JP2000174099A - 薄板状部材移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 水平薄板状部材を上下に間隔をおいた状態で
保持しかつ間隔を調整し得る構成移載装置において構成
の簡単かつ安価にする。 【解決手段】 少なくとも水平方向に移動する移載ヘッ
ド４を備え、移載ヘッド４に、上下に並べてかつ相対的
に上下動自在に薄板状部材保持ハンド６Ａ，６Ｂ，６Ｃ
が取り付けられ、各薄板状部材保持ハンド６Ａ，６Ｂ，
６Ｃにそれぞれ薄板状部材保持部６ａが上下に間隔をお
いて設けられている。最も上に位置する薄板状部材保持
ハンド６Ｂおよび最も下に位置する薄板状部材保持ハン
ド６Ａのうちの一方のハンド６Ａが、移載ヘッド４に固
定され、他方のハンド６Ｂが、上下移動手段により上下
に移動されるようになされ、各薄板状部材保持ハンド６
Ａ，６Ｂ，６Ｃが、上下移動手段により保持ハンド６Ｂ
を上下に移動させたさいに、隣り合う保持部間の間隔を
等しく保つリンク機構２０Ａ，２０Ｂにより連結されて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、酸化、アニーリン
グ、ＣＶＤおよび拡散などの熱処理を行うさいに、処理
される複数の水平薄板状部材を上下に間隔をおいた状態
で保持して移載する薄板状部材移載装置に関する。詳し
くは、カセットとボート間において各種薄板状をなす基
盤などの被処理物の受け渡しを行う移載装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、被処理物の大型化に伴って均一性
向上の面から処理時における上下に隣り合う薄板状をな
す被処理物の間隔、すなわちボートに被処理物を載置し
たさいの被処理物同士の間隔を大きくする必要が生じて
いる。しかし、カセットに被処理物を保持しているさい
の上下に隣り合う被処理物同士の間隔を、ボートにおけ
る被処理物同士の間隔に合わせて大きくすると装置が大
型化するという問題がある。そこで、隣り合う被処理物
の間隔を変化させうる移載装置を用意し、カセットにお
いては隣り合う被処理物の間隔を小さくして保持し、小
さな間隔で隣り合う被処理物をカセットから取り出し、
ボートに被処理物を載置するさいに隣り合う被処理物の
間隔を大きくして供給することが提案されている。

【０００３】例えば、特開平５−２３５１４７号公報に
は、水平方向に移動させられる移動ヘッドと、上下に並
べてかつ相対的に上下動自在に移載ヘッドに取り付けら
れた薄板状部材保持ハンドとを備えたものが記載されて
いる。この移載装置においては、各薄板状部材保持ハン
ドにそれぞれ薄板状部材保持部が設けられ、最も下に位
置する薄板状部材保持ハンドが、移載ヘッドに固定さ
れ、残りの板状部材が、それぞれ垂直に伸びるねじ軸に
上下動自在に取り付けられている。

【０００４】そして、各ねじ軸を例えば、それぞれステ
ッピングモータにより回転させることで、板状部材を上
下に移動させ、隣り合う薄板状部材保持部の間隔を変化
させるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記、移載装置の場
合、固定された薄板状部材保持ハンドを除く薄板状部材
保持ハンドがそれぞれねじ軸に取付られ、各ねじ軸をそ
れぞれ別個のステッピングモータにより回転駆動する必
要があるため、移載装置の構成が複雑になり、移載装置
が高価になるという問題がある。さらに、移載装置の複
雑化は、装置の大型化や重量増という問題をも招く。

【０００６】上記課題を解決するために、特開平８−２
０８００５号公報には、カム溝機構により薄板状部材保
持ハンド同士の間隔を変化させるものが記載されてい
る。しかし、カム溝機構を用いて薄板状部材保持ハンド
を上下動させる機構を採用すると保持部の間隔の微調整
が困難であるという問題がある。また、間隔の変化する
速度が一定でないという問題もある。さらに、カム溝機
構においては、薄板状部材保持ハンドを中間位置で停止
させることが困難であるため、薄板状部材保持ハンド
は、最も上まで移動した位置および最も下まで移動した
位置の二つの位置しか取ることができないという問題も
ある。

【０００７】本発明の目的は、上記課題を解決した、構
成の簡単かつ安価な移載装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記課
題を解決するために、本発明の移載装置は、複数の水平
薄板状部材を上下に間隔をおいた状態で保持する薄板状
部材移載装置であって、少なくとも水平方向に移動する
移載ヘッドを備え、移載ヘッドに、上下に並べてかつ相
対的に上下動自在に薄板状部材保持ハンドが取り付けら
れ、各薄板状部材保持ハンドにそれぞれ薄板状部材保持
部が上下に間隔をおいて設けられ、最も上に位置する薄
板状部材保持ハンドおよび最も下に位置する薄板状部材
保持ハンドのうちの一方が、移載ヘッドに固定され、他
方の保持ハンドが、上下移動手段により上下に移動され
るようになされ、各薄板状部材保持ハンドが、上下移動
手段により保持ハンドを上下に移動させたさいに、隣り
合う保持部間の間隔を等しく保つリンク機構により連結
されていることを特徴とするものである。

【０００９】この移載装置においては、保持ハンドが互
いにリンク機構で連結されているので、１つの保持ハン
ドを上下動させることにより、固定された保持ハンドを
除くハンドを上下に移動させることができ、移載装置の
構成が簡単になり移載装置が安価になる。

【００１０】上記の移載装置において、上下移動手段
が、移動ねじと、薄板状部材保持ハンドの上下動を案内
する案内手段とにより構成され、移動ねじが垂直方向に
伸びる雄ねじ状部材と、薄板状部材保持ハンドに形成さ
れ、かつ雄ねじ状部材にねじ合わされた雌ねじ状部材
と、雄ねじ状部材を回転駆動する駆動手段とを備えてい
ることがある。

【００１１】このようにすれば、上下移動手段を簡単に
構成することができる。

【００１２】また、リンク機構が、移載ヘッドに固定さ
れた薄板状部材保持ハンドに水平軸回りに回転自在に取
り付けられた第１リンクと、残りの各薄板状部材保持ハ
ンドに水平軸回りに回転自在に取り付けられた第２リン
クとを有し、第１リンクおよび第２リンクのハンドに対
する回転中心が同一垂直線上に位置するように取り付け
られ、第１リンクに、第２リンクが、それぞれ水平軸回
りに互いに回転自在に取り付けられており、各第２リン
クの第１リンクに対する回転中心と第１リンクのハンド
に対する回転中心との距離が、第１リンクのハンドに対
する回転中心と各第２リンクのハンドに対する回転中心
との距離に対応し、かつ第１リンクのハンドに対する回
転中心とこれと隣り合う第２リンクの第１リンクに対す
る回転中心との距離および隣り合う第２リンクの第１リ
ンクに対する回転中心同士の距離が等しいことがある。

【００１３】このようにすれば、リンク機構を簡単に構
成することができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図７を参照して本発
明の１実施形態の移載装置について説明する。なお、以
下の説明において前後左右は図１を基準とするものと
し、図１の右を前、図１の後を左といい、図１の紙面表
側を左、紙面裏側を右というものとする。

【００１５】図１に示したように、移載装置は、ベース
(1) と、これの上方に設けられた第１アーム(2) と、第
１アーム(2) に取り付けられた第２アーム(3) と、第２
アーム(3) に取り付けられた移載ヘッド(4) とを備えて
いる。

【００１６】ベース(1) 内には第１、第２アーム(2)(3)
を駆動する駆動装置が収められている。そして、第１ア
ーム(2)(3)は水平面内で回転しうるとともに上下に移動
することができ、移載ヘッド(4) によって例えばカセッ
トに収められた複数の薄板状被処理物(P) を、一度にボ
ートに移載し得るようになっている。なお、第１、第２
アーム(2)(3)を駆動する機構は公知であり、詳細な説明
は省略する。

【００１７】移載ヘッド(4) は、断面が前方開口コ字状
をなすアーム取付部材(5) を有している。取付部材(5)
における上下水平壁の前端左右部には支柱部材(7) がそ
れぞれ設けられている。

【００１８】アーム取付部材(5) の上下水平壁の間に
は、薄板状部材保持ハンド(6) が上下に並べて取り付け
られている。各保持ハンド(6) は水平板状をなすととも
に前端部に、他部に比して厚さの薄い薄板状部材保持部
(6a)が上下に間隔をおいて設けられ、この部分に薄板状
の被処理物(P) が保持されるようになされている。な
お、隣り合う保持部(6a)同士の間隔は、図５に示したよ
うにハンド(6) が互いに重なり合った状態で、等しくな
るようになっている。保持部(6a)の構成は従来のものと
変わりない。

【００１９】ハンド(6) は、以下に述べるようにして相
対的に上下動自在に設けられている。なお、以下の説明
において必要があるさいは、最も下のハンドを符号(6A)
で、最も上のハンドを符号(6B)で、他のハンドを符号(6
C)で示す。

【００２０】最も下に位置するハンド(6A)は、取付部材
(5) の下水平壁上面に固定されている。そして、ハンド
(6) の左右部をそれぞれ上下に伸びる４本の棒状部材
(9) が貫通している。棒状部材(9) は、隣り合う２つの
ハンド(6) に形成されたボス部(6b)を接触状にかつ摺動
自在に貫通し、他の３つのハンド(6) については非接触
状に貫通している。このように棒状部材(9) とハンド
(6) に形成されたボス部(6b)とによりハンド(6) が上下
方向に正しく案内されるようになされている。

【００２１】ハンド(6) の中央部にはそれぞれ貫通孔(6
c)が形成されている。最も上のハンド(6B)の貫通孔(6c)
は他のハンド(6A)(6C)の貫通孔(6c)に比しやや径が小さ
く、この貫通孔(6c)にナット状部材（雌ねじ状部材）(1
0)が固定状に嵌め入れられている。図３に示したように
各ハンド(6) が互いに重なり合って状態ではナット状部
材(10)の下端は下から２番目のハンド(6) の貫通孔(6c)
内に位置している。ナット状部材(10)は、他のハンド(6
A)(6C)には接触しておらず、他のハンド(6A)(6C)は、ナ
ット状部材(10)に対して移動自在である。一方、ナット
状部材(10)の上端はフランジ状をなし、最も上のハンド
(6B)の上面に位置している。

【００２２】そして、最も上に位置するハンド(6B)が以
下のような構成により上下に移動させられる。ナット状
部材(10)には上下に伸びる雄ねじ状部材(11)が、図示を
省略したボールを介してねじはめられている。雄ねじ状
部材(11)の上端には、取付部材(5) の上水平壁に設けら
れたボス部を回転自在に貫通して上方にのびる軸部材(1
2)が設けられている。軸部材(12)の上端にはプーリ(13)
が固定され、このプーリ(13)と、取付部材(5) の左方に
配されたステッピングモータ(15)のモータ軸に固定され
ているプーリ(14)とにベルト(16)がかけられている。

【００２３】次に、最も上のハンド(6B)を上下に移動さ
せたさいに、隣り合う保持部(6a)同士の間隔を等しく保
つリンク機構について説明する。各薄板状部材保持ハン
ド(6) の後縁左右部にそれぞれ切欠が形成され、この切
欠内に、それぞれリンク(20)がハンド(6) に対して水平
軸回りに回転自在にかつ回転中心が同一垂直線上に位置
するように取り付けられている。なお、本明細書におい
て最も下のハンド(6A)に取り付けられたリンクすなわち
最も下のリンクを第１リンクと呼んで符号(20A) で示
し、他のハンド(6B)(6C)に取り付けられたリンクを第２
リンクと呼んで符号(20B) で示す。

【００２４】第２リンク(20B) は、下に位置するハンド
(6B)(6C)に取り付けられたものほど長さが短く、例え
ば、下から２番目に位置するハンド(6C)に取り付けられ
た第２リンク(20B) の長さを１とすれば、下から３番目
に位置するハンド(6C)に取り付けられた第２リンク(20
B) の長さが２となり、最も上に位置するハンド(6B)に
取り付けられた第２リンク(20B) の長さは４となる。す
なわち、隣り合うハンド(6C)(6B)における上側のハンド
(6C)(6B)に取り付けられた第２リンク(20B) は、下側の
ハンド(6C)(6B)に取り付けられた第２リンク(20B) に比
し、下から２番目に位置するハンド(6C)に取り付けられ
た第２リンク(20B) の長さ分だけ長くなるようになされ
ている。

【００２５】第１、第２リンク(20A)(20B)は、それぞれ
前端部において各ハンド(6) に取り付けられている。す
なわち第１、第２リンク(20A)(20B)の各ハンド(6) に対
する回転中心は第１、第２リンク(20A)(20B)の前端部と
なっている。そして、第１リンク(20A) に、第２リンク
(20B) の後端部が、水平軸回りに互いに回転自在に取り
付けられている。

【００２６】また、各第２リンク(20B) の第１リンク(2
0A) に対する回転中心と第１リンク(20A) のハンド(6A)
に対する回転中心との距離が、第１リンク(20A) のハン
ド(6A)に対する回転中心と各第２リンク(20B) のハンド
(6B)(6C)に対する回転中心との距離に対応している。す
なわち、もっとも上のハンド(6B)に取り付けられた第２
リンク(20B) は、第１リンク(20A) の後端部に取り付け
られ、下から２番目のハンド(6C)に取り付けられた第２
リンク(20B) は、第１リンク(20A) の前端部に最も近い
位置に取り付けられている。

【００２７】さらに、第１リンク(20A) のハンド(6A)に
対する回転中心とこれと隣り合う第２リンク(20B) の第
１リンク(20A) に対する回転中心との距離および隣り合
う第２リンク(20B) の第１リンク(20A) に対する回転中
心同士の距離が等しくなるように取り付けられている。

【００２８】上記のように構成された移載装置において
は、モータ(15)の軸の回転がプーリ(14)、ベルト(16)お
よびプーリ(13)を介して軸部材(12)に伝達され、雄ねじ
状部材(11)が軸部材(12)と一体に回転する。雄ねじ状部
材(11)が回転するとこれにねじ合わされたナット状部材
(10)および上のハンド(6B)が一体に上昇または下降す
る。

【００２９】例えば、図５に示したように、各ハンド
(6) が互いに重なり合った状態において雄ねじ状部材(1
1)が、最も上のハンド(6B)を上昇させるように回転し、
ハンド(6B)が上昇すると、最も下のハンド(6A)を除くハ
ンド(6C)が最も上のハンド(6B)の上昇に伴い上昇させら
れる。

【００３０】また、図５および図６に示したように、第
１リンク(20A) のハンド(6A)に対する回転中心、各第２
リンク(20B) の第１リンク(20A) に対する回転中心およ
び各第２リンク(20B) のハンド(6B)(6C)に対する回転中
心を結んだ各三角形を考えると、第１リンク(20A) のハ
ンド(6A)に対する回転中心と各第２リンク(20B) の第１
リンク(20A) に対する回転中心との距離の比および各第
２リンク(20B) の第１リンク(20A) に対する回転中心と
各第２リンク(20B) のハンド(6B)(6C)に対する回転中心
との距離の比が常に等しくなり、各三角形は常に相似形
をなす。さらに、各三角形の相似比は、各第２リンク(2
0B) の長さの比に等しくなる。そして、各第２リンク(2
0B) の長さの比は、１：２：３：４であるから、隣り合
うハンド(6A)(6B)(6C)が離れたさいの隣り合う保持部(6
a)同士の間隔は常に等しくなる。

【００３１】このように上記の移載装置においては、モ
ータ(15)の軸の回転量を調整することで、隣り合う保持
部(6a)同士の間隔を常に等しく保ったまま保持部(6a)同
士の間隔を任意の値に調整することができる。したがっ
て、例えば、小さい間隔をあけてカセットに載置されて
いる被処理物(P) を一度に取り出すことができ、これら
の被処理物(P) における隣り合うもの同士の間隔を大き
くした後にボートに載置することができる。

【００３２】なお、移載装置の各部構成は適宜変更可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施形態の移載装置の左側面図であ
る。

【図２】同移載装置の要部の正面図である。

【図３】図２におけるIII-III 線に沿う断面図である。

【図４】図２におけるIV-IV 線に沿う断面図である。

【図５】同移載装置における薄板状部材保持部同士の間
隔が最小になされたときの要部の垂直断面図である。

【図６】同移載装置おける薄板状部材保持部同士の間隔
が大きくなされたときの要部の垂直断面図である。

【図７】同移載装置の一部切欠平面図である。

【符号の説明】

(4) 移載ヘッド (6A) 最も下のハンド (6B) 最も上のハンド (6C) 残りのハンド (6a) 薄板状部材保持部 (10) 上下移動手段を構成する雌ねじ状部材（ナッ
ト状部材） (11) 上下移動手段を構成する雄ねじ状部材 (15) 上下移動手段を構成するステッピングモータ (20A) 第１リンク (20B) 第２リンク (P) 被処理物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3F061 AA03 BA02 BE05 BF00 DB04 5F031 CA02 FA13 FA25 GA03 GA43 GA50 LA09 LA12 MA28 MA29 MA30

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の水平薄板状部材を上下に間隔をお
   いた状態で保持する薄板状部材移載装置であって、 少なくとも水平方向に移動する移載ヘッドを備え、 移載ヘッドに、上下に並べてかつ相対的に上下動自在に
   薄板状部材保持ハンドが取り付けられ、 各薄板状部材保持ハンドにそれぞれ薄板状部材保持部が
   上下に間隔をおいて設けられ、 最も上に位置する薄板状部材保持ハンドおよび最も下に
   位置する薄板状部材保持ハンドのうちの一方が、移載ヘ
   ッドに固定され、他方の保持ハンドが、上下移動手段に
   より上下に移動されるようになされ、 各薄板状部材保持ハンドが、上下移動手段により保持ハ
   ンドを上下に移動させたさいに、隣り合う保持部間の間
   隔を等しく保つリンク機構により連結されていることを
   特徴とする薄板状部材移載装置。
2. 【請求項２】 上下移動手段が、移動ねじと、薄板状部
   材保持ハンドの上下動を案内する案内手段とにより構成
   され、 移動ねじが垂直方向に伸びる雄ねじ状部材と、薄板状部
   材保持ハンドに形成され、かつ雄ねじ状部材にねじ合わ
   された雌ねじ状部材と、雄ねじ状部材を回転駆動する駆
   動手段とを備えていることを特徴とする請求項１記載の
   移載装置。
3. 【請求項３】 リンク機構が、移載ヘッドに固定された
   薄板状部材保持ハンドに水平軸回りに回転自在に取り付
   けられた第１リンクと、残りの各薄板状部材保持ハンド
   に水平軸回りに回転自在に取り付けられた第２リンクと
   を有し、第１リンクおよび第２リンクのハンドに対する
   回転中心が同一垂直線上に位置するように取り付けら
   れ、 第１リンクに、第２リンクが、それぞれ水平軸回りに互
   いに回転自在に取り付けられており、 各第２リンクの第１リンクに対する回転中心と第１リン
   クのハンドに対する回転中心との距離が、第１リンクの
   ハンドに対する回転中心と各第２リンクのハンドに対す
   る回転中心との距離に対応し、かつ第１リンクのハンド
   に対する回転中心とこれと隣り合う第２リンクの第１リ
   ンクに対する回転中心との距離および隣り合う第２リン
   クの第１リンクに対する回転中心同士の距離が等しいこ
   とを特徴とする請求項１または２に記載の薄板状部材移
   載装置。