JP2000162142A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項１】 ウェハを載置し、この載置されたウェハを少なくとも所定角度回転可能にしたウェハ載置手段と、
前記ウェハの中心方向に延出される複数のウェハ保持部を有し、前記ウェハを前記複数のウェハ保持部により前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの一方面を吸着保持するとともに、該ウェハを回動させてウェハの一方面の観察を可能にしたウェハ保持手段と、
前記ウェハの一方面を観察の後、前記ウェハ保持手段による再度の一方面の観察を行う際に、前記ウェハの一方面の未検査領域と重ならない位置を前記ウェハ保持部が保持するよう制御する制御手段とを具備したことを特徴とするウェハ検査装置。
【請求項２】前記制御手段は、前記ウェハの一方面を観察の後、このウェハを前記ウェハ載置手段に載置した状態で、該ウェハ載置手段を所定角度回転させるよう制御することを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項３】前記制御手段は、前記ウェハの一方面の観察の後に再度ウェハを前記ウェハ載置手段に載置させ、該ウェハを前記ウェハ載置手段により所定角度回転させるとともに前記ウェハ保持手段を回動させることを特徴とする請求項１または２に記載のウェハ検査装置。
【請求項４】 前記制御手段は、前記ウェハ載置手段を前記ウェハ保持部の幅寸法より大きい移動量が得られる回転角度で回転させることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項５】前記制御手段は、前記ウエハの一方面の観察が２回目であるか判断を行う機能を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項６】前記載置手段は、前記ウェハのマクロ観察を可能とするため旋回動作および所定角度の回転動作を行うことを特徴とする請求項１から５に記載のウェハ検査装置。
【請求項７】 前記ウェハ保持手段は、前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの裏面から前記複数のウェハ保持部により吸着保持することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項８】複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出すウェハ搬送手段を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のウェハ検査装置
【請求項９】複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出し、
前記取り出されたウェハをセンターテーブルへ受け渡し、
前記センターテーブルへ受け渡されたウェハを複数のウェハ保持部により前記ウエハの裏面を吸着保持し、この保持されたウェハを裏面観察のために回動し、
前記回動されたウェハを表面に戻した状態で前記センターテーブルに受け渡し、
前記センターテーブルへ受け渡された前記ウェハの裏面の未検査領域と重ならない位置を前記複数のウェハ保持部が保持するよう前記センターテーブルを所定角度回転し、
前記所定角度回転されたウェハを前記複数のウェハ保持部により裏面を吸着保持し、
この保持されたウェハの裏面を観察するために再度回動することを特徴とするウェハ検査方法。
【請求項１】 ウェハを載置し、この載置されたウェハを少なくとも所定角度回転可能にしたウェハ載置手段と、
前記ウェハの中心方向に延出される複数のウェハ保持部を有し、前記ウェハを前記複数のウェハ保持部により前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの一方面を吸着保持するとともに、該ウェハを回動させてウェハの一方面の観察を可能にしたウェハ保持手段と、
前記ウェハの一方面を観察の後、前記ウェハ保持手段による再度の一方面の観察を行う際に、前記ウェハの一方面の未検査領域と重ならない位置を前記ウェハ保持部が保持するよう制御する制御手段とを具備したことを特徴とするウェハ検査装置。
【請求項２】前記制御手段は、前記ウェハの一方面を観察の後、このウェハを前記ウェハ載置手段に載置した状態で、該ウェハ載置手段を所定角度回転させるよう制御することを特徴とする請求項１に記載のウェハ検査装置。
【請求項３】前記制御手段は、前記ウェハの一方面の観察の後に再度ウェハを前記ウェハ載置手段に載置させ、該ウェハを前記ウェハ載置手段により所定角度回転させるとともに前記ウェハ保持手段を回動させることを特徴とする請求項１または２に記載のウェハ検査装置。
【請求項４】 前記制御手段は、前記ウェハ載置手段を前記ウェハ保持部の幅寸法より大きい移動量が得られる回転角度で回転させることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項５】前記制御手段は、前記ウエハの一方面の観察が２回目であるか判断を行う機能を有することを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項６】前記載置手段は、前記ウェハのマクロ観察を可能とするため旋回動作および所定角度の回転動作を行うことを特徴とする請求項１から５に記載のウェハ検査装置。
【請求項７】 前記ウェハ保持手段は、前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの裏面から前記複数のウェハ保持部により吸着保持することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のウェハ検査装置。
【請求項８】複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出すウェハ搬送手段を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のウェハ検査装置
【請求項９】複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出し、
前記取り出されたウェハをセンターテーブルへ受け渡し、
前記センターテーブルへ受け渡されたウェハを複数のウェハ保持部により前記ウエハの裏面を吸着保持し、この保持されたウェハを裏面観察のために回動し、
前記回動されたウェハを表面に戻した状態で前記センターテーブルに受け渡し、
前記センターテーブルへ受け渡された前記ウェハの裏面の未検査領域と重ならない位置を前記複数のウェハ保持部が保持するよう前記センターテーブルを所定角度回転し、
前記所定角度回転されたウェハを前記複数のウェハ保持部により裏面を吸着保持し、
この保持されたウェハの裏面を観察するために再度回動することを特徴とするウェハ検査方法。
【０００５】
【課題を解決するための手段】 本発明は、ウェハを載置し、この載置されたウェハを少なくとも所定角度回転可能にしたウェハ載置手段と、前記ウェハの中心方向に延出される複数のウェハ保持部を有し、前記ウェハを前記複数のウェハ保持部により前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの一方面を吸着保持するとともに、該ウェハを回動させてウェハの一方面の観察を可能にしたウェハ保持手段と、前記ウェハの一方面を観察の後、前記ウェハ保持手段による再度の一方面の観察を行う際に、前記ウェハの一方面の未検査領域と重ならない位置を前記ウェハ保持部が保持するよう制御する制御手段とにより構成している。
【課題を解決するための手段】 本発明は、ウェハを載置し、この載置されたウェハを少なくとも所定角度回転可能にしたウェハ載置手段と、前記ウェハの中心方向に延出される複数のウェハ保持部を有し、前記ウェハを前記複数のウェハ保持部により前記ウェハ載置手段に載置されたウェハの一方面を吸着保持するとともに、該ウェハを回動させてウェハの一方面の観察を可能にしたウェハ保持手段と、前記ウェハの一方面を観察の後、前記ウェハ保持手段による再度の一方面の観察を行う際に、前記ウェハの一方面の未検査領域と重ならない位置を前記ウェハ保持部が保持するよう制御する制御手段とにより構成している。
また、本発明は、複数のウェハを保持したウェハ保持体から所望するウェハを取り出し、前記取り出されたウェハをセンターテーブルへ受け渡し、前記センターテーブルへ受け渡されたウェハを複数のウェハ保持部により前記ウエハの裏面を吸着保持し、この保持されたウェハを裏面観察のために回動し、前記回動されたウェハを表面に戻した状態で前記センターテーブルに受け渡し、前記センターテーブルへ受け渡された前記ウェハの裏面の未検査領域と重ならない位置を前記複数のウェハ保持部が保持するよう前記センターテーブルを所定角度回転し、前記所定角度回転されたウェハを前記複数のウェハ保持部により裏面を吸着保持し、この保持されたウェハの裏面を観察するために再度回動することを特徴としている。
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