JP2000052218A - 磁気研磨装置および磁気研磨方法 - Google Patents
磁気研磨装置および磁気研磨方法Info
- Publication number
- JP2000052218A JP2000052218A JP22348098A JP22348098A JP2000052218A JP 2000052218 A JP2000052218 A JP 2000052218A JP 22348098 A JP22348098 A JP 22348098A JP 22348098 A JP22348098 A JP 22348098A JP 2000052218 A JP2000052218 A JP 2000052218A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- work
- polishing
- ferromagnetic material
- abrasive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来技術を用いた磁気研磨装置および磁気研磨
方法に比べ、ワークの材質を選ばずに研磨時間、外観品
質、形状精度といった研磨性能を大幅に向上させること
が可能な磁気研磨装置、および磁気研磨方法を提供でき
ることにある。 【解決手段】スラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒
子との間隙に供給し、また磁性研磨材粒子として繊維を
材料とする起毛により被覆された強磁性材粒子を用い、
さらには加工点における法線が磁力線の方向とほぼ一致
するように法線制御を行い、加工点近傍で測定された磁
束密度が一定に保持される制御機能を付加することで高
能率、高精度、さらには面粗度向上や高い外観品質を実
現することを特徴とする。
方法に比べ、ワークの材質を選ばずに研磨時間、外観品
質、形状精度といった研磨性能を大幅に向上させること
が可能な磁気研磨装置、および磁気研磨方法を提供でき
ることにある。 【解決手段】スラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒
子との間隙に供給し、また磁性研磨材粒子として繊維を
材料とする起毛により被覆された強磁性材粒子を用い、
さらには加工点における法線が磁力線の方向とほぼ一致
するように法線制御を行い、加工点近傍で測定された磁
束密度が一定に保持される制御機能を付加することで高
能率、高精度、さらには面粗度向上や高い外観品質を実
現することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＮＣ工作機械等に切
削工具の代わりに磁気研磨ツールを取り付けた研磨装置
により、プラスチック製またはガラス製の光学レンズや
眼鏡レンズ、あるいは金属製やセラミック製の成型用金
型等を高精度かつ効率的に鏡面化するために好適な磁気
研磨装置及び磁気研磨方法に関する。
削工具の代わりに磁気研磨ツールを取り付けた研磨装置
により、プラスチック製またはガラス製の光学レンズや
眼鏡レンズ、あるいは金属製やセラミック製の成型用金
型等を高精度かつ効率的に鏡面化するために好適な磁気
研磨装置及び磁気研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、図７に示すごとく数１００μｍ
の粒径の強磁性材粒子２１の表面に粒径数μｍの酸化ア
ルミニウム等の研磨砥粒２２を金属結合状態で付着さ
せ、研磨砥粒２２と強磁性材粒子２１が一体となった磁
性研磨材粒子を用いて、図６に示す一般的な構成による
磁気研磨装置により磁気研磨を行っていた。
の粒径の強磁性材粒子２１の表面に粒径数μｍの酸化ア
ルミニウム等の研磨砥粒２２を金属結合状態で付着さ
せ、研磨砥粒２２と強磁性材粒子２１が一体となった磁
性研磨材粒子を用いて、図６に示す一般的な構成による
磁気研磨装置により磁気研磨を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
従来技術に示した磁気研磨装置、および磁気研磨方法で
は第一に、強磁性材粒子の表面に粒径数μｍの酸化アル
ミニウム等の研磨砥粒を金属結合状態で付着させただけ
の磁性研磨材粒子では加工可能なワーク材料が特定の材
質のものに限定されてしまう。第二に、強磁性材粒子の
表面に粒径数μｍの酸化アルミニウム等の研磨砥粒を金
属結合状態で付着させただけの磁性研磨材粒子では研磨
による加工熱を十分に放熱することができないため、研
磨時間の長さや研磨仕上がり面の品質といった研磨性能
に大きな影響を及ぼす。第三に、強磁性材粒子の表面に
付着している研磨砥粒はワークと磁性研磨材粒子との摩
擦により脱落してしまうと、磁力による拘束力がなくな
るため研磨に全く作用しなくなる。さらに第四として、
ワーク形状によっては、所望の形状精度を得ることが非
常に困難である。例えば球面を含む自由曲面などを従来
技術の構成の磁気研磨装置により研磨すると、加工範囲
の外側では研磨による除去量が少なく、中心部ほど除去
量が多くなる。また、第五に磁極とワークの形状、具体
的には非磁性材料のワークの場合、ワークの厚みによっ
て磁束密度が変化するため加工可能なワーク形状が限定
されてしまう等、数々の問題点があった。
従来技術に示した磁気研磨装置、および磁気研磨方法で
は第一に、強磁性材粒子の表面に粒径数μｍの酸化アル
ミニウム等の研磨砥粒を金属結合状態で付着させただけ
の磁性研磨材粒子では加工可能なワーク材料が特定の材
質のものに限定されてしまう。第二に、強磁性材粒子の
表面に粒径数μｍの酸化アルミニウム等の研磨砥粒を金
属結合状態で付着させただけの磁性研磨材粒子では研磨
による加工熱を十分に放熱することができないため、研
磨時間の長さや研磨仕上がり面の品質といった研磨性能
に大きな影響を及ぼす。第三に、強磁性材粒子の表面に
付着している研磨砥粒はワークと磁性研磨材粒子との摩
擦により脱落してしまうと、磁力による拘束力がなくな
るため研磨に全く作用しなくなる。さらに第四として、
ワーク形状によっては、所望の形状精度を得ることが非
常に困難である。例えば球面を含む自由曲面などを従来
技術の構成の磁気研磨装置により研磨すると、加工範囲
の外側では研磨による除去量が少なく、中心部ほど除去
量が多くなる。また、第五に磁極とワークの形状、具体
的には非磁性材料のワークの場合、ワークの厚みによっ
て磁束密度が変化するため加工可能なワーク形状が限定
されてしまう等、数々の問題点があった。
【０００４】そこで本発明はこのような問題点を除去す
るためになされたものであり、ワークの材質や形状に制
限を設けることなく短時間で高い形状精度と外観品質を
得ることが可能な磁気研磨装置、および磁気研磨方法を
提供できることにある。
るためになされたものであり、ワークの材質や形状に制
限を設けることなく短時間で高い形状精度と外観品質を
得ることが可能な磁気研磨装置、および磁気研磨方法を
提供できることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するもので、ヨーク、励磁コイル、電源、ワークと対面
する磁極、強磁性材粒子より構成され、励磁コイルに電
圧を印加しワークと対面する磁極間に磁界を発生させな
がら、ワークと磁極とを相対的に回転あるいは揺動させ
る磁気研磨装置において、Ａｌ２Ｏ３やＣｅＯ２等を砥
材とするスラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子と
の間隙に供給しながら磁気研磨を行うことを特徴とす
る。
するもので、ヨーク、励磁コイル、電源、ワークと対面
する磁極、強磁性材粒子より構成され、励磁コイルに電
圧を印加しワークと対面する磁極間に磁界を発生させな
がら、ワークと磁極とを相対的に回転あるいは揺動させ
る磁気研磨装置において、Ａｌ２Ｏ３やＣｅＯ２等を砥
材とするスラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子と
の間隙に供給しながら磁気研磨を行うことを特徴とす
る。
【０００６】また、前記強磁性材粒子に代えて、強磁性
材粒子を綿、絹、レーヨン、ナイロン等の繊維を材料と
する起毛で被覆した磁性研磨材粒子を用いることを特徴
とする。
材粒子を綿、絹、レーヨン、ナイロン等の繊維を材料と
する起毛で被覆した磁性研磨材粒子を用いることを特徴
とする。
【０００７】また、前記いずれかの磁気研磨装置におい
て、ワーク形状に合わせてワークと磁極との相対位置決
めを行う際に、加工点における法線が磁力線の方向とほ
ぼ一致するように法線制御を行うことを特徴とする。
て、ワーク形状に合わせてワークと磁極との相対位置決
めを行う際に、加工点における法線が磁力線の方向とほ
ぼ一致するように法線制御を行うことを特徴とする。
【０００８】また、前記いずれかの磁気研磨装置におい
て、加工点近傍で測定された磁束密度が一定に保持され
る制御機能を有することを特徴とする。
て、加工点近傍で測定された磁束密度が一定に保持され
る制御機能を有することを特徴とする。
【０００９】また、本発明の磁気研磨方法は、ヨーク、
励磁コイル、電源、ワークと対面する磁極、強磁性材粒
子より構成され、励磁コイルに電圧を印加しワークと対
面する磁極間に磁界を発生させながら、ワークと磁極と
を相対的に回転あるいは揺動させる磁気研磨方法におい
て、Ａｌ２Ｏ３やＣｅＯ２等を砥材とするスラリー状の
研磨液をワークと強磁性材粒子との間隙に供給しながら
磁気研磨を行うことを特徴とする。
励磁コイル、電源、ワークと対面する磁極、強磁性材粒
子より構成され、励磁コイルに電圧を印加しワークと対
面する磁極間に磁界を発生させながら、ワークと磁極と
を相対的に回転あるいは揺動させる磁気研磨方法におい
て、Ａｌ２Ｏ３やＣｅＯ２等を砥材とするスラリー状の
研磨液をワークと強磁性材粒子との間隙に供給しながら
磁気研磨を行うことを特徴とする。
【００１０】また、前記強磁性材粒子に代えて、強磁性
材粒子を綿、絹、レーヨン、ナイロン等の繊維を材料と
する起毛で被覆した磁性研磨材粒子を用いることを特徴
とする。
材粒子を綿、絹、レーヨン、ナイロン等の繊維を材料と
する起毛で被覆した磁性研磨材粒子を用いることを特徴
とする。
【００１１】また、前記いずれかの磁気研磨方法におい
て、ワーク形状に合わせてワークと磁極との相対位置決
めを行う際に、加工点における法線が磁力線の方向とほ
ぼ一致するように法線制御を行うことを特徴とする。
て、ワーク形状に合わせてワークと磁極との相対位置決
めを行う際に、加工点における法線が磁力線の方向とほ
ぼ一致するように法線制御を行うことを特徴とする。
【００１２】また、前記いずれかの磁気研磨方法におい
て、加工点近傍で測定された磁束密度が一定に保持され
る制御機能を有することを特徴とする。
て、加工点近傍で測定された磁束密度が一定に保持され
る制御機能を有することを特徴とする。
【００１３】本発明の上記の構成によれば、Ａｌ２Ｏ３
やＣｅＯ２等を砥材とするスラリー状の研磨液をワーク
と強磁性材粒子との間隙に供給しながら磁気研磨を行う
ことで、研磨液が加工熱を十分に吸収してくれるばかり
でなく、研磨加工中に研磨液を供給することで前記砥材
が常に加工面に行き渡る、また磁性研磨材粒子として繊
維を材料とする起毛により被覆された強磁性材粒子を用
いることで、図３に示すように起毛間に前記の砥材が保
持されるため、研磨時間、外観品質といった研磨性能が
大幅に向上するばかりでなく安定する。
やＣｅＯ２等を砥材とするスラリー状の研磨液をワーク
と強磁性材粒子との間隙に供給しながら磁気研磨を行う
ことで、研磨液が加工熱を十分に吸収してくれるばかり
でなく、研磨加工中に研磨液を供給することで前記砥材
が常に加工面に行き渡る、また磁性研磨材粒子として繊
維を材料とする起毛により被覆された強磁性材粒子を用
いることで、図３に示すように起毛間に前記の砥材が保
持されるため、研磨時間、外観品質といった研磨性能が
大幅に向上するばかりでなく安定する。
【００１４】さらには、加工点における法線が磁力線の
方向とほぼ一致するように法線制御を行い、加工点近傍
で測定された磁束密度が一定に保持される制御機能を付
加することで、加工部位あるいは加工範囲によらず高い
形状精度を得ることが可能となる等、従来技術では得る
ことのできなかった高能率、高精度、さらには高い外観
品質を実現する磁気研磨装置、および磁気研磨方法を提
供できることにある。
方向とほぼ一致するように法線制御を行い、加工点近傍
で測定された磁束密度が一定に保持される制御機能を付
加することで、加工部位あるいは加工範囲によらず高い
形状精度を得ることが可能となる等、従来技術では得る
ことのできなかった高能率、高精度、さらには高い外観
品質を実現する磁気研磨装置、および磁気研磨方法を提
供できることにある。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下図面に基づいて実施例を説明
するが、本発明はこの実施例のみに限定されるものでは
ない。
するが、本発明はこの実施例のみに限定されるものでは
ない。
【００１６】（実施例１）本実施例は、スラリー状の研
磨液をワークと強磁性材粒子との間隙に供給しながら磁
気研磨を行う実施例であり、図１に基づき説明する。
磨液をワークと強磁性材粒子との間隙に供給しながら磁
気研磨を行う実施例であり、図１に基づき説明する。
【００１７】まず、フェライト製で粒径１０μｍ〜５０
０μｍの強磁性材粒子８を磁極２４とワーク１の間隙３
ｍｍの間に充填し、ヨーク３に磁界をかける。なお、フ
ェライト製の強磁性材粒子８の粒径は、ワークの材質や
研磨の前加工の仕上がり面粗度の程度により適正値を選
択する。続いて、直線位置決め手段６とワーク回転手段
１０により磁極２４とワーク１との相対運動を行うとと
もに、スピンドル２を回転させる。それと同時に、予め
準備しておいたワーク１の研磨に適した砥材と水、界面
活性剤、消泡剤等を混合させたスラリー状の研磨液９を
図示しない供給ポンプでワーク１と強磁性材粒子８との
間に常時もしくは断続的に供給する。
０μｍの強磁性材粒子８を磁極２４とワーク１の間隙３
ｍｍの間に充填し、ヨーク３に磁界をかける。なお、フ
ェライト製の強磁性材粒子８の粒径は、ワークの材質や
研磨の前加工の仕上がり面粗度の程度により適正値を選
択する。続いて、直線位置決め手段６とワーク回転手段
１０により磁極２４とワーク１との相対運動を行うとと
もに、スピンドル２を回転させる。それと同時に、予め
準備しておいたワーク１の研磨に適した砥材と水、界面
活性剤、消泡剤等を混合させたスラリー状の研磨液９を
図示しない供給ポンプでワーク１と強磁性材粒子８との
間に常時もしくは断続的に供給する。
【００１８】なお、ワークの材質がプラスチックの場合
はＡｌ２Ｏ３が、またガラスの場合にはＣｅＯ２が最も
適した砥材として挙げられるが、これらに限定されるも
のではなく前にも述べた通りそれぞれのワークの素材に
適した砥材を選定すれば良い。
はＡｌ２Ｏ３が、またガラスの場合にはＣｅＯ２が最も
適した砥材として挙げられるが、これらに限定されるも
のではなく前にも述べた通りそれぞれのワークの素材に
適した砥材を選定すれば良い。
【００１９】このようにすることで、加工中にワーク１
の表面と強磁性材粒子８との間に常に研磨液中の砥材を
供給することができるばかりでなく、加工による摩擦熱
を研磨液が吸収してくれるため、短時間で所望の面粗度
もしくは外観精度を得ることが容易に実現できた。
の表面と強磁性材粒子８との間に常に研磨液中の砥材を
供給することができるばかりでなく、加工による摩擦熱
を研磨液が吸収してくれるため、短時間で所望の面粗度
もしくは外観精度を得ることが容易に実現できた。
【００２０】（実施例２）本実施例は、磁性研磨材粒子
として、繊維を材料とする起毛により被覆された強磁性
材粒子を用い、スラリー状の研磨液をワークと前記強磁
性材粒子との間隙に供給しながら磁気研磨を行う実施例
であり、図２に基づき説明する。
として、繊維を材料とする起毛により被覆された強磁性
材粒子を用い、スラリー状の研磨液をワークと前記強磁
性材粒子との間隙に供給しながら磁気研磨を行う実施例
であり、図２に基づき説明する。
【００２１】まず、磁性研磨材粒子１１を下記の手順で
作成した。フェライト製で粒径１０μｍ〜５００μｍの
強磁性材粒子１２の表面を接着層２５で覆い、接着層２
５の表面に繊維製の起毛１３を付着させ、前記の磁性研
磨材粒子１１を得る。こうして得られた磁性研磨材粒子
１１を磁極２４とワーク１の間隙３ｍｍの間に充填し、
ヨーク３に磁界をかける。なお、フェライト製の強磁性
材粒子１２の粒径は、ワークの材質や研磨の前加工の仕
上がり面粗度の程度により適正値を選択すれば良い。続
いて、直線位置決め手段６とワーク回転手段１０により
磁極２４とワーク１との相対運動を行うとともに、スピ
ンドル２を回転させる。それと同時に予め準備しておい
たワーク１の研磨に適した砥材と水、界面活性剤、消泡
剤等を混合させたスラリー状の研磨液９を加工中に図示
しない供給ポンプでワーク１と磁性研磨材粒子１１との
間に常時もしくは断続的に供給する。このようにするこ
とで、加工中にワーク１の表面と磁性研磨材粒子１１と
の間に常に研磨液中の砥材を供給することができるばか
りでなく、図３に示されるように、強磁性材粒子単体の
時に比べ起毛と起毛の間に研磨砥粒１４が多量に保持さ
れる。従って研磨砥粒１４がワーク１の表面に接触する
機会が増えることで研磨能率がより一層向上し、短時間
に所望の面粗度もしくは外観品質を得ることができた。
作成した。フェライト製で粒径１０μｍ〜５００μｍの
強磁性材粒子１２の表面を接着層２５で覆い、接着層２
５の表面に繊維製の起毛１３を付着させ、前記の磁性研
磨材粒子１１を得る。こうして得られた磁性研磨材粒子
１１を磁極２４とワーク１の間隙３ｍｍの間に充填し、
ヨーク３に磁界をかける。なお、フェライト製の強磁性
材粒子１２の粒径は、ワークの材質や研磨の前加工の仕
上がり面粗度の程度により適正値を選択すれば良い。続
いて、直線位置決め手段６とワーク回転手段１０により
磁極２４とワーク１との相対運動を行うとともに、スピ
ンドル２を回転させる。それと同時に予め準備しておい
たワーク１の研磨に適した砥材と水、界面活性剤、消泡
剤等を混合させたスラリー状の研磨液９を加工中に図示
しない供給ポンプでワーク１と磁性研磨材粒子１１との
間に常時もしくは断続的に供給する。このようにするこ
とで、加工中にワーク１の表面と磁性研磨材粒子１１と
の間に常に研磨液中の砥材を供給することができるばか
りでなく、図３に示されるように、強磁性材粒子単体の
時に比べ起毛と起毛の間に研磨砥粒１４が多量に保持さ
れる。従って研磨砥粒１４がワーク１の表面に接触する
機会が増えることで研磨能率がより一層向上し、短時間
に所望の面粗度もしくは外観品質を得ることができた。
【００２２】（実施例３）本実施例は、加工点における
法線が磁力線の方向とほぼ一致するようにワークの法線
制御を行いながら磁気研磨を行う実施例であり、図４に
基づき説明する。
法線が磁力線の方向とほぼ一致するようにワークの法線
制御を行いながら磁気研磨を行う実施例であり、図４に
基づき説明する。
【００２３】強磁性材粒子や研磨液については実施例
１、実施例２で説明したもの、あるいはワークの材質や
前加工の面粗度に合わせたものを使用し、なおかつ図１
あるいは図２に示す装置構成に加えて図４に示すように
ワーク１を旋回中心１９を中心に旋回させ、研磨の際の
接触点、すなわち任意の加工点Ｐnに立てた法線１７が
磁力線の方向１５とほぼ一致するようにワークの法線制
御を行うためのワーク旋回手段を付加する。前記の装置
構成によりワークの法線制御を行うことで、例えば球面
を含む自由曲面形状を有するワークにおいても、加工
点、正確には加工範囲が常に磁極２４の中心部となるた
め、加工部位によらず研磨による除去量がほぼ一定とな
る。よって、非磁性材料でなおかつ複雑な自由曲面形状
を有するワークであっても所望の形状精度を容易に得る
ことが可能となった。
１、実施例２で説明したもの、あるいはワークの材質や
前加工の面粗度に合わせたものを使用し、なおかつ図１
あるいは図２に示す装置構成に加えて図４に示すように
ワーク１を旋回中心１９を中心に旋回させ、研磨の際の
接触点、すなわち任意の加工点Ｐnに立てた法線１７が
磁力線の方向１５とほぼ一致するようにワークの法線制
御を行うためのワーク旋回手段を付加する。前記の装置
構成によりワークの法線制御を行うことで、例えば球面
を含む自由曲面形状を有するワークにおいても、加工
点、正確には加工範囲が常に磁極２４の中心部となるた
め、加工部位によらず研磨による除去量がほぼ一定とな
る。よって、非磁性材料でなおかつ複雑な自由曲面形状
を有するワークであっても所望の形状精度を容易に得る
ことが可能となった。
【００２４】（実施例４）本実施例は、加工点近傍で測
定された磁束密度が一定に保持される制御機能を有する
磁気研磨装置を用いた磁気研磨の実施例であり、図５に
基づき説明する。
定された磁束密度が一定に保持される制御機能を有する
磁気研磨装置を用いた磁気研磨の実施例であり、図５に
基づき説明する。
【００２５】実施例３の装置構成と制御方法に加え、図
５の２０に示される磁束密度測定センサーにより加工点
近傍における加工中の磁束密度の大小を監視するととも
に、前記の磁束密度が常に一定となるように、図示はし
ないが磁束密度にフィードバックがかけられる閉ループ
電流制御回路を構成する。このような構成とすること
で、加工点における厚みの変化が生じる、例えば球面を
含む自由曲面形状を有するワークの場合であっても磁束
密度が一定にコントロールされるため、強磁性材粒子の
結合力すなわち研磨圧を一定に保つことが可能となる。
よって、従来は所望の形状精度を得ることが非常に困難
とされていた複雑な自由曲面形状を有する非磁性材料ワ
ークであっても所望の形状精度を容易に得ることが可能
となった。
５の２０に示される磁束密度測定センサーにより加工点
近傍における加工中の磁束密度の大小を監視するととも
に、前記の磁束密度が常に一定となるように、図示はし
ないが磁束密度にフィードバックがかけられる閉ループ
電流制御回路を構成する。このような構成とすること
で、加工点における厚みの変化が生じる、例えば球面を
含む自由曲面形状を有するワークの場合であっても磁束
密度が一定にコントロールされるため、強磁性材粒子の
結合力すなわち研磨圧を一定に保つことが可能となる。
よって、従来は所望の形状精度を得ることが非常に困難
とされていた複雑な自由曲面形状を有する非磁性材料ワ
ークであっても所望の形状精度を容易に得ることが可能
となった。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、加
工中にスラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子との
間隙に供給し、また磁性研磨材粒子として繊維を材料と
する起毛により被覆された強磁性材粒子を用いること
で、ワークの材質を選ばずに研磨時間短縮、面粗度改
善、外観品質向上といった研磨性能を大幅に向上させる
ことが可能となる。さらには、加工点における法線が磁
力線の方向とほぼ一致するように法線制御を行い、加工
点近傍で測定された磁束密度が一定に保持される制御機
能を付加することで、加工部位あるいは加工範囲によら
ず高い形状精度を得ることが可能となる。従って従来技
術では得ることのできなかった高能率、高精度、さらに
は面粗度向上や高い外観品質を実現する磁気研磨装置、
および磁気研磨方法を提供できる。
工中にスラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子との
間隙に供給し、また磁性研磨材粒子として繊維を材料と
する起毛により被覆された強磁性材粒子を用いること
で、ワークの材質を選ばずに研磨時間短縮、面粗度改
善、外観品質向上といった研磨性能を大幅に向上させる
ことが可能となる。さらには、加工点における法線が磁
力線の方向とほぼ一致するように法線制御を行い、加工
点近傍で測定された磁束密度が一定に保持される制御機
能を付加することで、加工部位あるいは加工範囲によら
ず高い形状精度を得ることが可能となる。従って従来技
術では得ることのできなかった高能率、高精度、さらに
は面粗度向上や高い外観品質を実現する磁気研磨装置、
および磁気研磨方法を提供できる。
【図１】実施例１で用いた磁気研磨装置の構成を示す図
【図２】実施例２で用いた磁気研磨装置の構成を示す図
【図３】実施例２で用いた磁性材研磨粒子の断面図
【図４】実施例３で用いた磁気研磨装置の構成を示す図
【図５】実施例４で用いた磁気研磨装置の構成を示す図
【図６】従来技術の磁気研磨装置の構成を示す図
【図７】従来の磁気研磨方法で用いられる磁性研磨材粒
子の断面図
子の断面図
１ ワーク ２ スピンドル ３ ヨーク ４ 励磁コイル ５ 電源 ６ 直線位置決め手段 ７ 直線位置決め手段駆動用モーター ８ 強磁性材粒子 ９ スラリー状の研磨液 １０ ワーク回転手段 １１ 磁性研磨材粒子 １２ 強磁性材粒子 １３ 起毛 １４ 研磨砥粒 １５ 磁力線の方向 １６ 強磁性材粒子 １７ 法線制御を行った状態における任意の加工点Ｐn
に立てた法線 １８ ワークが水平状態における任意の加工点Ｐnに立
てた法線 １９ ワークの旋回中心 ２０ 磁束密度測定センサー ２１ 強磁性材粒子 ２２ 研磨砥粒 ２３ 従来技術の磁性研磨材粒子 ２４ 磁極 ２５ 接着層
に立てた法線 １８ ワークが水平状態における任意の加工点Ｐnに立
てた法線 １９ ワークの旋回中心 ２０ 磁束密度測定センサー ２１ 強磁性材粒子 ２２ 研磨砥粒 ２３ 従来技術の磁性研磨材粒子 ２４ 磁極 ２５ 接着層
Claims (8)
- 【請求項１】ヨーク、励磁コイル、電源、ワークと対面
する磁極、強磁性材粒子より構成され、励磁コイルに電
圧を印加しワークと対面する磁極間に磁界を発生させな
がら、ワークと磁極とを相対的に回転あるいは揺動させ
る磁気研磨装置において、Ａｌ２Ｏ３やＣｅＯ２等を砥
材とするスラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子と
の間隙に供給しながら磁気研磨を行うことを特徴とする
磁気研磨装置。 - 【請求項２】前記強磁性材粒子に代えて、強磁性材粒子
を綿、絹、レーヨン、ナイロン等の繊維を材料とする起
毛で被覆した磁性研磨材粒子を用いることを特徴とする
請求項１記載の磁気研磨装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の磁気研磨装置にお
いて、ワーク形状に合わせてワークと磁極との相対位置
決めを行う際に、加工点における法線が磁力線の方向と
ほぼ一致するように法線制御を行うことを特徴とする磁
気研磨装置。 - 【請求項４】請求項１ないし３のいずれか１項に記載の
磁気研磨装置において、加工点近傍で測定された磁束密
度が一定に保持される制御機能を有することを特徴とす
る磁気研磨装置。 - 【請求項５】ヨーク、励磁コイル、電源、ワークと対面
する磁極、強磁性材粒子より構成され、励磁コイルに電
圧を印加しワークと対面する磁極間に磁界を発生させな
がら、ワークと磁極とを相対的に回転あるいは揺動させ
る磁気研磨方法において、Ａｌ２Ｏ３やＣｅＯ２等を砥
材とするスラリー状の研磨液をワークと強磁性材粒子と
の間隙に供給しながら磁気研磨を行うことを特徴とする
磁気研磨方法。 - 【請求項６】前記強磁性材粒子に代えて、強磁性材粒子
を綿、絹、レーヨン、ナイロン等の繊維を材料とする起
毛で被覆した磁性研磨材粒子を用いることを特徴とする
請求項５記載の磁気研磨方法。 - 【請求項７】請求項５または６記載の磁気研磨方法にお
いて、ワーク形状に合わせてワークと磁極との相対位置
決めを行う際に、加工点における法線が磁力線の方向と
ほぼ一致するように法線制御を行うことを特徴とする磁
気研磨方法。 - 【請求項８】請求項５ないし７のいずれか１項に記載の
磁気研磨方法において、加工点近傍で測定された磁束密
度が一定に保持される制御機能を有することを特徴とす
る磁気研磨方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22348098A JP3846052B2 (ja) | 1998-08-06 | 1998-08-06 | 磁気研磨装置および磁気研磨方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22348098A JP3846052B2 (ja) | 1998-08-06 | 1998-08-06 | 磁気研磨装置および磁気研磨方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000052218A true JP2000052218A (ja) | 2000-02-22 |
| JP3846052B2 JP3846052B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=16798801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22348098A Expired - Fee Related JP3846052B2 (ja) | 1998-08-06 | 1998-08-06 | 磁気研磨装置および磁気研磨方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3846052B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108527014A (zh) * | 2018-06-05 | 2018-09-14 | 辽宁科技大学 | 一种非接触式磁力传动磁粒研磨装置及使用方法 |
| CN108714824A (zh) * | 2018-06-08 | 2018-10-30 | 辽宁科技大学 | 一种便携式磁力除锈抛光机及使用方法 |
| CN112895568A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-04 | 李华燕 | 一种药片生产用旋转式多冲压片装置 |
| CN114367377A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-04-19 | 中国核工业电机运行技术开发有限公司 | 一种有序分离和获取微粒的磁场产生组件及其分离方法 |
| CN117697573A (zh) * | 2024-02-05 | 2024-03-15 | 四川炬科光学科技有限公司 | 一种光学镜片的加工设备 |
-
1998
- 1998-08-06 JP JP22348098A patent/JP3846052B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108527014A (zh) * | 2018-06-05 | 2018-09-14 | 辽宁科技大学 | 一种非接触式磁力传动磁粒研磨装置及使用方法 |
| CN108714824A (zh) * | 2018-06-08 | 2018-10-30 | 辽宁科技大学 | 一种便携式磁力除锈抛光机及使用方法 |
| CN108714824B (zh) * | 2018-06-08 | 2023-06-02 | 辽宁科技大学 | 一种便携式磁力除锈抛光机及使用方法 |
| CN112895568A (zh) * | 2021-01-19 | 2021-06-04 | 李华燕 | 一种药片生产用旋转式多冲压片装置 |
| CN112895568B (zh) * | 2021-01-19 | 2023-04-11 | 河南中杰药业有限公司 | 一种药片生产用旋转式多冲压片装置 |
| CN114367377A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-04-19 | 中国核工业电机运行技术开发有限公司 | 一种有序分离和获取微粒的磁场产生组件及其分离方法 |
| CN117697573A (zh) * | 2024-02-05 | 2024-03-15 | 四川炬科光学科技有限公司 | 一种光学镜片的加工设备 |
| CN117697573B (zh) * | 2024-02-05 | 2024-04-30 | 四川炬科光学科技有限公司 | 一种光学镜片的加工设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3846052B2 (ja) | 2006-11-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100188400B1 (ko) | 전해 드레싱 연삭방법 및 장치 | |
| JP3042720B2 (ja) | 確定的マグネットレオロジー仕上げ装置 | |
| JP2007268689A (ja) | 磁気研磨装置、磁気研磨方法及びそれらに使用される加工工具 | |
| JP4139906B2 (ja) | 開口パターン付き薄板の研磨方法及び磁気研磨装置 | |
| JP3019026B2 (ja) | 球状鏡面加工方法および装置 | |
| JP3846052B2 (ja) | 磁気研磨装置および磁気研磨方法 | |
| JP2007098541A (ja) | 研磨工具及び研磨方法 | |
| JPS59161262A (ja) | 磁気吸引式研摩方法 | |
| WO2021238792A1 (zh) | 一种磁性研磨装置及磁性研磨控制方法 | |
| JP2005001027A (ja) | プローブ針の加工用研削装置 | |
| JP2005153106A (ja) | 研磨具、研磨具製造方法、研磨方法及び研磨装置 | |
| JPH08132343A (ja) | 管内面の研磨方法およびその研磨装置 | |
| JPH09180389A (ja) | 磁気ヘッドスライダ製造装置及び磁気ヘッドスライダ製造方法 | |
| JPH0550377A (ja) | 磁気研磨方法 | |
| JPS6274561A (ja) | 金型の研磨装置 | |
| KR0159741B1 (ko) | 자기 연마 장치 및 그 방법 | |
| Yin et al. | Experimental Study on Effects of Translational Movement on Surface Planarity in Magnetorheological Planarization Process | |
| JP2000225555A (ja) | 研磨加工用治工具及び研磨加工方法 | |
| JPH0425369A (ja) | 磁気研磨法及びこれに用いる磁性研磨剤 | |
| JP2006088283A (ja) | 鏡面研磨コーチング方法および鏡面研磨コーチング装置 | |
| JPH11221757A (ja) | 回転加工工具を用いた加工方法及び加工装置 | |
| JPH10217091A (ja) | 非磁性体円筒の内面研磨方法及びその装置 | |
| JP2005014148A (ja) | 研磨工具及びこれを用いた研磨方法並びに研磨加工装置 | |
| JP2001198798A (ja) | 磁気研磨装置の磁気研磨ヘッド | |
| JPH0542476A (ja) | 磁気研磨方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051214 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051220 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060203 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060801 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060814 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090901 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100901 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110901 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120901 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130901 Year of fee payment: 7 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |