DE2259262C3

DE2259262C3 -

Info

Publication number: DE2259262C3
Application number: DE19722259262
Authority: DE
Priority date: 1971-12-03
Filing date: 1972-12-04
Publication date: 1977-12-29

Description

Die Erfindung betrifft ein Interferometer mit einer lnktförmigen Lichtquelle, einem von der Lichtquelle !leuchteten Strahlenteiler, einer Anzahl von Planspie- :ln, die derart angeordnet sind, daß sich zwei ingrüente gegenläufige Strahlengänge ergeben, und it einer ersten Linse zur Erzeugung eines Bildes der ichtquelle in der Objektebene.
Ein derartiges Interferometer ist durch die FR-PS \ 29 314 bekannt. Dort treten bei der Verwendung von iinktförmigen Lichtquellen unerwünschte Beugungser- :heinuneen im Interferenzmuster auf.

Die Druckschrift »Fachberichte für Oberflächentechnik«, 4. Jahrgang, Heft 1, Seiten 1-4, erwähnt die Nützlichkeit beugender oder brechender Elemente in Interferometer!! zur Erhöhung des Kontrastes, damit Sörreflexionen von verschiedenen Bereichen eines Objektes, wie eines geschnittenen Präparates, beispielsweise durch eine Immersionsflüssigkeit, eliminiert werden.

Der vorliegenden Erfindung liegt ausgehend von einem Interferometer der eingangs genannten Art die Aufgabe zugrunde, die erwähnten unerwünschten Beugungseffekte im Interferenzstreifenmuster bei Verwendung von punktförmigen Lichtquellen zu beseitigen. Zur Lösung dieser Aufgabe ist die Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß in einem gemeinsamen Punkt der beiden Strahlengänge in jeweils gleichem optischen Abstand vom Strahlenteiler ein lichtdurchlässiges, die Phase des Lichts in reversibler Weise beeinflussendes Element angeordnet ist.

Durch diese Maßnahmen wird eine Verringerung des hohen räumlichen Kohärenzgrades des Lichtes der punktförmigen Quelle erreicht, wodurch wiederum die störenden Beugungseffekte beseitigt werden.

Bevorzugt wird es, wenn das Element ein Phasengit-

ter oder eine einseitig mattierte Glasscheibe oder eine Linse ist. Alle derartigen Elemente zeigen die angegebenen erwünschten Wirkungen der Störung der räumlichen Kohärenz.

Falls das Element senkrecht zum Strahlengang periodisch bewegt ist, ergibt sich durch die statistische Verteilung der Abbildung eine verbesserte Beseitigung der störenden Beugungseffekte.

Bei einer Anwendung des Interferometers für die Mikroskopie ist das Interferometer dadurch gekennzeichnet, daß sich die erste Linse hinter dem Strahlenteiler befindet, und daß symmetrisch bezüglich des Elementes eine zweite Linse gleicher Brennweite angeordnet ist.

Eine andere Ausführungsform, die sich besonders für die Makroskopie oder die Mikroskopie mit schwächerer Vergrößerung eignet, ist dadurch gekennzeichnet, daß die erste Linse mit einer zweiten Linse gleicher Eirennweite ein das Objekt einschließendes afokales System bildet, und daß das Element im Abstand der doppelten Brennweite dieser Linsen vom Mittelpunkt des afokalen Systems angeordnet ist. Das Bild wird dabei mittels eines Beobachtungsinstrumentes betrachtet, das außen am Interferometer angeordnet ist.

Im Fall eines reflektierenden Objekts kann ein weiterer Strahlenteiler zur Beleuchtung des Objekts mit den beiden Teilstrahlen vorgesehen sein, wobei zur Elimination von durch unerwünschte Reflexionen erzeugtem Licht polarisationsoptische Mittel vorgesehen sind.

Zur Untersuchung von undurchsichtigen, reflektierenden Objekten kann das Interferometer dadurch gekennzeichnet sein, daß die erste Linse zwischen dem weiteren Strahlenteiler und dem reflektierenden Objekt im Abstand ihrer Brennweite vom Objekt angeordnet ist, und daß das Element auf der anderen Seite des weiteren Strahlenteilers derart angeordnet ist, daß es durch die erste Linse und das Objekt in sich selbst abgebildet wird.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von <>5 Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 ein Schema eines Interferometers, das insbesondere für die Makroskopie geeignet ist,
F i g. 2 ein Schema eines Interferometers, das

insbesondere für die Mikroskopie geeignet ist,

Fig.3 ein Schema eines Interferometers, das insbesondere für die Makroskopie und für die Mikroskopie mit schwacher Vergrößerung geeignet ist,

F i g. 4 ein Schema eines Interferomecurs nach F i g. 1 zur Untersuchung von undurchsichtigen, reflektierenden Objekten,

Fig.5a ein Schema eines Interferometers nach F i g. 3. angewandt zur Untersuchung eines Objektes mit einer ebenen, reflektierenden Oberfläche, _!0

F i g. 5b und 5c jeweils eine Teilansicht des Schemas nach Fig.5a, wobei das reflektierende Objekt eine konkave bzw. konvexe Oberfläche hat.

In Fig. 1 ist das Schema eines Interferometers gezeigt, das hauptsächlich für die Makroskopie geeignet

In dieser Figur bilden drei reflektierende Oberflächen, von denen eine Oberfläche halbdurchlässig als Strahlteiler m ausgebildet ist, während zwei weitere Spiegel M, und W2 vorgesehen sind, ein dreieckiges Interferometer nach Sagnac, dessen optische Eigenschaften bekannt

In der Ebene, die durch einen gemeinsamen Punkt C der beiden Strahlengänge in jeweils gleichem optischen Abstand vom Strahlenteiler m des Interferometers geht, ist ein lichtdurchlässiges Element D (Da oder Db oder Dc) angeordnet, das die das Element durchdringenden Lichtstrahlen bricht oder beugt. Der Punkt C wird als Punkt definiert, der, bezogen auf den Strahlteiler ra, autokonjugiert ist. Diese Konjugierung wird als die Konjugierung eines Punktes aufgefaßt, der sich vor einem ebenen Spiegel befindet, und zwar als Konjugierung dieses Punktes mit seinem Spiegelbild bezogen auf den Spiegel. Im Falle der F i g. 1 hat dieser autokonjugierte Punkt den gleichen Abstand von m für die beiden Richtungen, in denen sich die Lichtstrahlen im Inneren des Kreises fortpflanzen, nämlich m MiC= m M₂C.

Versuche zeigen, daß, wenn für D eine Linse Da genommen wird, (brechendes Element), die Interferenzfigur weder von der Brennweite noch von der Zentrierung der Linse abhängt. Man kann also die Linse in ihrer Ebene schwingen lassen oder exzentrisch drehen. Falls D ein einziges mattiertes Glas Db ist, erhält man ebenfalls Interferenzen mit sehr hohem Kontrast, wenn die aktive Ebene der Mattierung mit dem Punkt Czusammenfällt.

Ein Milchglas, das in seiner Masse streuend ist, kann nicht verwendet werden.

Weil gewöhnliche mattierte Gläser oft eine spekulare Transparenz aufweisen, hat man Versuche mit einem Streuungselement mit optischen Fasern angestellt. Ein solches Element Dc von einigen Millimetern Dicke liefert Interferenzstreifen sehr guter Bildqualität, die auch dann beibehalten bleibt, wenn mit kohärentem Licht, beispielsweise Laserlicht, beleuchtet wird, wobei das Element vorzugsweise mittels einer planetaren Bewegung in seiner Ebene Schwingungen ausführt.

Damit das dreieckige Interferometer von Sagnac, das durch die Zufüjjung des transparenten Elementes D, welches das Licht bricht oder beugt, zur Untersuchung von in ihm angeordneten transparenten Objekten dienen kann, muß es derart vervollständigt werden, daß es als Punktreferenz-Interferometer arbeitet. Hierzu verwendet man eine quasi punktforrnige Lichtquelle S und eine Sammellinse Li, die reelle Bilder Si und £2 abbildet, die bezüglich des Strahlteilers m symmetrisch sind, und die irgendwo im Innern des Strahlenkreises der oDtischen Anordnung vorgesehen sind. Wird ein Phasenobjekt Ω, bei Si angeordnet, so kann man mit Hilfe einer Lupe L₂ Interferenzstreifen beobachten, die Linien gleicher optischer Dicke des Objektes bezogen auf seine optische Dicke im Punkt Si zeichnen. Falls das Element D eine einfache Linse Da ist, so bleibt die Beleuchtung räumlich kohärent. Durch Änderung der Brennweite des Elementes Da kann man den beleuchteten Fleck auf dem Objekt justieren, wodurch eine bessere Beleuchtung der Bilder erreicht wird. Verschiebt man andererseits das Element Da längs der Achse, so erscheinen auf dem Objekt Newtonsche Interferenzstreifen, deren Dichte kontinuierlich mit der Entfernung zwischen Cund Da zunimmt. Dadurch ist es möglich, eine gewisse divergierende oder konvergierende Wirkung des Objekts Ωι zu kompensieren, was eine interessante Möglichkeit darstellt.

Falls als Element D ein mattiertes Element Db oder ein aus optischen Fasern zusammengestelltes Element Dc verwendet wird, ist die Beleuchtung nicht mehr vom räumlich kohärenten Typus, sondern wird kohärent-diffus mit einem unbeweglichen Streuer bzw. teilkohärent (räumlich) mit einem beweglichen Streuer.

Man kennt die Vorteile dieses letzteren Beleuchtungstyps: Unterdrückung der optischen Granulierung (Speckies) und Verbesserung der Auflösung.

Um die Winkelöffnung des Beleuchtungsstrahlenbündels einstellen zu können, wird es empfohlen, eine Irisblende Ir gegen das Element D zu legen, falls dieses Element ein Streuer Di» oder Dc ist.

Für das Verständnis ist es wichtig, daß die Anzahl der Reflexionen hier gerade ist: Zwei oder vier Reflexionen je nach Durchlaufrichtung (zwei nach rechts, vier nach links beim Betrachten der Figur). Nur in diesem Fall ist die durch den Punkt C gehende Ebene mit der Vergrößerung +1 autokonjugiert.

Ein bei S2 angeordnetes Phasenobjekt Ω2 ist mit dem Objekt Ωι austauschbar. Befinden sich beide Objekte an ihrem Ort, so wird ein Interferenzkomparator mit zahlreichen Anwendungsmöglichkeiten geschaffen.

Man kann auch reflektierende Oberflächen untersuchen. Dazu genügt es, wenn einer der Spiegel, beispielsweise der Spiegel M,, durch die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes ΜΩ ersetzt wird, das hier bei schrägem Einfall betrachtet wird.

F i g. 2 zeigt eine Anwendung der Erfindung auf die Mikroskopie von transparenten Objekten.

Zwei Linsen Li und La gleicher Brennweite sind symmetrisch beiderseits des Elementes D angeordner, welches hier vorzugsweise ein beweglicher oder unbeweglicher Streuer ist. Ein mikroskopisches Präparat, das ein Phasenobjekt Ω darstellt, befindet sich auf dem reellen Bild der Lichtquelle S in der Linse U (Mikroskopobjektiv). Das Präparat befindet sich in einem bestimmten Abstand von Punkt C Dieser Abstand muß gegenüber der Tiefenschärfe der Linse Li sehr groß sein.

Eine auf dem Element D angeordnete Irisblende Ir begrenzt die öffnung des Beleuchtungsstrahlenbündels. Wegen der Symmetrie des Systems gegenüber dem Element D, das bei dem Punkt C liegt, ist die Kohärenz der interferierenden Wellen sichergestellt. F i g. 2 zeigt also ein praktisch realisierbares und sehr einfaches Schema eines Interferenzmikroskops. Die Linsen Li und Li gleicher Brennweite sind symmetrisch beiderseits des Elementes D angeordnet, welches hier vorzugsweise ein beweglicher oder unbeweglicher Streuer ist. Ein mikroskopisches Präparat, das ein Phasenobjekt Ω darstellt, befindet sich auf dem reellen Bild der

Lichtquelle S in der Linse L\ (Mikroskopobjektiv). Das Präparat befindet sich in einem bestimmten Abstand vom Punkt C Dieser Abstand muß gegenüber der Tiefenschärfe der Linse Li sehr groß sein.

Eine auf dem Element D angeordnete Irisblende Ir begrenzt die öffnung des Beleuchtungsstrahlenbündels. Wegen der Symmetrie des Systems gegenüber dem Element D, das bei dem Punkt C liegt, ist die Kohärenz der interferierenden Wellen sichergestellt F i g. 2 zeigt also ein praktisch realisierbares und sehr einfaches to Schema eines Interferenzmikroskops. Die Linsen L₁ und La stellen jetzt das Mikroskopobjektiv und den Kondensor dar. Das Objekt kann entweder bei S\ (Ωι) oder bei & (Ω2) liegen. Man kann auch zwei Phasenobjekte Qt und Ω₂ untersuchen. In diesem Fall wird der Apparat ein Interferenzkomparator. Damit der Apparat als Interferenzmikroskop arbeiten kann, muß er durch eine quasi punktförmige Lichtquelle S vervollständigt werden, die mit den Ebenen Ωι und Ω₂ bezüglich der Linsen Li und La konjugiert ist Außerdem ao muß ein Okular Oc vorgesehen werden, wodurch die Bildebene /konjugiert zu Sbezogen auf den Strahlteiler m betrachtet wird.

Die Justierungen, die die beobachteten Interferenzstreifen beeinflussen, sind einerseits die Neigungen einer der drei reflektierenden Oberflächen m, M\ oder M₂, und andererseits das Verschieben längs der Achse entweder der Linse Lz, wobei sich das Objekt bei SLi befindet, oder des Elementes D.

F i g. 3 zeigt ein Schema einer weiteren Ausführungsform des Interferometers, wobei wie vorher eine Anordnung mit Spiegeln nach Sagnac verwendet wird. Das Prinzip wird jedoch etwas abgewandelt. Dieses Interferometer enthält im Inneren des Strahlenkreises ein afokales System mit einer Vergrößerung -1, das aus zwei gleichen Linsen Li und L₂ gebildet wird, die symmetrisch bezüglich des Strahlteilers m angeordnet sind. Das Objekt Ω befindet steh zwischen den Linsen, und es kann insbesondere mit dem gemeinsamen Brennpunkt von Li und L₂ zusammenfallen.

Der gemeinsame Punkt C wird vom Objekt Ω eingenommen. Es ist nicht möglich, dort ein brechendes oder beugendes Element D anzuordnen. Sucht man andere, bezogen auf m autokonjugierte Punkte, die sich außerhalb des afokalen Systems Li, La befinden, findet 4s man zwei Punkte G und C₂, die mit den äußeren Brennpunkten Fi und F₂' des Systems Li, La zusammenfallen.

Dieses afokale System mit einer Vergrößerung - -1 bewirkt eine Drehung um 180°. Aus diesem Grunde sind 5» die Punkte d und C₂ bezogen auf m mit einer Verstärkung => -1 autokonjugiert. Dadurch wird es notwendig, ein Element D zu verwenden, das bezüglich seines Mittelpunktes symmetrisch ist Eine einfache Linse Da erfüllt diese Forderung gut Ihre Stärke wird in Abhängigkeit von der Brennweite von Li und vom nutzbaren Durchmesser des Objektfeldes Ω bestimmt. In diesem speziellen Fall muß die Linse Da gut zentriert werden, damit die Interferenzstreifen gut gedehnt sind. Dies liefert ein einfaches Mittel zum Einstellen des Interferometers.

Im Gegensatz zu den oben beschriebenen Interferometern ist hier das Objekt Q räumlich kohärent beleuchtet Diese Ausführungsform ist vor allem bei der Makroskopie oder bei der Mikroskopie mit schwacher Vergrößerung verwendbar. Man kann jedoch anstelle der Linse Da einen Beugungsschirm Db verwenden. Dann muß jedoch die Durchlässigkeit der komplexen Amplitude dieses besonderen Streuers Db der folgenden Symmetriebedingung genügen:

ö(u,v) = p(-u, -v),

wobei ρ die komplexe Durchlässigkeit des Elements Db und (u, v) die orthogonalen Koordinaten in der Ebene sind.

Die Kohärenz und somit auch die Qualität der Interferenzen hängen von der Güte der Symmetrie dieses Beugungsschirmes ab.

Das symmetrische Element D befindet sich darüber hinaus in einer Entfernung = 2f\ = 2/2 von der Mitte C Es ist bemerkenswert daß das Element D auf der Stelle bleiben muß, und zwar unabhängig von der Lage der Anordnung L\QLi im Inneren des Strahlenkreises m, Mi, M₂. Das afokale System Li, L₂ mit dem Objekt Ω in seinem Mittelpunkt kann m genähert werden. Wählt man die rechte Seite zwischen m und Mi, um die Anordnung Li, Ω, La aufzustellen, so ist nur der Punkt C₂, bezogen auf das System Li, La reell. Aus diesem Grunde soll das Element D symmetrisch sein.

Die Anordnung nach Fig.3 kann grundsätzlich für die Konstruktion eines Interferenzmikroskops venvendet werden. Diese Konstruktion ist einfach, weil der Strahlteiler m und die Linsen Li und La das Objekt bzw. den Kondensor darstellen. Beide Elemente sind nahe zueinander angeordnet. Es genügt also, die Anordnung mit einer punktförmigen Lichtquelle S im Unendlichen und mit einer afokalen Beobachtungslinse LU zu vervollständigen.

Fig.4 zeigt ein für die Makroskopie geeignetes Interferometer.

Der Hauptstrahlteiler ist im. Hinzugefügt wird ein Hilfs-Strahlteiler /7I₂, der die Schleife und Lichtstrahlen auf die Objektfläche MQ wirft Das System ist also optisch demjenigen gleichwertig, das in F i g. 1 dargestellt ist. Der optische Mittelpunkt C wird leicht gefunden, indem die Gleichheit der beiden Strahlengänge verifiziert wird:

/ηι,ΜΩ, C= Mi₁M₂₁C

Weil die Anzahl der hier auftretenden Reflexionen einschließlich derjenigen auf der Oberfläche ΜΩ gerade ist, ist C einer Vergrößerung — +1 autokonjugiert, wodurch die Verwendung eines Beugungsschirmes als Element D ermöglicht wird. In dem für die Figur keineswegs beschränkenden Fall, bei dem die Oberflächen im, n?2, Mi und Mj rechtwinklig zueinander angeordnet sind, ergibt sich, daß die Entfernungen Π32-ΜΩ und MiC gleich sind, d.h. daß für eine gegebene Anordnung die Summe der Entfernungen CM₂ + m₂MQ konstant bleiben muß. Dies bildet ein einfaches Mittel für die Justierung dieser Variante des Interferometers.

Um die unerwünschten Lichtstrahlen zu entfernen, die diesem Strahlenkreis nicht folgen, und nicht in sich selbst zurückgeworfen werden, kann das System durch eine Anordnung vervollständigt werden, die als optisches Polarisationsventil bezeichnet werden kann. Diese Anordnung wird beispielsweise durch ein Lamdaviertelwellenplättchen gebildet die zwischen mi und ΜΩ eingefügt wird und durch ein Lambdahalbwellenplättchen, die irgendwo in dem Strahlenkreis mit Ausnahme des Intervalls mi - MQ eingeführt wird. Es ist vorteilhaft, die langsamen Achsen der Lambdaviertel- und Lambdahalbeplättchen zu kreuzen, die um ±45° gegen die Einfallebene von m\ ausgerichtet sind, und diese Anordnung zwischen einen Polarisator P zu

setzen, der um 90° gerichtet ist, und einen Analysator A derselben Richtung.

Die unerwünschten Lichtstrahlen kommen von dem Hilfs-Strahlteiler m₂ her. Bei einem nichtgefalteten Strahlenkreis gibt es sie nicht.

Man bedient sich häufig der Interferometrie, um die Qualität ebener oder sphärischer Oberflächen zu untersuchen, die auch große Abmessungen haben können. Die F i g. 5a bis 5c erläutern Interferenzanordnungen, die insbesondere hierfür geeignet sind. Dort ist der Strahlenkreis um den Hilfs-Strahlteiler m₂ gefaltet, damit der Lichtstrahl senkrecht auf das Objekt ΜΩ fallen kann.

Da der Durchmesser von ΜΩ sehr viel größer ist als der der nützlichen öffnung des eigentlichen Interfero- ,₅ meters sein kann, wird eine Linse L\ verwendet, deren einer Brennpunkt Fmit der Oberfläche ΜΩ koinzidiert.

Falls ΜΩ eben ist (F i g. 5a) und der zweite Brennpunkt sich bei F'befindet, und zwar innerhalb von In₂M], so befindet sich der autokonjugierte Punkt C₂ automatisch bei F'. Dort muß man also das Element D anordnen. Es ist eine gerade Anzahl von Reflexionen vorgesehen, jedoch das katafotische System L\ ΜΩ kehrt die Bilder um, und im Gegensatz zu dem in F i g. 4 dargestellten Interferometer muß das Element D symmetrisch zu seinem Mittelpunkt sein. Am einfachsten ist es, eine bespielsweise konvergierende Linse zu verwenden, obwohl es auch möglich ist, einen symmetrischen Beugungsschirm zu verwenden, wie er oben definiert wurde. jo

Falls das zu untersuchende Objekt eine kugelförmige konkave Oberfläche hat (F i g. 5b) oder konvexe Kugelfläche (F i g. 5c), so muß diese Krümmung durcl eine Umwandlung der Konvergenz kompensiert wer den.

Die zu erfüllenden Bedingungen sind sehr einfach nämlich:

1. Die auf ΜΩ senkrecht stehenden Strahlen, wobei \ sphärisch ist, müssen sich durch die Linse L\ in C fokalisieren;

2. der gemeinsame Brennpunkt der zwischen m₂ unc ΜΩ angeordneten Linsen muß mit ΜΩ zusammen fallen.

Konkave Oberflächen betreffen die Untersuchunj großer sphärischer Spiegel; konvexe Oberflächei betreffen die Untersuchung kleiner Linsen und Kugeli für Kugellager.

F i g. 5a mit ihren Abwandlungen 5b und 5c zeigei schematisch ein praktisch realisierbares Interferometer

Die Justierungen erfolgen hier entweder durch eil longitudinales Versetzen und ein zweifaches seitliche Versetzen der Linse Da, oder mittels einer neigbarei Kompensationsplatte K. Es ist hier ebenfalls möglich die Drehung um 180°, die von der Linse L\ bewirkt wire welche mit der Oberfläche ΜΩ des Objektes zugeord net ist, zu kompensieren, um einen Beugungsschirm al Element D verwenden zu können, welches mit den autokonjugierten Punkt C₂ zusammenfällt.

Das beste Verfahren für die Umkehrung besteh darin, eine Folge von Spiegeln zu verwenden, die dei Strahl in dem Strahlenkreis um 180° drehen.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Interferometer mit einer punktförmigen Lichtquelle, einem von der Lichtquelle beleuchteten Strahlenteiler, einer Anzahl von Planspiegeln, die derart angeordnet sind, daß sich zwei kongruente gegenläufige Strahlengänge ergeben, und mit einer ersten Linse zur Erzeugung eines Bilden der Lichtquelle in der Objektebene, dadurch gekennzeichnet, daß in einem gemeinsamen Punkt (C, C?) der beiden Strahlengänge in jeweils gleichem optischen Abstand vom Strahlenteiler (m, m\) ein lichtdurchlässiges, die Phase des Lichts in reversibler Weise beeinflussendes Element (D) angeordnet ist.

2. Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Element (D) ein Phasengitter (Db) oder eine einseitig mattierte Glasscheibe (Db)oder eine Linse (D_a)ist

3. Interferometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Element (D) senkrecht zum Strahlengang periodisch bewegt ist.

4. Interferometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich die erste Linse (L\) hinter dem Strahlenteiler (m) befindet, und daß symmetrisch bezüglich des Elements (D) eine zweite Linse (Li) gleicher Brennweite angeordnet ist.

5. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Linse (L\) mit einer zweiten Linse (L₂) gleicher Brennweite ein das Objekt einschließendes afokäles System bildet, und daß das Element (D) im Abstand der doppelten Brennweite dieser Linsen (L\, Li) vom Mittelpunkt des afokalen Systems angeordnet ist.

6. Interferometer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß im Falle eines reflektierenden Objekts (ΜΩ) ein weiterer Strahlenteiler (1TI2) zur Beleuchtung des Objekts mit den beiden Teilstrahlen vorgesehen ist, und daß zur Elimination von durch unerwünschte Reflexionen erzeugtem Licht polarisationsoptische Mittel vorgesehen sind.

7. Interferometer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Linse (L\) zwischen dem weiteren Strahlenteiler (mi) und dem reflektierenden Objekt (ΜΩ) im Abstand ihrer Brennweite vom Objekt angeordnet ist, und daß das Element (D) auf der anderen Seite des weiteren Strahlenteilers (ni2) derart angeordnet ist, daß es durch die erste Linse (L\) und das Objekt (MQ) in sich selbst abgebildet wird.