JPH08132343A - 管内面の研磨方法およびその研磨装置 - Google Patents
管内面の研磨方法およびその研磨装置Info
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- JPH08132343A JPH08132343A JP29784194A JP29784194A JPH08132343A JP H08132343 A JPH08132343 A JP H08132343A JP 29784194 A JP29784194 A JP 29784194A JP 29784194 A JP29784194 A JP 29784194A JP H08132343 A JPH08132343 A JP H08132343A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な方法および構成で、管内面を高精度に
研磨できる管内面の研磨方法およびその研磨装置を提供
すること。 【構成】互いに対向して設けられた磁場発生手段の一方
３ａ、３ｂを管１２内方に、他方２ａ、５ａ、９ａ；２
ｂ、５ｂ、９ｂを管１２外方に位置するようにして、管
内方の磁場発生手段３ａ、３ｂと管１２内面との間に磁
性研磨材１３を補給しながら、管１２または磁場発生手
段のいずれか一方を回転進退させると、このブラシ状に
整列した磁性研磨材１３により管内面が研磨される。こ
れにより、簡単な方法で管内面が高精度に研磨される。
研磨できる管内面の研磨方法およびその研磨装置を提供
すること。 【構成】互いに対向して設けられた磁場発生手段の一方
３ａ、３ｂを管１２内方に、他方２ａ、５ａ、９ａ；２
ｂ、５ｂ、９ｂを管１２外方に位置するようにして、管
内方の磁場発生手段３ａ、３ｂと管１２内面との間に磁
性研磨材１３を補給しながら、管１２または磁場発生手
段のいずれか一方を回転進退させると、このブラシ状に
整列した磁性研磨材１３により管内面が研磨される。こ
れにより、簡単な方法で管内面が高精度に研磨される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、管内面を高精度に研磨
する研磨方法およびその研磨装置に関する。
する研磨方法およびその研磨装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、部品の表面仕上げには砥石研磨、
バフ研磨、砥流研磨、電解複合研磨等各種研磨方法が行
われており、部品の用途に応じて各種研磨方法が選択さ
れている。
バフ研磨、砥流研磨、電解複合研磨等各種研磨方法が行
われており、部品の用途に応じて各種研磨方法が選択さ
れている。
【０００３】そこで、例えば、クリーンルームに使用さ
れるステンレス管等にあっては、ステンレス管内面から
発生する少しの塵でもクリーンルームに悪影響を及ぼす
ため、高精度の研磨が要求されている。
れるステンレス管等にあっては、ステンレス管内面から
発生する少しの塵でもクリーンルームに悪影響を及ぼす
ため、高精度の研磨が要求されている。
【０００４】従来、例えばステンレス管等の管内面を高
精度に研磨する方法として、電解複合研磨方法が一般的
に用いられている。
精度に研磨する方法として、電解複合研磨方法が一般的
に用いられている。
【０００５】これは、電極工具と絶縁工具で構成した研
磨工具を、管内面の研磨を行う面に挿入し、電極工具と
管内面に荒仕上げ用研磨材を、絶縁工具と管内面に超仕
上げ用研磨材を介在させて、電解液を供給しながら、管
が陽極に、電極工具が陰極になるように、直流電源から
電流、電圧を与え、その後、研磨工具または管を回転さ
せて、電極工具により電解研磨し荒仕上げを行い、絶縁
工具により砥粒研磨し超仕上げを行う研磨方法であっ
て、これにより、管内面は高精度に研磨される。
磨工具を、管内面の研磨を行う面に挿入し、電極工具と
管内面に荒仕上げ用研磨材を、絶縁工具と管内面に超仕
上げ用研磨材を介在させて、電解液を供給しながら、管
が陽極に、電極工具が陰極になるように、直流電源から
電流、電圧を与え、その後、研磨工具または管を回転さ
せて、電極工具により電解研磨し荒仕上げを行い、絶縁
工具により砥粒研磨し超仕上げを行う研磨方法であっ
て、これにより、管内面は高精度に研磨される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術のように、管内面を電解複合研磨方法で研磨す
るには、研磨工具として電極工具と絶縁工具を２種類用
意しなければならず、また、管と電極工具の間に電気回
路を形成しなければならないので、構成が複雑になり、
しかも、研磨方法も荒仕上げを行った後、研磨工具を移
動して超仕上げを行わなければならないので、研磨方法
が面倒で、研磨に時間を要するという問題があった。
来の技術のように、管内面を電解複合研磨方法で研磨す
るには、研磨工具として電極工具と絶縁工具を２種類用
意しなければならず、また、管と電極工具の間に電気回
路を形成しなければならないので、構成が複雑になり、
しかも、研磨方法も荒仕上げを行った後、研磨工具を移
動して超仕上げを行わなければならないので、研磨方法
が面倒で、研磨に時間を要するという問題があった。
【０００７】本発明は、上記のような問題に着目してな
されたもので、簡単な方法および構成で、管内面を高精
度に研磨できる管内面の研磨方法およびその研磨装置を
提供することを課題とする。
されたもので、簡単な方法および構成で、管内面を高精
度に研磨できる管内面の研磨方法およびその研磨装置を
提供することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明の管内面の研磨方法は、互いに対向して設けられ
た磁場発生手段の一方を管内方に、他方を管外方に位置
するようにして、管内方の磁場発生手段と管内面との間
に磁性研磨材を補給しながら、管または磁場発生手段の
いずれか一方を回転進退させることを特徴とする（請求
項１）。
本発明の管内面の研磨方法は、互いに対向して設けられ
た磁場発生手段の一方を管内方に、他方を管外方に位置
するようにして、管内方の磁場発生手段と管内面との間
に磁性研磨材を補給しながら、管または磁場発生手段の
いずれか一方を回転進退させることを特徴とする（請求
項１）。
【０００９】そして、前記磁性研磨材を補給するに際
し、最初に荒仕上げ用磁性研磨材を補給し、次いで超仕
上げ用磁性研磨材を補給するようにするとよい（請求項
２）。
し、最初に荒仕上げ用磁性研磨材を補給し、次いで超仕
上げ用磁性研磨材を補給するようにするとよい（請求項
２）。
【００１０】また、同課題を解決するため、互いに対向
して設けられた少なくとも２つの磁場発生手段を有し、
一方の磁場発生手段が管内方に、他方の磁場発生手段が
管外方に配置され、管または磁場発生手段のいずれか一
方には回転進退用の駆動手段が備えられ、さらに磁性研
磨材を補給する磁性研磨材補給手段を有することを特徴
とする（請求項３）。
して設けられた少なくとも２つの磁場発生手段を有し、
一方の磁場発生手段が管内方に、他方の磁場発生手段が
管外方に配置され、管または磁場発生手段のいずれか一
方には回転進退用の駆動手段が備えられ、さらに磁性研
磨材を補給する磁性研磨材補給手段を有することを特徴
とする（請求項３）。
【００１１】そして、前記磁性研磨材補給手段は、前記
回転進退用の駆動手段の備えられていない管または磁場
発生手段に取付けられていることが好ましい（請求項
４）。
回転進退用の駆動手段の備えられていない管または磁場
発生手段に取付けられていることが好ましい（請求項
４）。
【００１２】
【作用】互いに対向して設けられた磁場発生手段の一方
を管内方に、他方を管外方に位置するようにして、管内
方の磁場発生手段と管内面との間に磁性研磨材を補給し
ながら、管または磁場発生手段のいずれか一方を回転進
退させる。このため、磁性研磨材の個々の粒子は、磁場
発生手段により形成される磁界によって磁気を帯び、磁
気的に結合してブラシ状に整列し、このブラシ状に整列
した磁性研磨材により管内面が高精度に研磨される。
を管内方に、他方を管外方に位置するようにして、管内
方の磁場発生手段と管内面との間に磁性研磨材を補給し
ながら、管または磁場発生手段のいずれか一方を回転進
退させる。このため、磁性研磨材の個々の粒子は、磁場
発生手段により形成される磁界によって磁気を帯び、磁
気的に結合してブラシ状に整列し、このブラシ状に整列
した磁性研磨材により管内面が高精度に研磨される。
【００１３】そして、前記磁性研磨材を補給するに際
し、最初に荒仕上げ用磁性研磨材を補給し、次いで超仕
上げ用磁性研磨材を補給するようにすると、管内面を荒
仕上げ研磨から超仕上げ研磨と連続して行うことができ
るので、短時間で管内面が高精度に研磨される前記磁性
研磨材補給手段は、回転もしくは進退しない部分に設け
られるため、装置の簡素化が図れる。
し、最初に荒仕上げ用磁性研磨材を補給し、次いで超仕
上げ用磁性研磨材を補給するようにすると、管内面を荒
仕上げ研磨から超仕上げ研磨と連続して行うことができ
るので、短時間で管内面が高精度に研磨される前記磁性
研磨材補給手段は、回転もしくは進退しない部分に設け
られるため、装置の簡素化が図れる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面に基づいて説
明すると、１は本発明実施例の管内面の研磨装置であっ
て、この研磨装置１は、主として一対のコイル２ａ、２
ｂ、永久磁石３、モータ４で構成されている。
明すると、１は本発明実施例の管内面の研磨装置であっ
て、この研磨装置１は、主として一対のコイル２ａ、２
ｂ、永久磁石３、モータ４で構成されている。
【００１５】コイル２ａ、２ｂは、１ｍｍ径のネオマー
ル線を約２０００巻（電気抵抗１０Ω）したものより成
り、直流電源（ＤＣ）に接続されている。このコイル２
ａ、２ｂはヨーク５ａ、５ｂに固定され、電気絶縁体６
ａ、６ｂを介してテーブル７の基板８に取付けられてい
る。
ル線を約２０００巻（電気抵抗１０Ω）したものより成
り、直流電源（ＤＣ）に接続されている。このコイル２
ａ、２ｂはヨーク５ａ、５ｂに固定され、電気絶縁体６
ａ、６ｂを介してテーブル７の基板８に取付けられてい
る。
【００１６】このヨーク５ａ、５ｂにはＳＳ４１材が用
いられている。ヨーク５ａ、５ｂの内端には磁極９ａ、
９ｂが設けられ、したがって、コイル２ａ、２ｂ、ヨー
ク５ａ、５ｂおよび磁極９ａ、９ｂにより閉磁気回路が
形成されている。また、この実施例では電気絶縁体６
ａ、６ｂが、基板８に対して図１上で左右方向に移動可
能に構成されており、これにより、磁極９ａ、９ｂの間
隔が調節できることになっている。
いられている。ヨーク５ａ、５ｂの内端には磁極９ａ、
９ｂが設けられ、したがって、コイル２ａ、２ｂ、ヨー
ク５ａ、５ｂおよび磁極９ａ、９ｂにより閉磁気回路が
形成されている。また、この実施例では電気絶縁体６
ａ、６ｂが、基板８に対して図１上で左右方向に移動可
能に構成されており、これにより、磁極９ａ、９ｂの間
隔が調節できることになっている。
【００１７】永久磁石３は、中心部に貫通穴３ｃを有し
たＳ極３ａとＮ極３ｂで構成されており、固定棒１０に
取り外し自在に固定されている。また、永久磁石３は、
この実施例の場合、断面台形形状に形成されており、平
坦な上面３ｄとこの上面３ｄから後記のステンレス管１
２内面側に傾斜するテーパ面３ｅ、３ｆを有している。
固定棒１０はテーブル７内に適宜固定されており、この
固定棒１０の中心部には貫通穴１０ａが形成されてい
る。なお、貫通穴３ｃ、１０ａは同軸同径に形成されて
いる。
たＳ極３ａとＮ極３ｂで構成されており、固定棒１０に
取り外し自在に固定されている。また、永久磁石３は、
この実施例の場合、断面台形形状に形成されており、平
坦な上面３ｄとこの上面３ｄから後記のステンレス管１
２内面側に傾斜するテーパ面３ｅ、３ｆを有している。
固定棒１０はテーブル７内に適宜固定されており、この
固定棒１０の中心部には貫通穴１０ａが形成されてい
る。なお、貫通穴３ｃ、１０ａは同軸同径に形成されて
いる。
【００１８】したがって、コイル２ａ、２ｂに直流電源
から電流、電圧を与えると、磁極９ａとＳ極３ａおよび
磁極９ｂとＮ極３ｂの間に直流磁場が発生することにな
る。すなわち、本実施例では、コイル２ａ、ヨーク５ａ
および磁極９ａ（管外方の磁場発生手段）とＳ極３ａ
（管内方の磁場発生手段）の組合わせで形成される磁場
発生手段と、コイル２ｂ、ヨーク５ｂおよび磁極９ｂ
（管外方の磁場発生手段）とＮ極３ｂ（管内方の磁場発
生手段）の組合わせで形成される磁場発生手段とが構成
されることになる。
から電流、電圧を与えると、磁極９ａとＳ極３ａおよび
磁極９ｂとＮ極３ｂの間に直流磁場が発生することにな
る。すなわち、本実施例では、コイル２ａ、ヨーク５ａ
および磁極９ａ（管外方の磁場発生手段）とＳ極３ａ
（管内方の磁場発生手段）の組合わせで形成される磁場
発生手段と、コイル２ｂ、ヨーク５ｂおよび磁極９ｂ
（管外方の磁場発生手段）とＮ極３ｂ（管内方の磁場発
生手段）の組合わせで形成される磁場発生手段とが構成
されることになる。
【００１９】モータ４は、軸４ａが回転進退できるよう
な駆動手段として構成されており、軸４ａには非磁性チ
ャック１１が設けられている。この非磁性チャック１１
には内面が研磨されるステンレス管１２が固定されてい
る。ここで、永久磁石３の最大外径をａ、ステンレス管
１２の内径をｂ１、外径をｂ２、磁極９ａ、９ｂ間の間
隔をｃとすると、それらの寸法は、ａ＜ｂ１＜ｂ２＜ｃ
の関係になっている。
な駆動手段として構成されており、軸４ａには非磁性チ
ャック１１が設けられている。この非磁性チャック１１
には内面が研磨されるステンレス管１２が固定されてい
る。ここで、永久磁石３の最大外径をａ、ステンレス管
１２の内径をｂ１、外径をｂ２、磁極９ａ、９ｂ間の間
隔をｃとすると、それらの寸法は、ａ＜ｂ１＜ｂ２＜ｃ
の関係になっている。
【００２０】１３は磁性研磨材であって、この磁性研磨
材１３は、例えば鉄粒子上にコーティング法でアルミナ
を付着させた粒子が用いられる。
材１３は、例えば鉄粒子上にコーティング法でアルミナ
を付着させた粒子が用いられる。
【００２１】１４は磁性研磨材供給装置であって、この
供給装置１４により、磁性研磨材１３は、固定棒１０の
貫通穴１０ａおよび永久磁石３の貫通穴３ｃを介して永
久磁石３の上面３ｄに補給できるようになっている。こ
こで、磁性研磨材供給装置１４、貫通穴３ｃ、１０ｃは
磁性研磨材補給手段、永久磁石３の上面３ｄは磁性研磨
材保持手段を構成している。
供給装置１４により、磁性研磨材１３は、固定棒１０の
貫通穴１０ａおよび永久磁石３の貫通穴３ｃを介して永
久磁石３の上面３ｄに補給できるようになっている。こ
こで、磁性研磨材供給装置１４、貫通穴３ｃ、１０ｃは
磁性研磨材補給手段、永久磁石３の上面３ｄは磁性研磨
材保持手段を構成している。
【００２２】次に、ステンレス管１２内面の研磨方法に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００２３】（ａ）研磨すべきステンレス管１２を非磁
性チャック１１に固定する。
性チャック１１に固定する。
【００２４】（ｂ）ステンレス管１２の内径ｂ１および
外径ｂ２により、前述の寸法関係が成り立つように、永
久磁石３を選択して固定棒１０に取付け、電気絶縁体６
ａ、６ｂを基板８上で移動させ、磁極９ａ、９ｂ間の間
隔を設定する。
外径ｂ２により、前述の寸法関係が成り立つように、永
久磁石３を選択して固定棒１０に取付け、電気絶縁体６
ａ、６ｂを基板８上で移動させ、磁極９ａ、９ｂ間の間
隔を設定する。
【００２５】（ｃ）モータ４を駆動して、軸４ａを回転
させながら軸方向に移動させ、ステンレス管１２の内方
に永久磁石３が、外方に磁極９ａ、９ｂが位置するよう
にセットする。
させながら軸方向に移動させ、ステンレス管１２の内方
に永久磁石３が、外方に磁極９ａ、９ｂが位置するよう
にセットする。
【００２６】（ｄ）供給装置１４により磁性研磨材１３
を貫通穴１０ａ、３ｃを介して押上げ、永久磁石３の上
面３ｄに一部保持させる。
を貫通穴１０ａ、３ｃを介して押上げ、永久磁石３の上
面３ｄに一部保持させる。
【００２７】（ｅ）コイル２ａ、２ｂに直流電源から電
流、電圧を与える。
流、電圧を与える。
【００２８】（ｆ）磁極９ａとＳ極３ａ、および磁極９
ｂとＮ極３ｂの間には、直流磁場が発生するので、図２
に示されるように、永久磁石３の上面３ｄの磁性研磨材
１３は、その直流磁場によって形成される磁界によって
吸引され、テーパ面３ｅ、３ｆとステンレス管１２内面
に充填される。
ｂとＮ極３ｂの間には、直流磁場が発生するので、図２
に示されるように、永久磁石３の上面３ｄの磁性研磨材
１３は、その直流磁場によって形成される磁界によって
吸引され、テーパ面３ｅ、３ｆとステンレス管１２内面
に充填される。
【００２９】（ｇ）磁性研磨材１３は荒仕上げ用を一定
量補給した後、超仕上げ用を一定量補給することもでき
る。
量補給した後、超仕上げ用を一定量補給することもでき
る。
【００３０】これにより、充填された磁性研磨材１３の
個々の粒子は、直流磁場によって形成される磁界によっ
て磁気を帯び、磁気的に結合してブラシ状に整列する。
その際、磁性研磨材１３の個々の粒子は、ステンレス管
１２の内面に押しつけられることになる。一方、ステン
レス管１２は回転しているので、押しつけられた個々の
粒子は、ステンレス管１２の法線方向に力を受けること
になるが、粒子間の磁気吸引力と法線方向磁界勾配に基
づく磁気力によって流動がさまたげられ、磁界中に保持
する力を受けながらステンレス管１２内面を研磨する。
個々の粒子は、直流磁場によって形成される磁界によっ
て磁気を帯び、磁気的に結合してブラシ状に整列する。
その際、磁性研磨材１３の個々の粒子は、ステンレス管
１２の内面に押しつけられることになる。一方、ステン
レス管１２は回転しているので、押しつけられた個々の
粒子は、ステンレス管１２の法線方向に力を受けること
になるが、粒子間の磁気吸引力と法線方向磁界勾配に基
づく磁気力によって流動がさまたげられ、磁界中に保持
する力を受けながらステンレス管１２内面を研磨する。
【００３１】研磨が進行すると、磁性研磨材１３は次第
に研磨能力を失って、ステンレス管１２と永久磁石３の
隙間から下方に落下するが、所定の量の磁性研磨材１３
が供給装置１４から逐次供給されるため安定した研磨が
続行されることになる。
に研磨能力を失って、ステンレス管１２と永久磁石３の
隙間から下方に落下するが、所定の量の磁性研磨材１３
が供給装置１４から逐次供給されるため安定した研磨が
続行されることになる。
【００３２】したがって、本実施例方法によれば、簡単
な方法で管内面が高精度に研磨されるとともに、研磨装
置１およびステンレス管１２を移動することなく管内面
を荒仕上げから超仕上げへと連続して研磨でき、かつ研
磨に時間を要することもない。
な方法で管内面が高精度に研磨されるとともに、研磨装
置１およびステンレス管１２を移動することなく管内面
を荒仕上げから超仕上げへと連続して研磨でき、かつ研
磨に時間を要することもない。
【００３３】また、本研磨装置１は、直流磁場を形成す
る磁場発生手段としてコイル２ａ、２ｂ、ヨーク５ａ、
５ｂ、磁極９ａ、９ｂ、永久磁石３を用いたので、複雑
な電気回路を形成することなく、しかも、研磨工具も２
種類用意する必要がない。
る磁場発生手段としてコイル２ａ、２ｂ、ヨーク５ａ、
５ｂ、磁極９ａ、９ｂ、永久磁石３を用いたので、複雑
な電気回路を形成することなく、しかも、研磨工具も２
種類用意する必要がない。
【００３４】このように、永久磁石３の上面３ｃに磁性
研磨材１３が所定量保持されるとともに、永久磁石３に
は上面３ｄからステンレス管１２内面側に傾斜するテー
パ面３ｅ、３ｆを有しているため、磁性研磨材１３の管
内面への補給も確実なものとなる。
研磨材１３が所定量保持されるとともに、永久磁石３に
は上面３ｄからステンレス管１２内面側に傾斜するテー
パ面３ｅ、３ｆを有しているため、磁性研磨材１３の管
内面への補給も確実なものとなる。
【００３５】以上、実施例を図面により説明してきた
が、具体的な構成は実施例に限られるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加等があ
っても本発明に含まれる。
が、具体的な構成は実施例に限られるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加等があ
っても本発明に含まれる。
【００３６】例えば、前記第１の実施例では、ステンレ
ス管１２を回転進退させるようにしているが、図２の状
態で、コイル２ａ、２ｂ、ヨーク５ａ、５ｂ、磁極９
ａ、９ｂ、永久磁石３から成る磁場発生手段を回転進退
させるようにしても良い。
ス管１２を回転進退させるようにしているが、図２の状
態で、コイル２ａ、２ｂ、ヨーク５ａ、５ｂ、磁極９
ａ、９ｂ、永久磁石３から成る磁場発生手段を回転進退
させるようにしても良い。
【００３７】また、前記第１の実施例では、管内方の磁
場発生手段に永久磁石を用いたが、図３に示されるよう
にコイル２１ａ、２１ｂ、図示しないヨークを用いて管
内方の磁場発生手段を構成するようにしても良い。な
お、２１ｃはコイル２１ａ、２１ｂを貫通する貫通穴、
２１ｄは上面、２１ｅ、２１ｆは磁極、２２はコイル２
１ａ、２１ｂ等からなる電磁石を固定する固定棒、２２
ａは固定棒２２の中心部に設けられた貫通穴であって、
この貫通穴２２ａは磁性研磨材補給手段の一部を、ま
た、上面２１ｃは磁性研磨材保持手段を構成している。
場発生手段に永久磁石を用いたが、図３に示されるよう
にコイル２１ａ、２１ｂ、図示しないヨークを用いて管
内方の磁場発生手段を構成するようにしても良い。な
お、２１ｃはコイル２１ａ、２１ｂを貫通する貫通穴、
２１ｄは上面、２１ｅ、２１ｆは磁極、２２はコイル２
１ａ、２１ｂ等からなる電磁石を固定する固定棒、２２
ａは固定棒２２の中心部に設けられた貫通穴であって、
この貫通穴２２ａは磁性研磨材補給手段の一部を、ま
た、上面２１ｃは磁性研磨材保持手段を構成している。
【００３８】第１の実施例では、管内方の磁場発生手段
に、その上面から管内面側に傾斜するテーパ面を形成し
たが、図４に示されるように、垂直な磁極３１ｅ、３１
ｆが形成されていてもよい。なお、３１ｃはコイル３１
ａ、３１ｂ内を貫通する貫通穴、３１ｄは上面、３２は
コイル３１ａ、３１ｂ等からなる電磁石を固定する固定
棒、３２ａは固定棒３２の中心部に設けられた貫通穴で
あって、この貫通穴３２ａは磁性研磨材補給手段の一部
を、また、上面３１ｃは磁性研磨材保持手段を構成して
いる。
に、その上面から管内面側に傾斜するテーパ面を形成し
たが、図４に示されるように、垂直な磁極３１ｅ、３１
ｆが形成されていてもよい。なお、３１ｃはコイル３１
ａ、３１ｂ内を貫通する貫通穴、３１ｄは上面、３２は
コイル３１ａ、３１ｂ等からなる電磁石を固定する固定
棒、３２ａは固定棒３２の中心部に設けられた貫通穴で
あって、この貫通穴３２ａは磁性研磨材補給手段の一部
を、また、上面３１ｃは磁性研磨材保持手段を構成して
いる。
【００３９】なお、実施例では、非磁性体のステンレス
管の内面を研磨する例を示したが、磁性体、例えば、焼
入れ鋼等の内面でも研磨可能である。
管の内面を研磨する例を示したが、磁性体、例えば、焼
入れ鋼等の内面でも研磨可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明してきたように本発明にあって
は、次に記載する効果が得られる。
は、次に記載する効果が得られる。
【００４１】（ａ）互いに対向して設けられた磁場発生
手段の一方を管内方に、他方を管外方に位置するように
して、管内方の磁場発生手段と管内面との間に磁性研磨
材を補給しながら、管または磁場発生手段のいずれか一
方を回転進退させる。このため、磁性研磨材の個々の粒
子は、磁場発生手段により形成される磁界によって磁気
を帯び、磁気的に結合してブラシ状に整列し、このブラ
シ状に整列した磁性研磨材により管内面が高精度に研磨
される。
手段の一方を管内方に、他方を管外方に位置するように
して、管内方の磁場発生手段と管内面との間に磁性研磨
材を補給しながら、管または磁場発生手段のいずれか一
方を回転進退させる。このため、磁性研磨材の個々の粒
子は、磁場発生手段により形成される磁界によって磁気
を帯び、磁気的に結合してブラシ状に整列し、このブラ
シ状に整列した磁性研磨材により管内面が高精度に研磨
される。
【００４２】（ｂ）そして、前記磁性研磨材を補給する
に際し、最初に荒仕上げ用磁性研磨材を補給し、次いで
超仕上げ用磁性研磨材を補給するようにすると、管内面
を荒仕上げ研磨から超仕上げ研磨と連続して行うことが
できるので、短時間で管内面が高精度に研磨される （ｃ）前記磁性研磨材補給手段は、回転もしくは進退し
ない部分に設けられるため、装置の簡素化が図れる。
に際し、最初に荒仕上げ用磁性研磨材を補給し、次いで
超仕上げ用磁性研磨材を補給するようにすると、管内面
を荒仕上げ研磨から超仕上げ研磨と連続して行うことが
できるので、短時間で管内面が高精度に研磨される （ｃ）前記磁性研磨材補給手段は、回転もしくは進退し
ない部分に設けられるため、装置の簡素化が図れる。
【００４３】
【図１】本発明実施例の全体を示す図である。
【図２】本発明実施例の要部拡大図である。
【図３】本発明の別の実施例を示す要部拡大図である。
【図４】本発明のさらに別の実施例を示す要部拡大図で
ある。
ある。
１ 本発明実施例の管内面の研磨装置 ２ａ、２ｂ コイル ３ 永久磁石 ３ａ Ｓ極 ３ｂ Ｎ極 ３ｃ 貫通穴 ３ｄ 上面 ３ｅ、３ｆ テーパ面 ４ モータ ４ａ 軸 ５ａ、５ｂ ヨーク ６ａ、６ｂ 電気絶縁体 ７ テーブル ８ 基板 ９ａ、９ｂ 磁極 １０ 固定棒 １０ａ 貫通穴 １１ 非磁性チャック １２ ステンレス管 １３ 磁性研磨材 １４ 供給装置 ２１ａ、２１ｂ コイル ２１ｃ 貫通穴 ２１ｄ 上面 ２１ｅ、２１ｆ 磁極 ２２ 固定棒 ２２ａ 貫通穴 ３１ａ、３１ｂ コイル ３１ｃ 貫通穴 ３１ｄ 上面 ３１ｅ、３１ｆ 磁極 ３２ 固定棒 ３２ａ 貫通穴
Claims (4)
- 【請求項１】 互いに対向して設けられた磁場発生手段
の一方を管内方に、他方を管外方に位置するようにし
て、管内方の磁場発生手段と管内面との間に磁性研磨材
を補給しながら、管または磁場発生手段のいずれか一方
を回転進退させることを特徴とする管内面の研磨方法。 - 【請求項２】 前記磁性研磨材を補給するに際し、最初
に荒仕上げ用磁性研磨材を補給し、次いで超仕上げ用磁
性研磨材を補給するようにした請求項１記載の管内面の
研磨方法。 - 【請求項３】 互いに対向して設けられた少なくとも２
つの磁場発生手段を有し、一方の磁場発生手段が管内方
に、他方の磁場発生手段が管外方に配置され、管または
磁場発生手段のいずれか一方には回転進退用の駆動手段
が備えられ、さらに磁性研磨材を補給する磁性研磨材補
給手段を有することを特徴とする管内面の研磨装置。 - 【請求項４】 前記磁性研磨材補給手段は、前記回転進
退用の駆動手段の備えられていない管または磁場発生手
段に取付けられている請求項３記載の管内面の研磨装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29784194A JPH08132343A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 管内面の研磨方法およびその研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29784194A JPH08132343A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 管内面の研磨方法およびその研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08132343A true JPH08132343A (ja) | 1996-05-28 |
Family
ID=17851850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29784194A Pending JPH08132343A (ja) | 1994-11-07 | 1994-11-07 | 管内面の研磨方法およびその研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08132343A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005005099A1 (ja) * | 2003-07-15 | 2005-01-20 | Hoya Corporation | 磁気ディスク用基板の製造方法、磁気ディスク用基板の製造装置及び磁気ディスクの製造方法 |
| KR100793112B1 (ko) * | 2006-07-19 | 2008-01-10 | 건국대학교 산학협력단 | 교차구멍 디버링장치 |
| JP2013049096A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nachi Fujikoshi Corp | 磁気内面研磨装置および磁気内面研磨方法 |
| CN106938410A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-07-11 | 辽宁科技大学 | 大长径比细长管内表面的抛光装置及其方法 |
| CN108127485A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-06-08 | 辽宁科技大学 | 一种用于内孔膛线槽光整去毛刺的设备及工艺 |
| CN108161603A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-06-15 | 华侨大学 | 磁场辅助平面磨削设备 |
-
1994
- 1994-11-07 JP JP29784194A patent/JPH08132343A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005005099A1 (ja) * | 2003-07-15 | 2005-01-20 | Hoya Corporation | 磁気ディスク用基板の製造方法、磁気ディスク用基板の製造装置及び磁気ディスクの製造方法 |
| US7175511B2 (en) | 2003-07-15 | 2007-02-13 | Hoya Corporation | Method of manufacturing substrate for magnetic disk, apparatus for manufacturing substrate for magnetic disk, and method of manufacturing magnetic disk |
| KR100793112B1 (ko) * | 2006-07-19 | 2008-01-10 | 건국대학교 산학협력단 | 교차구멍 디버링장치 |
| JP2013049096A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nachi Fujikoshi Corp | 磁気内面研磨装置および磁気内面研磨方法 |
| CN106938410A (zh) * | 2017-04-17 | 2017-07-11 | 辽宁科技大学 | 大长径比细长管内表面的抛光装置及其方法 |
| CN108127485A (zh) * | 2017-11-29 | 2018-06-08 | 辽宁科技大学 | 一种用于内孔膛线槽光整去毛刺的设备及工艺 |
| CN108161603A (zh) * | 2018-02-06 | 2018-06-15 | 华侨大学 | 磁场辅助平面磨削设备 |
| CN108161603B (zh) * | 2018-02-06 | 2023-08-29 | 华侨大学 | 磁场辅助平面磨削设备 |
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