JP2000129429A - 蒸着装置 - Google Patents

蒸着装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コーティング装置の溢流中及び排気中の分離
剤損失をできるだけ少なくして、蒸着装置をできるだけ
迅速に運転準備完了状態にする。 【解決手段】 ノズル体（３）が、閉鎖された中空体と
して形成されており、蒸発容器（１）が、遮断装置
（４）によって遮断可能に前記ノズル体（３）に接続さ
れている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シートコーティン
グ装置においてシートに長手方向ストリップの形の分離
剤ストリップを蒸着するための蒸着装置であって、電気
的なヒータによって加熱される分離剤用の蒸発容器と、
生ぜしめられた分離剤蒸気を方向付けるための流出開口
を備えたノズル体とが設けられている形式のものに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】このような形式の蒸着装置は、ドイツ連
邦共和国特許第４３０９７１７号明細書に開示されてい
る。この明細書に記載の蒸着装置は、水平方向に配置さ
れた、蒸発容器としての円筒から成っており、この円筒
は、シートに面した側に、条片として形成されたノズル
体によってカバーされた切欠きを有している。蒸着しよ
うとするシートは、前記の条片に沿ってガイドされる。
従って、蒸発容器は少なくともシート幅と同じ長さを有
していなければならない。特にコーティングしようとす
るシートを備えた新たなマガジンロールを挿入するため
には、コーティング装置がいずれにしろ溢流されてから
再び分離剤を補充する必要があるために、蒸発容器の容
積は、当該蒸発容器内に存在する分離剤ストックが十分
であるように設定されている。
【０００３】この公知の蒸着装置における欠点は、蒸発
容器の多量の分離剤ストックに基づき、コーティング装
置の溢流中、及び引き続く排気中に比較的多量の分離剤
ストックが全く無駄に蒸発されて、装置構成部材が凝縮
により給湿されることである。この場合、排気の最中に
分離剤の沸騰温度は小さくなる圧力に基づき低下される
ので、蒸発容器の加熱が対応して弱められない場合は、
蒸発量が増大することが考えられる。但し、このことは
蒸着装置の大きな容積に基づき、実際にはそれほど迅速
に可能ではない。公知の蒸着装置の別の欠点は、この蒸
着装置の加熱時間が多量の分離剤ストックと当該蒸着装
置の大きな質量とに基づき不都合に長いので、運転準備
完了までの時間が対応して長いという点にある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、冒頭
で述べた形式の蒸着装置を改良して、コーティング装置
の溢流中及び排気中の分離剤損失をできるだけ少なくし
て、蒸着装置をできるだけ迅速に運転準備完了状態にす
ることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明では、ノズル体が、閉鎖された中空体として形
成されており、蒸発容器が、遮断装置によって遮断可能
に前記ノズル体に接続されているようにした。
【０００６】
【発明の効果】本発明によれば、蒸発容器は遮断可能に
ノズル体に接続されており且つ別個の構成部材として形
成されているので、シート上での凝縮のために蒸気が必
要とされない限り、僅かな手間で蒸着装置からの蒸気流
出を確実に阻止することができる。これにより、コーテ
ィング装置の溢流中及び排気中に、装置内への蒸気の流
入、延いては装置の構成部材における凝縮を防止するこ
とができるので、コーティングプロセスにおける分離剤
消費量を著しく減少させることができる。蒸発容器とノ
ズル体との空間的な分離は、制御されない凝縮によって
分離剤の飛沫又は別の汚染物質がシート上に生ぜしめら
れることを防止する。更に、蒸発容器を常に加熱するこ
とによって、蒸着装置を常に運転準備完了状態で保持す
ることができる。装置の始動に際しては、単に遮断装置
を開くだけでよく、これにより、その直後に蒸気が、処
理しようとするシートに向かって流れることができるよ
うになる。本発明による蒸着装置は、特にコンデンサシ
ートを製作するために適している。但し、シート上で長
手方向で遮断された面に分離剤を施すためには、長手方
向ストリップの形の分離剤をシートに蒸着する代わり
に、遮断可能な蒸発容器を汎用の雛形支持体に対応配置
することもできる。蒸発容器と雛形支持体とを備えた装
置は、例えばドイツ連邦共和国特許第４３１１５８１号
明細書に記載されている。
【０００７】本発明では、蒸発容器とノズル体とは互い
に分離された構成部材なので、蒸発容器はコーティング
しようとするシートの幅を有さずに済む。従って、蒸発
容器の容積は特に小さくてよく、これにより、例えば金
属蒸発率の変動又はシート速度の変動等の、変更された
プロセス条件に対する蒸発率の迅速な応答が可能とな
る。本発明により、例えば蒸着される分離剤ストリップ
の幅を、蒸発容器の温度を変化させることによって正確
に調整することができる。
【０００８】ノズル体は、このノズル体が横置き式で配
置された円筒として形成されている場合は、従来の蒸発
容器のケーシングと合致するように構成されていてよ
い。
【０００９】遮断装置としては、本発明の別の有利な構
成に基づき蒸発容器がノズル体の下位に配置されており
且つ遮断装置を有する導管を介してノズル体に接続され
ている場合には、導管用に規定された通常の逆止弁を使
用することができる。導管に設けられたこのような逆止
弁は、プロセスの最中にコーティング装置内を支配する
高真空下でも確実に作動することができる。
【００１０】蒸発容器の容積は特に小さくてよく、これ
により、蒸発容器に分離液を後からチャージするため
に、分離液を備えたリザーバタンクが蒸発容器に接続さ
れている場合は、蒸着装置の出力制御部は、特に迅速に
応答することができる。
【００１１】蒸発容器への分離液の補充は、リザーバタ
ンクが補充用導管と圧力補償導管とを介して蒸発容器に
接続されている場合は、装置の作動中に行われる。
【００１２】分離液の補充は、リザーバタンクが蒸発容
器よりも高く配置されており、補充用導管に逆止弁が位
置している場合は、必要のある場合にのみ、弁の開放に
よって強制圧送を必要とすること無く行われる。
【００１３】しかし、この補充は、本発明の更に別の有
利な構成に基づきリザーバタンクと蒸発容器とが同じ高
さに配置されており、補充用導管が常に開いている場合
は、逆止弁を作動させることなく連続的に行うこともで
きる。
【００１４】蒸着装置のオイル消費量は、流出開口が方
形の横断面を有していると、特に少ない。更に、流出開
口をこのように成形することにより、コーティングしよ
うとするシート上に僅かな残留オイル成分と、蒸着領域
の特に良好な縁部分離度とが得られる。
【００１５】ノズル体における蒸気の凝縮は、ノズル体
に電気的なヒータを設けることによって簡単に防止され
得る。
【００１６】本発明は、種々様々な構成を許容する。本
発明の基本原理を一層明らかにするために、これらの構
成の内の２つを概略的に図示するものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を図
面につき詳しく説明する。
【００１８】図１に示した蒸着装置は、導管２を介して
ノズル体３に接続された蒸発容器１を有している。前記
導管２には遮断装置４が接続されており、これにより、
蒸発容器１からノズル体３への蒸気流入を防ぐことがで
きる。
【００１９】蒸発容器１は、電気的なヒータ５を有して
おり且つ温度調整のため、延いては分離剤の割合の調整
のために温度センサ６を有している。
【００２０】ノズル体３の上面には、一列に相前後し
て、横断面方形の複数の流出開口７が設けられており、
これらの流出開口７を介して分離剤蒸気が一点鎖線で図
示されたシート８に向かって流れ且つこのシート８上で
凝縮されることによりシート８の長手方向で延びる複数
本のストリップを形成する。これらのストリップは、続
くコーティング過程において金属によってはコーティン
グされない。なぜならば、分離剤をコーティング過程中
に蒸発させ、これにより、金属被着を防止するからであ
る。図示のように、シート８はノズル体３の流出開口７
の領域に接触しており且つ前記ノズル体３の外周面の非
常に小さな領域にわたって巻き掛けられている。ノズル
体３を加熱するためには、該ノズル体のケーシングを通
して電流を流すことができる。但し、ノズル体３に流入
する蒸気が該ノズル体３の内部で凝縮することを防ぐた
めに、ノズル体３を間接的に加熱することも可能であ
る。
【００２１】蒸発容器１は、この蒸発容器を満たすべき
分離剤ストックが１プロセスサイクルでコーティングし
ようとする少なくとも１バッチに足りるように、大容量
に形成することができる。しかし、分離液を備えた加熱
されないリザーバタンク９を配置することも可能であ
り、このリザーバタンク９は、補充用導管１０を介して
蒸発容器１に接続されている。図１に示した実施例で
は、前記補充用導管１０に逆止弁１１が接続されてい
る。リザーバタンク９は圧力密に閉鎖されてはいるが、
分離液面の上位で圧力補償導管１２を介して、蒸発容器
１の上側に接続されている。リザーバタンク９を蒸発容
器１よりも高く配置した場合は、逆止弁１１の開放後に
分離液がリザーバタンク９から蒸発容器１に流入する。
リザーバタンク９は、特に少量の分離液を備えた蒸発容
器１を運転し且つプロセスの最中に分離液を蒸発容器１
に後から流入させることを可能にする。
【００２２】図２に示した実施例では、蒸発容器１とリ
ザーバタンク９とは同じ高さに位置している。従って、
補充用導管１０に設けられる逆止弁１１を省略すること
ができる。最初に示した実施例と全く同様に、圧力補償
導管１２は常に開いている。液面は、補充用導管１０を
介して、蒸発容器１内とリザーバタンク９内とでは常に
同じ高さである。但し、蒸発率を変えるためには、蒸発
容器１内の分離液量全てではなく、比較的少量の分離液
量を多少なりとも加熱するだけで済む。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明による蒸着装置の斜視図である。
【図２】蒸着装置の第２実施形態の側面図である。
【符号の説明】
１ 蒸発容器、 ２ 導管、 ３ ノズル体、 ４ 遮
断装置、 ５ ヒータ、 ６ 温度センサ、 ７ 流出
開口、 ８ シート、 ９ リザーバタンク、１０ 補
充用導管、 １１ 逆止弁、 １２ 圧力補償導管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ユルゲン クリーシャー ドイツ連邦共和国 ブルーフケーベル ハ インリッヒ−フォン−ブレンターノ シュ トラーセ １ (72)発明者 トーマス フォークト ドイツ連邦共和国 グロースクローツェン ブルク ヨーゼフ−ベルベリッヒ−シュト ラーセ 20

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 シートコーティング装置においてシート
    に長手方向ストリップの形の分離剤ストリップを蒸着す
    るための蒸着装置であって、電気的なヒータによって加
    熱される分離剤用の蒸発容器と、生ぜしめられた分離剤
    蒸気を方向付けるための流出開口を備えたノズル体とが
    設けられている形式のものにおいて、 ノズル体（３）が、閉鎖された中空体として形成されて
    おり、蒸発容器（１）が、遮断装置（４）によって遮断
    可能に前記ノズル体（３）に接続されていることを特徴
    とする蒸着装置。
  2. 【請求項２】 ノズル体（３）が、横置き式に配置され
    た円筒として形成されている、請求項１記載の蒸着装
    置。
  3. 【請求項３】 蒸発容器（１）が、ノズル体（３）の下
    位に配置されており且つ遮断装置（４）を有する導管
    （２）を介して前記ノズル体（３）に接続されている、
    請求項１又は２記載の蒸着装置。
  4. 【請求項４】 蒸発容器（１）に分離液を後からチャー
    ジするために、分離液を備えたリザーバタンク（９）が
    前記蒸発容器（１）に接続されている、請求項１から３
    までのいずれか１項記載の蒸着装置。
  5. 【請求項５】 リザーバタンク（９）が、補充用導管
    （１０）と圧力補償導管（１２）とを介して蒸発容器
    （１）に接続されている、請求項４記載の蒸着装置。
  6. 【請求項６】 リザーバタンク（９）が蒸発容器（１）
    よりも高く配置されており、補充用導管（１０）内に逆
    止弁（１１）が位置している、請求項４記載の蒸着装
    置。
  7. 【請求項７】 リザーバタンク（９）と蒸発容器（１）
    とが同じ高さに配置されており、補充用導管（１０）が
    常に開かれている、請求項５記載の蒸着装置。
  8. 【請求項８】 流出開口（７）が方形の横断面を有して
    いる、請求項１から７までのいずれか１項記載の蒸着装
    置。
  9. 【請求項９】 ノズル体（３）が電気的なヒータを有し
    ている、請求項１から８までのいずれか１項記載の蒸着
    装置。
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