DE19962631B4

DE19962631B4 - Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung

Info

Publication number: DE19962631B4
Application number: DE19962631A
Authority: DE
Inventors: Kenji Okabe
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 1998-12-25
Filing date: 1999-12-23
Publication date: 2012-06-14
Anticipated expiration: 2019-12-24
Also published as: JP3343221B2; JP2000193891A; US6657728B1; DE19962631A1

Abstract

Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung, die enthält: eine Objektivlinse; ein einen optischen Pfad aufteilendes Element, das zwischen der Objektivlinse und einer Probe vorgesehen ist, wobei das den optischen Pfad aufteilende Element Belichtungslicht in einen ersten aufgeteilten Lichtpfad und eine zweiten aufgeteilten Lichtpfad, der auf die Probe gerichtet ist, aufteilt; einen Referenzspiegel, der in dem ersten aufgeteilten Lichtpfad vorgesehen ist,; und eine Neigevorrichtung für das Neigen des Referenzspiegels, um die Breite und die Richtung von Interferenzstreifen einzustellen, die durch ein von dem Referenzspiegel reflektiertes Licht und ein von der Probe reflektiertes Licht erzeugt werden, wobei die Neigevorrichtung enthält: eine erste Aufnahmetrommel, die mit der Objektivlinse verbunden ist und in dem sich das den optischen Pfad aufteilende Element befindet, eine zweite Aufnahmetrommel, die mit der ersten Aufnahmetrommel verbunden ist und in der sich der Referenzspiegel befindet, einen Breiteneinsteller für die Drehbewegung des Referenzspiegels zentrisch um eine Achse parallel...

Description

Hintergrund der Erfindung
1. Feld der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung, die zur Verwendung an einem Mikroskop u. s. w. angebracht werden kann.
2. Beschreibung des Stands der Technik
Eine Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung mit einem den optischen Pfad aufteilenden Prisma und einem Referenzspiegel ist konventionell wohlbekannt.
Z. B. hat ein Objektiv 101, wie in 6 gezeigt, ein den optischen Pfad aufteilendes Prisma 102, das zwischen dem Objektiv 101 und einer Probe 104 angeordnet ist, und einen Referenzspiegel 103, der in einem der Lichtpfade angeordnet ist, die durch das den optischen Pfad aufteilende Prisma 102 aufgeteilt werden.
Wenn in der Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung Belichtungslicht von oberhalb des Objektivs 101 oder von der linken Seite des den optischen Pfad aufteilenden Prismas 102 abgestrahlt wird, wird das Licht durch das den optischen Pfad aufteilende Prisma 102 in zwei Lichtpfade aufgeteilt, die auf den Referenzspiegel 103 bzw. die Probe 104 geworfen werden. Dann wandern die Lichtstrahlen, die durch den Referenzspiegel 103 bzw. die Probe 104 reflektiert werden, zurück und bilden Interferenzen durch Überlagerung durch das den optischen Pfad aufteilende Prisma 102, die durch das Objektiv 101 an einen Beobachtungsgerätekörper übertragen werden.
Wenn dazu ein Abstand L1 zwischen dem den optischen Pfad aufteilenden Prisma 102 und der Probe 104 gleich dem Abstand L2 zwischen dem den optischen Pfad aufteilenden Prisma 102 und dem Referenzspiegel 103 ist (L1 = L2), werden Interferenzstreifen nullter Ordnung erzeugt, und Interferenzstreifen erster Ordnung, zweiter Ordnung, dritter Ordnung werden erzeugt, wenn sich die Differenz zwischen dem Abstand L1 und dem Abstand L2 um λ/2 vergrößert (λ/2, λ, 3λ/2, ...). Hier ist λ die Wellenlänge des Belichtungslichts.
Dementsprechend können verschiedene physikalische Mengen durch Analyse der Interferenzstreifen gemessen werden.
Übrigens enthalten einige der Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtungen eine Neigungsvorrichtung zum Neigen des Referenzspiegels zur Einstellung der Breite und Richtung der Interferenzstreifen.
Die folgenden zwei Anordnungen sind bekannt als das konventionelle Neigen, das in der Veröffentlichung des japanischen Gebrauchsmusters mit der Registrierungsnummer 2520950 offengelegt wurde.

(1) Eine Anordnung mit zwei Einstellknöpfen für das Neigen des Referenzspiegels zur Einstellung der Breite und Richtung der Interferenzstreifen; und einem anderen Einstellungsknopf für die Verschiebung des Referenzspiegels in der Richtung der optischen Achse, so daß der Referenzspiegel in eine konjugierte Lage bezüglich der Probenoberfläche kommt.
(2) Eine Anordnung mit zwei Einstellknöpfen für das Neigen des Referenzspiegels zentrisch um die optische Achse der Objektivlinse herum.

In der obigen Darstellung bezieht sich die ”konjugierten Lage” des Referenzspiegels und der Probenoberfläche auf eine Position, in welcher der Referenzspiegel und die Probenoberfläche denselben Abstand relativ zum den optischen Pfad aufteilenden Prisma haben.
Jedoch treten die folgenden Probleme in den oben dargestellten Anordnungen auf.
Da bei der Neigevorrichtung der ersten Anordnung ein Objektivschraubenabschnitt und ein Bedienungsabschnitt der Neigevorrichtung für die Einstellung der Interferenzstreifen relativ zu einer Drehrichtung um die optische Achse der Objektivlinse herum festgestellt sind, muß der Einstellknopf für die Erzeugung der Interferenzstreifen nach dem Fokussieren auf ein Abbild der Probe bedient werden, um den Referenzspiegel in eine konjugierte Lage relativ zur Probe einzustellen, und die anderen beiden Einstellknöpfe müssen bedient werden für die Einstellung der Breite und der Richtung der Interferenzstreifen, und dadurch wird der Betriebsprozeß verkompliziert und die Arbeitseffizienz verschlechtert.
Obgleich bei der Neigevorrichtung der zweiten Anordnung die konjugierte Position relativ zur Probenoberfläche durch Drehbewegung des Referenzspiegels um die optische Achse des Objektivs herum konstant erhalten bleibt, müssen die beiden Einstellknöpfe gleichzeitig für die Einstellung der Breite und der Richtung der Interferenzstreifen betätigt werden, was beide Hände für die gleichzeitige Einstellung der zwei Einstellknöpfe verlangt, und daraus folgt eine schlechte Bedienbarkeit.
Die DE 928429 offenbart ein Interferenzmikroskop, das insbesondere zur Ausführung von Tiefenmessungen an Unregelmäßigkeiten glatter Oberflächen bestimmt ist. Das Interferenzmikroskop enthält ein Beleuchtungssystem und zwei untereinander gleiche Objektive von denen das eine zum Betrachten des Objektes und das andere zum Betrachten einer Vergleichsspiegelfläche dient, wobei durch die Objektive hindurch mit Hilfe einer halbdurchlässigen Spiegelfläche Licht von ein und derselben Lichtquelle einerseits dem Objekt und andererseits der Vergleichsspiegelfläche zugeführt wird, wobei das Mikroskop mit einer Einrichtung ausgestattet ist, durch die das eine der beiden Objektive und der auf das selbe auffallende Teil des Beleuchtungsstrahlenbündels relativ zueinander bewegt werden können, und zwar so, dass dabei der Abstand des Objektivs von einer Ebene, die in Bezug auf die Ebene der halbdurchlässigen Spiegelfläche symmetrisch zur Objektebene des anderen Objektivs ist, nicht geändert wird.
Das japanische Gebrauchsmuster JP 25-20950 Y2 beschreibt eine optische Anordnung mit einem Prisma durch das ein Lichtstrahl aufgeteilt werden kann in zwei Teilstrahlen, wobei ein Teilstrahl auf ein Objekt gerichtet wird und ein zweiter Teilstrahl auf einen Referenzspiegel gerichtet werden kann, der geneigt werden kann.
Zusammenfassung der Erfindung
Ein Ziel der vorliegenden Ausführungsform ist es, eine Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung vorzusehen, bei der es möglich ist, die Einstellung der Breite und der Richtung der Interferenzstreifen durch Einhandbedienung vorzunehmen und bei der eine Arbeitseffizienz für die Lösung der oben dargestellten, konventionellen Probleme geboten wird.
Eine Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung hat eine Objektivlinse; ein einen optischen Pfad aufteilendes Element, das zwischen der Objektivlinse und einer Probe vorgesehen ist, wobei das den optischen Pfad aufteilende Element Belichtungslicht in einen ersten aufgeteilten Lichtpfad und einen zweiten aufgeteilten Lichtpfad, der auf die Probe gerichtet ist, aufteilt; einen Referenzspiegel, der in dem ersten aufgeteilten Lichtpfad vorgesehen ist; und eine Neigevorrichtung für das Neigen des Referenzspiegels, um die Breite und die Richtung von Interferenzstreifen einzustellen, die durch ein von dem Referenzspiegel reflektiertes Licht und ein von der Probe reflektiertes Licht erzeugt werden, wobei die Neigevorrichtung enthält: einen Breiteneinsteller für die Drehbewegung des Referenzspiegels zentrisch um eine Achse parallel zu der optischen Achse der Objektivlinse, während ein näherungsweise konstanter Abstand zwischen dem Referenzspiegel und der optischen Achse der Objektivlinse eingehalten wird; und einen Richtungseinsteller für die Drehung des Referenzspiegels zentrisch um den ersten, aufgeteilten optischen Pfad herum, wobei der Breiteneinsteller und der Richtungseinsteller voneinander unabhängig bedient werden können.
In der obigen Darstellung bedeutet ein ”näherungsweise konstanter Abstand von der optischen Achse der Objektivlinse zum Referenzspiegel” gleichermaßen denselben Abstand von der optischen Achse der Objektivlinse zum Referenzspiegel und ein geringfügig unterschiedlicher Abstand von der optischen Achse der Objektivlinse zu dem Referenzspiegel.
Da nach der obigen Anordnung der Breiteneinsteller für die Einstellung der Breite der Interferenzstreifen und der Richtungseinsteller für die Einstellung der Richtung der Interferenzstreifen unabhängig bedienbar sind, kann z. B. die Breite der Interferenzstreifen durch Bedienung des Breiteneinstellers mit einer einzigen Hand eingestellt werden, und dann kann anschließend die Richtung der Interferenzstreifen durch Bedienung des Richtungseinstellers eingestellt werden. Dementsprechend kann die Breite und die Richtung der Interferenzstreifen mit einer einzigen Hand eingestellt werden.
Da ferner bei der Bedienung des Breiteneinstellers der Referenzspiegel zentrisch um eine Achse parallel zur optischen Achse der Objektivlinse herum und unter Beibehaltung des näherungsweise konstanten Abstands von der optischen Achse der Objektivlinse zu dem Referenzspiegel gedreht wird, kann die Breite der Interferenzstreifen eingestellt werden, während das Interferenzstreifenband nullter Ordnung im Zentrum des Sichtfeldes fixiert wird. Da ferner bei der Bedienung des Richtungseinstellers der Referenzspiegel zentrisch um den ersten, aufgeteilten optischen Pfad gedreht wird, kann die Richtung der Interferenzstreifen unter Beibehaltung der Breite der Interferenzstreifen eingestellt werden, die durch den Breiteneinsteller herbeigeführt wurde. Dementsprechend kann die Bedienbarkeit und die Arbeitseffizienz verbessert werden.
In der vorliegenden Erfindung kann die Neigungsvorrichtung enthalten: eine erste Aufnahmetrommel, die mit der Objektivlinse verbunden ist und in der sich das den optischen Pfad aufteilende Element befindet, eine zweite Aufnahmetrommel, die mit der ersten Aufnahmetrommel verbunden ist und in der sich der Referenzspiegel befindet, den Breiteneinsteller für die Drehbewegung des Referenzspiegels zentrisch um eine Achse parallel zu der optischen Achse der Objektivlinse herum unter Beibehaltung des angenähert konstanten Abstands von der optischen Achse der Objektivlinse zu dem Referenzspiegel und den Richtungseinsteller für das Drehen der zweiten Aufnahmetrommel zentrisch um den ersten, aufgeteilten optischen Pfad herum.
Nach der obigen Anordnung sind zusätzlich zu den oben dargestellten Wirkungen (einhändige Bedienung und Verbesserung der Bedienbarkeit und der Arbeitseffizienz) kleine Richtungseinstellungen der Interferenzstreifen möglich, da die Richtung der Interferenzstreifen durch Drehen der zweiten Aufnahmetrommel mit dem sich darin befindenden Referenzspiegel zentrisch um den ersten, aufgeteilten optischen Pfad herum eingestellt werden kann.
Da ferner die Neigungsvorrichtung die erste Aufnahmetrommel mit dem sich darin befindenden Aufteilungsteil des optischen Pfads, die mit der ersten Aufnahmetrommel verbundene zweite Aufnahmetrommel mit dem sich darin befindenden Referenzspiegel, den Breiteneinsteller für die Drehbewegung des Referenzspiegels zentrisch um eine Achse parallel zur optischen Achse der Objektivlinse herum und den Richtungseinsteller für das Drehen der zweiten Aufnahmetrommel zentrisch auf dem ersten, aufgeteilten optischen Pfad herum enthält, kann die Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung einfach durch Verbinden der ersten Aufnahmetrommel der Neigungsvorrichtung mit einer gewöhnlichen Objektivlinse konstruiert werden.
In der vorliegenden Erfindung kann der Breiteneinsteller vorzugsweise einen Halter, der drehbar in der zweiten Aufnahmetrommel zentrisch um eine Achse parallel zu der optischen Achse der Objektivlinse gelagert ist und den Referenzspiegel hält, einen Einstellknopf, der an die zweite Aufnahmetrommel in der Richtung entlang dem ersten, aufgeteilten optischen Pfad eingeschraubt wird, und einen Bewegungswandler für die Umsetzung der Bewegung des Einstellknopfs in seiner axialen Richtung in eine Drehbewegung des Halters enthalten.
Da der Einstellknopf für die Einstellung der Breite der Interferenzstreifen in die zweite Aufnahmetrommel für die Einstellung der Richtung der Interferenzstreifen entlang der Richtung des ersten, aufgeteilten optischen Pfads eingeschraubt wird, da mit anderen Worten die zweite Aufnahmetrommel und der Einstellknopf koaxial nahe zu dem ersten, aufgeteilten optischen Pfad angeordnet ist, kann schnell von der Interferenzstreifenbreiteneinstellung zu der Interferenzstreifenrichtungseinstellung gewechselt und auch wieder zurückgewechselt werden.
Die erste Aufnahmetrommel kann vorzugsweise zentrisch um die optischen Achse der Objektivlinse herum drehbar ausgeführt werden.
Da dementsprechend die Bedienungsposition des Breiteneinstellers und die des Richtungseinstellers zentrisch um die optische Achse der Objektivlinse gedreht werden kann, kann die Bedienungsposition an eine für den Beobachter leichter zugängliche Position verlegt werden.
Eine Blende für das Öffnen und Schließen des ersten, aufgeteilten optischen Pfads kann vorzugsweise zwischen dem den optischen Pfad aufteilenden Element und dem Referenzspiegel vorgesehen werden.
Dementsprechend können sowohl die Interferenzstreifen als auch das Hellfeld mit einer einzigen Objektivlinse durch Öffnen und Schließen des ersten, aufgeteilten optischen Pfads mittels der Blende beobachtet werden.
Kurse Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine Schnittdarstellung, die eine Ausführungsform einer Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung zeigt;
2 ist eine Schnittdarstellung, die entlang der Linie II-II in 1 genommen wurde;
3 ist eine vergrößerte Schnittdarstellung, welche die Tragstruktur eines Spiegelhalters der vorgenannten Ausführungsform zeigt;
4 ist eine Darstellung, welche die Veränderung der Interferenzstreifen zeigt, die in der Breiteneinstellung der Interferenzstreifen in der vorgenannten Ausführungsform beobachtet werden;
5 ist eine Darstellung, welche die Veränderung der Interferenzstreifen zeigt, die in der Richtungseinstellung der Interferenzstreifen in der vorgenannten Ausführungsform beobachtet werden; und
6 ist eine Darstellung für das Aufzeigen des Prinzips der Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung.
Genaue Beschreibung der bevorzugten Ausführungsform(en)
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nun im Folgenden mit Bezug auf die angefügten Zeichnungen beschrieben.
1 ist eine Schnittdarstellung, die eine Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung nach der vorliegenden Ausführungsform zeigt, und 2 ist eine Schnittdarstellung, die entlang der Linie II-II in 1 genommen wurde.
Wie in den Zeichnungen gezeigt, hat die Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung nach der vorliegenden Ausführungsform ein Objektiv 1, das abnehmbar auf einem Revolver eines Mikroskops u. s. w. angebracht ist, und eine optische Interferenzeinheit 11, die im rechten Winkel über einen Haltering 2 mit dem Objektiv 1 verbunden und um die optische Achse des Objektivs 1 drehbar ist.
Das Objektiv 1 ist aus einer Kombination einer Vielzahl von Linsen aufgebaut.
Ein oberer Teil des Halterings 2 ist auf einen unteren Teil des Objektivs 1 aufgeschraubt und an ihm befestigt, und eine unterer Teil des Halterings 2 hält die optische Interferenzeinheit 11 drehbar um die optische Achse des Objektivs 1 und ist mit einer Feststellschraube 3 zu befestigen. Da die optische Interferenzeinheit 11 nach Lösen der Feststellschraube 3 um die optische Achse des Objektivs 1 gedreht werden kann, kann dementsprechend ein Bedienungsabschnitt der optischen Inteferenzeinheit 11 in eine Position gebracht werden, die für einen Beobachter für die Beobachtung leicht zugänglich ist.
Die optische Interferenzeinheit 11 hat ein Prisma 12 als ein den optischen Pfad aufteilendes Element, das zwischen dem Objektiv 1 und einer Probe 4 angeordnet ist, einen Referenzspiegel 13, der auf halben Weg eines ersten, durch das Prisma 12 aufgeteilten Lichtpfads vorgesehen ist, und eine Neigevorrichtung 14 für die Neigung des Referenzspiegels 13, um die Breite und die Richtung der Interferenzstreifen einzustellen, die durch ein von dem Referenzspiegel 13 reflektiertes Licht und ein von der Probe 4 reflektiertes Licht erzeugt werden, welche im zweiten, von dem Prisma 12 aufgeteilten Lichtpfad liegt.
Die Neigevorrichtung 14 hat eine Prismenaufnahmetrommel 21 als eine erste Aufnahmetrommel, die mit dem Objektiv 1 durch den Haltering 2 verbunden ist und in dem sich das Prisma 12 befindet, eine Spiegelaufnahmetrommel 31 als eine zweite Aufnahmetrommel, die mit der Prismenaufnahmetrommel 21 verbunden ist und in dem sich der Referenzspiegel 13 befindet, einen Breiteneinsteller 41 für die Drehbewegung des Referenzspiegels 13 um eine Achse parallel zu der optischen Achse des Objektivs 1 herum unter Beibehaltung eines angenähert konstanten Abstands von der optischen Achse des Objektivs 1 zu dem Referenzspiegel 13, und einen Richtungseinsteller 51 für das Drehen der Spiegelaufnahmetrommel 31 um den ersten, durch das Prisma 12 aufgeteilten Lichtpfad herum.
Die Prismenaufnahmetrommel 21 ist ausgerüstet mit einer gleitenden Blende 22 zum Öffnen und Schließen des Lichtpfads zwischen dem Prisma 12 und dem Referenzspiegel 13, anders ausgedrückt: des ersten, durch das Prisma 12 aufgeteilten Lichtpfads.
Die Spiegelaufnahmetrommel 31 besteht aus einer inneren Trommel 33, die durch die Prismenaufnahmetrommel 21 um den ersten Lichtpfad durch ein Lager 32 gelagert ist, und einer äußeren Trommel 34, die an ein Außenseite der inneren Trommel 33 angeschraubt und an ihr befestigt ist und in dem sich der Referenzspiegel 13 befindet. Hier ist der Richtungseinsteller 51 für das Drehen der Spiegelaufnahmetrommel 31 um den ersten, durch das Prisma 12 aufgeteilten Lichtpfad herum aus dem Lager 32 und Ähnlichem konstruiert. Übrigens ist ein Bedienungsabschnitt 34A mit Aufrauungen an seiner Oberfläche an dem äußeren Umfang der äußeren Trommel 34 vorgesehen.
Der Breiteneinsteller 41 hat einen Halter 43, der drehbar um eine Achse parallel zur optischen Achse des Objektivs 1 herum gelagert ist, ein Paar von Stiften 42, den Referenzspiegel 13 auf einer Oberfläche gegenüber dem Prisma, einen Einstellknopf 44, der an die Spiegelaufnahmetrommel 31 entlang der Richtung des ersten Lichtpfads angeschraubt ist, und einen Bewegungswandler 45 für das Umwandeln der axialen Bewegung des Einstellknopfs 44 in eine Drehbewegung des Halters 43. Obgleich der Stift 42 an einer Stelle unterschiedlich von einer lichtreflektierenden Oberfläche des Referenzspiegels 13 liegt, ist der Stift 42 so dicht wie möglich zu der lichtreflektierenden Oberfläche angeordnet.
Wie in 3 gezeigt, ist ein Loch 42A innerhalb des Paars von Stiften 42 vorgesehen. Eine Feder 42B wird in dem Loch 42A aufgenommen, und eine Kugel (Stahlkugel) 43C wird durch die Feder 42B gegen ein konisches Loch 43A gedrückt und vorgespannt, das in dem Halter 43 ausgebildet ist. Dementsprechend wird der Halter drehbar an zwei Punkten auf einer Achse parallel zu der optischen Achse des Objektivs 1 gelagert.
Der Bewegungswandler 45 enthält eine Wippstange 47, die von dem Halter 43 entgegengesetzt zum Referenzspiegel 13 hervorragt und ein zugespitztes Ende mit einer schrägen Oberfläche 46 hat, die gegen ein spitzes Ende des Einstellknopfs 44 stößt, so daß die schräge Oberfläche 46 der Wippstange 47 konstant gegen den Einstellknopf 44 anstößt. Die Feder 48 wird durch den Stift 48A geführt, der von einer Innenwandfläche der Spiegelaufnahmetrommel 31 hervorragt, und ein Anschlagstift 49 zur Begrenzung des Bewegungsbereichs der Wippstange 47 ragt von der Innenwandfläche der Spiegelaufnahmetrommel 31 gegenüber hervor. Übrigens ist eine Feder 50 zwischen einem äußeren Ende der Spiegelaufnahmetrommel 31 und dem Einstellknopf 44 eingefügt.
Um die Breite und die Richtung der Interferenzstreifen in der obigen Anordnung einzustellen, wird nach dem Lösen der Feststellschraube 3 für das Drehen der optischen Interferenzeinheit 11 um die optische Achse des Objektivs 1 herum in eine für den Beobachter leicht zu bedienende Position die Breite und die Richtung der Interferenzstreifen eingestellt.
Für die Einstellung der Breite der Interferenzstreifen wird der Einstellknopf 44 gedreht, um den Einstellknopf 44 in seiner axialen Richtung zu bewegen. Dann kann durch drehende Bewegung des Halters 43 mit dem Referenzspiegel 13 zentrisch um den Stift 42 herum über den Bewegungswandler 45 die Breite der Interferenzstreifen eingestellt werden. Z. B. ist eine Einstellung von einem in 4(A) gezeigten Zustand zu einem in 4(8) gezeigten Zustand möglich. Da die Positionen der lichtreflektierenden Oberfläche des Referenzspiegels 13 und des Stifts 42 sich nahe kommen, kann dazu der Abstand von der optischen Achse der Objektivlinse 1 zum Referenzspiegel 13 angenähert gleich gehalten werden.
Für die Einstellung der Richtung der Interferenzstreifen wird die Spiegelaufnahmetrommel 31 relativ zur Prismenaufnahmetrommel 21 zentrisch um den ersten Lichtpfad des Prismas 12 herum gedreht. Da der Referenzspiegel 13 zentrisch um den ersten Lichtpfad gedreht wird, kann dann die Richtung der Interferenzstreifen eingestellt werden. Z. B. ist eine Einstellung von dem in 5(A) gezeigten Zustand zu einem in 5(B) gezeigten Zustand möglich.
Wenn der erste Lichtpfad des Prismas 12 durch Verschieben der Blende 22 geöffnet wird, können übrigens Interferenzstreifen beobachtet werden. Wenn andererseits der andere aufgeteilte optische Pfad geschlossen wird, kann allgemein das Hellfeld beobachtet werden.
Nach der vorliegenden Ausführungsform können die folgenden Wirkungen erzielt werden.
Da der Einstellknopf 44 gedreht wird, um die Breite der Interferenzstreifen einzustellen, und danach durch Drehen der Spiegelaufnahmetrommel 31 die Richtung der Interferenzstreifen unter Beibehaltung der Breite der Interferenzstreifen eingestellt werden kann, kann erstens die Breite und die Richtung der Interferenzstreifen durch eine Einhandbedienung eingestellt werden. Da ferner für den Wechsel der Einstellungen der Einstellknopf 44 und die Spiegelaufnahmetrommel 31 nahe bei einander und koaxial liegen, ist ein leichter und schneller Wechsel durch eine Einhandbedienung möglich, und dadurch wird die Bedienbarkeit und Arbeitseffizienz verbessert.
Da für die Einstellung der Breite der Interferenzstreifen der Referenzspiegel 13 zentrisch das Paar von Stiften 42 herum parallel zur optischen Achse des Objektivs 1 unter angenähertem Beibehalten desselben Abstand von der optischen Achse des Objektivs 1 zu dem Referenzspiegel 13 gedreht wird, kann ferner die Breite der Interferenzstreifen eingestellt werden, während das Interferenzstreifenband nullter Ordnung im Zentrum des Feldes festgehalten wird.
Da der Referenzspiegel 13 zentrisch um den ersten, aufgeteilten optischen Pfad herum gedreht wird, wenn die Richtung der Interferenzstreifen eingestellt wird, kann die Richtung der Interferenzstreifen unter Beibehalten der durch die Breiteneinstellung herbeigeführten Breite der Interferenzstreifen eingestellt werden.
Da die Neigevorrichtung 14 die Prismenaufnahmetrommel 21 mit dem sich darin befindenden Prisma 12, die mit der Prismenaufnahmetrommel 21 verbundene Spiegelaufnahmetrommel 31 mit dem sich darin befindenden Referenzspiegel 13, den Breiteneinsteller 41 für die Drehbewegung des Referenzspiegels 13 zentrisch um eine Achse parallel zu der optischen Achse des Objektivs 1 herum und den Richtungseinsteller 51 für das Drehen der Spiegelaufnahmetrommel 31 zentrisch um den ersten Lichtpfad herum enthält, kann die Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung konstruiert werden allein durch Verbinden der Prismenaufnahmetrommel 21 der Neigevorrichtung mit einem gewöhnlichen Objektiv 1.
Da die optische Interferenzeinheit 11 um die optische Achse des Objektivs 1 herum drehbar ist, kann die Bedienungsposition des Breiteneinstellers 41 und des Richtungseinstellers 51 zentrisch um die optische Achse des Objektivs 1 herum gedreht werden, so daß die Bedienungsposition in eine für den Beobachter leicht zu bedienende Position gebracht werden kann.
Da ferner die Blende 22 für das Öffnen und Schließen des ersten aufgeteilten optischen Pfads vorgesehen wird, können sowohl die Interferenzstreifen als auch das Hellfeld durch das einzige Objektiv 1 durch Öffnen und Schließen des aufgeteilten optischen Pfads mittels der Blende 22 ausgemessen werden.
Obgleich in der oben beschriebenen Ausführungsform die Position des Stifts 42 für die Lagerung des Halters 43 mit dem Referenzspiegel 13 nahe der lichtreflektierenden Oberfläche des Referenzspiegels 13 angeordnet ist, liegt die Position des Stiftes 42 vorzugsweise dichter zu der lichtreflektierenden Oberfläche des Referenzspiegels 13 und vorzugsweise auf derselben Position.
Obgleich ferner das Prisma 12 als das den optischen Pfad aufteilende Element verwendet wird, kann ein anderes optisches Element so lange verwendet werden, wie das Licht auf den Referenzspiegel 13 und die Probe 4 aufgeteilt und das reflektierte Licht davon überlagert werden kann.

Claims

Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung, die enthält: eine Objektivlinse; ein einen optischen Pfad aufteilendes Element, das zwischen der Objektivlinse und einer Probe vorgesehen ist, wobei das den optischen Pfad aufteilende Element Belichtungslicht in einen ersten aufgeteilten Lichtpfad und eine zweiten aufgeteilten Lichtpfad, der auf die Probe gerichtet ist, aufteilt; einen Referenzspiegel, der in dem ersten aufgeteilten Lichtpfad vorgesehen ist,; und eine Neigevorrichtung für das Neigen des Referenzspiegels, um die Breite und die Richtung von Interferenzstreifen einzustellen, die durch ein von dem Referenzspiegel reflektiertes Licht und ein von der Probe reflektiertes Licht erzeugt werden, wobei die Neigevorrichtung enthält: eine erste Aufnahmetrommel, die mit der Objektivlinse verbunden ist und in dem sich das den optischen Pfad aufteilende Element befindet, eine zweite Aufnahmetrommel, die mit der ersten Aufnahmetrommel verbunden ist und in der sich der Referenzspiegel befindet, einen Breiteneinsteller für die Drehbewegung des Referenzspiegels zentrisch um eine Achse parallel zu der optischen Achse der Objektivlinse, während ein näherungsweise konstanter Abstand zwischen dem Referenzspiegel und der optischen Achse der Objektivlinse eingehalten wird; und einen Richtungseinsteller für die Drehung der zweiten Aufnahmetrommel zentrisch um den ersten, aufgeteilten optischen Pfad herum, wobei der Breiteneinsteller ferner enthält: einen Halter, der in der zweiten Aufnahmetrommel zentrisch um eine Achse parallel zu der optischen Achse der Objektivlinse drehbar gelagert ist und den Referenzspiegel hält, einen Einstellknopf, der in die zweite Aufnahmetrommel in der Richtung entlang dem ersten, aufgeteilten optischen Pfad eingeschraubt wird, und einen Bewegungswandler für die Umsetzung der Bewegung des Einstellknopfs in seiner axialen Richtung in eine Drehbewegung des Halters, wobei der Breiteneinsteller und der Richtungseinsteller voneinander unabhängig bedient werden können.
Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Aufnahmetrommel zentrisch um die optische Achse der Objektivlinse herum drehbar ausgeführt ist.
Zweistrahlinterferenzobjektivvorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei eine Blende für das Öffnen und Schließen des erste, aufgeteilten optischen Pfads zwischen dem den optischen Pfad aufteilenden Element und dem Referenzspiegel vorgesehen ist.