JP4139906B2 - 開口パターン付き薄板の研磨方法及び磁気研磨装置 - Google Patents
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Description
前記1対の磁石間に磁性研磨材を存在させ、
前記回転及び振動付与手段において、前記磁石及び/又は前記薄板の面内において、前記1対の磁石の回転数及び/もしくは振動数に差を設ける、並びに/又は、前記1対の磁石の被加工物薄板表面に対する間隔に差を設けることにより、前記薄板の表面及び開口パターン内部を研磨するとともに、前記開口パターンの開口部壁面に傾斜を形成することを特徴とする。
図1に概略示すような構成を有する装置を用い、図2に示すように、磁性研磨材3としての磁性研磨粒子に加えて、研磨バフ4を併用して、半田ペースト用マスク(ステンレス鋼、厚さ0.1mm)サンプルの研磨を行った。なお、このサンプルにおける開口パターンは図5に示すようなものであり、各開口パターンにおけるレーザ開口後の状態を図6に示す。
次に、磁性研磨材の有無による研磨状態の違いを調べるため、上記実施例1におけると同様の装置構成において、研磨バフと複合磁性砥粒(KMX:アルミナ+鉄、粒子径約80μm)とを併用した場合と、研磨バフのみを用いた場合とで研磨を行った。
研磨における振動方向による影響性を調べた。上記実施例1と同様の装置構成において、研磨バフと複合磁性砥粒(KMX:アルミナ+鉄、粒子径約80μm)を用い、長方形の開口パターンに対し、振動速度を1.0Hzとし、振幅1cm、研磨時間を10分として研磨を行った。なお、実験は、長方形の開口パターンの長軸方向に平行に振動を加えた場合と、短軸方向に平行に振動を加えた場合の双方について行った。研磨前後における開口部の状態を観察した結果を図14に示す。
研磨における振動と回転との影響について調べた。四角、丸、三角の各開口パターンに対し、ゆっくりとした振動とはやい回転を与えながら研磨を行った場合(回転数1900rpm、振動数0.3Hz)と、はやい振動とゆっくりとした回転を与えながら研磨を行った場合(回転数700rpm、振動数1Hz)との双方につき、その研磨の状態を調べた。その結果、早い回転数を加えたものの方が良好な研磨が行えたようであり、この実験においては、振動よりも回転の方が研磨に対する寄与力が高いとの結果が得られた。しかしながら、我々が別途行った実験によれば、回転のみを加えるより、回転と振動とを併用した方が良好な研磨が行えた。なお、図15は、ゆっくりとした振動とはやい回転を与えながら研磨を行った場合の各開口パターンの研磨状態を示す写真である。
2 磁石
3 磁性研磨材
4 バフ
6a 上部スピンドル
6b 下部スピンドル
Claims (9)
- 開口パターンが形成された被加工物である薄板を研磨する方法であって、
前記薄板を挟んで、1対の磁石を互いの磁極が対極となるように離間配置し、前記1対の磁石間に磁性研磨材を存在させ、
前記磁石及び/又は前記薄板の面内において、前記1対の磁石の回転数及び/もしくは振動数に差を設ける、並びに/又は、前記1対の磁石の被加工物薄板表面に対する間隔に差を設けることにより、前記薄板の表面及び開口パターン内部を研磨するとともに、前記開口パターンの開口部壁面に傾斜を形成することを特徴とする開口パターン付き薄板の研磨方法。 - 前記磁性研磨材が、磁性研磨粒子であることを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 前記1対の磁石のいずれかの表面には、研磨バフが配されており、前記磁性研磨材は、この研磨バフを介在させた状態で、磁力により前記磁石に保持されているものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨方法。
- 前記研磨バフが、磁性層を有する研磨バフであることを特徴とする請求項3に記載の研磨方法。
- 前記磁性研磨材が、樹脂粒子からなる核粒子の表面に無電解めっきにより磁性層を形成し、該磁性層の表面にダイアモンド粒子からなる研磨粒子を固着させた複合磁性砥粒であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の研磨方法。
- 前記磁性研磨材が、アルミナと鉄からなる複合磁性砥粒であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の研磨方法。
- 開口パターンが形成された被加工物である薄板を研磨する装置であって、
少なくとも当該薄板を保持するワーク保持手段、
当該ワーク保持手段に保持される被研磨薄板を挟む位置に対向して配置された上部スピンドル及び下部スピンドル、
当該上部スピンドル及び下部スピンドルにそれぞれ回転及び振動を付与する回転及び振動付与手段、並びに、
当該上部スピンドル先端及び下部スピンドル先端にそれぞれの磁極が対極となるように取り付けられ、それぞれスピンドルと一緒に回転及び振動する1対の磁石、を有し、
前記1対の磁石間に磁性研磨材を存在させ、
前記回転及び振動付与手段において、前記磁石及び/又は前記薄板の面内において、前記1対の磁石の回転数及び/もしくは振動数に差を設ける、並びに/又は、前記1対の磁石の被加工物薄板表面に対する間隔に差を設けることにより、前記薄板の表面及び開口パターン内部を研磨するとともに、前記開口パターンの開口部壁面に傾斜を形成することを特徴とする磁気研磨装置。 - ワーク保持手段に保持された被加工物に回転及び振動を付与する回転及び振動付与手段を、前記した当該上部スピンドル及び下部スピンドルに対する回転及び振動付与手段に代えて、あるいはこれと共に有することを特徴とする請求項7に記載の磁気研磨装置。
- ワーク保持手段に付設して、保持したワークのX、Y、Z方向の位置調整及びスピンドルに対する角度調整を行うワーク移動角度調整駆動手段、及び、
スピンドル保持手段に付設して、保持したスピンドルのX、Y、Z方向の位置調整及び被研磨薄板の研磨部分に対する角度調整を行うスピンドル移動角度調整駆動手段、を有することを特徴とする請求項7又は8に記載の磁気研磨装置。
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