DE2051174C3 - Doppelmikroskop - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Doppelmiktoskop mit veränderbarem Abstand zweier Objektive und einer gemeinsamen Beleuchtungseinrichtung für die beiden Objektfelder, die in einer Beobachtungseinrichtung abgebildet werden.

Derartige Doppclmikroskopc (Split-Field-Mikroskopc) werden in zunehmendem Maße für Vergleichsund Positionicr-Zwecke, insbesondere in der HaIbleitcrtechnologie verwendet.

Dabei kommt es beispielsweise darauf an, Arbeits-, Emulsions-, Färb- oder Chrom-Masken auf Silicium- oder Germanium-Wafern exakt auszurichten.

Aus der deutschen Gebrauchsmuster-Schrift 968 343 ist ein nach Art eines Verglcichsniikroskops arbeitendes Doppelobjektiv bekannt ~_"vorden, bei welchem die beiden Teilstrahlengänge an einem ihnen gemeinsamen herkömmlichen Teilerspiegel eine unterschiedliche Behandlung erfahren, die zu unterschiedlichen Bildhelligkeiten führt. Diese können durch ein in den Belcuchtungsstrahlengang einzufügcndes Polarisationsfilter ausgeglichen werden. Aus der deutschen Patentschrift 1037 171 ist weiterhin ein Vergleichsmikroskop ohne dargestellte oder beschriebene Beleuchtungseinrichtung bekannt. Das

Einbringen von polarisierenden optischen Mitteln in den Helcuchtungsstruhlcngang eines Mikroskops isi aus der deutschen Patentschrift I 0Κ3Π65 bekanntgeworden, in der ein polarisierender Strahlenteiler in Kombination mit einem λ/4-Pliiitchen genannt wird. S EbL-HSOist die Verwendungeines Analysator-Okulars - fm sich genommen - bereits aus dem deutschen Patent 64K 2 Hl bekannt, wie auch eine Vorrichtung zur Änderung des Abstandes zweier Objektive relativ zueinander bereits bei einem Maskenjusliermikroskop to bekannt ist, vgl. »Internationale Elektronische Rundschau« 1970. Nr. 7, Seite IHH.

Weiterhin ist es aus der USA.-Patentschrift 3 4N.X 104 bekannt, Mittel zur Fokussierung auf zwei Objektehcncn vorzusehen, ohne dabei das Objektiv «5 verstellen zu müssen. Darüber hinaus ist aus der britischen Paicntschrift 769 656 bekanntgeworden. Schnitt Weitenänderungen ohne Objektivverstellungen durch Einfügen von Glaswegen vorzunehmen.

Bei einem weiteren bekannten Doppelmikroskop ^ao ist ein Mitlelprisma so verschiebbar angeordr?!. daß entweder das linke oder das rechte Objektbild in der Okuiarhildebene abgebildet wird. Bei der Mittelstellung dieser Prismen kann gleichzeitig ein linkes und ■-echtes Teilbild betrachtet werden. Die eingebaute »5 Beleuchtung wird bei Abstandsanderungen beider Objektive mitbewegt.

Schließlich ist aus der Patentschrift Nr. 62 166 des Amtes für Erfindungs- und Patentwesen in Ost-Berlin ein Doppelmikroskop mit asymmetrischem Strah- Z^r lengang bekannt, bei dem die Beleuchtung beider Objekthälften mittels einer Lichtquelle und eines halbdurchlassigen Spiegels erfolgt. Der asymmetrische Strahlengang hat allerdings zur Folge, daß die Abbildung einer Aperlurblende der Beleuchtung verschieden zu den Pupillen der beiden Objektive zu liegen kommt: dadurch können die Austrittspupillen hinter den Okularen verschieden groß erscheinen. Da das Auge in den verschiedenen Zonen der Augenpupille verschiedene Eigenschaften hat, wird die Deckungsgleichheit von Maske und Wafer bei Beobachtung eines Positioniervorgangs je nach Augenfehlern verschlechtert. Außerdem kann die Vignettierung in den Feldern unterschiedlich sein.

Ein weiterer Nachteil dieses Doppclmikroskops <i besteht darin, daß 5OTJi des Lichtes an den Polarisatoren, die bildseitig vorden Objektiven angebracht sind, verlorengeht. Außerdem kann bei Vorliegen einer Poiarisationsanisotropic der Objekte der Objektkontrast beider Objektive unterschiedlich sein. Jo

Andere bekannte Doppelmikroskope weisen ferner die Nachteile auf, daß sie einmal zwei oder mehr Beleuchtungslampen besitzen, die das Gerät stark erwärmen, daß zum anderen keine Einbaumöglichkeiten für Ausrichtkreuze oder Markenblenden in den Strahlengang vorgesehen sind, daß ferner nur Teilbilder im Okular zu sehen sind und daß schließlich lediglich eine ungenaue, nicht vcrzugsfreie Arretierung der auf einen gewählten Abstand eingestellten Objektive möglich ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Nachteile der bekannten Vorrichtungen zu vermeiden und durch eine Kombination einzeln an sich bekannter Merkmale eine neue Gesamtwirkung zu erzielen und ein verbessertes Doppelmikroskop für einen erweilerten Anwendungsbereich zu entwickeln.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Kombination folgender einzeln bekannter Merkmale gelöst;

a) ein einen polarisierenden Strahlenteiler enthaltendes Mitlelprisma;

b) diesem Miitelprisma nachgeschaltele Mittel zur Umlenkung der polarisierten Tejlstrahlcnbündel zu den parallel angeordneten Objektiven;

c) je ein in jedem der beiden Teilstrahlengänge in funktiuneller Einheit mit dein polarisierenden Strahlenteiler stehendes, vom jeweiligen abbildenden Teilstrahlenbündel rückwärts durchlaufenes Λ'4-Plalichen;

d) ein dem polarisierenden Sirahlenteiler in Richtung der abbildenden Teilstrahlenbündel nachgeschaltetes, bildentwerfendes optisches System, das entweder optische Elemenie aus anisotropem Material oder ein aus de:n Strahlengang entfernbares optisches Element aus isotropem Material enthält, mit dem zwei ohjektseitig festgelegte, axial versetzte Ebenen ::uf eine beobachierseitigfestgelegie Ebene abgebildet werden können.

Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann zusätzlich ein dem Miitelprisma im Bcleuchtungsstr.ihlengimg vorgeschalteter Polarisator vorgesehen sein. Auch ist es möglich, dem polarisierenden Strahlenteiler in Richtung der abbildenden Teilstrüiilenbündel einen A na K sat or nachzuschalten, der in der beobachterseitig festgelegten Ebene angeordnet ist, auf die die zwei ohjektseitig festgelegten axial versetzten Ebenen mit Hilfe des dem polarisierenden Strahlenteiler nachgeschalteten optischen Systems abgebildet werden.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung der vorliege:.den Erfind'ing ist dadurch gekennzeichnet, daß der dem polarisierenden Strahlenteiler nachgeschaltete Ana' lysator mindestens zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht zueinander orientierte Polarisationsfolien aufweist.

Bei einer weiteren Ausgestaltung kann eine Analysator-Wechselvorrichtung mit einem aus zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht zueinander orientierten Polarisationsfolien bestehenden ersten optischen Bauelement und einem aus einer Pola-isationsfolie bestehenden zweiten optischen Bauelement vorgesehen sein.

Um die beiden Objektive eines solchen Doppelmikroskops der Größe des zu untersuchenden Objektes anzupassen, können darüber hinaus Mittel zum Variieren der Relativabstände /wischen der Mittelachse des den polarisierenden Strahlenteiler enthaltender. Mittftlprisrr.as und den Zielachsen der Objektive vorhan'ien sein. Jedes Objektiv kann zusammen mit einem vorgeschalteten, strahlenversetzenden Bauteil und einem nachgeschalteten λ/4-Plättchen je eir.e Baueinheit bilden, die jeweils um die Mittelachse des das jeweilige strahlenumlenkende Bauteil verlassenden polarisierten Beleuchtungsstrahls drehbar gelagert ist. Außerdem ist es möglich, diese Baueinheiten mit unterschiedlicher Orientierung steckbar auszubilden.

Weiterhin kann ein Antrieb zum kontinuierlichen Rotieren des polarisierenden optischen Bauelementes vorgesehen sein. Es ^;st auch möglich, im Belcuehtungsstrahlengang eine Bezugsmarke vorzusehen, die in Konjugation zu den Objektebenen der beiden Objektive steht. Diese Bilder bilden - vergleichbar mit einem Zirkel — ein Abstandsnormal, welches durch eine Schiebelinse feinjustierbar sein kann.

Weiterhin kann das bildentwerfende optische System mindestens eine isotrope Linse in Kombination mit mindestens einer anisotropen Kristailplatie bzw. mindestens einer anisotropen Kristallinse enthalten. Außerdem ist es möglich, daß mindestens eines der polarisationsoplischen Bauelemente drehbar angeordnet oder ai's dem Strahlengang herausschwenkbar ist.

Schließlich kann an Stelle der anisotropen Kristallplatte auch eine in den Strahlengang ein- und ausschiebbar angeordnete isotrope Platte vorgesehen sein.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile liegen insbesondere darin, daß

mit unreiner Beleuchtungseinrichtung eine mindestens um das Doppelte verbesserte l.ichtaushcuic.

eine Unterdrückung des in den optischen Bauelementen entstehenden störenden Streulichts.

eine Einbaumöglichkeil von Ausrichtkreuzen in den Strahlengang,

eine feinfühlige Abstiindseinslellung der durch die Objektive gegebenen Zielachsen unter weitgehender Ausschaltung der durch etwaige Fluehtungsungenauigkeiten entstehenden Fehler,

in bezug auf die Mittelachse des Miltelprismas gleichlange optische Teilstrahlengiinge,

eine genaue Arretierung der auf den gewählten Abstand eingestellten Objektive.

ein optischer Sehiirfcnausgleich für geringfügige Fokusdifferenzen und

Teil- odei Mischbilder dei durch beide Objektive abgebildeten Objektfelder erhalten werden können.

In den Zeichnungen sind Ausführungsbeispicle der Erfindung dargestellt: sie werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigt

Fig. I eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels bei maximalem Abstand beider Objektive.

Fig. 2 die unter Fig. 1 gegebene Darstellung bei minimalem Absland beider Objektive, '

Fig. 3 bis 6 schematische Darstellungen von vier weiteren Ausführungsbeispielen.

In der Fig. 1 trifft ein von der Lichtquelle 1 ausgehendes Beleuehtungsstrahlenhündel nach Durchtritt durch einen Kollektor 2, ein Wärmeschutzfilter 3 und einen Kollimator 4 über einen Lichtleiter 5, dem eine Aperturblende 6 sowie eine Lcuchtfeldblcnde 7 nachgeordnet sind, und dann über eine weitere Linse 8auf den Polarisator 9. der drehbar gelagert ist. Das linear polarisierte Lichtstrahlenbündel trifft dann auf die polarisierende Teilerschicht 11 eines Mittelprismas 10 auf. Diese polarisierende Tellersc'iich! II hat die Eigenschaf!, ein auftreffendes li'irar polarisiertes Strahlenbündel je nach dessen Schwingungsrichtung relativ zum Prismcnhaupischnitt entweder teilweise oder g^nz durchzulassen, oder teilweise oder ganz umzulenken.

Unter der Annahme, daß das polarisierte Beleuchtungsstrahlcnbündel an der polarisierenden Teilerschicht 11 vollständig reflektiert wird, verläuft das Strahlenbündel cntlangder Mittelachse 12 des Mittelprismas 10 und wird nach erneuter Reflexion über ein Peniaprisma 13 gelenkt, das das linear polarisierte Strahlenbündel um 90" umlenkt, so da3 es nunmehr über eine Schiebelinse 14 und ein Rhomboidprisma 15, das eine strahlcnversctzendc Wirkung hat, in das Objektiv 16 gelangt. Das linear polarisierte Strahlenbündel wird nach Durchtritt durch ein λ/4-Plättciien

17. welches unter einem Winkel von 45 zwischen der Schwingungsrichtiing des Lichtes und seiner . HauptschNsingungsrichlung angeordnet ist. zirkulär polarisiert und trifft auf das Objekt 18 auf.

Das am Objekt reflektierte Strahlenbündel ist ebenfalls zirkulai polarisiert, und wird nach Durchtritt duich das A. 4-Plättcheu infolge erneuter Phasenverschiebung wiedei zs! einem linear polarisierten Strahlenbündel, dessen Selmingungseliene jedoch in bezug

ίο auf diejenige des Beleuehlungssttahienbiiiulels um 90 geändert ist Die bereits beschriebenen Bauelemente werden von diesem linear polarisierten Ahbildungsstriihlenbimdel in umgekehrter Riehiung bis zur polarisierenden lederschicht il durchlaufen. Auf Grund der um 9(1" veränderten Schwingungsebene tritt der Strahl jetzt durch diese Schicht ungehindert hindurch und wird über ein Tuhuslinscns\siem. Jas durch eine Linse 20 und eine dahinter angeordnete planparallele Platte 21 in der Figur dargestellt ist, zum

ao Okular 23 geleitet. Im Hcohachtungsstrahlciigang befindet sich außerdem ein Analysator. In der dargestellten Foim können zwei unterschiedliche, auf einer gemeinsamen A η a I) sii tor wechsel vorrichtung 22 montierte Analysaiorcn 31. 33 vorgesehen sein.

as Betrachten wir nunmehr den Fall, daß der Polarisator 9 um einen Winkel von 90 ' gedreht wird, so hat das voii ihm ausgehende linear polarisierte Lichtstrahlenbundel eine solche Schwingungsebene. daß es durch die polarisierende Teilerschicht 11 ungehindert durchtreten kann und über ein Peniaprisma 24. ein Kompensationsprisma 25 und ein strahlenversetzendes Rhomboidprisma 26 zum zweiten Objektiv 27 mit nachgeschaltetem λ/4-Plättchcn 28 und von da aus auf das Objekt 18 gelangt. Das rücklaufende zirkulär polarisierte Abbildungsstrahlenbündel erfährt wiederum eine Umwandlung in linear polarisiertes Licht mit um 90 ' veränderter Schwingungsebene. so daß das Strahlenbündel nunmehr an der polarisierenden Tcilerschicht in Richtung auf das Okular reflektiert

₊₀ wird.

Damit können in Abhängigkeit von der jeweiligen Stellung des Polarisators 9 entweder Objektdetails nur über das Objektiv 16, oder nach Drehung des Polarisator* 9 um 90" Objektdetails nur über d.is Objektiv 27. oder bei einer Drehung des Polarisators 9 um 45" Objektdetails gleichzeitig mit gleicher Lichtintensität über beide Teilstrahlcngängc beobachtet werden. Zu diesem Zweck sind am Polarisator 9 nicht mit dargestellte Vorrichtungen zum exakten Finstcllcn des Polarisator* in gewünschte Winkelstellangen vorgesehen.

Durch Projektion der Marke einer in die Lcuchtfeldblcnde 7 einsetzbaren Markcnblende wird über den Abstand der Ziclachscn der Objektive eine feste, auf die Objekte übertragbare Strecke vorgege! n. Das Objektiv 16 kann zusammen mit dem λ/4-Pläüchcn 17 und dem Rhomboidprisma 15 mit der Schiebelinse 14 eine Baueinheit 29 bilden. Die Bauteile 26 bis 28 können ebenfalls eine Baueinheit 30 bilden.

Zur Abstandsctnstvillung der durch die Objektive und die Marke gegebenen Zielachscn sind nicht dargestellte Mittel vorgesehen, welche die Variation der relativen Abstände zwischen den Bauteilen 24,10 und 13, und damit der Baueinheiten 29 und 30 zueinander gestatten.

Dabei bleiben glcichlange Tcilstrahlenwege in be-

. zug auf die Mittelachse 12 des Mittelprismas 10 erhal-

Aullerdem können die Baueinheiten 29 bzw. M) um tin.· Mittelachsen der aus den Pentaprismen 13 h/w. 24 austretenden Bcleiiehtungsstrahlenbundel drehbar gelagert sein.

Iv isi inuglich, an Slclk¹ von Vorrichtungen /um Drehen dor Baueinheiten andere Vorrichtungen zu verwenden, welche das Anstecken dieser Baucinhcileii 2¹). 30 mil tinlerseliicdlieher Orientierung zur Objekleheiie gestatten.

Wie ersichtlich, ist in die Baueinheit 29 eine Schiebelinse 14 eingefügt, welche eine Feinjustage des Stiahlcngangcs ermöglicht.

Die Storlidiler aus den Bauteilen /wischen polarisieiender Tcilerschicht 11 und den λ/4-Plättchen 17 28 hlcibcM in ihrer Schwingungsrichtung erhalten und »eiden daher von der polarisierenden Teilcrsehichl 11 nicht übcrdasTubiislinsensyslem20, 21 ins Okular 23 geleitet.

Die Optik kies Tubuslinsens)stems 20, 21 kann wie im folgenden ausgeführt - so ausgebildet sein, daß zwei unterschiedliche F.benen 18, 19 im Objektraum entweder gleichzeitig oder nacheinander scharf gesehen werden können, ohne eine Nachfokussierung an den Objektiven vornehmen zu müssen.

Wird hinter einem üblichen Mikrolinsensyslem 20 eine isotrope Plannarallclplatte 21 eingeschoben, so verändert man damit den Strahlengang in dem Sinne, daß ein: andere Objektebenc scharf abgebildet wird. Nimmt man die Platte 21 wieder heraus, so wird wieder die ursprüngliche Objektebene scharf abgebildet.' Die Planparallelplatte 21 kann auch aus einem anisotropen Kristallmaterial, beispielsweise aus Kalkspat oder Quarz, bestehen, wobei die optische Achse des Kristalls jeweils parallel zu den beiden Planflächen liegt. Trifft ein von der polarisierenden Teilerschicht 11 kommendes linear polarisiertes I.ichlstrahlenbündel nach Verlassen des Linsensystems 20 auf die orientiert geschnittene Kristallplatte 21, so spaltet ersieh infolge der Anisotropie des Kristalls in zwei linear polarisierte Komponenten¹'auf, deren Schwingungsebencn senkrecht zueinander stehen. Um die Aufspaitungskomponcnten - verursacht durch die anisotropen Hauelemente - hinsichtlich ihrer Teilbildebenen regeln zu können, sind diese Bauelemente drehbar gelagert.

Den Komponenten, die zwei unterschiedliche Brechzahlen n, und n₀ {n_e φ n₀) aufweisen, durcheilen die Platte 21 mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten, so daß daraus ein Gangunterschied resultiert, der von der Dicke der Platte 21 abhängig ist.

Schiebt man nun einen auf der Analysatorwechselvorrichtung 22 befindlichen normalen Analysator 33 in den Strahlengang, so läßt dieser nur die Strahikomponentc durch, deren Schwingungsebene parallel zur Durchlaßrichtung der Analysatorfolie liegt. Je nach der azimutalen Stellung des Analysators 33 kann also die Komponente mit der Brechzahl n_t, oder diejenige mit der Brechzahl n_o durch das Okular betrachtet werden. Das bedeutet, daß wahlweise auf die Objektebenen 18 oder 19 fokussiert werden kann.

Schiebt man dagegen in den Strahlengang den Analysator 31 ein, der aus zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht aufeinander stehenden Analysatorfo-Iien besteht, so läßt je eine Folienhälfte je eine linear polarisierte Strahlkomponente hindurch, se daß mit nur einer Fokus-Einstellung zwei unterschiedliche Objckichciicii gleichzeitig scharf abgebildet werden können. Dies ist besonders bei Posilionictiingcn in tier Hnlblcit er technologic \orleilhafl.

!■'s ist selbstverständlich, daß an die Stelle des Okulars 23 ebenso ein Binokular treten kann, wobei dann iilleidings die Analysalorwechsclvorrichlung /weckmiißigerwcise vor dem Teilerprisma des Binokulars angeordnet ist.

Auch können Objektivpaare unterschiedlicher

ίο Vergrößerung Anwendung finden, die beispielsweise auf Schiebern oder Revolvern montiert sein kömi' n.

Fs ist auch möglich. Mittel für die kontinuieiliehe

Rotation des Polaiisators 9 vorzusehen. Dadurch wird eine zeillich schnell wechselnde Abbildung des linken

'5 und rechten Objektfeldes erzielt. Hei einer Rolnlionsgeschwindigkeit, die Jer Flimmerfrequenz des Beoiiachlcrs entspricht, werden Üilddetails, die auf beiden Ohjckthiilftcn unterschiedlich sind, hervorgehoben. Daraus aber ergeben sich weilere Anwcndungsmög-

ao lichkciten für das neue Doppclmikroskop, /. B. als Vergleichsmikroskop für kriminalistische Untersuchungen, als Fehlersuchgerät, Farbvergleichsgeriit ii. a.

Die Fig. 2 zeigt das gleiche Geriit. wobei die Ob-

»5 jektive möglichst dicht nebeneinander stehen. Dazu werden die Baueinheiten 29, 30 um 180° gedreht und die Baueinheit 29 zusammen mit dem Pentaprisma 13, sowie die Baueinheit 3ΰ zusammen mit dem Pentaprisma 24 in Richtung auf das Mittclprisma 10 bewegt.

In den Fig. 3 bis (i sind weitere Ausführungsbcispicle dargestellt, wobei einige Details, die in den Fig. 1 und 2 eingezeichnet nid, der Einfachheit halber weggelassen sind.

In der F i g. 3 ist das Pentaprisma 13 mit dem Kompensationsprisma 34 und dem Objektiv 16 mit X/'U Plättchen 17 zu einer festen Baueinheit 36, und das Pentaprisma 24 mit dem Kompensationsprisma 25 und dem Objektiv 27 mit λ/4-Piättchen 28 zu einer Baueinheit 35 zusammengefaßt. Beide Baueinheiten 35, 36 sind unter Beibehaltung gleich langer Strahlengänge in be7.ug auf die Mittelachse 12 des Mittelprismas 10 verschiebbar angeordnet.

In Fig. 4 sind Ümienkprismcn 37, 39 gerätefest angeordnet, und die Variierung der Rclativabshinde der Objektive 16, 27 erfolgt durch Verschiebung der zu je einer Baueinheit 41 und 42 zusammengefaßten Bauelemente 40, 16. 17 bzw. 38, 27, 28.

In Fig. 5 wird eine Darstellung gezeigt, in der in einei ι Köstcrsschen Intcrfercnz-Doppclprisma 43 die polarisierende Teilerschicht 11 senkrecht steht. Die strahlsnumlenkenden Bauteile bestehen aus einem Pentaprisma 24 und einem Umlenkprisma 50 mit aufgekitteten Kompcnsationsplatten 46,47. Die zu Baueinheilen 48, 49 zusammengefaßten Bauelemente sind in der üblichen Weise verschiebbar angeordnet. Eine andere Variante ist in Fi g. 6 dargestellt. Hier ist das mit einer polarisierenden Tcilerschicht 11 versehene Kösterssche Interferenz-Doppelprisma auf- und abschiebbar in bezug auf die feststehende Belcuchuingsstrahlachse 54 und die feststehende Tubusachsc 55 gelagert. Durch mechanisch mit der Auf- und Abbewegung des Prismas 43 gekoppelte Mittel werden - der Strahlspreizung entsprechend - die zu Baueinheiten 52 und 53 zusammengefaßten Elemente 50, 27, 28 einerseits und 51,16,17 andererseits verschoben.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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Claims (13)

1. Doppclmikroskop mit veränderbarem Absland zweier Objektive und eine« gemeinsamen HclciiLhtuiigscinriihtung fur die beiden Objektfelder, die in einer Beobachtungseinrichtung ahgehihkl werden, ge ke η n/e ich nc t durch die Kombination folgender ein/ein bekannter Merkmale:

u) ein einen polarisierenden Struhlentciler (11) einhüllendes Mitteiprisma (iO, 43);

b) diesem Miuelprisma naehgeschallete Mittel (13, 24,37 bis 40,44,45, 50) zur Umlenkung der polarisierten Teilstrahlenbündel zu den parallel angeordneten Objektiven (16, 27);

c) je ein in jedem der beiden Teilstrahlengänge in funktioneller Einheit mit dem polarisierenden Strahlenteiler (11) stehendes, vom jeweiligen abbildenden Teilstrahlenbündel rückwärts durchlaufendes Λ/4-Plättchen (17, 28);

d) ein dem polarisierenden Strahlenteiler (11) in Richtung der abbildenden Teilstrahlen-

, bündel nachgeschaltcles, bildentwerfendes optisches System (20, 21), das entweder optische Elemente aus antisotropem Material oder ein aus dem Sirahlengang enifernbares optisches Elemcni aus isotropem Material enthalt, mi, dem zwei objektseitig festgelegte, axial versetzte Ebenen (18, 19) auf eine beobachleiseitig festgelegte Ebene abgebildet werden können.

2. Doppelmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich ein dem Mittelprisma (10, 43) im Bcleuchlungsstrahlengang vorgeschalteter Polarisator (9) vorgesehen ist.

3. Doppelmikroskop nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch ein dem polarisierenden Strahlenteiler (11) in Richtung der abbildenden Teilstrahlenbündel nachgeschalteten Analysator (31, 33), der in der beobachterseitig festgelegten Ebene angeordnet ist, auf die die zwei objektseitig festgelegten axial versetzten Ebenen (18, 19) mit Hilfe des dem polarisierenden Strahlenteiler (11) nachgeschalieten optischen Systems (20, 21), (Teilmcrkmal ä) des Anspruchs 1 abgebildet werden.

4. Doppelmikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der dem polarisierenden Strahlenteiler (11) naehgeschallete Analysator (31. 33) mindestens zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht zueinander orientierte Polarisationsfolien aufweist.

5. Doppelmikroskop nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß eine Analysatorwcchselvorrichtung (22) mit einem aus zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht zueinander orientierten Polarisationsfolien bestehenden optischen Bauelement (31) und einem aus einer Polarisationsfolie bestehenden optischen Bauelement (33) vorgesehen ist.

6. Doppclmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Variieren der Relativabslände zwischen der Mittelachse (12) des den polarisierenden Strahlenteiler (11) enthaltenden Mittelprismas (10,43) und den Ziclachsen der Objektive (16, 27) vorgesehen sind.

7. Duppelmikmskop nach Anspruch I. dadurch yi-kL-nii/ciL'hnct, d.iU jedes Objektiv (16, 27) zusammen mit einem vorgeschalteten, strahlenversetzenden Bauteil (15, 26) und einem nachgeschalteten Λ/4-Plättchen (17, 28) eine Baueinheit (29. 30) bildet und daß jede dieser beiden Baueinheilen um die Mittelachse des das jeweilige strahlcnumlenkendc Bauteil (13, 24) verlassenden polarisierten Belcuchtungsstrahls drehbar gelagert bzw. in unterschiedlicher Orientierung steckbar ist.

S. Doppelmikroskop nach Anspruch I ,dadurch !gekennzeichnet, daß die Ä/4-PILitichen(i 7,28) bei der Drehung der Baueinheiten (29, 30) in ihrer Orientierung zur Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes festgehalten werden.

9. Doppelmikroskop nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß ein Antrieb zum kontinuierlichen Rotieren des polarisierenden optischen Bauelementes (9) vorgesehen ist.

10. Doppelmikroskop nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß im Bcleuchiungsstrahlengangeine Bezugsmarke konjugiert zu den Objcktehenen (lSoder 19) der beiden Objektive (16, 27) vorgesehen ist.

1. Doppelmikrosk ip nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das bildentwcrfende optische System mindestens eine isotrope Linse (20) in Kombination mil mindestens einer anisotropen Kristallplatte (21) bzw. mindestens einer anisotropen Kristallinst enthält.

12. Doppelmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eines der polarisationsoptischen Bauelemente drehbar oder aus dem Strahlengang herausschwenkbar ist.

13. Doppelmikroskop nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß an Stelle der anisotropen Krislallplatte eine in den Strahlengang einundausschicbbar angeordnete isotrope Platte (21) vorgesehen ist.