JPH08203981A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 ウエハの検査、製造を、自動あるいは半自動
で行なうウエハ搬送装置に関し、時間あたりのウエハ処
理枚数の向上および省スペース化を図った。 【構成】 ウエハ搬送装置１はウエハ平面内の回転方向
の位置合わせと、ウエハを一定高さまで持ち上げた後、
傾斜回転とを行なう。搬送アーム４、センタリング用コ
マ５、ウエハチャック６、ウエハ傾斜・回転機構７、セ
ンサ８、回動部材１７より構成される。２はＸＹ・θ方
向の位置合わせと、ウエハの直交ＸＹ方向の移動とを行
なう。ウエハチャック９、位置合わせ用コマ１０、ＸＹ
方向水平移動機構１１および搬送アーム１２より構成さ
れる。３はウエハ収納用カセットを上下に移動し、所定
高さに位置決めを行なうカセット台である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハの検査、製造
を、自動あるいは半自動で行なうためのウエハ搬送装置
に関し、時間あたりのウエハ処理枚数（以後、スループ
ットと呼ぶ）の向上および省スペース化を図ったウエハ
搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】周知の通り、半導体素子の製造、検査等
の市場要求として、装置の専有面積が小さいことと、短
時間で処理を行なえることがある。例えばウエハ外観検
査においては、室内の塵埃を少なくするよう設計された
運用コストの高いクリーンルームの中で、顕微鏡等を用
いて人手によりウエハの観察および検査判定を行なうこ
とが多い。従って、装置専有面積が出来る限り小さいこ
とが必要とされる。

【０００３】また短時間で効率の良い作業を行なうに
は、観察者の待ち時間（任意の観察しているウエハが、
検査判定されてから、次のウエハが送られ、観察可能と
なるまでの時間。以後、ウエハ交換時間と呼ぶ）が出来
る限り短いことが必要とされる。

【０００４】図４は、従来のウエハ外観検査装置に用い
られているウエハ搬送装置の一例の概要図である。同図
において、３はカセット台、５はセンタリング用コマ、
６，９はウエハを保持するチャック、８はウエハ回転方
向位置合わせ用センサ、１０は位置合わせ用コマ、１１
はＸＹ方向水平移動機構、２１はウエハ処理装置内搬送
装置、２２はウエハ搬送装置としてのアーム、２３はカ
セット内ウエハ搬送装置、２４はウエハ回転方向位置合
わせ装置である。各装置２１〜２４は別々に配置されて
いる。

【０００５】図５は、図４の検査装置におけるウエハ交
換に関するフローの概要図である。また、図６は図５の
フローを理解するための搬送装置の各チャックの高さの
位置Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５およびＳ８，Ｓ９を示す図であ
る。検査判定済ウエハは、直交ＸＹ方向水平移動機構１
１が受け渡し位置に移動終了した後、ウエハ搬送アーム
２２に渡されている。すなわち、水平移動機構１１が移
動して処理済ウエハ１６が受け渡し位置Ｓ１に到着する
と、アーム２２が反時計回り（ＣＣＷ）方向に９０°回
転し、そのウエハ支持部２５，２６はそれぞれチャック
６（図６のＳ４）に保持された未処理ウエハ１５および
チャック９（図６のＳ８）に保持された処理済ウエハ１
６の下方に位置する。そして、チャック６，９が下がる
ことにより、アーム２２がウエハ１５と１６を受け取
る。チャック６，９は図６のＳ３，Ｓ９の位置まで下が
る。アーム２２は、さらに１８０°回転し、未処理ウエ
ハと処理済ウエハをそれぞれチャック９と６の上方に位
置させる。チャック９と６は再び図６のＳ８，Ｓ４の位
置まで上がり、アーム２２から各ウエハを受け取る。ア
ーム２２は時計回り（ＣＷ）方向に９０°回転し図４に
示した状態で次のウエハ受け渡しを待機する。ここで、
未処理ウエハのウエハ平面内のＸＹθ方向の位置合わせ
は、チャック９が上昇してアーム２２からウエハを受け
取り、さらにアーム２２がウエハ下から移動した後、チ
ャック９がアーム２２からの搬送装置のウエハ受け渡し
高さ（図６のＳ８）より下がった高さで行なわれ、その
後再び受け渡し高さ（処理高さと同一高さＳ８）に上が
って検査が開始される。Ｓ２は処理位置、すなわちウエ
ハ表面検査用の顕微鏡の視野内の位置である。一方、カ
セット内ウエハ搬送装置２３は、チャック６に受け渡さ
れた処理済ウエハをカセット台３上に載置されたカセッ
ト（不図示）に収納し、次いでこのカセット内の未処理
ウエハを取り出してチャック６に受け渡す。この処理
は、次の処理済ウエハが前記受け渡し位置Ｓ１に到来す
る前に終了する。

【０００６】このように、従来例においては、前のウエ
ハの検査を終了した後、次のウエハが処理（検査）位置
に送られてくるまでの時間、すなわちウエハ交換時間が
比較的長いという問題があった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な背景に基づき、ウエハ外観検査装置等の処理装置にお
いて、ウエハ交換時間が短く、スループット（単位時間
あたりのウエハ処理枚数）の向上したウエハ搬送装置を
提供することを目的とする。また、装置専有面積の小さ
いウエハ搬送装置を提供することをさらなる目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段および作用】上記の目的を
達成するため、本発明の第１の態様では、未処理ウエハ
収納位置から取り出したウエハおよび処理済ウエハ収納
位置へ収納するウエハを択一的に保持する第一の保持手
段と、所定の受け渡し位置で上昇して未処理のウエハを
受け取ってから所定の処理位置で該ウエハに対し所定の
処理が施され次いで前記受け渡し位置で下降して処理済
のウエハを引き渡すまでの間、該ウエハをほぼ水平状態
で保持する第二の保持手段と、第一の保持手段から未処
理のウエハを、第二の保持手段から処理済のウエハを受
け取ってそれぞれ第二および第一の保持手段に引き渡す
ウエハ入替え手段と、前記入替え手段から第二の保持手
段に引き渡されたウエハの側面の複数箇所に位置合わせ
用コマを当てることにより該ウエハを該ウエハ平面内で
ＸＹおよびθ方向に位置合わせする位置合わせ手段と、
第二の保持手段を搭載して直交ＸＹ方向に水平移動し前
記ウエハを前記受け渡し位置と前記処理位置との間で搬
送する移動手段とを具備するウエハ搬送装置において、
前記位置合わせ手段は、前記入替え手段から第二の保持
手段に受け渡された未処理ウエハをその受け渡された高
さ位置で位置合わせすることを特徴とする。この構成に
よれば、第二の保持手段がウエハ交換手段からウエハを
受け取った時点でウエハはウエハ入替え手段よりも上方
に位置するため、位置合わせ手段はウエハ入替え手段が
ウエハ下から退避するまで待つことなく位置合わせを開
始することができ、ウエハ入替え手段がウエハ下から退
避するまでの時間、ウエハ交換時間を短縮することがで
きる。

【０００９】本発明の第２の態様では、前記ウエハ入替
え手段を、第一の保持手段の保持する未処理ウエハを第
二の保持手段に受け渡す第一のアーム手段と、第二の保
持手段の保持する処理済ウエハを第一の保持手段に受け
渡す第二のアーム手段とに分け、第二のアーム手段を前
記移動手段に搭載することにより、第二保持手段から第
二のアーム手段への処理済ウエハの受け渡し位置を前記
移動手段による該処理済ウエハの前記処理位置から前記
受け渡し位置への移動と並行して行なうようにしてい
る。これにより、処理済ウエハが受け渡し位置に到着す
るまでに第一および第二の保持手段から第一および第二
のアーム手段へのウエハの受け渡しを完了させることが
できるため、このウエハ受け渡し時間を移動時間に吸収
し、ウエハ交換時間を短縮することができる。

【００１０】本発明の第３の態様では、第一のアーム手
段から第二の保持手段へのウエハ受け渡し位置と第二の
保持手段から第二のアーム手段へのウエハ受け渡し位置
の高さを異ならせている。これにより、第一のアーム手
段による受け渡しと第二のアーム手段による受け渡しを
平面的には同一の場所を高さを変えて使用することがで
き、搬送装置の専有面積を少なくすることができる。

【００１１】本発明の第４の態様では、前記第一の保持
手段を一定高さまで持ち上げ、あるいはさらに傾斜させ
る機構、および第一の保持手段自身を回転させるかまた
は第一の保持手段を持ち上げる機構自体を水平面内で回
転させる機構からなる二軸ウエハ回転機構と、前記未処
理ウエハをほぼ水平状態に第一の保持手段で保持したま
ま回転させて保持されたウエハ平面内で回転方向に位置
合わせする機構とをさらに有する。これらの機構は図４
の装置にも用いられている。

【００１２】本発明の第５の態様では、前記第一のアー
ム手段を前記第一の保持手段の垂直軸とほぼ同心で回動
する回動部材上に軸支し、該部材の回動と第一のアーム
手段の回動とを組み合わせて、前記未処理ウエハの第一
の保持手段から第二の保持手段への受け渡しに加え、前
記未処理ウエハ収納位置からの未処理ウエハの取り出し
および処理済ウエハ収納位置への処理済ウエハの収納を
さらに行なう。これにより、図４の搬送装置におけるカ
セット内ウエハ搬送装置２３を除去し、かつカセット台
３と第一の保持手段６との間隔を狭めることができる。
さらに、第二のアーム手段を既存の移動手段上に搭載し
たことと併せて、図４のアーム２２の配置場所が不要と
なる。したがって、搬送装置の専有面積を少なくするこ
とができる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。

【００１４】図１は、本発明の一実施例に係るウエハ外
観検査装置のウエハ搬送装置の概略構成図を示す。図
中、１は他機構とのウエハ受け渡しとウエハのウエハ平
面内の回転方向の位置合わせと、ウエハを一定高さまで
持ち上げた後、傾斜および回転とを行なう第一のウエハ
搬送装置、２は前記搬送装置１へのウエハ受け渡しと、
ウエハのウエハ平面内のＸＹ・θ方向の位置合わせと、
ウエハの直交ＸＹ方向の移動とを行なう第二のウエハ搬
送装置、３は上下方向（紙面に垂直な方向）にウエハ収
納部を併設したカセットを上下に移動し、カセットのウ
エハ収納部を順次所定高さ位置に位置決めを行なうカセ
ット台である。４はカセット内ウエハの搬出入および搬
送装置２へのウエハ受け渡し時にウエハを保持・搬送す
る搬送アーム（第一のアーム手段）、５はウエハのセン
ターとウエハチャック６のセンターを合わせるためのセ
ンタリング用コマ、６はウエハを保持するウエハチャッ
ク（第一の保持手段）、７はウエハを保持したチャック
６を回転させたり、チャック６を一定高さに持ち上げた
後傾斜および回転させるウエハ傾斜・回転機構、８は未
処理ウエハのウエハ平面内の回転方向の位置合わせを行
なうセンサである。９はウエハを保持するウエハチャッ
ク（第二の保持手段）、１０はウエハのウエハ平面内の
ＸＹθ方向の位置合わせを行なう位置合わせ用コマ、１
１はウエハの直交ＸＹ方向の水平移動を行なうＸＹ方向
水平移動機構、１２は搬送装置２から搬送装置１へのウ
エハ受け渡し時にウエハを保持・搬送する搬送アーム
（第二のアーム手段）、Ｓ１は搬送装置２が搬送装置１
とウエハの受け渡しを行なえるＸＹ方向水平移動機構の
ウエハ受け渡し位置、Ｓ２はウエハを処理するＸＹ方向
水平移動機構の任意のウエハ処理位置である。また、１
７はウエハチャック６の垂直軸と同心で回転可能な環状
の回動部材、１８は搬送アーム４をそのウエハ支持端と
は逆の端部で回動部材１７に軸支する回転軸である。な
お、回動部材は環状である必要はなく、単なるバーまた
は板材であってもよい。前記の搬送アーム４、センタリ
ング用コマ５、ウエハチャック６、ウエハ傾斜・回転機
構７、センサ８、回動部材１７および軸１７は、第一の
ウエハ搬送装置１を構成し、ウエハチャック９、位置合
わせ用コマ１０、ＸＹ方向水平移動機構１１および搬送
アーム１２は第二のウエハ搬送装置２を構成する。

【００１５】図２は、図１の装置のウエハ交換に関する
フローの概要図である。また、図３は、フローを理解す
るための各アーム、各ウエハチャックの高さの位置を示
す。ウエハ処理位置Ｓ２に搬送されたウエハの外観検査
が終了すると、その処理済ウエハは、搬送装置２におい
てＸＹ方向水平移動機構１１が受け渡し位置Ｓ１へ移動
を開始すると同時にウエハチャック９から搬送アーム１
２へのウエハ受け渡しを開始する（受け渡し高さＳ
７）。このウエハ受け渡しはＸＹ方向水平移動機構１１
が受け渡し位置Ｓ１へ到着するまでに終了し、ウエハチ
ャック９はウエハ引き渡し後さらにＳ６の高さまで下が
っている。ＸＹ方向水平移動機構１１が受け渡し位置Ｓ
１に到着すると、処理済ウエハをのせた搬送アーム１２
が移動して該処理済ウエハをウエハチャック６の上方に
位置させる。一方、搬送装置１では、この時点までに、
次の未処理ウエハが搬送アーム４にのせられ、ウエハチ
ャック６がＳ３の高さまで下がった状態で待機してお
り、搬送アーム１２の移動と同時に搬送アーム４も移動
して未処理ウエハをウエハチャック９の上方に位置させ
る。この際の搬送アーム１２の移動平面（受け渡し高
さ）と搬送アーム４の移動平面（受け渡し高さ）とは異
なっており、このような同時処理を可能にするととも
に、両アーム４，１２の移動域を垂直に重複させること
により、装置専有面積の減少を図っている。次にウエハ
チャック６および９がそれぞれＳ４およびＳ７の高さま
で上昇してそれぞれ処理済および未処理のウエハをアー
ム１２および４から受け取る。次いで、アーム１２およ
び４はそれぞれ図１に図示された位置に戻るべく移動を
開始する。その際、搬送装置２においては、ウエハチャ
ック９が上昇して受け渡し高さＳ７で次の未処理ウエハ
を受け取ると、搬送アーム４がウエハ下からの移動を開
始すると同時に、該未処理ウエハのウエハ平面内のＸＹ
θ方向の位置合わせを開始する。アーム１２がウエハチ
ャック９上に戻ると、ＸＹ方向水平移動機構１１が処理
位置Ｓ２へ向かって移動を開始する。図１の装置におい
ては、通常、ウエハチャック９上の未処理ウエハの位置
合わせが終了するまでには処理位置Ｓ２への移動は終了
している。処理位置Ｓ２においては位置合わせ終了後、
ウエハ高さを変えることなく検査が行われる。このよう
に、本実施例では、ウエハ受け渡し高さＳ７がウエハ平
面内のＸＹθ方向の位置合わせ高さと同一のため、搬送
アーム４がウエハ下から退避するまで待つことなく位置
合わせを開始することができる。また、処理高さ（検査
時の高さ）もウエハ受け渡し高さＳ７と同じにしている
ため、ウエハ平面内のＸＹθ方向の位置合わせが終わっ
た時点で直ちに（ウエハを上下移動することなく）処理
を開始することができる。

【００１６】一方、搬送装置１においては、未処理ウエ
ハをウエハチャック９に引き渡した搬送アーム４が図１
の位置に戻ると、ウエハチャック６がＳ７の高さからＳ
３の高さまで下降して処理済ウエハを搬送アーム４に渡
す。搬送アーム４は、この搬送アーム４と回動部材１７
が、図１に示す位置からそれぞれ時計回りに１８０°と
反時計回りに１８０°互いに同期して回転し、搬送アー
ム４の上にのったウエハの軌跡が直線を描くように移動
してカセット１９内に挿入される。挿入後、カセット台
３が上昇し、搬送アーム４上に保持された処理済ウエハ
がカセット１９の所定位置に収納される。次に、回動部
材と搬送アーム４の協働により、搬送アーム４の先端を
一旦カセット１９の外に出し、所望の未処理ウエハの高
さが搬送アーム４よりわずかに上になるようにカセット
台３が上下し、搬送アーム４を再度カセット１９内に挿
入する。そしてカセット台３が下降することにより、前
記所望の未処理ウエハが搬送アーム４に引き渡される。
次いで搬送アーム４は上記と逆の動作により図１に図示
する位置に戻り、そこでウエハチャック６がＳ３の高さ
からＳ４の高さまで上昇して未処理ウエハを受け取る。
ウエハチャック６は回転し、センタリング用コマ５とセ
ンサ８とによって、ウエハチャック６上の未処理ウエハ
は位置合わせされる。位置合わせ後、ウエハチャック６
は再度Ｓ３の高さまで下がり搬送アーム４に未処理ウエ
ハを渡す。この状態で処理済ウエハが受け渡し位置Ｓ１
に到来するまで待機する。なお、上記のウエハチャック
９に対するウエハ受け渡しもカセット１９に対するそれ
と同様に行われる。図３において、Ｓ５はウエハを傾斜
させる際のウエハ傾斜高さである。

【００１７】なお、搬送アーム４の移動による搭載ウエ
ハの軌跡は、上述においては直線にしているが、トロコ
イド等の曲線や折れ線にすることもできる。ウエハチャ
ック６と搬送アーム４のウエハ受け渡し高さおよびウエ
ハチャック６上での位置合わせ高さは、上述においては
ウエハチャック６と搬送アーム１２のウエハ受け渡し高
さと同じＳ４にしているが、Ｓ４とＳ３の間の搬送アー
ム４より上の適宜の高さに設定することもできる。搬送
アーム４と１２それぞれのウエハ受け渡し高さは異なる
ことが必要であるが、どちらが上でも下でも構わない。
搬送アーム４，１２が他の装置や部材と干渉しない場
合、これらを、ＸＹ方向水平移動機構１１が受け渡し位
置Ｓ１に到着した際、ウエハチャック９，６の上に位置
するように伸ばした状態で水平移動機構１１の受け渡し
位置への到着を待機させるようにすれば、到着後の搬送
アーム４，１２の移動時間を短縮することができる。

【００１８】以上のように本実施例では、２つのウエハ
搬送装置１と２をお互いに隣り合わせに並べるようにか
つ各々のウエハ搬送装置のウエハ受け渡し高さを異なら
せて配置し（Ｓ７とＳ６）、前者のウエハ搬送装置と後
者のウエハ搬送装置が各々保持しているウエハをほぼ同
時に交換する際において、ウエハ受け渡し高さの高い搬
送装置１からウエハを受け取ったウエハチャック９が、
その高さを変えることなく、ウエハをほぼ水平状態にチ
ャック９で保持したまま位置合わせ用コマ１０をウエハ
側面数箇所にあてて、保持されたウエハ平面内でＸＹ方
向に位置合わせを行ない、またその高さを変えることな
くＸＹ方向に水平移動しながら処理を行なうことによ
り、ウエハ搬送装置を処理装置専有面積内に納め、かつ
待機時間を短縮してスループットの向上を図ることがで
きる。

【００１９】

【発明の適用例】なお、本発明は上述の実施例に限定さ
れることなく本発明の思想を逸脱しない範囲で適宜変形
して実施することができる。

【００２０】例えば、ウエハの傾斜および回転以外のウ
エハ処理を行なった場合および処理は行なわずウエハの
平面内での粗な位置合わせとウエハ搬送のみの場合も上
述の実施例と同一のスループット向上の効果がある。

【００２１】ウエハ搬送装置２においてウエハの受け渡
し、ＸＹθ方向の位置合わせ、処理を行なう高さが搬送
アーム４より高い高さであれば、上述の実施例とほぼ同
一のスループット向上の効果がある。

【００２２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るウエ
ハ搬送装置は、以下のごとき効果を奏する。

【００２３】１）ウエハのウエハ平面内での回転方向の
位置合わせとウエハの傾斜・回転を行なう第一の処理装
置の専有面積内に搬送装置を納め、またウエハのウエハ
平面内でのＸＹθ方向の位置合わせと、ウエハの直交Ｘ
Ｙ方向の水平移動を行なう第二の処理装置の専有面積内
に搬送装置を収めたため、搬送装置だけの専用スペース
を省ける。

【００２４】２）処理済ウエハをＸＹ水平移動機構が受
け渡し位置に移動開始と同時に搬送アームに渡せるこ
と、次の未処理ウエハのウエハ平面内でのＸＹθ方向の
位置合わせを、そのウエハを搬送した搬送アームが戻り
動作開始と同時に開始出来ること、ウエハの受け渡し高
さと平面内でのＸＹθ方向の位置合わせと処理を同一高
さで連続して行なえることによりウエハ交換時間を短縮
し、スループットを向上出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係るウエハ外観検査装置
用ウエハ搬送装置の概略構成図である。

【図２】 図１の装置におけるウエハ交換に関するフロ
ーの概略図である。

【図３】 図２のフローを理解するための図１の各アー
ムおよび各チャックの高さを示す概略図である。

【図４】 従来のウエハ外観検査装置のウエハ搬送装置
の概略構成図である。

【図５】 図４の装置におけるウエハ交換に関するフロ
ーの概略図である。

【図６】 図５のフローを理解するための図４の各アー
ムおよび各チャックの高さを示す概略図である。

【符号の説明】

１：第一のウエハ搬送装置、２：第二のウエハ搬送装
置、３：カセット台、４：搬送アーム（第一のアーム手
段）、５：センタリング用コマ、６：ウエハチャック
（第一の保持手段）、７：ウエハ傾斜・回転機構、８：
センサ、９：ウエハチャック（第二の保持手段）、１
０：位置合わせ用コマ、１１：ＸＹ方向水平移動機構、
１２：搬送アーム（第二のアーム手段）、１７：回動部
材、１８：回転軸、Ｓ１：ウエハ受け渡し位置、Ｓ２：
ウエハ処理位置、Ｓ４，Ｓ７：ウエハ受け渡し高さ。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 未処理ウエハ収納位置から取り出したウ
   エハおよび処理済ウエハ収納位置へ収納するウエハを択
   一的に保持する第一の保持手段と、 所定の受け渡し位置で上昇して未処理のウエハを受け取
   ってから所定の処理位置で該ウエハに対し所定の処理が
   施され次いで前記受け渡し位置で下降して処理済のウエ
   ハを引き渡すまでの間、該ウエハをほぼ水平状態で保持
   する第二の保持手段と、 第一の保持手段から未処理のウエハを、第二の保持手段
   から処理済のウエハを受け取ってそれぞれ第二および第
   一の保持手段に引き渡すウエハ入替え手段と、 前記入替え手段から第二の保持手段に引き渡されたウエ
   ハの側面の複数箇所に位置合わせ用コマを当てることに
   より該ウエハを該ウエハ平面内でＸＹおよびθ方向に位
   置合わせする位置合わせ手段と、 第二の保持手段を搭載して直交ＸＹ方向に水平移動し前
   記ウエハを前記受け渡し位置と前記処理位置との間で搬
   送する移動手段とを具備するウエハ搬送装置において、 前記位置合わせ手段は、前記入替え手段から第二の保持
   手段に受け渡された未処理ウエハをその受け渡された高
   さ位置で位置合わせすることを特徴とするウエハ搬送装
   置。
2. 【請求項２】 未処理ウエハ収納位置から取り出したウ
   エハおよび処理済ウエハ収納位置へ収納するウエハを択
   一的に保持する第一の保持手段と、 所定の受け渡し位置で上昇して未処理のウエハを受け取
   ってから所定の処理位置で該ウエハに対し所定の処理が
   施されさらに前記受け渡し位置で下降して処理済のウエ
   ハを引き渡すまでの間、該ウエハをほぼ水平状態で保持
   する第二の保持手段と、 第一の保持手段に保持されたウエハの下方の位置と前記
   受け渡し位置での第二の保持手段の上方の位置とに移動
   し、第一の保持手段に保持されたウエハの下方に位置し
   た後第一の保持手段が下降することにより該ウエハを第
   一の保持手段から受け取り、かつ第二の保持手段の上方
   に位置した後第二の保持手段が上昇することにより該ウ
   エハを第二の保持手段に引き渡す第一のアーム手段と、 前記受け渡し位置での第二の保持手段に保持されたウエ
   ハの下方の位置と第一の保持手段の上方の位置とに移動
   し、第二の保持手段に保持されたウエハの下方に位置し
   た後第二の保持手段が下降することにより該ウエハを第
   二の保持手段から受け取り、かつ第一の保持手段の上方
   に位置した後第一の保持手段が上昇することにより該ウ
   エハを第一の保持手段に引き渡す第二のアーム手段と、 第二の保持手段を搭載して直交ＸＹ方向に水平移動し前
   記ウエハを前記受け渡し位置と前記処理位置との間で搬
   送する移動手段とを具備するウエハ搬送装置において、 第二のアーム手段が前記移動手段に搭載されており、第
   二の保持手段から第二のアーム手段への処理済ウエハの
   受け渡しが前記移動手段による該処理済ウエハの前記処
   理位置から前記受け渡し位置への移動と並行して行なわ
   れることを特徴とするウエハ搬送装置。
3. 【請求項３】 前記第一のアーム手段から第二の保持手
   段に引き渡されたウエハの側面の複数箇所に位置合わせ
   用コマを当てることにより該ウエハを該ウエハ平面内で
   ＸＹおよびθ方向に位置合わせする位置合わせ手段をさ
   らに備え、該位置合わせ手段は、前記第一のアーム手段
   から第二の保持手段に受け渡された未処理ウエハをその
   受け渡された高さ位置で位置合わせすることを特徴とす
   る請求項２記載のウエハ搬送装置。
4. 【請求項４】 前記第一のアーム手段から第二の保持手
   段へのウエハ受け渡し位置と前記第二の保持手段から第
   二のアーム手段へのウエハ受け渡し位置の高さが異なる
   ことを特徴とする請求項２または３記載のウエハ搬送装
   置。
5. 【請求項５】 前記第一の保持手段を一定高さまで持ち
   上げ、あるいはさらに傾斜させる機構、および第一の保
   持手段自身を回転させるかまたは第一の保持手段を持ち
   上げる機構自体を水平面内で回転させる機構からなる二
   軸ウエハ回転機構と、 前記未処理ウエハをほぼ水平状態に第一の保持手段で保
   持したまま回転させて保持されたウエハ平面内で回転方
   向に位置合わせする機構とをさらに有することを特徴と
   する請求項２〜４のいずれかに記載のウエハ搬送装置。
6. 【請求項６】 前記第一のアーム手段は、前記第一の保
   持手段の垂直軸とほぼ同心で回動する回動部材上に軸支
   され、該部材と同期して回動することにより、前記未処
   理ウエハの第一の保持手段から第二の保持手段への受け
   渡しに加え、前記未処理ウエハ収納位置からの未処理ウ
   エハの取り出しおよび処理済ウエハ収納位置への処理済
   ウエハの収納をさらに行なうことを特徴とする請求項５
   に記載のウエハ搬送装置。
7. 【請求項７】 前記位置合わせ手段による前記未処理ウ
   エハの位置合わせが前記移動手段による該未処理ウエハ
   の前記受け渡し位置から前記処理位置への移動と並行し
   て行なわれることを特徴とする請求項１〜６のいずれか
   に記載のウエハ搬送装置。
8. 【請求項８】 前記請求項１〜７のいずれかに記載のウ
   エハ搬送装置と顕微鏡とを組み合わせたウエハ検査装
   置。