JP4351902B2 - 磁気研磨方法および磁気研磨装置 - Google Patents
磁気研磨方法および磁気研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4351902B2 JP4351902B2 JP2003414293A JP2003414293A JP4351902B2 JP 4351902 B2 JP4351902 B2 JP 4351902B2 JP 2003414293 A JP2003414293 A JP 2003414293A JP 2003414293 A JP2003414293 A JP 2003414293A JP 4351902 B2 JP4351902 B2 JP 4351902B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- magnetic polishing
- tool
- polishing
- polishing tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
また、磁気研磨装置での研磨加工の際に、スラリー状の加工液(研磨液)を、研磨ヘッドに吸引されている強磁性材粒子との間に、ノズルから常時もしくは断続的に供給する技術が開示されている。(例えば、特許文献2を参照)
なお、ノズルによる加工液(磁性砥粒)の供給については、超音波加工の際に、工具の局所的な位置を磁化し、ポンプ等で加工溶剤をくみ上げてノズルにより加工間隙に加工液を供給する技術が開示されている。(例えば、特許文献3を参照)
また、加工液(研磨剤)の供給については、工具の内部を貫通する貫通穴からダイヤモンドパウダーを油に混ぜ合わせた加工液(研磨剤)を供給する方法が開示されている。(例えば、特許文献4を参照)
また、研磨液供給装置から加工液(研磨液)を供給し、一方、磁性材供給装置から粒状磁性材を供給する技術が開示されている。(例えば、特許文献5を参照)
また、電磁研磨装置では、液状の非磁性研磨材と磁性体小片と、被研磨物とを浸し、交流磁場を発生させて磁性体小片の移動に伴う流れにより非磁性研磨材と被研磨物とを相対移動させて研磨を行う方法が開示されている。(例えば、特許文献6を参照)
前記磁気研磨用工具に前記加工液を磁気的に吸着させる加工液供給工程と、
前記加工液が吸引された磁気研磨用工具を、加工液供給容器から被加工物の加工位置に移動させる第1の移動工程と、
前記磁気研磨用工具を回転させ、かつ、前記被加工物に対して相対運動をおこなって吸引されている前記加工液により前記被加工物に対して、予め定められている所定時間の研磨加工を施す研磨工程と、
前記磁気研磨用工具を、加工液回収容器の上方に移動させる第2の移動工程と、
前記磁気研磨用工具を脱磁するとともに、前記加工液回収容器を着磁することによって前記磁気研磨用工具から吸引していた加工液を離脱させる脱磁工程と、
脱磁した前記磁気研磨用工具を着磁する着磁工程と
を有することを特徴とする磁気研磨方法である。
次に、加工液5を磁気的に吸引した工具1は上昇して、加工液供給容器8の内部から離脱して、所定回転数で回転しながら、矢印Aで示すように、テーブル7上の被加工物Wの被加工位置である、例えば、溝17の内部に侵入する。工具1が溝17の内部に進入した状態では、工具1自体は溝の側壁に接触せず、工具1に磁気的に吸引されている加工液5が溝17の側壁17aに接触する状態になる。(第1の移動工程)(S2)
工具1は回転しながら被加工物Wの被加工面である溝17の側壁17aに沿って相対的に移動する(工具1が移動しても、テーブル7側が移動してもよい)。それにより、溝17の側壁17aは加工液5の砥粒13により研磨される。(研磨工程)(S3)
所定の研磨時間(例えば、10min)が経過すると、工具1は被加工物Wから上昇して矢印Bで示すように、加工液回収容器9の上方に移動し、(第2の移動工程)(S4)電磁コイル4の通電をoffにする(脱磁状態)。その状態で、下降して加工液回収容器9の内部の所定位置まで進入する。加工液回収容器9は側壁に設けられている電磁石16に通電が行われているので、加工液回収容器9は全体が磁化されている。したがって、工具1に吸引されていた加工液5は、加工液回収容器9に磁気的に吸引されて加工液回収容器9の内部に収納される。(脱磁工程)(S5)
研磨終了の判断をおこなう。(S6)
使用済みの加工液5が離脱した工具1は、矢印Cで示すように、直流電源から電磁コイル4に電圧が印加されて磁化された状態で、加工液供給容器8内の所定深さまで挿入する。(着磁工程)(S0)
研磨終了の判断がされるまでS0〜S6のSTEPを繰り返す。
工具1aが磁化された状態(着磁状態)で、加工液供給容器8の内部の所定深さまで挿入する。加工液供給容器8の内部では、攪拌機構11により加工液5が略均一になるように攪拌されている。加工液5は、構成している磁性粉12が工具1aに磁気的に吸引されることにより、加工液5の状態で工具1aに磁気的に吸引される。(加工液供給工程)(S11)
次に、加工液5を磁気的に吸引した工具1aは上昇して、加工液供給容器8の内部から離脱して、所定回転数で回転しながら、矢印Aで示すように、テーブル7上の被加工物Wの被加工位置である、例えば、溝17の内部に侵入する。この工具1aが溝17の内部に進入した状態では、工具1a自体は溝17の側壁17aに接触せず、工具1aに磁気的に吸引されている加工液5が溝17の側壁17aに接触する状態になる。(第1の移動工程)(S12)
工具1aは回転しながら溝17の側壁17aに沿って相対的に移動する(工具1aが移動しても、テーブル7側が移動してもよい)。それにより、溝17の側壁17aは加工液5の砥粒13により研磨される。(研磨工程)(S13)
所定の研磨時間(例えば、10min)が経過すると、工具1aを被加工物Wから上昇して矢印Bで示すように、加工液回収容器9の上方に移動する。(第2の移動工程)(S14)
工具1aを着磁・脱磁機構20の着磁コイル27の内部に挿入する。着磁・脱磁機構20の着磁コイル27には時間とともに減衰する交番減衰電流が流れ、それにより、工具1aは脱磁される。
研磨終了の判断をおこなう。(S16)
使用済みの加工液5が離脱した工具1aは、着磁・脱磁機構20の着磁コイルの内部に挿入する。(S10)
研磨終了の判断がされるまでS10〜S16のSTEPを繰り返す。
工具1へ吸引されている加工液5の量を規制する場合は、加工液5を吸引した工具1は上昇パスに頭を切った円錐状リング34が存在しない状態で、頭を切った円錐状リング34の上方の位置まで上昇する。回転アーム35の旋回により頭を切った円錐状リング34が工具1の上昇パスの位置に設定されると、工具1は下降して頭を切った円錐状リング34の内部を通過する。その通過の際、頭を切った円錐状リング34と工具1との0.1mmギャップにより規制されて、通過できない工具1に吸引されている加工液5は、頭を切った円錐状リング34の外周のテーパー部36で掻き落とされて、テーパー部36の斜面に沿って、転動した後、加工液供給容器8の内部へ落下する。その結果、工具1に残留する加工液5の量は、一定量に制御される。
Claims (11)
- 磁気研磨用工具に磁気的に吸着されている加工液により研磨加工を行う磁気研磨方法であって、
前記磁気研磨用工具に前記加工液を磁気的に吸着させる加工液供給工程と、
前記加工液が吸引された磁気研磨用工具を、加工液供給容器から被加工物の加工位置に移動させる第1の移動工程と、
前記磁気研磨用工具を回転させ、かつ、前記被加工物に対して相対運動をおこなって吸引されている前記加工液により前記被加工物に対して、予め定められている所定時間の研磨加工を施す研磨工程と、
前記磁気研磨用工具を、加工液回収容器の上方に移動させる第2の移動工程と、
前記磁気研磨用工具を脱磁するとともに、前記加工液回収容器を着磁することによって前記磁気研磨用工具から吸引していた加工液を離脱させる脱磁工程と、
脱磁した前記磁気研磨用工具を着磁する着磁工程と
を有することを特徴とする磁気研磨方法。 - 前記加工液供給工程で、前記磁気研磨用工具への前記加工液の供給は、該加工液を収納して収納している容器により行われていることを特徴とする請求項1記載の磁気研摩方法。
- 前記加工液として、磁性粉及びこの磁性粉に埋め込まれた砥粒により形成された磁気研磨用砥粒が溶媒に分散された懸濁液を用いていることを特徴とする請求項1記載の磁気研磨方法。
- 前記磁気研磨用工具の着磁工程および脱磁工程は、該磁気研磨用工具に設けられた電磁コイル又は、着磁・脱磁機構に設けられている着磁コイルにより行われることを特徴とする請求項1記載の磁気研磨方法。
- 前記研磨工程は、回転体で形成され前記磁気研磨用工具の着磁により、該磁気研磨用工具の側面および先端部に磁気的に吸引されている前記加工液によりおこなわれることを特徴とする請求項1記載の磁気研磨方法。
- 前記磁気研磨用工具を2つ用い、一方の工具が被加工物を加工している前記研磨工程の間に、既に前記研磨工程と第2の移動工程を終了した他方の前記磁気研磨用工具は、前記脱磁工程と前記着磁工程と前記加工液供給工程とを終了していることを特徴とする請求項1記載の磁気研磨方法。
- 前記第1の移動工程では、加工液量制御手段により前記磁気研磨用工具への前記加工液の吸引量が制御されていることを特徴とする請求項1記載の磁気研磨方法。
- 前記加工液量制御手段による前記磁気研磨用工具への加工液の吸引量の規制は、内径が前記磁気研磨用工具の外径よりも僅かに大きいリングによりおこなっていることを特徴とする請求項7記載の磁気研磨方法。
- 前記加工液量制御手段による前記磁気研磨用工具への加工液の吸引量の規制は、前記磁気研磨用工具に設けられた電磁コイル又は、着磁・脱磁機構に設けられている着磁コイルへの印加電流を制御することにより前記磁気研磨用工具の磁気強度を調整していることを特徴とする請求項7記載の磁気研磨方法。
- 移動手段により移動自在で、かつ、着磁又は脱磁が自在な磁気研磨用工具と、着磁された前記磁気研磨用工具が移動してきた際に加工液を供給する加工液供給容器と、電磁石が設けられ、脱磁された前記磁気研磨用工具が移動してきた際に研磨加工の際に使用した加工液を回収する加工液回収容器と、被加工物を固定するテーブルとを具備したことを特徴とする磁気研磨装置。
- 前記加工液供給容器の上方には、加工液量制御手段が配置されていることを特徴とする請求項10記載の磁気研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003414293A JP4351902B2 (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 磁気研磨方法および磁気研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003414293A JP4351902B2 (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 磁気研磨方法および磁気研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005169576A JP2005169576A (ja) | 2005-06-30 |
JP4351902B2 true JP4351902B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=34734132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003414293A Expired - Fee Related JP4351902B2 (ja) | 2003-12-12 | 2003-12-12 | 磁気研磨方法および磁気研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4351902B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102446788A (zh) | 2010-09-30 | 2012-05-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 修理基板凸起不良的设备和方法 |
CN115157020B (zh) * | 2022-06-29 | 2023-05-12 | 大连理工大学 | 一种多场辅助磨料冲刷抛光方法与装置 |
-
2003
- 2003-12-12 JP JP2003414293A patent/JP4351902B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005169576A (ja) | 2005-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5396025B2 (ja) | 磁性螺旋研磨装置 | |
JP4423425B2 (ja) | 振動磁気研磨方法及び装置並びに工具 | |
JP2007268689A (ja) | 磁気研磨装置、磁気研磨方法及びそれらに使用される加工工具 | |
US4603509A (en) | Magnetic attraction system grinding method | |
JPWO2005070600A1 (ja) | 放電加工装置 | |
JP4351902B2 (ja) | 磁気研磨方法および磁気研磨装置 | |
CN108857599B (zh) | 一种立式磁流变抛光装置及方法 | |
US6036580A (en) | Method and device for magnetic-abrasive machining of parts | |
TW201014678A (en) | Electromagnetic spiral polishing device and method | |
JPH07108419A (ja) | 放電加工装置及びこの装置を用いる放電加工方法 | |
JPS61265261A (ja) | 内面磁気研磨加工方法 | |
US5365030A (en) | Corepiece handling device and method | |
Chawla et al. | Design and development of fixture and modification of existing AFM setup to magnetic abrasive flow machining (MAFM) process setup | |
KR101568966B1 (ko) | 마그네틱 척 구동장치 | |
JP2002192453A (ja) | 磁気援用加工方法およびその装置 | |
JP4185986B2 (ja) | 磁気バリ取り方法 | |
JPH08132343A (ja) | 管内面の研磨方法およびその研磨装置 | |
JPS63150136A (ja) | 工作機械における切粉の排出装置 | |
JP2007210073A (ja) | 磁気研磨装置及び磁気研磨加工用工具 | |
JP2019147193A (ja) | 研磨方法及びセラミック製品の製造方法 | |
JP2005074575A (ja) | バレル研磨型形状転写装置 | |
JP2024005401A (ja) | 切粉除去工具 | |
JP3072246B2 (ja) | 磁気研磨装置 | |
JP2005193319A (ja) | 加工圧制御が不要な研磨方法および研磨剤 | |
Gaffar et al. | Performance Characteristics of Magnetic Abrasive Finishing (MAF) of Al 4061 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061102 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080722 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080722 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080916 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090630 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090727 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120731 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |