JP2000055987A - 混在ic試験装置及びこのic試験装置の制御方法 - Google Patents
混在ic試験装置及びこのic試験装置の制御方法Info
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Abstract
を1台のIC試験装置によって短時間にテストすること
ができる混在IC試験装置を提供する。 【解決手段】 所定の駆動信号チャンネルを具備したI
C試験装置と、このIC試験装置の駆動チャンネルの数
に従ってメモリ部のテストが可能な数と等価な数のIC
ソケットと、このICソケットとIC試験装置との間に
設けられ、ICソケットに装着した全てのDUTのメモ
リ部をテストする状態と、ICソケットに装着した一部
のDUTのロジック部をテストする状態に切替る切替回
路を設けた構成を特徴とする。
Description
リ部とを具備した混在ICを試験する混在IC試験装置
とこのIC試験装置の動作順序を規定したIC試験装置
の制御方法に関する。
はシステムLSI等と呼ばれ今後増加の傾向にある。シ
ステムLSIの特徴としては、ロジック部で必要とする
ピン数が、メモリ部で必要なピン数と比較して数倍程度
多く、ロジック部をテストする場合にはピン数が多いこ
とから同時にテストすることができるICの数が制限さ
れる。
装置と被試験IC(以下DUTと称す)との接続関係を
示す。IC試験装置にはDUTに駆動信号(試験パター
ン信号・制御信号等)を与えるための駆動チャンネルが
多数用意されており、その駆動チャンネル数によって同
時にテストすることができるDUTの数が決められる。
の512チャンネルの駆動チャンネルを持つIC試験装
置と、このIC試験装置によってロジック部試験用のピ
ン数が256ピンのピン数を持つDUTをテストする場
合を示す。DUT1とDUT2はメモリ部用のピン数が
64ピン用意され、ロジック部用としてはP65〜P2
56までの192ピンが用意された混在ICの場合を示
す。ロジック部をテストする場合でもメモリ部を動作さ
せなくてはならないから、ロジック部をテストする場合
には256ピンの全てのピンをIC試験装置に接続して
テストが行なわれる。
DUTを2個しか接続できないことになり、2個のDU
T1とDUT2を接続した状態でメモリ部とロジック部
をテストし、良否の判定を行なっている。メモリ部は必
要とするピン数が少ないことの反面、テストに要する時
間Mtがロジック部のテスト時間Ltより長く掛る特質
を持っている。一例としてはMt=60秒、Lt=5秒
程度である。従ってメモリ部とロジック部をテストする
と65秒掛ることになり、例えば1000個のDUTを
テストすると65×1000×Lch/Tch=32500
秒≒9時間となる。この約9時間と云う数値は試験に要
する時間であり、現実にはテストしたICを良品と不良
品に仕分けするソーテングに要する時間も加えなくては
ならないから実際には更に長い時間となる。尚、ここで
Lchはロジック部のテストに用いるチャンネル数、Tch
はIC試験装置で使用される全チャンネル数を示す。つ
まりLch/Tchは同時にテストすることができるDUT
の数の逆数を表わす。
ICをテストすると、テストに要する時間が長くなる不
都合が生じる。このため2台のIC試験装置を用意し、
一方のIC試験装置でメモリ部をテストし、他方でロジ
ック部をテストする方法を採る場合がある。図8にメモ
リ部だけをテストする場合のIC試験装置とDUTの接
続状況を示す。図8に示すようにメモリ部をテストする
場合にはメモリ部用のピンにだけ駆動信号を供給すれば
よいから、1台のIC試験装置に接続できるDUTの数
は大幅に増加できることになる。図8に示すようにメモ
リ部で必要なピン数をMch=64ピン、IC試験装置の
全チャンネル数Tchを512チャンネルとした場合には
512/64=8個のDUTを接続できることになる。
従って一度にテストすることができるDUTの数が8個
となるから例えば1000個のDUTをテストする時間
は60×1000×Mch/Tch=7500秒となる。
のロジック部をテストすると、その時間は5×1000
×Lch/Tch=2500秒となる。この結果、2台のI
C試験装置によってメモリ部とロジック部を個別にテス
トするとテストに要する時間の総和はTtim =(750
0+2500)秒となり1台でテストする場合より短縮
できる利点が得られる。但し、この場合もメモリ部のテ
ストとロジック部のテストの双方においてソーテングを
行う必要がある。ソーテング時間としては例えば10,
000秒とするとその総和は約30,000秒を要する
ことになる。
ICをテストする場合、2台のIC試験装置を用いるこ
とによりテストに要する時間を短縮することができる。
然し乍ら高価なIC試験装置を2台も用意しなければな
らないことから、利用者には経済的な負担が重くなる不
都合がある。またテストに要するコストも上昇する不都
合もある。
って2台のIC試験装置を用いてテストしたとき等価な
速度でDUTをテストすることができる混在IC試験装
置を提供しようとするものである。
駆動チャンネルを具備したIC試験装置と、このIC試
験装置でテストすることができるメモリ部の数と同等の
数のICソケットと、このICソケットとIC試験装置
との間に設けられ、IC試験装置の駆動チャンネルをI
Cソケットに対してメモリ部のテスト状態と、ロジック
部のテスト状態に切替る切替回路とを設けて混在IC試
験装置を構成したものである。
ソケットの全てに対してメモリ部をテストするに必要な
数のチャンネルの駆動信号を供給し、一度に全てのIC
ソケットに装着したDUTをテストする。ロジック部の
テスト状態では設けられたICソケットの中の一部のI
Cソケットに対して駆動信号を供給し、その一部のIC
ソケットに装着したDUTのロジック部をテストする。
テストを終了すると、他の一部のICソケットに駆動信
号を供給して、そのICソケットに装着したDUTをテ
ストし、これを繰返して全てのICソケットに装着した
DUTのロジック部をテストする。
るメモリ部の数と同数のICソケットの全てにDUTを
装着すると、この全てのDUTのメモリ部を一度にテス
トすることができる。またロジック部はテスト可能な個
数ずつテストを実行する。この結果、2台のIC試験装
置でテストしたとほぼ等価な時間でメモリ部とロジック
部をテストすることができる。
験装置の一実施例を示す。この発明の特徴とする構成は
所定の駆動チャンネルを具備したIC試験装置と、この
IC試験装置が持つ駆動チャンネルの数によってテスト
可能なメモリ部の数と同等の数のICソケットSK1〜
SK8と、このICソケットSK1〜SK8とIC試験
装置との間に設けた切替回路21とによって構成した点
である。
8に装着するDUTのメモリ部をテストする状態と、一
部のソケットに装着したDUTのロジック部をテストす
る状態とに切替を行なう。ICソケットSK1〜SK8
の数はIC試験装置の駆動チャンネルの総数TchとDU
Tのメモリ部で必要なピン数によって決定される。図1
に示す例ではIC試験装置の総チャンネル数Tchが51
2チャンネル、DUTのメモリ部で必要なピン数が64
ピンの場合を示す。従ってICソケットの数は512/
64=8となる。
1との間を結ぶチャンネル線22及び切替回路21と各
ICソケットSK1〜SK8との間を結ぶ出力線23A
〜23Dはそれぞれ64本分を1本として表わしてい
る。切替回路21は各チャンネル線22に対して4個の
切替スイッチM,L1,L2,L3を具備し、これらの
各切替スイッチM,L1,L2,L3によって出力線2
3A,23B,23C,23Dの何れかを選択してIC
試験装置に接続し、その接続の組合せによってメモリ部
のテスト状態と、ロジック部の切替状態に切替を行なう
ように構成される。
るために出力線23Aだけを抜粋して示している。つま
り、切替回路21を構成する切替スイッチの中のMをオ
ンの状態にすると、チャンネル線22は出力線23Aに
接続される。出力線23Aは各ICソケットSK1〜S
K8のピン番号P1〜P64に接続され、これがDUT
のメモリ部に接続される。この状態で一度に8個のDU
Tのメモリ部を試験する。
1〜SK8に装着したDUTのロジック部をテストする
切替状態を説明する。図2はICソケットSK1とSK
2に装着したDUTをテストする状態を示す。この場合
には、チャンネルCH1〜CH64を切替る切替スイッ
チはMをオン、チャンネルCH65〜CH128を切替
る切替スイッチはL1をオン、チャンネルCH129〜
CH192を切替る切替スイッチはL2をオン、チャン
ネルCH193〜CH256を切替る切替スイッチはL
3をオン、にし各切替スイッチM,L1,L2,L3に
よって出力線23A,23B,23C,23Dを選択
し、ICソケットSK1のピン番号P1〜P64、P6
5〜P128、P129〜P192、P193〜P25
6の全てにロジックテスト用の駆動信号を入力する。I
CソケットSK2も同様に全てのピン番号にロジックテ
スト用の駆動信号を入力し、ICソケットSK1とSK
2に装着したDUTのロジック部をテストする。
したDUTをテストする状態の切替状態を示す。この場
合にはチャンネルCH1〜CH64を切替る切替スイッ
チはL3をオン、チャンネルCH65〜CH128を切
替る切替スイッチはMをオン、チャンネルCH129〜
CH192を切替る切替スイッチはL1をオン、チャン
ネルCH193〜CH256を切替る切替スイッチはL
2をオン、に切替る。この切替によってICソケットS
K3の全てのピン番号P1〜P64、P65〜P12
8、P129〜P192、P193〜P256にロジッ
クテスト用の駆動信号が入力され、ICソケットSK3
に装着したDUTのロジック部がテストされる。ICソ
ケットSK4側も同様にしてこのICソケットSK4に
装着されたDUTのロジック部がテストされる。
したDUTのロジック部をテストする切替状態、図5は
ICソケットSK7とSK8のロジック部をテストする
切替状態を示す。図2乃至図5に示した各切替状態にお
いて、各ICソケットSK1〜SK8に接続される出力
線23A,23B,23C,23Dが他の切替状態で使
用されていないことが確認できる。この点から各切替状
態は正常に切替が達せられることが理解できよう。
定個のDUTのメモリ部を一度にテストし、この所定個
のDUTの中の一部ずつをロジック部についてテストで
きることが理解できよう。図6を用いてこの発明による
IC試験装置の制御方法を説明する。図6において縦軸
Tは時間を示し、横軸にピン番号又はチャンネル番号を
示す。
K8にDUT1〜DUT8を装着する。時点T1 でDU
T1とDUT2のロジック部をテストする。時点T2 で
DUT3とDUT4のロジック部をテストする。ここで
装着したDUT1〜DUT8の中の半分のDUTのロジ
ック部をテストした状態となる。この状態で、時点T3
からT4 の時間でDUT1〜DUT8のメモリ部をテス
トする。
T4はメモリ部とロジック部のテストが終了する。時点
T5 〜T6 でDUT1〜DUT4を新たなDUT9〜D
UT12に交換する(ハンドラが用いられる)と共に、
DUT1〜DUT4は良、不良の判定結果に従って分類
(ソート)する。この間にDUT5とDUT6をロジッ
ク部に関してテストし、更にDUT7とDUT8のロジ
ック部をテストする。
が終了すると、時点T6 からT7 の時間でDUT9、D
UT10及びDUT11とDUT12のロジック部をテ
ストする。これと共に時点T6 〜T7 の時間にDUT5
〜DUT8を新たなDUT13〜DUT16に交換する
と共に、DUT5〜DUT8を良否の判定結果に従って
ソートする。
16のメモリ部を一度にテストし、以下同様のシーケン
スが繰返される。図6に示したシーケンスによって動作
させることによりIC試験装置は休止時間が発生するこ
となく休みなく動作し、テストに要する時間を以下に示
す式で求められる時間Ttim と等価な時間とすることが
できる。
×Lch/Tch)}×N Mt :メモリ部のテスト時間 Lt :ロジック部のテスト時間 N :テストするDUTの数 となる。
Lch:256、Tch:512、N=1000とした場合 Ttim =10,000秒 となる。この時間はソーテング処理時間を含むものであ
るから従来の技術で説明した2台のIC試験装置を用い
て1000個のDUTをテストした時間の約1/3にほ
ぼ等しい。従って、この発明によれば1台のIC試験装
置によって2台のIC試験装置を用いてテストした場合
より短いテスト時間を得ることができる。
減することができる利点が得られる。尚、上述ではIC
試験装置の駆動チャンネルを256、DUTのメモリ部
で必要なピン数を64とし、これによりICソケットの
数を8個とした場合を説明したがこの数は一例であり、
発明の本質には何等係わりを持たないことは容易に理解
できよう。
1台のIC試験装置を用いて、従来は2台のIC試験装
置を使ってテストしたテスト時間と等価なテスト時間を
得ることができるから、高価なIC試験装置を2台用意
しなくて済む。この結果、テストに要するコストを低減
できる利点が得られる。
テストを行なう切替状態を示す図。
のテストを行なう切替状態を示すブロック図。
のテストを行なう他の切替状態を示すブロック図。
のテストを行なう更に他の切替状態を示すブロック図。
のテストを行なう更に他の切替状態を示すブロック図。
説明するための図。
Claims (2)
- 【請求項1】 A.所定の駆動チャンネルを具備したI
C試験装置と、 B.このIC試験装置の上記駆動チャンネルの数とメモ
リ部に必要なピン数とによって決まる同時にテスト可能
なメモリ部の数と等価な数のICソケットと、C.この
ICソケットと上記IC試験装置との間に接続され、上
記ICソケットの全てにメモリ部のテスト用駆動信号を
与える状態と、上記ICソケットの一部にロジック部の
テスト用駆動信号を与える状態に切替る切替回路と、に
よって構成したことを特徴とする混在IC試験装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の混在IC試験装置におい
て、上記ICソケットに装着した被試験ICの半分のI
Cのロジック部のテストが完了した時点で上記被試験I
Cのメモリ部を一度に試験し、次に上記被試験ICの中
の他の半分の被試験ICのロジック部を試験し、この試
験中に上記ロジック部の試験が終了した被試験ICを次
に試験すべき被試験ICに交換し、上記被試験ICの中
の半分の被試験ICのロジック部の試験が終了した時点
で上記交換した被試験ICのロジック部を試験し、この
交換したロジック部の試験中に上記ロジック部の試験が
終了した被試験ICを交換し、この交換後に上記交換し
た被試験ICのロジック部の試験が終了した時点で上記
全ての被試験ICのメモリ部を試験し、これを繰返すこ
とにより休止状態が発生することなくICを試験するこ
とを特徴とするIC試験装置の制御方法。
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