DE2051174A1 - Doppelmikroskop - Google Patents

Description

ERNST LBITZ QJMIBH ^205117A Unser Zeichen: A 1782/B 2649 633 Wetzlar, den. 16. Okt. 1970

Pat Bl/Pe ***** 210/211

Doppe!mikroskop

Die Erfindung betrifft ein Doppelmikroskop mit veränderbarem Abstand zweier jeweils eine gleiche Ebene abbildende Objektive und einer gemeinsamen Beleuchtungseinrichtung für beide Objektfelder.

Derartige Doppelmikroskope («p¹"* t-w»iH-m^Qflfnr") werden in zunehmendem Maße für Vergleichs- und Positionier-Zwecke insbesondere in der Halbleitertechnalogie verwendet.

Dabei kommt es beispielsweise darauf an, Arbeite-, Eraulsions-, Färb- oder Chrommasken auf Silicium- oder Germanium-Wafern exakt auszurichten.

Es ist bekannt, zur Erfüllung dieser Erfordernisse ein Masken-Justiermikroskop nach dem Prinzip des Vergleichsmikroskops zu verwenden, bei dee durch je ein Objektiv ivti Stellen dea Objekte· in je ein· Gaeichtehälft« de» Okular« nebeneinander abgebildet werden kanneη.

Bei eiaea weiteren bekannten Doppalaikreskop ist «in MIttelpri·«* so verschiebbar angeerdnet, dall entweder das linke eder da· rechte Objektbild in dar Okularbildebene abgebildet wird. Bei der Mittel·teilung dieser PrisMts kann gleieaaeitig «in linke· tut« rechtes Teilbild batraolitet werden. Die eingebaute Beleuchtung wird bei Abstand·- änderungen beider Objektive eitbewegt.

Schließlich ist au« der DL-PS 62 I66 ein Doppelnikroakop "it aaymietrieoheH Strahlengang bekannt, bei dea die Beleuchtung beider Objekthälften Mittel· einer Lichtquelle

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und «in·· halbdurchlässigen Spiegels erfolgt. Der asyraaetrieche Strahlengang hat allerdinge aar PoIge, daß die Abbildung einer Aperturblende der Beleuchtung verschieden zu den Pupillen der beiden Objektive zu liegen konunt} dadurch können die Auetrittepupillen hinter den Okularen versohieden groß erscheinen. Da das Auge in den verschiedenen Zonen der Augenpupille verschiedene Eigenschaften hat» wird die Deokungsgleiohheit von Maske und Vafer bei Beobachtung eines Positioniervorgangs je nach Augenfehlern verschlechtert. Außerdeal kann die Vignettierung in den Feldern unterschiedlich sein.

Ein weiterer Nachteil dieses Doppelnikroekops besteht darin, daß 50 \%des Lichtes an den Polarisatoren, die bildseitig vor den Objektiven angebracht sind, verloren geht. Außerdem kann bei Vorliegen einer Polarisationsanisotropie der Objekte der Objektkontrast beider Objektive unterschiedlich sein.

Andere bekannte Doppeleikroskope weisen ferner die Nachteile auf, daß sie einmal zwei oder sehr Beleuohtungslampen besitzen, die das Gerat stark erwärmen, daß zu« anderen keine Sinbauaugliohkaiten für Auerichtkreuz· eder Markemblemden in den Strahlengang vorgesehen sind, daß ferner nur Teilbilcer lsi Okular zu sea·« sind u»d da« sahlieβ11oh lediglich el»· ««g*«·.«·, «leht v«rzm#;*rr*l· Arr«t&«*ej«f «*r mmf eine* gewlklte« AbetaiU ei«geetellte« Objektive a9«lleia let.

Oer Brfl«4m«g liegt Al· AHfgab· zmgrwUL·, «1« ve«***eert·· !»•»■•lalkreskep für «1«·« erweitert·« Anw««4««gs1»«r*iah z« entwickeln.

Piece Aufgabe wird crfla«««gcgc«U «a««re» gciiet, «a· in der Bele«olitn«geel«rle«tvi«g el« »elarieater ««ce«rel««t let, «as s«r 8traklc«a«fepalt««g f*r dl· gleichzeitige oder wechselweise Beleuchtung beider Objektfelder ein pelarleiereader Strahlenteller verbanden let.

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daß Mittel für die Umlenkung der polarisierten Teilstrahlen in Richtung auf die parallel angeordneten Objektive vorgesehen sind, daß in jeden Beleuchtungsstrahlengang ein λ/4-Plattchen vorgesehen ist, daß ferner die abbildenden Strahlenbündel die genannten Bauteile bis zum Mittelprisaa rückwärts durchlaufen und daß dem Mittelprisma ein von den zusammengeführten abbildenden Strahlenbündeln durchlaufenes Tubuslinsensystem, sowie ein Okular naohgeschaltet sind.

Um die beiden Objektive eines solchen Doppelmikroskops der Größe des zu untersuchenden Objektes anzupassen, können Mittel zum Variieren der Relativabstände zwischen der Mittelachse des Mittelprismas und den Zielaohsen der Objektive vorhanden sein. Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung kann jedes Objektiv mit einem vorgeschalteten, strahlenversetzenden Bauteil und einem nachgesohalteten λ/4-Plättchen je eine Baueinheit bilden, die jeweils um die Mittelachse des das jeweilige strahlenumlenkende Bauteil verlassenden polarisierten BeleuchtungsStrahls drehbar gelagert ist. Außerdem ist es möglich, diese Baueinheiten mit unterschiedlicher Orientierung steckbar auszubilden. Weiterhin kann der Polarisator drehbar gelagert sein und der Analysator aus zwei senkrecht zueinander orientierten Polarisationsfeldern bestehen.

Bei einer weiteren Ausgestaltung kann eine Analysator-Yechselvorrichtung mit einem aus zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht zueinander orientierten Polarisationsfolien bestehenden Analysator und einem aus einer Polarisationsfolie bestehenden Analysator ^vorgesehen sein. Außerdem kann die Beleuchtungseinrichtung einen Lichtleiter umfassen und im Beleuchtungsstrahlengang eine Bezugsmarke vorgesehen sein, die zu den Objektebenen konjugiert ist. Diese Bilder bilden - vergleichbar mit einem Zirkel - ein Abstandsnormal, welches durch eine Schiebelinse feinjustierbar sein kann.

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Das Tubuslineensysten kann aus einer Kombination von mindestens einer isotropen Linse und einer planparallelen isotropen Platte, die in den Abbildungsstrahlengang ein- und aussohiebbar ist, oder aus einer Konbination von mindestens einer isotropen Linse und einer anisotropen Kristallplatte, oder aus einer Konbination von mindestens einer isotropen Linse und nindestens einer anisotropen Kristallinse bestehen.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile liegen inabesondere darin, daß

mit nur einer Beleuchtungseinrichtung eine mindestens um das Doppelte verbesserte Lichtausbeute ι

eine Unterdrückung des in den optischen BaueIementen entstehenden störenden Streulichts}

eine Einbaumügliohkeit von Auerichtkreuzen in den Strahlengang}

eine feinfühlige Abstandseinstellung der^ durch d.l· Objektive ergebenen Zielachsen unter weitgehender Aufschaltung der durch etwaige Fluohtungsungenauigkelten entstehenden Fehler;

in Bezug auf die Mittelachse des Mittelprismas gleichlange optische Teilstrahlengänge;

eine genaue Arretierung der auf den gewählten Abstand eingestellten Objektive;

ein optisoher Schärfenausgleich für geringfügige Fokusdifferenzen und

Teil- oder Mischbilder der durch beide Objektive abgebildeten Objektfelder

BAD ORIGINAL erhalten werden können.

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Xn den Zeichnungen sind Aueführungebeispiele der Erfindung dargestellt; sie werden im folgenden näher beschrieben. Es zeigern

Fig. 1 eine sohematisohe Darstellung eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiels bei maximalem Ab

stand beider Objektive;

Fig. 2 die unter Fig.1 gegebene Darstellung bei minimalem Abstand beider Objektive;

Fig. 3-6 βohematische Darstellungen von vier weiteren Aueführungebeispielen.

Xn der Fig. 1 trifft ein von der Lichtquelle 1 ausgehende*? Beleuohtungsstrahlenbündel nach Durchtritt durch einen Kollektor 2, ein Värmesohutzfliter 3 und einen Kollimator k über einen Lichtleiter 5» dem eine Aperturblende 6 sowie eine Leuchtfeldblende 7 nachgeordnet sind, und dann über eine weitere Linse 8 auf den Polarisator 9t der «w 44· ·ρ- »4eeehse drehbar gelagert ist. Das linear polarisierte Liohtstrahlenbündel trifft dann auf die polarisierende Teilerschicht 11 eines Mittelprismas 10 auf. Diese polarisie-τende Teilersohicht 11 hat die Eigenschaft, eine« auftreffendes linear polarisiertes Strahlenbündel je nach dessen Schwingungsriohtung^entweder teilweise oder gans durchzulassen, oder teilweise oder ganz umzulenken«

Unter der Annahme, daß das polarisierte Beleuohtungsstrahlenbündel an der polarisierenden Teilersohicht 11 vollständig reflektiert wLrd, verläuft das Strahlenbündel entlang der Mittelachse 12 des Mittelprismas 10 und wird nach erneuter Reflexion über ein Pentaprisma 13 gelenkt, das das linear polarisierte Strahlenbündel um 90 umlenkt, ao daß es nunmehr über eine Schiebelinse Ik und ein Rhomboidprisma 15» das eine strablenvgrsetuende Wirkung hat, in das Ob.jek-

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tiv 16 gelangt. Da* linear polarisiert· Strahlenbündel wird naoh Durohtritt duroh ein λ/4-Plättohen 17» welches unter eine* Winkel you k$ zwischen) Sohwingungsriohtung de· Licht·· und »einer Hauptsohwingungsriobtung angeordnet iet, zirkulär polarisiert und trifft auf daa Objekt 18 auf.

Das am Objekt reflektiert· Strahlenbündel ist ebenfall· zirkulär polarisiert und wird naoh Durchtritt duroh das fc - λ/4-Plättohen infolg· erneuter Phasenverschiebung wieder zu einem linear polarisierten Strahlenbündel, dessen Schwingung·ebene jedoch in Bezug auf diejenige des BeleuohtungsstrahlenbUndels um 90 geändert ist. Die bereits beschriebenen Bauelesente werden von diesem linear polarisierten Abbildung·strahlenbündel in umgekehrter Richtung bis zur polarisierenden Teilersohioht 11 durchlaufen. Aufgrund der um 90° veränderten Schwingungsebene tritt der Strahl jetzt duroh die·· Schicht ungehindert hinduroh und wird über «in Tubuslinsensystem, das duroh ein· Lin·· 20 und «in· dahinter angeordnet· planparallele Platt· 21 in der Figur dargestellt ist, sum Okular 23 geleitet. Ia Beobaohtungsstrahlengang befindet sioh aufier-P dem «in Analysator. Xn der dargestellten Form können zwei

unterschiedliche, auf einer gemeinsamen Analyeatorwachaelvorriohtung 22 montiert· Analyeatoren 31, 33 vorgesehen sein.

Betrachten wir nunmehr den Fall, daß der Polarisator 9 um einen Winkel von 90° gedreht wird, so hat da· von ihm ausgehende linear polarisierte Liehtetrahlenbündel eine solohe Schwingungsebene, daß es duroh die polarisierende TeI-lersohicht 11 ungehindert durchtreten kann und über ein Pentaprisma 2k, ein Kompensationspriema 25 und ein βtrahlenversetzendee Hhomboldprisma 26 zum zweiten Objektiv 27

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mit nachgeschaltetem λ/4-Plättohen 28 und von da aus auf das Objekt 18 gelangt. Das rücklaufende zirkulär polarisierte Abbildungsstrahlenbündel erfährt wiederum eine Umwandlung in linear polarisiertes Licht mit um 9° νeranderter Schwingungsebene, so daß das Strahlenbündel nunmehr an der polarisierenden Teilersohioht in Richtung auf das Okular reflektiert wird.

Damit können in Abhängigkeit von der jeweiligen Stellung des Polarisatore 9 entweder Objektdetails nur über das Objektiv 16, oder nach Drehung des Polarisators 9 um 90° Objektdetails nur über das Objektiv 27» oder bei einer Drehung des Polarisators 9 um 45° Objektdetails gleichzeitig mit gleicher Lichtintensität über beide Teilstrahlengänge beobachtet werden. Zu diesem Zweck sind am Polarisator 9 nicht mit dargestellte Vorrichtungen zum exakten Einstellen des Polarisators in gewünschte WinkeIstellungen vorgesehen.

Durch Projektion der Marke einer in die Leuchtfeldblende 7 einsetzbaren Markenblende wird über den Abstand der Zielachsen der Objektive eine feste, auf die Objekte übertragbare Strecke vorgegebene

Das Objektiv 16 kann zusammen mit dem λ/4-Plättohen 17 und dem Hhomboidprisma 15 mit der Schiebelinse 14 eine Baueinheit 29 bilden. Die Bauteile 26 - 28 können ebenfalls eine Baueinheit 30 bilden.

Zur Abstandseinstellung der durch die Objektive und die

Marke gegebenen Zielachsen, sind nicht dargestellte Mittel vorgesehen, welche die Variation der relativen Abstände zwischen den Bauteilen 24, 10 und 13s und damit der Baueinheiten 29 und 30 zueinander gestatten.

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Dabei bleiben gleiohlange Teilstrahlenwege in Bezug auf die Mittelachse 12 des Mittelpriemas 10 erhalten.

Außerdem können die Baueinheiten 29 bzw. 3O um die Mittelaohaen der au· den Pentaprismen I3 bzw. 2k austretenden Beleuohtungastrahlenbündel drehbar gelagert sein.

Es ist möglich, anstelle von Vorrichtungen zum Drehen der Baueinheiten andere Vorrichtungen zu verwenden, welohe das Ansteoken dieser Baueinheiten 29, 30 mit unterschiedlicher f Orientierung zur Objektebene gestatten.

Wie ersichtlich, ist in die Baueinheit 29 eine Schiebelinse 14 eingefügt, welche eine Feinjustage des Strahlenganges ermöglicht.

Die Störlichter aus den Bauteilen zwischen polarisierender Teilersohicht 11 und den λΛ-Plättchen 17 _f 28 bleiben in ihrer Schwingungsrichtung erhalten und werden daher von der polarisierenden Teilerschicht 11 nicht über das Tubuslinsensystem 20, 21 ins Okulr.r 23 geleitet.

k Die Optik des Tubuslinsensystems 20, 21 kann - wie im folgenden ausgeführt - so ausgebildet sein, daß zwei untersohiedliehe Ebenen 18, 19 im Objektraum entweder gleichzeitig oder nacheinander sohsjrf gesehen werden können, ohne eine Nachfokussierung an den Objektiven vornehmen zu müssen.

Vird hinter einem üblichen Mikrolinsensystem 20 eine isotrope Planparallelplatte 21 eingeschoben, so verändert man damit den Strahlengang in dem Sinne, daß eine andere Objektebene scharf abgebildet wird. Nimmt man die Platte 21 wieder heraus, so wird wieder die ursprüngliche Objektebene scharf abgebildet. Die Planparallelplatte 21 kann auch aus einem

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anisotropen Kristallmaterial, beispielsweise aus Kalkspat oder Quarz, bestehen, wobei die optisohe Aohse des Kristalls jeweils parallel zu den beiden Planflächen liegt. Trifft ein von der polarisierenden Teilersohioht 11 kommendes linear polarisiertes Lichtstrahlenbündel nach Verlassen des Linsensystems 20 auf die orientiert gesohnittene Kristallplattβ 21, so spaltet er sich infolge der Anisotropie des Kristalls in zwei linear polarisierte Komponenten auf, deren Sohwingungsebenen senkrecht zueinander stehen. Um die Aufspaltungskomponenten - verursacht durch die anisotropen Bauelemente hinsichtlioh ihrer Teilbildebenen regeln zu können, sind diese Bauelemente drehbar gelagert.

Den Komponenten, die zvri. unterschiedliche Breohzahlen η und n_Q (n 4 hl_o) aufweisen, durcheilen die Platte 21 mit unterschiedlioben Geschwindigkeiten, so daß daraus ein Ganguntersohied resultiert, der von der Dioke der Platte 21 abhängig ist.

Schiebt man nun einen auf der Analysatorwechse!vorrichtung 22 befindlichen normalen Analysator 33 in den Strahlengang, so läßt dieser nur die Strahl-Komponente durch, deren Schwingung»ebene parallel zur Durchlaßrichtung der AnaIysatorfolie liegt. Je nach der azimutalen Stellung des Analysator» 33 kann also die Komponente mit der Brechzahl η , oder diejenige mit der Brechzahl η durch das Okular betrachtet werden. Dato bedeutet, daß wahlweise auf die Objektebenen 18 oder 19 fokussiert werden kann.

Schiebt man dagegen in den Strahlengang den Analysator 31 ein, der aus zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht aufeinander stehenden Analyeatorfoilen besteht, so läßt je eine Folienhälfte je eine linear polarisierte Strahlkomponente hinduroh, so daß mit nur einer Fokus-Einstellung zwei unterschiedliche Objektebenen gleichzeitig

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scharf abgebildet warden können. Die· ist besondere bei Positionierungen in der Halbleiterteohnologie vorteilhaft.

Ee ist selbetveretändlioh, daß an die Stelle de· Okular* 23 ebenso ein Binokular treten kann, wobei dann allerdings die Analyaatorweohaelvorriobtung sweokmäßigerweise vor dem Teiler priaaa des Binokular· angeordnet ist.

Auch können Objektivpaare unterschiedlicher Vergrößerung ™ Anwendung finden, die beispielsweise auf Schiebern oder Revolvern Montiert sein können.

Es ist auch Möglich, Mittel fur die kontinuierliche Rotation des Polarisatore 9 vorzusehen. Oaduroh wird eine seitlich schnell wechselnde Abbildung des linken und rechten Objektfeldes ersielt. Bei einer Rotationsgesohwindigkeit, die der Pliauaerfrequenz des Beobachters entspricht, werden Bilddetails, die auf beiden Objekthälften untersohiejfdlioh sind, hervorgehoben. Daraus aber ergeben sich weitere Anwendung·- Möglichkeiten für das neue Doppelmikroskop, B.B· als Vergleichsmikroskop für kriminalistische Untersuchungen, als b 20 Fehlersuchgerät, Farbvergleiohsgerät u.a.

Die Figur 2 zeigt das gleiche Gerät, wobei die Objektive möglichst dicht nebeneinander stehen« Dazu wurden die Baueinheiten 28, 29 um 180° gedreht und die Baueinheit 29 zusammen mit dem Pentaprisma 13, sowie die Baueinheit 30 zusammen mit dem Pentaprisma 2k in Richtung auf das Mittelprisma 10 bewegt.

In den Figuren 3-6 sind weitere Ausführungabeispiele dargeetellt, wobei einige Details, die in den Figuren 1 und 2 eingezeichnet sind, der Einfachheit halber weggelassen sind.

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Xn der Fig. 3 ist das Pentaprisma I3 ait dem Kompensationsprisma 3k und dem Objektiv 16 mit λ/4-Plättohen 17 zu einer festen Baueinheit 36, und das Pentaprisma 2k mit dem Kompensationsprisma 25 und dem Objektiv 27 mit X/^-Plättchen 28 zu einer Baueinheit 35 zusammengefaßt. Beide Baueinheiten 35, 36 sind unter Beibehaltung gleichlanger Strahlengänge in Bezug auf die Mittelachse 12 des Mittelprismas 10 verschiebbar angeordnet.

In Fig. k sind Umlenkprismen 37* 39 gerätefest angeordnet und die Variierung der Relativabstände der Objektive 16, 27 erfolgt durch Verschiebung der zu je einer Baueinheit 41 und kZ zusammengefaßten Bauelemente kO, 16, 17 bzw· 38, 27, 28.

In Fig. 5 wird eine Darstellung gezeigt, in der in einem Köstersschen Interferenz-Doppelprisma k$ die polarisierende Teilerschicht 11 senkrecht steht. Die strahlenumlenkenden Bauteile bestehen aus einem Pentaprisma 2k und einem Umlenkprisma 50 mit aufgekitteten Kompensationsplatten k6, kl· Die zu Baueinheiten k8_t k9 zusammengefaßten Bauelemente sind in der üblichen Weise verschiebbar angeordnet.

Eine andere Variante ist in Fig. 6 dargestellt. Hier ist das mit einer polarisierenden Teilerschioht 11 versehene Kösterssehe Interferenz-Doppelprisma auf- und abschiebbar in Bezug auf die feststehende Beleuchtungestrahlacheβ $k und die feststehende Tubusachse 55 gelagert. Durch mechanisch mit der Auf- und Abbewegung des Prismas k3 gekoppelte Mittel werden - der Strahlspreizung entsprechend - die zu Baueinheiten 52 und 53 zusammengefaßten Elemente 50, 27, 28 xutx UluduMX einerseits und 51, 16, 17 andererseits verschoben.

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Claims (13)

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   Ansprüche

   .j Doppelmikroskop mit veränderbarem Abstand zweier jeweils eine gleiche Ebene abbildende Objektive und einer gemeinsamen Beleuchtungseinrichtung für beide Objektfelder, daduroh gekennzeichnet, daß in der Beleuchtungseinrichtung ein Polarisator (9) angeordnet ist, daß zur Strahlenaufspaltung für die gleichzeitige oder wechselweise Beleuchtung beider Objektfelder ein polarisierender Strahlenteiler (11) vorhanden ist, daß Mittel (13, 24, 37-40, 44, 45_t 50) für die Umlenkung der polarisierten Teilstrahlen in Richtung auf die parallel angeordneten Objektive (16, 27) vorgesehen sind, daß in jedem Beleuohtungsstrahlengang ein λ/4-Plättohen (17, 28) vorgesehen ist, daß ferner die abbildenden Strahlenbündel die genannten Bauteile bis zum Mittelprisma (1O, 43) rückwärts durohlaufen und daß dem Mittelprisma ein von den zusammengeführten abbildenden Strahlenbündeln durchlaufenes Tubuslinsensystem (20, 21), sowie ein Okular (23) nachgeschaltet sind.
2. 2. Doppelmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Mittelprisma (1O, 43) ein Analysator (3I1 33) nachgeordnet ist.
3. 3* Doppelmikroskop naoh Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Analysator (31) aus zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht zueinander orientierten Polarisationsfolien besteht.
4. 4. Doppelmikroskop nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Analysatorwechselvorrlohtung (22) mit einem aus zwei in ihren Durchlaßrichtungen senkrecht zueinander orientierten Polarisationsfolien bestehenden Analysator (31) und einem aus einer Polarisationsfolie bestehenden Analysator (33) vorgesehen ist.

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5. 5. Doppelmikroskop naoh Anapruoh 1, daduroh gekennzeichnet, daß Mittel zum Variieren der RelativabstMnde zwischen der Mittelachse des Mittelprisaas (1O, 43) und den Zielachsen der Objektive (16, 27) vorgesehen sind.
6. 6. Doppelmikroskop nach Anspruch 5t daduroh gekennzeichnet, daß jedes Objektiv (16, 27) alt einem vorgeschalteten, strahlenversetzenden Bauteil (15» 26) und einem naohgeschalteten λ/4-Plättohen (17, 28) je eine Baueinheit (29, 30) bildet und daß jede dieser beiden Baueinheiten tue die Mittelachse des das jeweilige strahlenumlenkende Bauteil (13, 24) verlassenden polarisierten Beleuohtungsstrahle drehbar gelagert ist.
7. 7· Doppelaikroskop nach einea der Auaprüohe 1 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß die λ/4-Plättchen (17, 28) bei der Drehung der Baueinheiten (29, 30) in ihrer Orientierung zur Schwingungsrichtung des einfallenden Lichtes durch Mittel zum Nachdrehen festgehalten werden.
8. 8. Doppelaikroakop nach Anspruch 5, daduroh gekennzeichnet, daß jedes Objektiv Mit einem vorgeschalteten, strahlenversetzenden Bauteil und einem naohgesohalteten λ/4-Plättchen je eine Baueinheit bildet und daß jede dieser beiden Baueinheiten in Bezug auf das Objektfeld in unterschiedlicher Orientierung steckbar ist.
9. 9· Doppelaiikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Antrieb zum kontinuierlichen Rotieren des Polarisatore (9) vorgesehen ist.
10. 10. Doppelmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im Beleuchtungastrahlengang eine Bezugsmarke vorgesehen Ist.

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11. 11. Doppelaikroakop naoh Anapruoh 1, dadurch gekennzeichnet, daß dia Beleuchtungaeinriohtung einen Lichtleiter (5) uafaßt.
12. 12. Doppe laiikroakop na oh Anapruoh 1, dadurch gekennzeichnet, daß daa Tubualinaenayatea (20, 21) aua einer Kombination von aindeatena einer iaotropen Linae (20) und einer planparallelen iaotropen Platte (21) beateht.

    .
13. 13. Doppelaikroakop nach einea der Anaprüche 1 oder 12, da-" durch gekennzeichnet, daß die planparallele iaotrope

    Platte (21) in den Strahlengang ein- und auaschiebbar iat.

    Ik* Doppelaikroakop naoh Anapruoh 1, dadurch gekennzeichnet, daß daa Tubualinaenayatea (20, 21) aua einer Kombination von aindeatena einer iaotropen Linae (20) und einer anisotropen Kriatallplatte (21) beateht.

    15* Doppelaikroakop naoh Anapruoh 1, dadurch gekennzeichnet, daß daa Tubualinaenayatea (20, 21) ana einer Kombination von aindeatena einer iaotropen Linae und einer aniaotropen Kristallin.« beateht.

    16. Doppelaikroakop naoh den Anaprüchen Ik und 15, dadurch gekennzeichnet, daß die aniaotropen Bauelemente drehbar angeordnet aind.

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