JP3072246B2 - 磁気研磨装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気研磨装置、殊にフー
プ状の金属薄板のような長尺薄物材料の研磨に好適に使
用することができる磁気研磨装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】磁気研磨装置としては、従来より特開昭
６１−２４４４５７号公報や特開平５−８１６９号公報
に示されたものがある。前者は磁化される鉄芯の中央よ
り磁性流体と研磨粒とを混合した研磨流体を供給して磁
気研磨を行うものであり、後者は液状の研磨材と強磁性
物質粒子との混合物を供給して磁気研磨を行う。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、磁性材と研磨
材または研磨液を混合して供給する上記のような磁気研
磨装置では、研磨材あるいは磁性材の摩耗等による寿命
時に両方とも交換しなくてはならず、ランニングコスト
が高くつくという問題を有しているほか、加工対象やそ
の仕上げ品質に応じて磁性材粒子径あるいは研磨材粒度
を変更しようとしても、混合しなおさなくてはならない
ことから、容易に応ずることができない。直径が１０nm
程度のマグネタイト（Ｆｅ₂ Ｏ₃ ）などの磁性体をステ
アリン酸でコーティングした後、水や油に分散させた液
体状の物質である磁性流体を用いたものでは、磁性体が
非常に小さいために、研磨対象物のばり取りには利用で
きないという問題もある。

【０００４】さらには、プレス加工を行った後の金属フ
ープ材料のプレスばり取りや電気かみそりの刃の表面研
磨及びばり取り等に磁気研磨加工を有効に利用できると
考えられているが、このような長尺薄物材料を磁気研磨
加工するにあたっては、次のような点が問題となる。ま
ず、研磨対象であるワークが長尺物である場合、研磨材
及び磁性材を間欠的に加工を止めて供給していたのでは
加工効率が低くなることから、研磨材及び磁性材を連続
的に供給して連続加工できるようにしておかなくてはな
らない。また、ワークが磁性材料の場合、磁性材がワー
クに付着することによって、後加工工程においてワーク
に変形や圧痕などが発生しないようにしなくてはならな
い。さらに、ワークが長尺薄物材料である時、ワークは
撓んだり歪んだりしやすく、このような撓みや歪みがワ
ークに生じた場合、良好な磁気研磨加工を行うことがで
きないことから、この点に対処しておかなくてはならな
い。特にワークの両面研磨を行う場合には、この支持の
点が問題となる。

【０００５】本発明はこのような点に鑑み為されたもの
であり、その目的とするところは加工対象やその仕上げ
品質の変更に容易に応ずることができる上にランニング
コストを抑えることができる磁気研磨装置を提供するに
あり、他の目的とするところは長尺薄物材料であるワー
クに対して高品質な磁気研磨加工を行うことができる磁
気研磨装置を提供するにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】しかして本発明は、研磨
対象であるワークを送る送り装置と、ワークとの対向面
が磁極となるように磁化される鉄芯と、鉄芯の磁極で吸
着される粉状乃至粒状磁性材を供給する磁性材供給装置
と、ワークと鉄芯との間に研磨液を供給する研磨液供給
装置と、上記鉄芯を回転させる鉄芯駆動装置と、研磨加
工後のワークの付着物を除去する除去装置とから成るこ
とに主たる特徴を有している。

【０００７】ここにおける磁性材供給装置としては、ワ
ークを着磁する着磁機と、着磁されたワークの通過路に
配された磁性材溜まりとから成るものや、圧粉成形体と
して形成されている磁性材を、ワークと鉄芯との間に送
り込むアクチュエータ、ワークと鉄芯との間に磁性材を
送り込むスクリューコンベアを好適に用いることができ
る。

【０００８】研磨液供給装置としては、鉄芯を貫通する
供給路を通じてワークと鉄芯との間に研磨液を供給する
ポンプを用いるとともに、鉄芯のワークとの対向面に供
給路の開口を中心とする放射状の通液溝を設けておくこ
とが好ましい。送り装置としては、ワークの送り側に配
されてワークの送りに制動を加える制動装置と、ワーク
の引き出し側に配されてワークを引っ張ることで鉄芯と
の対向位置におけるワークに張力を付加する引き取り装
置とからなるものを好適に用いることができる。

【０００９】ワークと鉄芯との間隔を検出する検出手段
と、この検出部材の出力に基づいてワークと鉄芯との間
隔を調整する調整手段とを備えていることも好ましく、
この場合、調整手段には、ワークを挟む両側に位置する
一対の鉄芯の各磁化用のコイルのコイル電流を制御する
もの、ワークと鉄芯との間に供給する研磨液の供給圧を
制御するもの、ワークと鉄芯との２つのうちの少なくと
も一方を機械的に移動させるアクチュエータを好適に用
いることができる。

【００１０】

【作用】本発明によれば、磁性材と研磨液とを夫々磁性
材供給装置と研磨液供給装置とによって個別に供給する
ために、磁性材の変更あるいは研磨液（研磨材）の変更
や交換に容易に応ずることができる。そして磁性材供給
装置として、ワークを着磁する着磁機と、着磁されたワ
ークの通過路に配された磁性材溜まりとからなるものを
用いた場合、ワークによって磁性材を加工位置に持ち込
むことができるために、磁性材の供給を簡便に行うこと
ができ、圧粉成形体として形成されている磁性材をアク
チュエータでワークと鉄芯との間に送り込むものを用い
たり、ワークと鉄芯との間に磁性材を送り込むスクリュ
ーコンベアを用いた場合には、磁性材の供給量の調節が
容易となる。

【００１１】研磨液供給装置として、鉄芯を貫通する供
給路を通じてワークと鉄芯との間に研磨液を供給するポ
ンプを用いた時には、研磨面に確実に研磨液を送り込む
ことができるものであり、また鉄芯のワークとの対向面
に供給路の開口を中心とする放射状の通液溝を設けた時
には、研磨面全面に研磨液を均一に供給することができ
るものとなる。

【００１２】送り装置としては、ワークの送り側に配さ
れてワークの送りに制動を加える制動装置と、ワークの
引き出し側に配されてワークを引っ張ることで鉄芯との
対向位置におけるワークに張力を付加する引き取り装置
とからなるものを好適に用いることができ、この時、ワ
ークの位置ずれが少なくなるために、研磨加工を精度良
く行うことができるものとなる。

【００１３】ワークと鉄芯との間隔を検出する検出手段
と、この検出部材の出力に基づいてワークと鉄芯との間
隔を調整する調整手段とを設けたものにおいては、ワー
クの位置ずれを無くすことができるために、研磨加工精
度をさらに高くすることができる。

【００１４】

【実施例】以下本発明を図示の実施例に基づいて詳述す
ると、図１〜図６に示す磁気研磨装置は、フープ状の金
属薄板であるワーク９に対する磁気研磨によって、ワー
ク９の両面の研磨及びバリ取りを行うためのもので、複
数本の脚１１によって支持されているベースプレート１
０上に、支持体１２を介して揺動軸２，２が配設されて
おり、該揺動軸２，２によって揺動自在となっている揺
動アーム２０，２０上に、夫々コイル３，３が設置され
るとともに、両コイル３，３を夫々貫通している一対の
鉄芯４，４が配設されている。これら鉄芯４，４は、い
ずれも軸回りの回転が自在となるようにされたものであ
って、一端面同士を対向させており、各他端はヨーク４
５の両端に磁気的に接続されている。そして、上記揺動
軸２の延長線上には鉄芯回転駆動用のモータ５が同軸で
配設されているとともに、モータ５と上記鉄芯４とがベ
ルト５０によって連結されており、モータ５の回転で鉄
芯４はその軸回りに回転を行う。

【００１５】一方、ベースプレート１０の下面側には図
２に示すようにモータ２５とこのモータ２５で回転駆動
されるカム２６とが配設されており、カム２６の上面側
には上記揺動アーム２０の下面に設けられたカムフォロ
ア２１が接している。モータ２５によるカム２６の回転
で、揺動アーム２０は揺動軸２を中心とする揺動による
上下動を行うものであり、この時、揺動アーム２０によ
って支持されている鉄芯４とコイル３並びにヨーク４５
も揺動アーム２０と同じ動きを行う。尚、モータ５は上
述のように揺動軸２と同軸に設置されているために、鉄
芯４の揺動がモータ５による鉄芯４の回転駆動を損なっ
てしまうことはない。

【００１６】ワーク９は、送り装置７によって上記両鉄
芯４，４間の間隙に通される。ここにおける送り装置７
は、図５にも示すように、ワーク９の送り側にあって摩
擦クラッチ７２によりワーク９の送り出しに制動を加え
る制動装置７０と、ワーク９の引き出し側にあってゴム
ローラ７３，７３によりワーク９を引っ張る引き取り装
置７１、そして図１に示すガイドローラ７５とからな
り、ワーク９における鉄芯４，４間を通過する部分に張
力を加えておくものとなっている。ゴムローラ７３を用
いるのは、滑り防止のためである。また上記制動装置７
０における摩擦クラッチ７２の制動力を可変とすること
で、ワーク９に加える張力を可変としている。

【００１７】磁気研磨のための磁性材Ｆと研磨液のう
ち、磁性材Ｆは磁性材供給装置８によって供給される。
この実施例で示している磁性材供給装置８は、図３にも
示すように、上記制動装置７０と鉄芯４との間に位置し
てワーク９を着磁する着磁機８０と、着磁されたワーク
９の通過路に配された粉状磁性材溜まり８１と、鉄芯４
と引き取り装置７１との間に配されてワーク９から磁気
を除去する脱磁機８２とからなるもので、着磁機８０に
よって着磁されたワーク９が磁性材溜まり８１から粉状
の磁性材Ｆを吸着することにより、鉄芯４，４の対向間
隙部分に磁性材Ｆを持ち込むものとなっている。図６に
示すように、着磁機８０を磁性材溜まり８１内部に配し
てもよい。

【００１８】研磨材を含む研磨液は、研磨液供給装置６
によって鉄芯４，４の対向間隙部分に送り込まれる。こ
こにおける研磨液供給装置６は、研磨液タンク６５内の
研磨液を鉄芯４を貫通する供給路４０を通じて送り込む
ロータリー定量ポンプ６０で構成されており、研磨に使
用された後の研磨液はマグネットセパレータ６６によっ
て磁性材Ｆが分離された後、研磨液タンク６５に戻され
る。なお、鉄芯４は軸回りの回転を行うために、研磨液
配管は鉄芯４にロータリー継手６１を介して接続されて
いる。また、供給路４０を通じて鉄芯４の端面に至った
研磨液は、図４に示すように、鉄芯４の端面に供給路４
０の開口部を中心とする放射状で且つ外周にいくにつれ
て深さが浅くなるように形成された通液溝４１と、鉄芯
４の回転による遠心力とによって、鉄芯４の端面全域に
広がるようになっている。

【００１９】しかして、この磁気研磨装置においては、
モータ５，２５によって、鉄芯４，４は軸回りの回転を
行うとともに、揺動軸２を中心とする上下方向の揺動を
行うものであり、またコイル３，３への直流電流の通電
により、両鉄芯４，４の対向面は互いに異極となるよう
に、つまりは互いに引き合うように励磁される。一方、
送り装置７によって鉄芯４，４の対向面間のギャップを
通るように送られるワーク９は、着磁機８０によって着
磁された後、磁性材溜まり８１を通ることで粉状の磁性
材Ｆを吸着し、この磁性材Ｆを鉄芯４，４間のギャップ
に持ち込むものであり、ここに至った磁性材Ｆは、より
強い磁力を持つ鉄芯４，４側に吸着される。この時、鉄
芯４が回転及び揺動を行っているために、鉄芯４，４に
吸着された磁性材Ｆは、ワーク９両面に圧力をもって接
する磁性材ブラシを構成する。そして、研磨液供給装置
６で両鉄芯４，４の供給路４０，４０を通じて送り込ま
れて粉状の磁性材Ｆの隙間に入った研磨液（研磨材）
が、鉄芯４，４間のギャップを通過するワーク９の表裏
両面を研磨し、ワーク９にばりが存在する時はこれを磁
性材Ｆによる作用とともに除去する。粉状の磁性材Ｆは
ワーク９の表面の凹凸に倣って形を変えながら動くため
に、そして送り装置７によって鉄芯４，４間を走行する
ワーク９は、前述のように張力が加えられている上にガ
イドローラ７５で位置規制されているために、鉄芯４，
４間の所定位置を通るものであり、従って表面研磨やば
り取りはワーク９両面に対して確実に且つ均一になされ
る。

【００２０】また、研磨量は鉄芯４の回転数や揺動速
度、コイル３への供給電流（磁力）、ワーク９の送り速
度や張力、鉄芯４，４間のギャップ寸法、磁性材Ｆや研
磨液の供給量等の制御により、任意に且つ微妙に調整す
ることができる。なお、磁性材Ｆの供給量については、
着磁機８０によるワーク９への着磁力や着磁面積、着磁
タイミング（間欠的に着磁する）等を変えることによっ
て制御する。磁性材Ｆや研磨液における研磨材の粒径
は、加工対象や求める面粗さ等の必要加工品質に応じて
適当な大きさを選択するが、加工条件の目安としては、
次の条件 磁性材粒子（鉄粉）径：０．０５〜０．５mm、研磨材粒
度：＃１０００〜＃１００００、鉄芯−ワーク間距離：
１〜４mm、鉄芯回転数：５００〜２０００rpm、鉄芯揺
動サイクル：１〜５sec/cycle、磁束密度：０．５〜
１．７Ｔ、ワーク送り速度：５０〜５００mm/min、ワー
ク・テンション：１〜１０kgf/cm（幅あたり）、磁性材
供給量：０．５〜５g/min、研磨液流量：５０〜５００c
c/minを用いることができる。

【００２１】研磨された後のワーク９は、脱磁機８２に
よって脱磁された後、洗浄液を吐出する洗浄ノズル９４
と回転ブラシ９５とを備えた洗浄機９３で洗浄されるこ
とで、付着していた磁性材Ｆや研磨材等が落とされた
後、外部へと送り出される。洗浄ノズル９４から吐出さ
れた洗浄液は、図２に示す洗浄液タンク９５にフィルタ
ー９７を介して回収され、ポンプ９６によって再度洗浄
ノズル９４へと送り出される。

【００２２】ところで、連続加工を行う場合、ワーク９
と鉄芯４との間に存在する磁性材Ｆの量が一定でない
と、研磨量や表面粗さにばらつきが生じるが、ワーク９
が鉄系の磁性材料の時には、ワーク９に磁性材Ｆが付着
して持ち出されてしまうことから、連続的に磁性材Ｆを
追加供給する必要があり、上記実施例ではワーク９を一
旦着磁してワーク９に吸着させることで磁性材Ｆの供給
を行っていたが、ワーク９が磁性材料ではない場合な
ど、この方法を採用することはできない。また、ワーク
９が磁性材料であっても、磁性材溜まり８１内における
粉状磁性材Ｆの状態によっては、安定した磁性材Ｆの供
給ができない場合がある。

【００２３】図７はこのような点に鑑みた磁性材供給装
置８を示しており、ここでは鉄粉からなる磁性材Ｆを一
旦金型及びプレス等を用いて圧粉成形して棒状としたも
のを、鉄芯４内にアルミニウム製パイプ８５を介して収
めてアクチュエータ８３による押し出しで鉄芯４とワー
ク９との間に供給するようにしている。図中８４はピス
トン、８６は軸受である。上記アクチュエータ８３とし
ては、ピストン８４の位置制御が可能なもの、たとえば
モータシリンダーを好適に使用することができる。ワー
ク９の送り速度や加工状態に応じてピストン８４の移動
速度を制御しながら磁性材Ｆの圧粉成形体を徐々に送り
出すことで、ギャップに磁性材Ｆを供給するわけであ
る。ピストン８４がストロークエンドに到達して、磁性
材Ｆがなくなれば、ピストン８４を後退限度位置まで後
退させて、新しい磁性材Ｆの圧粉成形体をパイプ８５内
に装填する。研磨液は鉄芯４とワーク９との間の隙間の
上方に配した研磨液ノズル６２から供給している。な
お、図において、＋を○で囲んだ記号は、ワーク９の送
り方向が紙面と直交する方向であり且つ奥に向かって送
っていることを示す。

【００２４】図８に示すように、磁性材Ｆの圧粉成形体
をワーク９と鉄芯４との隙間に下方からアクチュエータ
８３で送り込むようにしてもよい。研磨液は第１実施例
の場合と同様に、鉄芯４を貫通する供給路４０を通じて
供給している。粉状磁性材Ｆをそのまま供給する場合に
は、図９に示すように、非磁性体からなるシリンダー内
に非磁性体からなるスクリューを配したスクリューコン
ベア８７を鉄芯４内に配置して、ホッパ８８から投入し
た粉状磁性体Ｆを、スクリューの回転速度を制御しなが
ら徐々に送り出すようにすることができる。図１０に示
すように、鉄芯４とワーク９との隙間の上方に、粉体微
量切り出しポンプ８９を配して、先端のノズルより所要
量の磁性材Ｆを落下させて供給するようにしてもよい。
この場合、ワーク９の両側に均一に磁性材Ｆを供給する
ために、上記ポンプ８９はワーク９上方に互いに干渉し
ないように２個設置したり、１個のポンプ８９をワーク
９を中心として両側に周期的にスライド移動するように
するとよい。鉄芯４の端面に面取りを施しているのは、
磁束がより集中して落下してきた磁性材Ｆがワーク９と
鉄芯４との隙間にうまく入るようにするためである。

【００２５】図１１に示すように、ワーク９の下方に磁
性材溜まり８ｂを設けるとともに、ワーク９と磁性材溜
まり８ｂとの間に弱く着磁された円盤８ａを配置し、モ
ータ８ｃで回転駆動される円盤８ａで磁性材溜まり８ｂ
内の磁性材Ｆを円盤８ａが鉄芯４，４間のワーク９が通
るギャップへと供給するようにしてもよい。円盤８ａに
吸着された磁性材Ｆが円盤８ａの回転で上記ギャップに
達した時に、より強い磁力を有する鉄芯４，４側に移る
ようにしたわけである。円盤８ａの回転数の制御によ
り、磁性材Ｆの供給量の調整を行うことができる。な
お、ここにおける円盤８ａは、磁性材溜まり８ｂの内底
面とワーク９下面との間隔よりもやや小さい直径のもの
とするとともに、幅は鉄芯４，４間のギャップよりもや
や小さい程度とする。

【００２６】次に、ワーク９と鉄芯４との間隔を検出す
る検出手段と、この検出部材の出力に基づいてワーク９
と鉄芯４との間隔を調整する調整手段とについて説明す
る。長尺で薄物のワーク９に両面研磨を行う場合、ワー
ク９に剛性がなく、加えるに両面研磨を行う関係上、ワ
ーク９を鉄芯４，４間の通過部においては空中支持しな
くてはならないことから、鉄芯４，４間のギャップ中央
にワーク９を位置させておくことは、磁性材Ｆが加える
圧力もあって困難であり、そしてワーク９のわずかな位
置ずれとこれに伴う両面での磁性材Ｆの量の差、ワーク
９の歪み等は、ワーク９の表裏両面の研磨量や表面粗さ
にばらつきを生じさせてしまう。

【００２７】前述の送り装置７によってワーク９に張力
を加えるとともにワーク９を挟持するガイドローラ７５
を設置することは、この点に対処したものであって、ワ
ーク９と鉄芯４との間隔を所定値に保つとともにいずれ
かの鉄芯４側に片寄ることがないようにするために設け
たものであるが、上記検出手段及び調整手段は、ワーク
９の位置ずれをより確実に防ぐためのものである。

【００２８】ワーク９と鉄芯４との間隔を検出する検出
手段としては、例えば、渦電流検知方式の非接触変位セ
ンサーやプランジャー式の接触変位センサー等のセンサ
ーＳａ，Ｓｂ，Ｓｃ，Ｓｄとこれらの出力を処理する検
知部Ｓとからなるものを用いる。ここで、センサーＳ
ａ，Ｓｂは鉄芯４の前後位置で且つワーク９の表面側に
おけるワーク９までの距離ａ，ｂを、センサーＳｃ，Ｓ
ｄは鉄芯４の前後位置で且つワーク９の裏面側における
ワーク９までの距離ｃ，ｄを検出するものとする。

【００２９】そして、図１２における調整手段であると
ころの制御回路Ｃは、図１３に示すように、センサーＳ
ａ，Ｓｂ，Ｓｃ，Ｓｄ及び検知部Ｓによって得られた値
ａ，ｂ，ｃ，ｄから、一方の鉄芯４とワーク９との間隔
Ａ（Ａ＝（ａ＋ｂ）／２）と、他方の鉄芯４とワーク９
との間隔Ｂ（Ｂ＝（ｃ＋ｄ）／２）を演算するととも
に、ワーク９の片寄り度合いＧ（Ｇ＝Ａ−Ｂ）を演算
し、この値Ｇの絶対値が所定値（たとえば０．２mm）以
上である時には、どちらの鉄芯４側に片寄っているかに
応じて、一方の鉄芯４に巻回されたコイル３に流す電流
を大きくするとともに、他方の鉄芯４に巻回されたコイ
ル３に流す電流を小さくする。ワーク９の位置に応じた
コイル電流値の制御によって、鉄芯４に働く磁力を変え
て、ワーク９が両鉄芯４，４間のギャップ中央にくるよ
うに自動調整を行うわけである。図１２中のＶはコイル
３用の直流電源である。

【００３０】コイル電流に代えて、図１４及び図１５に
示すように、各鉄芯４を貫通する供給路４０を通じてワ
ーク９の両面に送り込む研磨液の供給圧を調整すること
で、ワーク９が両鉄芯４，４間のギャップ中央にくるよ
うにしてもよい。図中６３は研磨液供給用で且つ吐出圧
が可変となっている可変ポンプである。ワーク９と鉄芯
４との間隔を検出する手段及び制御部の演算方法は上述
の方法と同様に行うが、ワーク９がどちらの鉄芯４に片
寄っているかに応じて、一方の可変ポンプ６３のモータ
の回転数を上げ、結果として送る研磨液の圧力及び流量
を大きくするとともに、他方の可変ポンプ６３より送る
研磨液の圧力及び流量を研磨不足にならない程度に小さ
くして、ワーク９が両鉄芯４，４間のギャップ中央にく
るように調整する。

【００３１】図１６及び図１７に示すように、ガイドロ
ーラ７５をアクチュエータ７６に取り付けてアクチュエ
ータ７６でガイドローラ７５の位置を調整したり、図１
８及び図１９に示すように、鉄芯４及びコイル３の位置
をアクチュエータ４５で調整することで、ワーク９が両
鉄芯４，４間のギャップ中央にくるようにしてもよい。

【００３２】前者においても、ワーク９と鉄芯４との間
隔を検出する手段及び制御部の演算方法は上述の方法と
同様に行うが、ワーク９がどちらの鉄芯４側に片寄って
いるかに応じて、鉄心４，４の前後位置で且つワーク９
の異なる面に接するガイドローラ７５の位置を２つのア
クチュエータ７６，７６によって調整することで、強制
的にワーク９の位置を変えて、ワーク９が両鉄芯４，４
間のギャップ中央にくるように調整する。

【００３３】後者においては、ワーク９がどちらの鉄芯
側４に片寄っているかに応じて、一方のアクチュエータ
４５上に取り付けられたコイル３をワーク９側に前進さ
せるとともに、他方のアクチュエータ４５上に取り付け
られたコイル３をワーク９側より後退させて、ワーク９
が両鉄芯４，４間のギャップ中央に来るように調整す
る。

【００３４】なお、図示例ではアクチュエータ４５，７
６として、いずれもサーボモータでボールねじを回転さ
せてスライダを駆動する微小位置調節可能なものを用い
ている。また、アクチュエータ４５，７６を一つにし
て、その上に２つのガイドローラ７５またはコイル３を
載せるようにしてもよい。以上の調整動作は、いずれか
一つのものを単独で用いるほか、組み合わせて用いても
よい。

【００３５】図２０は上記のようなワーク９と鉄芯４と
の間隔調整である変位センサリングを含む磁気研磨工程
の動作説明図である。

【００３６】

【発明の効果】以上のように本発明においては、研磨対
象であるワークを送る送り装置と、ワークとの対向面が
磁極となるように磁化される鉄芯と、鉄芯の磁極で吸着
される粉状乃至粒状磁性材を供給する磁性材供給装置
と、ワークと鉄芯との間に研磨液を供給する研磨液供給
装置とを備えて、磁性材と研磨液とを夫々磁性材供給装
置と研磨液供給装置とによって個別に供給するために、
磁性材の変更あるいは研磨液（研磨材）の変更や交換に
容易に応ずることができるものであり、従って加工対象
やその仕上げ品質に応じた研磨を容易に行うことができ
るとともに、ランニングコストを低くすることができる
ものである。また、鉄芯を回転させる鉄芯駆動装置を備
えていることから、回転磁性材ブラシを構成することが
でき、このためにワークのばり取りに有効であるほか、
研磨加工後のワークの付着物を除去する除去装置を備え
ていることから、ワークが磁性材料からなる場合でも、
ワークに磁性材が付着したまま後工程に送られてしまっ
て変形や圧痕が発生してしまうことを防ぐことができ
る。

【００３７】しかも上記磁性材供給装置として、ワーク
を着磁する着磁機と、着磁されたワークの通過路に配さ
れた磁性材溜まりとからなるものを用いた時には、ワー
クによって磁性材を加工位置に持ち込むことができるた
めに、磁性材の供給を簡便に行うことができるとともに
設備費の低減を図ることができ、圧粉成形体として形成
されている磁性材をアクチュエータでワークと鉄芯との
間に送り込むものを用いたり、ワークと鉄芯との間に磁
性材を送り込むスクリューコンベアを用いた場合には、
磁性材の供給量の細かな調節が可能となるとともに仕上
げ品質の安定化が容易となる。

【００３８】研磨液供給装置として、鉄芯を貫通する供
給路を通じてワークと鉄芯との間に研磨液を供給するポ
ンプを用いた時には、研磨面に確実に研磨液を送り込む
ことができ、特に鉄芯のワークとの対向面に供給路の開
口を中心とする放射状の通液溝を設けた場合、研磨面全
面に研磨液を均一に供給することができることから、仕
上げ品質をさらに高くすることができる。

【００３９】送り装置として、ワークの送り側に配され
てワークの送りに制動を加える制動装置と、ワークの引
き出し側に配されてワークを引っ張ることで鉄芯との対
向位置におけるワークに張力を付加する引き取り装置と
からなるものを用いた時には、加工圧力に対するワーク
の位置ずれが少なくなるために、研磨加工精度及び安定
度を高くすることができる。

【００４０】ワークと鉄芯との間隔を検出する検出手段
と、この検出部材の出力に基づいてワークと鉄芯との間
隔を調整する調整手段とを設けたものでは、ワークの位
置ずれを無くすことができるために、加工むらやひずみ
等の研磨不良が発生せず、研磨加工精度をさらに高くす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明一実施例の破断平面図である。

【図２】同上の破断正面図である。

【図３】同上の磁性材供給装置を示す平面図である。

【図４】同上の鉄芯を示すもので、(a)は正面図、(b)は
縦断面図である。

【図５】同上の送り装置を示す平面図である。

【図６】磁性材供給装置の他例を示す平面図である。

【図７】磁性材供給装置及び研磨液供給装置の他の実施
例を示す断面図である。

【図８】磁性材供給装置の別の実施例を示す断面図であ
る。

【図９】磁性材供給装置及び研磨液供給装置の更に他の
実施例を示す断面図である。

【図１０】磁性材供給装置の更に別の実施例を示す側面
図である。

【図１１】磁性材供給装置の異なる実施例を示す側面図
である。

【図１２】制御機構の一実施例を示す概略図である。

【図１３】同上の制御のフローチャートである。

【図１４】制御機構の他の実施例を示す概略図である。

【図１５】同上の制御のフローチャートである。

【図１６】制御機構の別の実施例を示す概略図である。

【図１７】同上の制御のフローチャートである。

【図１８】制御機構の更に他の実施例を示す概略図であ
る。

【図１９】同上の制御のフローチャートである。

【図２０】本発明装置による研磨動作の説明図である。

【符号の説明】

Ｆ 磁性材 ４ 鉄芯 ６ 研磨液供給装置 ７ 送り装置 ８ 磁性材供給装置 ９ ワーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉岡 伸宏 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工 株式会社内 (56)参考文献 特開 昭52−61894（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−202267（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−58476（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−244457（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−8169（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−78258（ＪＰ，Ｕ) 特公 平４−16312（ＪＰ，Ｂ２) 川島悦哉、外２名「磁石を用いたバリ 取り」、1994年度精密工学会春季大会学 術講演会講演論文集第３分冊、精密工学 会、平成６年３月５日、第861−862頁 安斎正博、外２名「研磨材スラリーと 磁化した鉄粉ブラシによる金型材の研 磨」型技術者会議’93講演論文集、型技 術協会、平成５年６月22日、第136−137 頁 (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B24B 37/00

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 研磨対象であるワークを送る送り装置
   と、ワークとの対向面が磁極となるように磁化される鉄
   芯と、鉄芯の磁極で吸着される粉状乃至粒状磁性材を供
   給する磁性材供給装置と、ワークと鉄芯との間に研磨液
   を供給する研磨液供給装置と、上記鉄芯を回転させる鉄
   芯駆動装置と、研磨加工後のワークの付着物を除去する
   除去装置とから成ることを特徴とする磁気研磨装置。
2. 【請求項２】 磁性材供給装置は、ワークを着磁する着
   磁機と、着磁されたワークの通過路に配された磁性材溜
   まりとから成ることを特徴とする請求項１記載の磁気研
   磨装置。
3. 【請求項３】 磁性材供給装置は、圧粉成形体として形
   成されている磁性材を、ワークと鉄芯との間に送り込む
   アクチュエータであることを特徴とする請求項１記載の
   磁気研磨装置。
4. 【請求項４】 磁性材供給装置は、磁性材をワークと鉄
   芯との間に送り込むスクリューコンベアであることを特
   徴とする請求項１記載の磁気研磨装置。
5. 【請求項５】 研磨液供給装置は、鉄芯を貫通する供給
   路を通じてワークと鉄芯との間に研磨液を供給するポン
   プであり、鉄芯のワークとの対向面には供給路の開口を
   中心とする放射状の通液溝が設けられていることを特徴
   とする請求項１記載の磁気研磨装置。
6. 【請求項６】 送り装置は、ワークの送り側に配されて
   ワークの送りに制動を加える制動装置と、ワークの引き
   出し側に配されてワークを引っ張ることで鉄芯との対向
   位置におけるワークに張力を付加する引き取り装置とか
   らなることを特徴とする請求項１記載の磁気研磨装置。
7. 【請求項７】 ワークと鉄芯との間隔を検出する検出手
   段と、この検出部材の出力に基づいてワークと鉄芯との
   間隔を調整する調整手段とを備えていることを特徴とす
   る請求項１または６記載の磁気研磨装置。
8. 【請求項８】 調整手段は、ワークを挟む両側に位置す
   る一対の鉄芯の各磁化用のコイルのコイル電流を制御す
   るものであることを特徴とする請求項７記載の磁気研磨
   装置。
9. 【請求項９】 調整手段は、ワークと鉄芯との間に供給
   する研磨液の供給圧を制御するものであることを特徴と
   する請求項７記載の磁気研磨装置。
10. 【請求項１０】 調整手段は、ワークと鉄芯との２つの
    うちの少なくとも一方を機械的に移動させるアクチュエ
    ータであることを特徴とする請求項７記載の磁気研磨装
    置。