JP6601909B2 - 磁気研磨装置及び磁気研磨方法 - Google Patents
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Description
また、本発明の実施形態に係る磁気研磨方法は、磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に、極性がN極とS極との間で変動する第1の磁極から第1の磁力を与える一方、被研磨物体を間に挟んで配置された、変動しない極性を有する第2の磁極から前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるステップと、前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させ、前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行うことによって被研磨品を製造するステップとを有し、前記第1の磁極の極性を変動させることによって、前記第1の磁極に設けられた容器内の研磨液と混合された前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を、前記第1の磁極と前記第2の磁極との間に形成される磁力線に沿う方向に振動させるものである。
図1は本発明の実施形態に係る磁気研磨装置の構成を示す斜視図であり、図2は図1に示す磁気研磨装置の正面図である。
次に磁気研磨装置1を用いた磁気研磨方法について説明する。
このため、磁気研磨装置1及び磁気研磨方法によれば、被研磨物体Wの構造に適した磁気ブラシ2を形成するために、単一の磁極で磁界を形成する場合に比べて、より適切な磁界を形成することができる。特に、磁界を変動させることによって磁性粒子2Aを振動させることができる。その結果、平面や曲面等の面はもちろん、超微細孔の内面のように狭い空間を形成する面であっても磁気研磨法によって研磨することができる。
以上、特定の実施形態について記載したが、記載された実施形態は一例に過ぎず、発明の範囲を限定するものではない。ここに記載された新規な方法及び装置は、様々な他の様式で具現化することができる。また、ここに記載された方法及び装置の様式において、発明の要旨から逸脱しない範囲で、種々の省略、置換及び変更を行うことができる。添付された請求の範囲及びその均等物は、発明の範囲及び要旨に包含されているものとして、そのような種々の様式及び変形例を含んでいる。
Claims (7)
- 磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に第1の磁力を与えるための第1の磁極であって、極性がN極とS極との間で変動する第1の磁極と、
被研磨物体を間に挟んで配置され、前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるための第2の磁極であって、変動しない極性を有する第2の磁極と、
前記第1の磁極に設けられた容器と、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させることによって前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行う移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、前記第1の磁極の極性をN極とS極との間で変動させる制御回路を有し、前記制御回路で前記第1の磁極の極性を変動させることによって、前記容器内の研磨液と混合された前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を、前記第1の磁極と前記第2の磁極との間に形成される磁力線に沿う方向に振動させるように構成される磁気研磨装置。 - 前記移動機構は、前記第1の磁極を回転させる回転機構を有し、前記第1の磁極を回転させることによって前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を前記第1の磁極の回転方向に回転させるように構成される請求項1記載の磁気研磨装置。
- 前記第1の磁極は、前記第2の磁極側における先端の形状が凸面となっている柱状の磁極であって、中心軸上を通らない溝及び中心軸上でない位置に形成される凹みの少なくとも一方を有する柱状の磁極である請求項1又は2記載の磁気研磨装置。
- 磁性を有さない砥粒を付着させた磁性粒子又は磁性を有する砥粒である磁性砥粒に、極性がN極とS極との間で変動する第1の磁極から第1の磁力を与える一方、被研磨物体を間に挟んで配置された、変動しない極性を有する第2の磁極から前記磁性粒子又は前記磁性砥粒に第2の磁力を与えるステップと、
前記被研磨物体に対して前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を相対的に移動させ、前記磁性を有さない砥粒又は前記磁性砥粒で前記被研磨物体の研磨を行うことによって被研磨品を製造するステップと、
を有し、
前記第1の磁極の極性を変動させることによって、前記第1の磁極に設けられた容器内の研磨液と混合された前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を、前記第1の磁極と前記第2の磁極との間に形成される磁力線に沿う方向に振動させる磁気研磨方法。 - 前記被研磨物体に形成される孔の内面、スリットの内面又は溝の内面を研磨することによって前記被研磨品を製造する請求項4記載の磁気研磨方法。
- 前記第1の磁極の極性をN極とS極との間で繰返し交互に変動させることによって前記磁性粒子又は前記磁性砥粒を前記孔、前記スリット又は前記溝の内部に導くようにした請求項5記載の磁気研磨方法。
- モリブテン合金又はタングステン合金から成る前記被研磨物体を研磨することによって前記被研磨品を製造する請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁気研磨方法。
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