
整手段の操作位置を対物レンズの光軸を中心として回動
させることができるから、観察者の操作しやすい位置に
移動させて観察することができる。
ズの光軸を中心として回動可能に設けられていることが
望ましい。このようにすれば、幅調整手段および方向調
整手段の操作位置を対物レンズの光軸を中心として回動
させることができるから、観察者の操作しやすい位置に
移動させて観察することができる。
【００１５】また、前記光路分割部材と前記リファレン
スミラーとの間には、前記一方の分割光路を開閉するシ
ャッタが設けられていることが望ましい。このようにす
れば、シャッタによる一方の分割光路の開閉によって、
１本の対物レンズで干渉縞観察と明視野観察の双方を可
能にできる。
スミラーとの間には、前記一方の分割光路を開閉するシ
ャッタが設けられていることが望ましい。このようにす
れば、シャッタによる一方の分割光路の開閉によって、
１本の対物レンズで干渉縞観察と明視野観察の双方を可
能にできる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本実施形態の二光束干渉対
物レンズ装置を示す断面図、図２は図１のII−II線断面
図である。これらの図に示すように、本実施形態の二光
束干渉対物レンズ装置は、顕微鏡のレボルバなどに着脱
可能に取り付けられる対物レンズ１と、この対物レンズ
１に対して保持環２を介して直角にかつ対物レンズ１の
光軸を中心として回動可能に連結された光干渉ユニット
１１とから構成されている。
に基づいて説明する。図１は本実施形態の二光束干渉対
物レンズ装置を示す断面図、図２は図１のII−II線断面
図である。これらの図に示すように、本実施形態の二光
束干渉対物レンズ装置は、顕微鏡のレボルバなどに着脱
可能に取り付けられる対物レンズ１と、この対物レンズ
１に対して保持環２を介して直角にかつ対物レンズ１の
光軸を中心として回動可能に連結された光干渉ユニット
１１とから構成されている。
【００１７】前記対物レンズ１は、複数のレンズの組み
合わせによって構成されている。前記保持環２は、上部
が前記対物レンズ１の下部に螺合固定され、かつ、下部
に前記光干渉ユニット１１を対物レンズ１の光軸を中心
として回動可能、かつ、止めめじ３によって固定可能に
保持している。従って、止めねじ３を緩めることによっ
て、光干渉ユニット１１を対物レンズ１の光軸を中心と
して回動させることができるから、光干渉ユニット１１
の操作部を観察者の操作しやすい位置に移動させて観察
することができる。
合わせによって構成されている。前記保持環２は、上部
が前記対物レンズ１の下部に螺合固定され、かつ、下部
に前記光干渉ユニット１１を対物レンズ１の光軸を中心
として回動可能、かつ、止めめじ３によって固定可能に
保持している。従って、止めねじ３を緩めることによっ
て、光干渉ユニット１１を対物レンズ１の光軸を中心と
して回動させることができるから、光干渉ユニット１１
の操作部を観察者の操作しやすい位置に移動させて観察
することができる。
【００１８】前記光干渉ユニット１１は、前記対物レン
ズ１と試料４との間に配設される光路分割部材としての
プリズム１２と、このプリズム１２の一方の分割光路中
に配設されたリファレンスミラー１３と、このリファレ
ンスミラー１３の反射光と前記プリズム１２による他方
の分割光路中に配設された試料４からの反射光とから生
じる干渉縞の幅および方向を調整するために前記リファ
レンスミラー１３を傾角する傾角装置１４とを備える。
ズ１と試料４との間に配設される光路分割部材としての
プリズム１２と、このプリズム１２の一方の分割光路中
に配設されたリファレンスミラー１３と、このリファレ
ンスミラー１３の反射光と前記プリズム１２による他方
の分割光路中に配設された試料４からの反射光とから生
じる干渉縞の幅および方向を調整するために前記リファ
レンスミラー１３を傾角する傾角装置１４とを備える。
【００１９】前記傾角装置１４は、前記対物レンズ１に
保持環２を介して連結され内部に前記プリズム１２を配
置した第１の収納筒としてのプリズム収納筒２１と、こ
のプリズム収納筒２１に連結され内部に前記リファレン
スミラー１３を配置した第２の収納筒としてのミラー収
納筒３１と、前記対物レンズ１の光軸からリファレンス
ミラー１３までの距離を略一定に保ったままリファレン
スミラー１３を前記対物レンズ１の光軸と平行な軸を中
心として揺動させる幅調整手段４１と、前記ミラー収納
筒３１を前記プリズム１２によって分割された一方の分
割光路を中心として回動させる方向調整手段５１とを備
える。
保持環２を介して連結され内部に前記プリズム１２を配
置した第１の収納筒としてのプリズム収納筒２１と、こ
のプリズム収納筒２１に連結され内部に前記リファレン
スミラー１３を配置した第２の収納筒としてのミラー収
納筒３１と、前記対物レンズ１の光軸からリファレンス
ミラー１３までの距離を略一定に保ったままリファレン
スミラー１３を前記対物レンズ１の光軸と平行な軸を中
心として揺動させる幅調整手段４１と、前記ミラー収納
筒３１を前記プリズム１２によって分割された一方の分
割光路を中心として回動させる方向調整手段５１とを備
える。
【００２０】前記プリズム収納筒２１には、前記プリズ
ム１２と前記リファレンスミラー１３との間の光路、つ
まり、プリズム１２によって分割された一方の分割光路
を開閉するシャッタ２２がスライド可能に設けられてい
る。前記ミラー収納筒３１は、前記プリズム収納筒２１
にベアリング３２を介して一方の分割光路を中心として
回動可能に支持された内筒３３と、この内筒３３の外側
に螺合・固定され内部に前記リファレンスミラー１３を
有する外筒３４とから構成されている。ここに、ベアリ
ング３２などから、前記ミラー収納筒３１を前記プリズ
ム１２によって分割された一方の分割光路を中心として
回動させる前記方向調整手段５１が構成されている。な
お、外筒３４の外端部外周面には、表面に凹凸が形成さ
れた操作部３４Ａが設けられている。
ム１２と前記リファレンスミラー１３との間の光路、つ
まり、プリズム１２によって分割された一方の分割光路
を開閉するシャッタ２２がスライド可能に設けられてい
る。前記ミラー収納筒３１は、前記プリズム収納筒２１
にベアリング３２を介して一方の分割光路を中心として
回動可能に支持された内筒３３と、この内筒３３の外側
に螺合・固定され内部に前記リファレンスミラー１３を
有する外筒３４とから構成されている。ここに、ベアリ
ング３２などから、前記ミラー収納筒３１を前記プリズ
ム１２によって分割された一方の分割光路を中心として
回動させる前記方向調整手段５１が構成されている。な
お、外筒３４の外端部外周面には、表面に凹凸が形成さ
れた操作部３４Ａが設けられている。
【００２１】前記幅調整手段４１は、前記ミラー収納筒
３１内に前記対物レンズ１の光軸と平行な軸、ここで
は、一対のピン４２を中心として揺動可能に支持されか
つ前記プリズム１２と対向する面に前記リファレンスミ
ラー１３を有する保持部材４３と、前記ミラー収納筒３
１に前記一方の分割光路方向に沿って螺合された調整つ
まみ４４と、この調整つまみ４４の軸方向への移動を前
記保持部材４３の揺動に変換する運動変換機構４５とを
備える。ここで、ピン４２は、一方の分割光路方向にお
いて、リファレンスミラー１３の光反射面とは異なる位
置に配置されているが、その光反射面にできるだけ近接
して配置されている。
３１内に前記対物レンズ１の光軸と平行な軸、ここで
は、一対のピン４２を中心として揺動可能に支持されか
つ前記プリズム１２と対向する面に前記リファレンスミ
ラー１３を有する保持部材４３と、前記ミラー収納筒３
１に前記一方の分割光路方向に沿って螺合された調整つ
まみ４４と、この調整つまみ４４の軸方向への移動を前
記保持部材４３の揺動に変換する運動変換機構４５とを
備える。ここで、ピン４２は、一方の分割光路方向にお
いて、リファレンスミラー１３の光反射面とは異なる位
置に配置されているが、その光反射面にできるだけ近接
して配置されている。
【００２２】前記一対のピン４２の内部には、図３に示
すように、穴４２Ａが形成されている。穴４２Ａ内には
スプリング４２Ｂが収納され、このスプリング４２Ｂに
よってボール（硬球）４３Ｃが保持部材４３に形成され
た円錐穴４３Ａに押圧付勢されている。従って、保持部
材４３は、前記対物レンズ１の光軸と平行な軸上の２点
で揺動可能に支持されている。
すように、穴４２Ａが形成されている。穴４２Ａ内には
スプリング４２Ｂが収納され、このスプリング４２Ｂに
よってボール（硬球）４３Ｃが保持部材４３に形成され
た円錐穴４３Ａに押圧付勢されている。従って、保持部
材４３は、前記対物レンズ１の光軸と平行な軸上の２点
で揺動可能に支持されている。
【００２３】前記運動変換機構４５は、前記保持部材４
３にリファレンスミラー１３とは反対側に突設され先端
が前記調整つまみ４４の先端に当接する傾斜面４６に形
成された揺動軸４７と、この揺動軸４７の傾斜面４６が
前記調整つまみ４４に常時当接するように揺動軸４７を
付勢する付勢手段としてのスプリング４８とを備える。
スプリング４８は、前記ミラー収納筒３１の内周壁に突
設されたピン４８Ａによってガイドされているととも
に、これとは反対側のミラー収納筒３１の内周壁には揺
動軸４７の移動範囲を規制するストッパピン４９が突設
されている。なお、ミラー収納筒３１の外端と調整ねじ
４４との間にもスプリング５０が挿入されている。
３にリファレンスミラー１３とは反対側に突設され先端
が前記調整つまみ４４の先端に当接する傾斜面４６に形
成された揺動軸４７と、この揺動軸４７の傾斜面４６が
前記調整つまみ４４に常時当接するように揺動軸４７を
付勢する付勢手段としてのスプリング４８とを備える。
スプリング４８は、前記ミラー収納筒３１の内周壁に突
設されたピン４８Ａによってガイドされているととも
に、これとは反対側のミラー収納筒３１の内周壁には揺
動軸４７の移動範囲を規制するストッパピン４９が突設
されている。なお、ミラー収納筒３１の外端と調整ねじ
４４との間にもスプリング５０が挿入されている。
【００２４】このような構成において、干渉縞の幅およ
び方向を調整するには、まず、止めねじ３を緩めて、光
干渉ユニット１１を対物レンズ１の光軸を中心として回
動させ、観察者の作業しやすい位置に回動させたのち、
干渉縞の幅調整、方向調整を行う。
び方向を調整するには、まず、止めねじ３を緩めて、光
干渉ユニット１１を対物レンズ１の光軸を中心として回
動させ、観察者の作業しやすい位置に回動させたのち、
干渉縞の幅調整、方向調整を行う。
【００２５】干渉縞の幅調整にあたっては、調整つまみ
４４を回動操作すると、その調整つまみ４４が軸方向へ
移動される。すると、運動変換機構４５を介してリファ
レンスミラー１３を有する保持部材４３がピン４２を中
心として揺動されるので、干渉縞の幅を調整することが
できる。たとえば、図４（Ａ）の状態から図４（Ｂ）の
状態に調整することができる。このとき、リファレンス
ミラー１３に光反射面とピン４２の位置が近接している
から、保持部材４３が揺動しても、対物レンズ１の光軸
からリファレンスミラー１３までの距離を略一定に保つ
ことができる。
４４を回動操作すると、その調整つまみ４４が軸方向へ
移動される。すると、運動変換機構４５を介してリファ
レンスミラー１３を有する保持部材４３がピン４２を中
心として揺動されるので、干渉縞の幅を調整することが
できる。たとえば、図４（Ａ）の状態から図４（Ｂ）の
状態に調整することができる。このとき、リファレンス
ミラー１３に光反射面とピン４２の位置が近接している
から、保持部材４３が揺動しても、対物レンズ１の光軸
からリファレンスミラー１３までの距離を略一定に保つ
ことができる。
【００２６】干渉縞の方向調整にあたっては、プリズム
収納筒２１に対してミラー収納筒３１をプリズム１２の
一方の分割光路を中心として回動させる。すると、干渉
縞の幅調整で設定された干渉縞の幅が維持されたままの
姿勢で、リファレンスミラー１３が一方の分割光路を中
心として回動されるから、干渉縞の方向を調整すること
ができる。たとえば、図５（Ａ）の状態から図５（Ｂ）
の状態に調整することができる。
収納筒２１に対してミラー収納筒３１をプリズム１２の
一方の分割光路を中心として回動させる。すると、干渉
縞の幅調整で設定された干渉縞の幅が維持されたままの
姿勢で、リファレンスミラー１３が一方の分割光路を中
心として回動されるから、干渉縞の方向を調整すること
ができる。たとえば、図５（Ａ）の状態から図５（Ｂ）
の状態に調整することができる。
【００２７】なお、シャッタ２２をスライドさせて、プ
リズム１２の一方の分割光路を開放すると、干渉縞観測
ができ、プリズム１２の一方の分割光路を遮断すると、
一般の明視野観測ができる。
リズム１２の一方の分割光路を開放すると、干渉縞観測
ができ、プリズム１２の一方の分割光路を遮断すると、
一般の明視野観測ができる。
【００２８】本実施形態によれば、まず、調整つまみ４
４の回動操作によって干渉縞の幅を調整したのち、その
干渉縞の幅を維持したまま、ミラー収納筒３１の回動操
作によって干渉縞の方向を調整できるから、片手操作に
よって干渉縞の幅および方向を調整することができる。
しかも、それらの調整の切り替えに際しても、調整つま
み４４とミラー収納筒３１とが近接して、かつ、同軸上
に設けられているから、片手操作での切り替えを容易に
かつ迅速に行うことができる。従って、使い勝手および
作業効率の向上が可能である。
４の回動操作によって干渉縞の幅を調整したのち、その
干渉縞の幅を維持したまま、ミラー収納筒３１の回動操
作によって干渉縞の方向を調整できるから、片手操作に
よって干渉縞の幅および方向を調整することができる。
しかも、それらの調整の切り替えに際しても、調整つま
み４４とミラー収納筒３１とが近接して、かつ、同軸上
に設けられているから、片手操作での切り替えを容易に
かつ迅速に行うことができる。従って、使い勝手および
作業効率の向上が可能である。
【００２９】また、干渉縞の幅調整に際しては、対物レ
ンズ１の光軸からリファレンスミラー１３までの距離が
略一定に保たれたままリファレンスミラー１３が対物レ
ンズ１の光軸と平行な一対のピン４２を中心として揺動
されるから、干渉縞の０次の縞を視野の中央に固定した
状態で干渉縞の幅を調整できる。また、干渉縞の方向調
整に際しては、リファレンスミラー１３が一方の分割光
路を中心として回動されるから、幅調整で設定した干渉
縞を幅を維持した状態で干渉縞の方向を調整できる。
ンズ１の光軸からリファレンスミラー１３までの距離が
略一定に保たれたままリファレンスミラー１３が対物レ
ンズ１の光軸と平行な一対のピン４２を中心として揺動
されるから、干渉縞の０次の縞を視野の中央に固定した
状態で干渉縞の幅を調整できる。また、干渉縞の方向調
整に際しては、リファレンスミラー１３が一方の分割光
路を中心として回動されるから、幅調整で設定した干渉
縞を幅を維持した状態で干渉縞の方向を調整できる。
【００３０】また、傾角装置１４は、内部にプリズム１
２を配置したプリズム収納筒２１と、このプリズム収納
筒２１に連結され内部にリファレンスミラー１３を配置
したミラー収納筒３１と、リファレンスミラー１３を対
物レンズ１の光軸と平行な軸を中心として揺動させる幅
調整手段４１と、ミラー収納筒３１を前記一方の分割光
路を中心として回動させる方向調整手段５１とから構成
したので、通常の対物レンズ１に対して、傾角装置１４
のプリズム収納筒２１を連結するだけで、二光束干渉対
物レンズ装置を構成できる。
２を配置したプリズム収納筒２１と、このプリズム収納
筒２１に連結され内部にリファレンスミラー１３を配置
したミラー収納筒３１と、リファレンスミラー１３を対
物レンズ１の光軸と平行な軸を中心として揺動させる幅
調整手段４１と、ミラー収納筒３１を前記一方の分割光
路を中心として回動させる方向調整手段５１とから構成
したので、通常の対物レンズ１に対して、傾角装置１４
のプリズム収納筒２１を連結するだけで、二光束干渉対
物レンズ装置を構成できる。
【００３１】また、光干渉ユニット１１を、対物レンズ
１の光軸を中心として回動可能に設けたので、幅調整手
段４１および方向調整手段５１の操作位置を対物レンズ
１の光軸を中心として回動させることができるから、観
察者の操作しやすい位置に移動させて観察することがで
きる。
１の光軸を中心として回動可能に設けたので、幅調整手
段４１および方向調整手段５１の操作位置を対物レンズ
１の光軸を中心として回動させることができるから、観
察者の操作しやすい位置に移動させて観察することがで
きる。
【００３２】また、プリズム１２の一方の分割光路を開
閉するシャッタ２２を設けたので、このシャッタ２２に
よる分割光路の開閉によって、１本の対物レンズ１で干
渉縞観察と明視野観察の双方を可能にできる。
閉するシャッタ２２を設けたので、このシャッタ２２に
よる分割光路の開閉によって、１本の対物レンズ１で干
渉縞観察と明視野観察の双方を可能にできる。
【００３３】なお、前記実施形態では、リファレンスミ
ラー１３を有する保持部材４３を支持するピン４２の位
置を、リファレンスミラー１３の光反射面に近接して配
置したが、ピン４２の位置は、リファレンスミラー１３
の光反射面により接近して設けることがよく、できれば
同じ位置がよい。また、前記実施形態では、光路分割部
材としてプリズム１２を用いたが、これに限らず、光を
リファレンスミラー１３と試料４とに分割し、かつ、そ
こからの反射光を重ね合わせることができるものであれ
ば、他の光学素子でもよい。
ラー１３を有する保持部材４３を支持するピン４２の位
置を、リファレンスミラー１３の光反射面に近接して配
置したが、ピン４２の位置は、リファレンスミラー１３
の光反射面により接近して設けることがよく、できれば
同じ位置がよい。また、前記実施形態では、光路分割部
材としてプリズム１２を用いたが、これに限らず、光を
リファレンスミラー１３と試料４とに分割し、かつ、そ
こからの反射光を重ね合わせることができるものであれ
ば、他の光学素子でもよい。
【００３４】
【発明の効果】本発明の二光束干渉対物レンズ装置によ
れば、干渉縞の幅を調整するための幅調整手段と、干渉
縞の方向を調整するための方向調整手段とが独立的に操
作可能に設けられているから、干渉縞の幅および方向の
調整を片手操作で行うことができる。しかも、幅調整手
段の操作したとき、対物レンズの光軸からリファレンス
ミラーまでの距離が略一定に保たれたままリファレンス
ミラーが対物レンズの光軸と平行な軸を中心として揺動
されるから、干渉縞の０次の縞を視野の中央に固定した
状態で干渉縞の幅を調整でき、一方、方向調整手段を操
作すると、リファレンスミラーが一方の分割光路を中心
として回動されるから、幅調整手段で設定した干渉縞を
幅を維持した状態で干渉縞の方向を調整できる。従っ
て、使い勝手および作業効率の向上が可能である。
れば、干渉縞の幅を調整するための幅調整手段と、干渉
縞の方向を調整するための方向調整手段とが独立的に操
作可能に設けられているから、干渉縞の幅および方向の
調整を片手操作で行うことができる。しかも、幅調整手
段の操作したとき、対物レンズの光軸からリファレンス
ミラーまでの距離が略一定に保たれたままリファレンス
ミラーが対物レンズの光軸と平行な軸を中心として揺動
されるから、干渉縞の０次の縞を視野の中央に固定した
状態で干渉縞の幅を調整でき、一方、方向調整手段を操
作すると、リファレンスミラーが一方の分割光路を中心
として回動されるから、幅調整手段で設定した干渉縞を
幅を維持した状態で干渉縞の方向を調整できる。従っ
て、使い勝手および作業効率の向上が可能である。
【図１】本発明の二光束干渉対物レンズ装置の一実施形
態を示す断面図である。
態を示す断面図である。
【図２】図１のII−II線断面図である。
【図３】同上実施形態におけるミラー保持部材の支持構
造を示す拡大断面図である。
造を示す拡大断面図である。
【図４】同上実施形態において、干渉縞の幅を調整した
ときに観察される干渉縞の変化を示す図である。
ときに観察される干渉縞の変化を示す図である。
【図５】同上実施形態において、干渉縞の方向を調整し
たときに観察される干渉縞の変化を示す図である。
たときに観察される干渉縞の変化を示す図である。
【図６】二光速干渉対物レンズ装置の原理を説明するた
めの図である。
めの図である。
１ 対物レンズ ４ 試料 １２ プリズム（光路分割部材） １３ リファレンスミラー １４ 傾角装置 ２１ プリズム収納筒（第１の収納筒） ２２ シャッタ ３１ ミラー収納筒（第２の収納筒） ４１ 幅調整手段 ４２ ピン（軸） ４３ 保持部材 ４４ 調整つまみ ４５ 運動変換機構 ５１ 方向調整手段
Claims (5)
- 【請求項１】 対物レンズと、この対物レンズと試料と
の間に配設された光路分割部材と、この光路分割部材の
一方の分割光路中に配設されたリファレンスミラーと、
このリファレンスミラーの反射光と前記光路分割部材に
よる他方の分割光路中に配設された試料からの反射光と
から生じる干渉縞の幅および方向を調整するために前記
リファレンスミラーを傾角する傾角装置とを有する二光
束干渉対物レンズ装置において、 前記傾角装置は、前記対物レンズの光軸からリファレン
スミラーまでの距離を略一定に保ったままリファレンス
ミラーを前記対物レンズの光軸と平行な軸を中心として
揺動させる幅調整手段と、前記リファレンスミラーを前
記一方の分割光路を中心として回動させる方向調整手段
とを備え、前記幅調整手段および方向調整手段が独立的
に操作可能に設けられていることを特徴とする二光束干
渉対物レンズ装置。 - 【請求項２】 対物レンズと、この対物レンズと試料と
の間に配設された光路分割部材と、この光路分割部材の
一方の分割光路中に配設されたリファレンスミラーと、
このリファレンスミラーの反射光と前記光路分割部材に
よる他方の分割光路中に配設された試料からの反射光と
から生じる干渉縞の幅および方向を調整するために前記
リファレンスミラーを傾角する傾角装置とを有する二光
束干渉対物レンズ装置において、 前記傾角装置は、前記対物レンズに連結され内部に前記
光路分割部材を配置した第１の収納筒と、この第１の収
納筒に連結され内部に前記リファレンスミラーを配置し
た第２の収納筒と、前記対物レンズの光軸からリファレ
ンスミラーまでの距離を略一定に保ったままリファレン
スミラーを前記対物レンズの光軸と平行な軸を中心とし
て揺動させる幅調整手段と、前記第２の収納筒を前記一
方の分割光路を中心として回動させる方向調整手段とを
備えることを特徴とする二光束干渉対物レンズ装置。 - 【請求項３】 請求項２に記載の二光束干渉対物レンズ
装置において、 前記幅調整手段は、前記第２の収納筒内に前記対物レン
ズの光軸と平行な軸を中心として揺動可能に支持されか
つ前記前記リファレンスミラーを有する保持部材と、前
記第２の収納筒に前記一方の分割光路方向に沿って螺合
された調整つまみと、この調整つまみの軸方向への移動
を前記保持部材の揺動に変換する運動変換機構とを備え
ることを特徴とする二光束干渉対物レンズ装置。 - 【請求項４】 請求項２または請求項３に記載の二光束
干渉対物レンズ装置において、 前記第１の収納筒は、前記対物レンズの光軸を中心とし
て回動可能に設けられていることを特徴とする二光束干
渉対物レンズ装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のいずれかに記
載の二光束干渉対物レンズ装置において、 前記光路分割部材と前記リファレンスミラーとの間に
は、前記一方の分割光路を開閉するシャッタが設けられ
ていることを特徴とする二光束干渉対物レンズ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37113798A JP3343221B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 二光束干渉対物レンズ装置 |
| US09/466,875 US6657728B1 (en) | 1998-12-25 | 1999-12-20 | Two beam interference objective device |
| DE19962631A DE19962631B4 (de) | 1998-12-25 | 1999-12-23 | Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37113798A JP3343221B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 二光束干渉対物レンズ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000193891A true JP2000193891A (ja) | 2000-07-14 |
| JP3343221B2 JP3343221B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=18498212
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37113798A Expired - Fee Related JP3343221B2 (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 二光束干渉対物レンズ装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6657728B1 (ja) |
| JP (1) | JP3343221B2 (ja) |
| DE (1) | DE19962631B4 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013104998A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Olympus Corp | 干渉対物レンズ |
| KR101309494B1 (ko) | 2011-06-21 | 2013-09-23 | 주식회사 휴비츠 | 줌 경통 부착형 틸팅장치 |
| DE102016222615A1 (de) | 2015-11-17 | 2017-05-18 | Mitutoyo Corporation | Interferenzobjektivlinse und Referenzoberflächeneinheitssatz |
| JP2018155836A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 株式会社ミツトヨ | 光学装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI463175B (zh) * | 2012-11-07 | 2014-12-01 | Ind Tech Res Inst | 光學旋轉裝置以及干涉相位差顯微鏡 |
| CN104101994B (zh) * | 2013-04-11 | 2016-12-28 | 南京理工大学 | 一种通过对长工作距显微物镜改装的干涉显微物镜 |
| JP2015118076A (ja) | 2013-12-20 | 2015-06-25 | 株式会社ミツトヨ | 光干渉測定装置、およびプログラム |
| JP6461609B2 (ja) * | 2015-01-05 | 2019-01-30 | 株式会社ミツトヨ | 干渉対物レンズ、および光干渉測定装置 |
| DE112015006081T5 (de) * | 2015-01-30 | 2017-11-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Interferenz-optikvorrichtung, interferenz-beobachtungsvorrichtung und interferenz-beobachtungsverfahren |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01136913U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE928429C (de) * | 1943-01-31 | 1955-06-02 | Zeiss Carl Fa | Interferenzmikroskop, das insbesondere zur Ausfuehrung von Tiefen-messungen an Unregelmaessigkeiten glatter Oberflaechen bestimmt ist |
-
1998
- 1998-12-25 JP JP37113798A patent/JP3343221B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-12-20 US US09/466,875 patent/US6657728B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-12-23 DE DE19962631A patent/DE19962631B4/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01136913U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101309494B1 (ko) | 2011-06-21 | 2013-09-23 | 주식회사 휴비츠 | 줌 경통 부착형 틸팅장치 |
| JP2013104998A (ja) * | 2011-11-14 | 2013-05-30 | Olympus Corp | 干渉対物レンズ |
| DE102016222615A1 (de) | 2015-11-17 | 2017-05-18 | Mitutoyo Corporation | Interferenzobjektivlinse und Referenzoberflächeneinheitssatz |
| US10042151B2 (en) | 2015-11-17 | 2018-08-07 | Mitutoyo Corporation | Interference objective lens and reference surface unit set |
| JP2018155836A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 株式会社ミツトヨ | 光学装置 |
| JP7041467B2 (ja) | 2017-03-16 | 2022-03-24 | 株式会社ミツトヨ | 光学装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19962631B4 (de) | 2012-06-14 |
| DE19962631A1 (de) | 2000-06-29 |
| US6657728B1 (en) | 2003-12-02 |
| JP3343221B2 (ja) | 2002-11-11 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080823 Year of fee payment: 6 |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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