JP3019026B2 - 球状鏡面加工方法および装置 - Google Patents
球状鏡面加工方法および装置Info
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B24B19/22—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバコネクタ
の端面や、ガラス、セラミックス、プラスチック等から
なる柱状材料またはブロック状の端面を、凸球面形状に
鏡面加工する方法および装置に関し、特に加工能率を向
上させかつ高精度に加工できる方法および装置に関す
る。
の端面や、ガラス、セラミックス、プラスチック等から
なる柱状材料またはブロック状の端面を、凸球面形状に
鏡面加工する方法および装置に関し、特に加工能率を向
上させかつ高精度に加工できる方法および装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図７は、凸球面状に鏡面研磨加工した光
コネクタ２２のフェルール２１の端面８同士の接続部を
示す略図である。光ファイバ２３同士を接続して光信号
を伝搬する際、光ファイバ端面の間の隙間に起因して発
生する光損失や反射を極力抑制する必要がある。現在、
低光損失接続を実現する方法として、光ファイバ２３の
端部に設けられるフェルール２１の端面８を、凸球面状
の鏡面に形成して光ファイバ２３の端面を相互に密着さ
せるＰＣ（Physical Contact）光コネクタ２２が広く利
用されている。
コネクタ２２のフェルール２１の端面８同士の接続部を
示す略図である。光ファイバ２３同士を接続して光信号
を伝搬する際、光ファイバ端面の間の隙間に起因して発
生する光損失や反射を極力抑制する必要がある。現在、
低光損失接続を実現する方法として、光ファイバ２３の
端部に設けられるフェルール２１の端面８を、凸球面状
の鏡面に形成して光ファイバ２３の端面を相互に密着さ
せるＰＣ（Physical Contact）光コネクタ２２が広く利
用されている。
【０００３】ＰＣ光コネクタ２２を製作する際、光ファ
イバ２３をフェルール２１に挿入して固着する過程で、
先端には余剰の接着剤や余長光ファイバが残る。従来の
加工装置で端面８を凸球面状に鏡面研磨加工する場合、
この余剰接着剤や余長光ファイバを粗研削によって取り
除き、次に図８に示すように、断面が凹円弧形状の表面
を有する研磨台３の上に研磨テープ２を配置し、被加工
物１の端面を研磨テープ２に接触させて押圧し、研磨テ
ープ２を凹面状に研磨台３の上面に拘束して走行させ、
被加工物１に回転と往復運動を与え、研磨テープの研磨
作用で被加工物１に凹面形状を転写することによって滑
らかな凸球面状の鏡面に仕上げている（例えば、特開平
９−０２９５９９号公報参照）。
イバ２３をフェルール２１に挿入して固着する過程で、
先端には余剰の接着剤や余長光ファイバが残る。従来の
加工装置で端面８を凸球面状に鏡面研磨加工する場合、
この余剰接着剤や余長光ファイバを粗研削によって取り
除き、次に図８に示すように、断面が凹円弧形状の表面
を有する研磨台３の上に研磨テープ２を配置し、被加工
物１の端面を研磨テープ２に接触させて押圧し、研磨テ
ープ２を凹面状に研磨台３の上面に拘束して走行させ、
被加工物１に回転と往復運動を与え、研磨テープの研磨
作用で被加工物１に凹面形状を転写することによって滑
らかな凸球面状の鏡面に仕上げている（例えば、特開平
９−０２９５９９号公報参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来のフェルー
ルの端面の球面加工法では、研磨液を使用していないた
め、加工能率が良くないという欠点があり、また通常の
研磨法におけるような研磨液の供給を行った場合には、
研磨液の供給量が過大となってフェルールの端面の球面
の加工に適正な研磨液の量を供給できないという欠点が
ある。
ルの端面の球面加工法では、研磨液を使用していないた
め、加工能率が良くないという欠点があり、また通常の
研磨法におけるような研磨液の供給を行った場合には、
研磨液の供給量が過大となってフェルールの端面の球面
の加工に適正な研磨液の量を供給できないという欠点が
ある。
【０００５】本発明の目的は、このような従来の課題を
解決し、光ファイバコネクタのみならず、ガラスやセラ
ミックス等からなる柱状材料やブロックの端面を、高能
率でかつ高精度な凸球面状の鏡面に加工できる球面加工
装置および加工方法を提供することにある。
解決し、光ファイバコネクタのみならず、ガラスやセラ
ミックス等からなる柱状材料やブロックの端面を、高能
率でかつ高精度な凸球面状の鏡面に加工できる球面加工
装置および加工方法を提供することにある。
【０００６】
【０００７】請求項１記載の本発明の球状鏡面加工方法
は、長手方向に直角な断面が凹円弧形状をなす上面を有
する研磨台の上に研磨テープを配置し、被加工物の端面
を研磨テープに接触させて押圧し、研磨テープを走行さ
せ、被加工物に回転および往復運動を与え、研磨テープ
の研磨作用により、被加工物の端面を加工する球面加工
方法において、被加工物の端面のエッジ部分が加工され
る加工初期において、被加工物の端面に加える加工圧力
を減少させ、エッジ部分の加工が終了した時点で加工圧
力を増加させることを特徴とする。すなわち、加工初期
においては被加工物の端面が平らであるためエッジ部分
は尖っており、加工荷重がエッジ部分に集中することに
なるので、エッジ部分の加工が終了するまでは低い加工
荷重を掛けて、エッジ部分に研磨テープの走行が不安定
になるほど過大な荷重を掛けずに、安定した初期加工を
行い、エッジ部分の加工が終了した時点で加工圧力を増
加させて能率の良い加工を行うものである。
は、長手方向に直角な断面が凹円弧形状をなす上面を有
する研磨台の上に研磨テープを配置し、被加工物の端面
を研磨テープに接触させて押圧し、研磨テープを走行さ
せ、被加工物に回転および往復運動を与え、研磨テープ
の研磨作用により、被加工物の端面を加工する球面加工
方法において、被加工物の端面のエッジ部分が加工され
る加工初期において、被加工物の端面に加える加工圧力
を減少させ、エッジ部分の加工が終了した時点で加工圧
力を増加させることを特徴とする。すなわち、加工初期
においては被加工物の端面が平らであるためエッジ部分
は尖っており、加工荷重がエッジ部分に集中することに
なるので、エッジ部分の加工が終了するまでは低い加工
荷重を掛けて、エッジ部分に研磨テープの走行が不安定
になるほど過大な荷重を掛けずに、安定した初期加工を
行い、エッジ部分の加工が終了した時点で加工圧力を増
加させて能率の良い加工を行うものである。
【０００８】請求項２記載の本発明の第１の球状鏡面加
工装置は、長手方向に直角な断面が凹円弧形状をなす上
面を有する研磨台と、研磨台上に長手方向と直角に配置
した研磨テープと、研磨テープを走行させる機構と、棒
状の被加工物の回転中心と研磨台の断面の曲率半径の中
心とが一致するように、被加工物の端面を研磨テープに
接触させて押圧する機構と、棒状の被加工物を回転させ
ながら研磨台の凹面上を長手方向に往復運動させる機構
とを有する端面加工装置において、研磨テープ表面に薄
く均一な研磨液層を生成するための、研磨液を含ませた
保水性部材を備えることを特徴とする。この保水性部材
によって、所要量の研磨液を研磨テープ作業面に均一か
つ確実に供給することができ、加工能率が向上する。保
水性部材には、ポリウレタン発泡体などから作られる多
孔質物質のスポンジや、繊維などを用いることもでき
る。
工装置は、長手方向に直角な断面が凹円弧形状をなす上
面を有する研磨台と、研磨台上に長手方向と直角に配置
した研磨テープと、研磨テープを走行させる機構と、棒
状の被加工物の回転中心と研磨台の断面の曲率半径の中
心とが一致するように、被加工物の端面を研磨テープに
接触させて押圧する機構と、棒状の被加工物を回転させ
ながら研磨台の凹面上を長手方向に往復運動させる機構
とを有する端面加工装置において、研磨テープ表面に薄
く均一な研磨液層を生成するための、研磨液を含ませた
保水性部材を備えることを特徴とする。この保水性部材
によって、所要量の研磨液を研磨テープ作業面に均一か
つ確実に供給することができ、加工能率が向上する。保
水性部材には、ポリウレタン発泡体などから作られる多
孔質物質のスポンジや、繊維などを用いることもでき
る。
【０００９】請求項４および５記載の本発明の第２の球
状鏡面加工装置は、上述の本発明の第１の球状鏡面加工
装置において、被加工物の端面の加工初期に、エッジ部
分が加工されるまでのある一定時間における加工圧力を
減少させ、その後加工圧力を増加させる荷重変更装置を
備えたことを特徴とする。すなわち、加工初期におい
て、被加工物の端面は平らであるためエッジ部分が尖っ
ており、加工荷重がエッジ部分に集中することになるの
で、エッジ部分の加工が終了するまでは低い加工荷重を
掛けて、エッジ部分に研磨テープの走行が不安定になる
ほど過大な荷重を掛けずに、安定した初期加工を行い、
エッジ部分の加工が終了した時点で加工圧力を増加させ
て能率の良い加工を行うことができる。
状鏡面加工装置は、上述の本発明の第１の球状鏡面加工
装置において、被加工物の端面の加工初期に、エッジ部
分が加工されるまでのある一定時間における加工圧力を
減少させ、その後加工圧力を増加させる荷重変更装置を
備えたことを特徴とする。すなわち、加工初期におい
て、被加工物の端面は平らであるためエッジ部分が尖っ
ており、加工荷重がエッジ部分に集中することになるの
で、エッジ部分の加工が終了するまでは低い加工荷重を
掛けて、エッジ部分に研磨テープの走行が不安定になる
ほど過大な荷重を掛けずに、安定した初期加工を行い、
エッジ部分の加工が終了した時点で加工圧力を増加させ
て能率の良い加工を行うことができる。
【００１０】請求項３記載の本発明の第３の球状鏡面加
工装置は、上述の本発明の第１の球状鏡面加工装置にお
いて、研磨テープが、研磨テープの供給ロールと、研磨
テープの巻き取りロールと、供給ロールの回転に抵抗を
与えるための板ばねと、供給ロールおよび巻き取りロー
ルを収容し、かつ保水性部材により研磨テープに研磨液
を供給するための開口部を有するカセットとを含むかセ
ット式研磨テープ装置を形成し、カセット式研磨テープ
装置が、研磨テープを走行させる機構に着脱可能に設け
られることを特徴とする。
工装置は、上述の本発明の第１の球状鏡面加工装置にお
いて、研磨テープが、研磨テープの供給ロールと、研磨
テープの巻き取りロールと、供給ロールの回転に抵抗を
与えるための板ばねと、供給ロールおよび巻き取りロー
ルを収容し、かつ保水性部材により研磨テープに研磨液
を供給するための開口部を有するカセットとを含むかセ
ット式研磨テープ装置を形成し、カセット式研磨テープ
装置が、研磨テープを走行させる機構に着脱可能に設け
られることを特徴とする。
【００１１】このようなカセット式研磨テープ装置を用
いることにより、加工装置への研磨テープの交換が容易
となるため加工能率が向上するほか、板ばねが供給ロー
ルの回転に抵抗を与えるため、従来から行われているよ
うな供給ロールにトルクモータ等の複雑な装置を用いな
くても、研磨テープに容易に張力を生じさせることがで
きるので、安定した研磨作業を行うことができる。
いることにより、加工装置への研磨テープの交換が容易
となるため加工能率が向上するほか、板ばねが供給ロー
ルの回転に抵抗を与えるため、従来から行われているよ
うな供給ロールにトルクモータ等の複雑な装置を用いな
くても、研磨テープに容易に張力を生じさせることがで
きるので、安定した研磨作業を行うことができる。
【００１２】請求項６記載の本発明の第４の球状鏡面加
工装置は、上述の本発明の第１の球状鏡面加工装置にお
いて、棒状材料を回転させる機構と、棒状材料を研磨台
の凹面上で長手方向に往復運動させる機構とを分離して
設け、棒状材料の往復運動の直線運動の途中で、回転運
動を反転させる機構であることを特徴とする。すなわ
ち、棒状材料の回転運動と往復運動において、両運動が
同時に反転する状態、つまり加工が瞬間的に停止する状
態をつくらないので、常に棒状材料は加工され続け、加
工能率が向上する。また、棒状材料に急激な荷重がかか
らず、安定した加工を行うことができる。
工装置は、上述の本発明の第１の球状鏡面加工装置にお
いて、棒状材料を回転させる機構と、棒状材料を研磨台
の凹面上で長手方向に往復運動させる機構とを分離して
設け、棒状材料の往復運動の直線運動の途中で、回転運
動を反転させる機構であることを特徴とする。すなわ
ち、棒状材料の回転運動と往復運動において、両運動が
同時に反転する状態、つまり加工が瞬間的に停止する状
態をつくらないので、常に棒状材料は加工され続け、加
工能率が向上する。また、棒状材料に急激な荷重がかか
らず、安定した加工を行うことができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の球状
鏡面加工装置の実施の形態の斜視略図である。
て図面を参照して説明する。図１は本発明の第１の球状
鏡面加工装置の実施の形態の斜視略図である。
【００１４】被加工物１は、光ファイバコネクタ等に用
いられる細長い柱状材料で、本加工装置により端面８が
高精度の凸球面状の鏡面に加工される。研磨テープ２
は、薄い帯状の研磨テープで、供給ロール１１から供給
され巻き取りロール１２によって巻き取られて研磨台３
の上を移動し、表面に被加工物１の端面８を接触させて
研磨する。研磨台３は、水平に設けられたほぼ直方体を
なす研磨台で、長手方向の直角な断面の上端が所定の曲
率半径を有する凹円弧形状をなしている。
いられる細長い柱状材料で、本加工装置により端面８が
高精度の凸球面状の鏡面に加工される。研磨テープ２
は、薄い帯状の研磨テープで、供給ロール１１から供給
され巻き取りロール１２によって巻き取られて研磨台３
の上を移動し、表面に被加工物１の端面８を接触させて
研磨する。研磨台３は、水平に設けられたほぼ直方体を
なす研磨台で、長手方向の直角な断面の上端が所定の曲
率半径を有する凹円弧形状をなしている。
【００１５】スポンジ４は、供給ロール１１の外側にロ
ール１１の全長に亘って設けられ、供給ロール１１に巻
き付けられている研磨テープ２の表面と接触して、スポ
ンジ状の体内に含んだ研磨液を、研磨テープ２の表面に
一様な薄い層状で供給するための保水性部材である。ス
ポンジ４に供給される研磨液は、研磨液貯蔵タンク１４
からパイプ５を経由してノズル７により所定量が供給さ
れる。
ール１１の全長に亘って設けられ、供給ロール１１に巻
き付けられている研磨テープ２の表面と接触して、スポ
ンジ状の体内に含んだ研磨液を、研磨テープ２の表面に
一様な薄い層状で供給するための保水性部材である。ス
ポンジ４に供給される研磨液は、研磨液貯蔵タンク１４
からパイプ５を経由してノズル７により所定量が供給さ
れる。
【００１６】チャック６は、被加工物１を研磨台３の上
面に対し垂直に、かつ被加工物１の回転軸と研磨台３の
上面の凹円弧面の曲率中心とを一致させた状態で保持
し、かつチャック回転モータ１３から歯車機構を通じて
回転が与えられる。
面に対し垂直に、かつ被加工物１の回転軸と研磨台３の
上面の凹円弧面の曲率中心とを一致させた状態で保持
し、かつチャック回転モータ１３から歯車機構を通じて
回転が与えられる。
【００１７】チャック回転モータ１３は、チャック６に
回転を与えるとともに、軸端に設けられたピニオン９を
回転させる。ピニオン１０は研磨台３の長手方向に平行
に固設されたラック９と噛合っているから、チャック回
転モータ１３を回動させることにより、チャック回転モ
ータ１３とチャック６とは、共に研磨台３の長手方向に
往復運動を行うことができる。
回転を与えるとともに、軸端に設けられたピニオン９を
回転させる。ピニオン１０は研磨台３の長手方向に平行
に固設されたラック９と噛合っているから、チャック回
転モータ１３を回動させることにより、チャック回転モ
ータ１３とチャック６とは、共に研磨台３の長手方向に
往復運動を行うことができる。
【００１８】研磨テープ巻き取りモータ１８は、研磨テ
ープ２を巻き取りロール１２に巻き取るように、巻き取
りロール１２と同軸に設けられている。
ープ２を巻き取りロール１２に巻き取るように、巻き取
りロール１２と同軸に設けられている。
【００１９】定荷重機構１９は、チャック６に保持され
た被加工物１に所定の垂直荷重を与えて研磨テープ２に
接触させる機構である。
た被加工物１に所定の垂直荷重を与えて研磨テープ２に
接触させる機構である。
【００２０】次に上述の図１に示す本発明の第１の球状
鏡面加工装置により、被加工物１の端面８を球状の鏡面
に加工するための加工方法を述べる。まず供給ロール１
１に所定の研磨テープ２を巻き付け、研磨テープ２の一
端を引き出して研磨台３の上面を張り渡して巻き取りロ
ール１２に固定する。次に被加工物１の回転軸と研磨台
３の上面の凹円弧面の曲率中心とを一致させて、被加工
物１の端面８と研磨テープ２とを接触させた後、さらに
定荷重機構１９によって所定の垂直荷重を掛ける。研磨
液貯蔵タンク１４から所定の研磨液を所定量だけ連続的
にノズル７を経てスポンジ４に供給し、スポンジ４を研
磨テープ２に接触させて研磨テープ２の表面に薄く均一
な研磨液層を生成させる。
鏡面加工装置により、被加工物１の端面８を球状の鏡面
に加工するための加工方法を述べる。まず供給ロール１
１に所定の研磨テープ２を巻き付け、研磨テープ２の一
端を引き出して研磨台３の上面を張り渡して巻き取りロ
ール１２に固定する。次に被加工物１の回転軸と研磨台
３の上面の凹円弧面の曲率中心とを一致させて、被加工
物１の端面８と研磨テープ２とを接触させた後、さらに
定荷重機構１９によって所定の垂直荷重を掛ける。研磨
液貯蔵タンク１４から所定の研磨液を所定量だけ連続的
にノズル７を経てスポンジ４に供給し、スポンジ４を研
磨テープ２に接触させて研磨テープ２の表面に薄く均一
な研磨液層を生成させる。
【００２１】研磨テープ巻き取りモータ１８を回転させ
て研磨テープ２を巻き取る。チャック回転モータ１３を
起動して被加工物１に回転を与え、研磨台３の凹円弧面
に接触して凹円弧面をなす研磨テープ２の上で端面８を
研磨すると共に、同時にピニオン１０にも回転を与えて
ラック９の上を移動させるから、被加工物１は研磨台３
の長手方向に移動する。
て研磨テープ２を巻き取る。チャック回転モータ１３を
起動して被加工物１に回転を与え、研磨台３の凹円弧面
に接触して凹円弧面をなす研磨テープ２の上で端面８を
研磨すると共に、同時にピニオン１０にも回転を与えて
ラック９の上を移動させるから、被加工物１は研磨台３
の長手方向に移動する。
【００２２】このように被加工物１は研磨台３の上の研
磨テープ２の上で回転と移動が与えられる。チャック回
転モータ１３の回転方向を反転させることによって、被
加工物１の回転方向が反転すると共に、移動方向も反転
して被加工物１に往復運動が与えれる。
磨テープ２の上で回転と移動が与えられる。チャック回
転モータ１３の回転方向を反転させることによって、被
加工物１の回転方向が反転すると共に、移動方向も反転
して被加工物１に往復運動が与えれる。
【００２３】このようにして、被加工物１の端面８に所
定の研磨面が形成されると、チャック６から取り外し、
別の未加工の被加工物１をチャック６に取り付けて同様
の加工を行う。研磨テープ２を使い切った時点で、粒度
の細かい所定の仕上げ加工用の研磨テープ２と交換す
る。同様の加工手順で、はじめの研磨テープ２を用いて
前加工しておいた被加工物１の仕上げ加工を行い、所定
の鏡面に仕上げて加工を終了する。
定の研磨面が形成されると、チャック６から取り外し、
別の未加工の被加工物１をチャック６に取り付けて同様
の加工を行う。研磨テープ２を使い切った時点で、粒度
の細かい所定の仕上げ加工用の研磨テープ２と交換す
る。同様の加工手順で、はじめの研磨テープ２を用いて
前加工しておいた被加工物１の仕上げ加工を行い、所定
の鏡面に仕上げて加工を終了する。
【００２４】図２は、本発明の第２の球状鏡面加工装置
の斜視図である。図２に示す本発明の第２の球状鏡面加
工装置は、図１に示す第１の加工装置の定荷重機構１９
を、荷重変更機構２９に変更したものである。すなわ
ち、荷重変更機構２９以外は全て図１に示す第１の加工
装置と同じ構成である。
の斜視図である。図２に示す本発明の第２の球状鏡面加
工装置は、図１に示す第１の加工装置の定荷重機構１９
を、荷重変更機構２９に変更したものである。すなわ
ち、荷重変更機構２９以外は全て図１に示す第１の加工
装置と同じ構成である。
【００２５】荷重変更機構２９は、被加工物１に掛ける
垂直方向の荷重を種々の値に変更する機構であって、こ
れにより被加工物１の端面８が研磨テープ２に接触する
加工圧力を加工工程の途中において種々の所望の値に変
更することができるので、能率の良い研磨作業を行うこ
とができる。
垂直方向の荷重を種々の値に変更する機構であって、こ
れにより被加工物１の端面８が研磨テープ２に接触する
加工圧力を加工工程の途中において種々の所望の値に変
更することができるので、能率の良い研磨作業を行うこ
とができる。
【００２６】図３は図２に示す装置を用いた本発明によ
る球状鏡面加工方法の説明図であって、図３（Ａ）は加
工初期の状態、図３（Ｂ）はエッジ部分加工後の状態を
示す図である。
る球状鏡面加工方法の説明図であって、図３（Ａ）は加
工初期の状態、図３（Ｂ）はエッジ部分加工後の状態を
示す図である。
【００２７】図３（Ａ）に示す加工初期において、被加
工物１の端面８のエッジ部分８ａが加工されるまでの間
は、荷重変更機構２９によって被加工物１に低い荷重を
掛ける。一定時間経過してエッジ部分８ａが加工された
時点で、図３（Ｂ）に示すように、荷重変更機構２９に
よって荷重を大きくして加工を継続する。このように加
工初期の荷重を小さくすることにより、研磨テープの走
行が不安定とならぬため、能率の良い加工を行うことが
できる。
工物１の端面８のエッジ部分８ａが加工されるまでの間
は、荷重変更機構２９によって被加工物１に低い荷重を
掛ける。一定時間経過してエッジ部分８ａが加工された
時点で、図３（Ｂ）に示すように、荷重変更機構２９に
よって荷重を大きくして加工を継続する。このように加
工初期の荷重を小さくすることにより、研磨テープの走
行が不安定とならぬため、能率の良い加工を行うことが
できる。
【００２８】図４、図５は、本発明のカセット式研磨テ
ープ装置を含む第３の球状鏡面加工装置を説明する斜視
図である。図４に示すように、カセット式研磨テープ装
置２８は、研磨テープ２が巻かれた供給ロール１１と、
研磨テープ２の端を固定した巻き取りロール１２と、板
ばね１７とを内部に備えたカセット１５で形成される。
そして供給ロールと巻き取りロールの中心に挿入してカ
セットの位置を決める、ピンを使用したカセット装着機
構１６に装着するようになっている。
ープ装置を含む第３の球状鏡面加工装置を説明する斜視
図である。図４に示すように、カセット式研磨テープ装
置２８は、研磨テープ２が巻かれた供給ロール１１と、
研磨テープ２の端を固定した巻き取りロール１２と、板
ばね１７とを内部に備えたカセット１５で形成される。
そして供給ロールと巻き取りロールの中心に挿入してカ
セットの位置を決める、ピンを使用したカセット装着機
構１６に装着するようになっている。
【００２９】被加工物１の回転軸と研磨台３上の凹円弧
面の断面曲率中心を一致させた状態で被加工物１と研磨
テープ２とを接触させて、研磨テープ２を研磨テープ巻
き取りモータ１８によって低速で送りながらチャック回
転モータ１３を回転させる。同時に、ラック９とピニオ
ン１０によりチャック６をラック９の長手方向に往復運
動させる。スポンジ４を、カセット１５の窓２０より研
磨テープ２の表面に接触するように配置し、ノズル７に
よりスポンジ４に研磨液を供給する。これによって研磨
テープ２の表面には、薄く均一な研磨液層が生成され
る。被加工物１は回動および往復運動を行い、凸球面形
状に前加工される。複数個加工し、研磨テープ２を最後
まで巻き取った時点で、粒度の細かい別の研磨テープ２
のカセット式研磨テープ装置２８と交換し、同様の方法
で、先に前加工を施しておいた被加工物１の仕上げ加工
を行う。研磨を行うと、被加工物１の端面８は徐々に滑
らかな凸球面形状に研磨され仕上げ加工されていく。球
面形状が所定の状態まで加工が進んだ時点で加工を終了
する。上述のカセット式研磨装置２８を用いることによ
り、研磨テープの交換が容易になる。
面の断面曲率中心を一致させた状態で被加工物１と研磨
テープ２とを接触させて、研磨テープ２を研磨テープ巻
き取りモータ１８によって低速で送りながらチャック回
転モータ１３を回転させる。同時に、ラック９とピニオ
ン１０によりチャック６をラック９の長手方向に往復運
動させる。スポンジ４を、カセット１５の窓２０より研
磨テープ２の表面に接触するように配置し、ノズル７に
よりスポンジ４に研磨液を供給する。これによって研磨
テープ２の表面には、薄く均一な研磨液層が生成され
る。被加工物１は回動および往復運動を行い、凸球面形
状に前加工される。複数個加工し、研磨テープ２を最後
まで巻き取った時点で、粒度の細かい別の研磨テープ２
のカセット式研磨テープ装置２８と交換し、同様の方法
で、先に前加工を施しておいた被加工物１の仕上げ加工
を行う。研磨を行うと、被加工物１の端面８は徐々に滑
らかな凸球面形状に研磨され仕上げ加工されていく。球
面形状が所定の状態まで加工が進んだ時点で加工を終了
する。上述のカセット式研磨装置２８を用いることによ
り、研磨テープの交換が容易になる。
【００３０】図６は、本発明の第４の球状鏡面加工装置
の斜視略図である。本装置と図２において述べた本発明
の第２の球状鏡面加工装置との相違点を述べれば、下記
の通りである。すなわち、チャック回転モータ１３のほ
かにチャック往復モータ３１を設け、チャック回転モー
タ１３はチャック６と同軸に配置されてチャック６の回
転のみを行い、新たに設けたチャック往復モータ３１が
ラック９に噛み合うピニオン１０を回動させて、被加工
物１の往復運動を行わせるようになっている。
の斜視略図である。本装置と図２において述べた本発明
の第２の球状鏡面加工装置との相違点を述べれば、下記
の通りである。すなわち、チャック回転モータ１３のほ
かにチャック往復モータ３１を設け、チャック回転モー
タ１３はチャック６と同軸に配置されてチャック６の回
転のみを行い、新たに設けたチャック往復モータ３１が
ラック９に噛み合うピニオン１０を回動させて、被加工
物１の往復運動を行わせるようになっている。
【００３１】上述した本発明の第４の球状鏡面加工装置
は、このように構成したことにより、被加工物１の往復
運動の直線運動の途中で被加工物１の回転方向を反転さ
せることができるので、前述の本発明の第１、第２およ
び第３の装置のような、被加工物１の往復運動の反転
と、回転運動の反転とが同時に行われることによる加工
の瞬間的停止の状態をつくらない。したがって被加工物
１の加工能率が向上し、また被加工物１に急激な荷重が
掛からないから安定した加工を行うことができる。上述
したほかの点については、研磨液の供給、荷重変更機構
２９による被加工物１への荷重の掛け方、研磨テープ２
の交換による仕上げ加工等の加工方法は、いずれも上述
の第１、第２および第３の装置における方法と同様であ
る。
は、このように構成したことにより、被加工物１の往復
運動の直線運動の途中で被加工物１の回転方向を反転さ
せることができるので、前述の本発明の第１、第２およ
び第３の装置のような、被加工物１の往復運動の反転
と、回転運動の反転とが同時に行われることによる加工
の瞬間的停止の状態をつくらない。したがって被加工物
１の加工能率が向上し、また被加工物１に急激な荷重が
掛からないから安定した加工を行うことができる。上述
したほかの点については、研磨液の供給、荷重変更機構
２９による被加工物１への荷重の掛け方、研磨テープ２
の交換による仕上げ加工等の加工方法は、いずれも上述
の第１、第２および第３の装置における方法と同様であ
る。
【００３２】
【実施例】次に図１および図２を参照して本発明の球状
鏡面加工方法の実施例について詳細に述べる。両加工方
法に用いられた図１および図２に示す装置において、下
記の条件は同一であった。すなわち、 研磨台３ 材質テフロン、上面凹円弧の曲率半径１７．５ｍｍ 研磨テープ２ 巾２５ｍｍ、長さ１５０ｍ、基材厚さ２５μｍ、 前加工用砥粒径８μｍ、材質Ａｌ2 Ｏ3 仕上げ加工用砥粒径１．５μｍ、材質ダイヤモンド 研磨液 純水を１０ｃｃ／１．５時間の割合でスポンジ４に供給 （研磨テープ表面において、約５０ｃｃ／ｍ2 に相当する研 磨液層を形成する量） 被加工物１ １２５μｍ径の光ファイバ２３を挿入した２．５ｍｍ径のガ （図７参照） ラス製フェルール２１からなる光コネクタ２２ 歯車比 チャック回転モータ１３とチャック６とに取り付けた歯車比 ２：１ １．本発明の第１の球状鏡面加工装置による球状鏡面加
工方法 図１において、上述の条件の下で被加工物１をチャック
６で保持して装置を設定した。定荷重機構１９によって
被加工物１に１５０ｇｆの垂直荷重を与え、ノズル７よ
りスポンジ４に１．５時間毎に純水１０ｃｃを供給し
た。この供給量は研磨テープ表面１ｍ2 当たり約５０ｃ
ｃに相当する。チャック回転モータ１３を２００ｒｐｍ
で回転（被加工物１の回転４００ｒｐｍ）で１．５分間
加工した。同様の方法により１０００個の被加工物１を
加工した。この前加工工程に用いた研磨テープ２の砥粒
は、径８μｍのＡｌ2 Ｏ3 であった。
鏡面加工方法の実施例について詳細に述べる。両加工方
法に用いられた図１および図２に示す装置において、下
記の条件は同一であった。すなわち、 研磨台３ 材質テフロン、上面凹円弧の曲率半径１７．５ｍｍ 研磨テープ２ 巾２５ｍｍ、長さ１５０ｍ、基材厚さ２５μｍ、 前加工用砥粒径８μｍ、材質Ａｌ2 Ｏ3 仕上げ加工用砥粒径１．５μｍ、材質ダイヤモンド 研磨液 純水を１０ｃｃ／１．５時間の割合でスポンジ４に供給 （研磨テープ表面において、約５０ｃｃ／ｍ2 に相当する研 磨液層を形成する量） 被加工物１ １２５μｍ径の光ファイバ２３を挿入した２．５ｍｍ径のガ （図７参照） ラス製フェルール２１からなる光コネクタ２２ 歯車比 チャック回転モータ１３とチャック６とに取り付けた歯車比 ２：１ １．本発明の第１の球状鏡面加工装置による球状鏡面加
工方法 図１において、上述の条件の下で被加工物１をチャック
６で保持して装置を設定した。定荷重機構１９によって
被加工物１に１５０ｇｆの垂直荷重を与え、ノズル７よ
りスポンジ４に１．５時間毎に純水１０ｃｃを供給し
た。この供給量は研磨テープ表面１ｍ2 当たり約５０ｃ
ｃに相当する。チャック回転モータ１３を２００ｒｐｍ
で回転（被加工物１の回転４００ｒｐｍ）で１．５分間
加工した。同様の方法により１０００個の被加工物１を
加工した。この前加工工程に用いた研磨テープ２の砥粒
は、径８μｍのＡｌ2 Ｏ3 であった。
【００３３】次に研磨テープ２を仕上げ加工用の砥粒径
１．５μｍのダイヤモンドのものに交換して、上述の前
加工工程の終っている１０００個の被加工物１の仕上げ
加工を行った。仕上げ加工における垂直荷重、純水供給
量、モータ回転数は前加工工程と同一とし、各１．５分
間の研磨を１０００個の被加工物１について行った。
１．５μｍのダイヤモンドのものに交換して、上述の前
加工工程の終っている１０００個の被加工物１の仕上げ
加工を行った。仕上げ加工における垂直荷重、純水供給
量、モータ回転数は前加工工程と同一とし、各１．５分
間の研磨を１０００個の被加工物１について行った。
【００３４】上述のように連続して１０００個の被加工
物１の加工を完了したが、この量は従来の加工数と較べ
ると１．３倍であった。被加工物１個当たりに要した時
間は、被加工物の交換取り付け時間も含めて３．５分で
あった。被加工物１の端面８の仕上りの球面曲率半径は
１７．５±１ｍｍ、表面粗さは０．０１μｍＲｍａｘ以
下で歪みのない滑らかな凸球面状の鏡面が得られた。ま
た光コネクタ２２の光接続損失は０．２ｄＢ以下、反射
減衰量は４５ｄＢ以上が得られた。
物１の加工を完了したが、この量は従来の加工数と較べ
ると１．３倍であった。被加工物１個当たりに要した時
間は、被加工物の交換取り付け時間も含めて３．５分で
あった。被加工物１の端面８の仕上りの球面曲率半径は
１７．５±１ｍｍ、表面粗さは０．０１μｍＲｍａｘ以
下で歪みのない滑らかな凸球面状の鏡面が得られた。ま
た光コネクタ２２の光接続損失は０．２ｄＢ以下、反射
減衰量は４５ｄＢ以上が得られた。
【００３５】２．本発明の第２の球状鏡面加工装置によ
る球状鏡面加工方法 図２は、本発明による第２の球状鏡面加工装置の斜視図
であり、図３は、加工方法の説明図であって、図３
（Ａ）は加工初期の図、図３（Ｂ）は端面のエッジ部分
を加工後の図である。
る球状鏡面加工方法 図２は、本発明による第２の球状鏡面加工装置の斜視図
であり、図３は、加工方法の説明図であって、図３
（Ａ）は加工初期の図、図３（Ｂ）は端面のエッジ部分
を加工後の図である。
【００３６】図２に示す装置は、図１の装置の定荷重機
構１９を荷重変更機構２９に変更した以外は、全て図１
の装置と同じ構成である。荷重変更機構２９には電磁石
を用いた。
構１９を荷重変更機構２９に変更した以外は、全て図１
の装置と同じ構成である。荷重変更機構２９には電磁石
を用いた。
【００３７】荷重変更機構２９によって被加工物１に１
００ｇｆの垂直荷重を与えた後、チャック回転モータ１
３を２００ｒｐｍ（被加工物１は４００ｒｐｍ）で回転
させて１０秒間加工し、被加工物１の平らな端面８の尖
ったエッジ部分８ａの加工を行った（図３（Ａ）参
照）。その後、荷重変更機構２９によって荷重を１５０
ｇｆに増加し、８０秒間の加工を行い、合計９０秒の前
加工を終了した（図３（Ｂ）参照）。
００ｇｆの垂直荷重を与えた後、チャック回転モータ１
３を２００ｒｐｍ（被加工物１は４００ｒｐｍ）で回転
させて１０秒間加工し、被加工物１の平らな端面８の尖
ったエッジ部分８ａの加工を行った（図３（Ａ）参
照）。その後、荷重変更機構２９によって荷重を１５０
ｇｆに増加し、８０秒間の加工を行い、合計９０秒の前
加工を終了した（図３（Ｂ）参照）。
【００３８】このようにして１０００個の被加工物１の
前加工を行った後、研磨テープ２を仕上げ加工用のテー
プに交換して、上述の前加工工程が終っている１０００
個の被加工物１の仕上げ加工を行った。仕上げ加工にお
ける垂直荷重は１５０ｇｆ、チャック回転モータ１３の
回転は２００ｒｐｍ（被加工物４００ｒｐｍ）で、９０
秒間の仕上げ加工を行った。上述の前加工および仕上げ
加工におけるスポンジ４への純水の供給量は、１．５時
間毎に１０ｃｃ（約５０ｃｃ／ｍ2 ）であった。
前加工を行った後、研磨テープ２を仕上げ加工用のテー
プに交換して、上述の前加工工程が終っている１０００
個の被加工物１の仕上げ加工を行った。仕上げ加工にお
ける垂直荷重は１５０ｇｆ、チャック回転モータ１３の
回転は２００ｒｐｍ（被加工物４００ｒｐｍ）で、９０
秒間の仕上げ加工を行った。上述の前加工および仕上げ
加工におけるスポンジ４への純水の供給量は、１．５時
間毎に１０ｃｃ（約５０ｃｃ／ｍ2 ）であった。
【００３９】このように連続して１０００個の被加工物
１の加工を終了したが、従来の加工量に対し１．３倍の
加工量が得られ、また加工時間は交換時間も含め１個当
たり３．５分であった。被加工物１の端面８の仕上りの
球面の曲率半径は１７．５±１ｍｍ、表面粗さは０．０
０８μｍＲｍａｘ以下で歪みのない滑らかな凸球面状の
鏡面が得られた。
１の加工を終了したが、従来の加工量に対し１．３倍の
加工量が得られ、また加工時間は交換時間も含め１個当
たり３．５分であった。被加工物１の端面８の仕上りの
球面の曲率半径は１７．５±１ｍｍ、表面粗さは０．０
０８μｍＲｍａｘ以下で歪みのない滑らかな凸球面状の
鏡面が得られた。
【００４０】３．本発明の第３の球状鏡面加工装置によ
る実施例 次に図４および図５を参照して、本発明の第３の球状鏡
面加工装置の実施例を述べる。本実施例では、図４に示
すカセット式研磨テープ装置２８を使用した。
る実施例 次に図４および図５を参照して、本発明の第３の球状鏡
面加工装置の実施例を述べる。本実施例では、図４に示
すカセット式研磨テープ装置２８を使用した。
【００４１】本カセット式研磨テープ装置２８に用いら
れたテープの巻き長さは１５０ｍ、巾２５ｍｍ、基材厚
さ２５μｍで、前加工用のテープには８μｍ径でＡｌ2
Ｏ3砥粒を付着させたもの、仕上げ加工用テープには
１．５μｍ径のダイヤモンド砥粒を付着したものを用い
た。
れたテープの巻き長さは１５０ｍ、巾２５ｍｍ、基材厚
さ２５μｍで、前加工用のテープには８μｍ径でＡｌ2
Ｏ3砥粒を付着させたもの、仕上げ加工用テープには
１．５μｍ径のダイヤモンド砥粒を付着したものを用い
た。
【００４２】図５に示す装置は、図１に示す装置に図４
のカセット式研磨テープ装置２８を装着した図である。
本装置を用いて図１に示す加工方法と同一の条件で、連
続して１０００個の被加工物１を加工することができ、
従来と比較して１．３倍の加工量が得られた。また研磨
テープを交換する時間は１／２に短縮できた。被加工物
を加工する時間は１個当たり３．５分であった。端面８
の仕上りの球面の曲率半径は１７．５±１ｍｍ、表面粗
さ０．０１μｍＲｍａｘ以下で、歪みのない滑らかな凸
球面状の鏡面が得られた。また光コネクタ２２の光接続
損失は０．２ｄＢ以下、反射減衰量は４７ｄＢ以上が得
られた。
のカセット式研磨テープ装置２８を装着した図である。
本装置を用いて図１に示す加工方法と同一の条件で、連
続して１０００個の被加工物１を加工することができ、
従来と比較して１．３倍の加工量が得られた。また研磨
テープを交換する時間は１／２に短縮できた。被加工物
を加工する時間は１個当たり３．５分であった。端面８
の仕上りの球面の曲率半径は１７．５±１ｍｍ、表面粗
さ０．０１μｍＲｍａｘ以下で、歪みのない滑らかな凸
球面状の鏡面が得られた。また光コネクタ２２の光接続
損失は０．２ｄＢ以下、反射減衰量は４７ｄＢ以上が得
られた。
【００４３】４．本発明の第４の球状鏡面加工装置によ
る実施例 次に図６を参照して、本発明の第４の球状鏡面加工装置
の実施例を述べる。
る実施例 次に図６を参照して、本発明の第４の球状鏡面加工装置
の実施例を述べる。
【００４４】被加工物１をセットした後、荷重変更機構
２９によって被加工物１に１００ｇｆの垂直方向荷重を
与え、ノズル７よりスポンジ４に１．５時間毎に純水を
１０ｃｃ供給した。この供給量は約５０ｃｃ／ｍ2 に相
当する。チャック回転モータ１３を４００ｒｐｍで回動
（被加工物４００ｒｐｍ）させ、その間チャック往復モ
ータ３１を回動させてチャック６に往復運動を与えなが
ら１０秒間加工を行った。その後、荷重変更機構２９に
よって荷重を１５０ｇｆまで増加させ、８０秒間の前加
工を行った。１０００個の被加工物１を加工した後、研
磨テープ２を交換し、荷重変更機構２９によって先に前
加工を行った被加工物１に１５０ｇｆの垂直方向荷重を
与え、ノズル７よりスポンジ４に１．５時間毎に純水を
１０ｃｃ供給し、チャック回転モータ１３を４００ｒｐ
ｍで回動させ、またチャック往復モータ３１を回動させ
て９０秒間の仕上げ加工を行った。仕上げ加工に用いた
研磨テープ２は巻き長さ１５０ｍ、巾２５ｍｍ、基材の
厚さを２５μｍとし、１．５μｍ径ダイヤモンド砥粒を
固着させたものを用いた。
２９によって被加工物１に１００ｇｆの垂直方向荷重を
与え、ノズル７よりスポンジ４に１．５時間毎に純水を
１０ｃｃ供給した。この供給量は約５０ｃｃ／ｍ2 に相
当する。チャック回転モータ１３を４００ｒｐｍで回動
（被加工物４００ｒｐｍ）させ、その間チャック往復モ
ータ３１を回動させてチャック６に往復運動を与えなが
ら１０秒間加工を行った。その後、荷重変更機構２９に
よって荷重を１５０ｇｆまで増加させ、８０秒間の前加
工を行った。１０００個の被加工物１を加工した後、研
磨テープ２を交換し、荷重変更機構２９によって先に前
加工を行った被加工物１に１５０ｇｆの垂直方向荷重を
与え、ノズル７よりスポンジ４に１．５時間毎に純水を
１０ｃｃ供給し、チャック回転モータ１３を４００ｒｐ
ｍで回動させ、またチャック往復モータ３１を回動させ
て９０秒間の仕上げ加工を行った。仕上げ加工に用いた
研磨テープ２は巻き長さ１５０ｍ、巾２５ｍｍ、基材の
厚さを２５μｍとし、１．５μｍ径ダイヤモンド砥粒を
固着させたものを用いた。
【００４５】本実施例では、連続して１０００個の被加
工物１を加工でき、従来と比較して１．３倍の加工量が
得られた。被加工物１を球面加工するのに要した時間
は、被加工物１を交換する時間も含めて１個当たり３．
５分であった。被加工物１の端面８は球面の曲率半径１
７．５±１ｍｍ、表面粗さ０．００５μｍＲｍａｘ以下
で歪みのない滑らかな凸球面状の鏡面が得られた。
工物１を加工でき、従来と比較して１．３倍の加工量が
得られた。被加工物１を球面加工するのに要した時間
は、被加工物１を交換する時間も含めて１個当たり３．
５分であった。被加工物１の端面８は球面の曲率半径１
７．５±１ｍｍ、表面粗さ０．００５μｍＲｍａｘ以下
で歪みのない滑らかな凸球面状の鏡面が得られた。
【００４６】以上の実施例において、被加工物１は円柱
状のガラス製フェルールに石英光ファイバを挿入したも
のを用いたが、被加工物１をジルコニアセラミックス製
フェルールやプラスチック製フェルールとしたものや、
フェルールとは限らず柱状やブロック状のものを用いて
も、同様の良好な凸球面状の鏡面が得られる。
状のガラス製フェルールに石英光ファイバを挿入したも
のを用いたが、被加工物１をジルコニアセラミックス製
フェルールやプラスチック製フェルールとしたものや、
フェルールとは限らず柱状やブロック状のものを用いて
も、同様の良好な凸球面状の鏡面が得られる。
【００４７】前加工用粗砥粒としてＡｌ2 Ｏ3 、仕上げ
加工用微細砥粒としてダイヤモンドを用いているが、前
加工用粗砥粒をＳｉＣ・ダイヤモンド、仕上げ加工用微
細砥粒としてＣｅＯ2 ・Ｃｒ2 Ｏ3 を用いても同様の効
果が得られる。
加工用微細砥粒としてダイヤモンドを用いているが、前
加工用粗砥粒をＳｉＣ・ダイヤモンド、仕上げ加工用微
細砥粒としてＣｅＯ2 ・Ｃｒ2 Ｏ3 を用いても同様の効
果が得られる。
【００４８】また、カセット装着機構１６には位置決め
ピンを用いたが、カセットを位置決めできるものであれ
ば機構の構成は問わない。
ピンを用いたが、カセットを位置決めできるものであれ
ば機構の構成は問わない。
【００４９】さらに、荷重変更機構２９として電磁石を
用いたが、荷重変更機構２９に圧力シリンダやモータと
ばねを用いても同様の効果が得られる。
用いたが、荷重変更機構２９に圧力シリンダやモータと
ばねを用いても同様の効果が得られる。
【００５０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、断面が凹
円弧状の上面を有する研磨台上に研磨テープを走行さ
せ、被加工物の端面をテープに接触押圧して回転させる
と共に被加工物に往復運動を与え、かつ研磨テープの表
面に薄い層状の研磨液を供給するようにしたため、加工
能率が向上すると共に高精度な鏡面を有する被加工物が
得られ、また、被加工物に加える垂直荷重を、端面エッ
ジ部が研磨される初期加工時において低減し、エッジ部
の加工が終了した時点で増加させるようにしたため、研
磨テープの走行が不安定とならずに能率の良い加工を行
うことができ、さらに研磨テープをカセット式とするこ
とにより、テープの交換が容易となり、さらにまた、被
加工物の回転が反転する時期と、往復運動が反転する時
期とを一致させぬようにしたため、被加工物が常に加工
され続けることになって加工能率が向上すると共に、被
加工物に急激な荷重が掛からず安定した加工を行うこと
ができるという効果がある。
円弧状の上面を有する研磨台上に研磨テープを走行さ
せ、被加工物の端面をテープに接触押圧して回転させる
と共に被加工物に往復運動を与え、かつ研磨テープの表
面に薄い層状の研磨液を供給するようにしたため、加工
能率が向上すると共に高精度な鏡面を有する被加工物が
得られ、また、被加工物に加える垂直荷重を、端面エッ
ジ部が研磨される初期加工時において低減し、エッジ部
の加工が終了した時点で増加させるようにしたため、研
磨テープの走行が不安定とならずに能率の良い加工を行
うことができ、さらに研磨テープをカセット式とするこ
とにより、テープの交換が容易となり、さらにまた、被
加工物の回転が反転する時期と、往復運動が反転する時
期とを一致させぬようにしたため、被加工物が常に加工
され続けることになって加工能率が向上すると共に、被
加工物に急激な荷重が掛からず安定した加工を行うこと
ができるという効果がある。
【図１】本発明の第１の球状鏡面加工装置の斜視略図で
ある。
ある。
【図２】本発明の第２の球状鏡面加工装置の斜視略図で
ある。
ある。
【図３】本発明の球状鏡面加工方法の説明図である。
【図４】本発明のカセット研磨テープ装置の斜視略図で
ある。
ある。
【図５】本発明の第３の球状鏡面加工装置の斜視略図で
ある。
ある。
【図６】本発明の第４の球状鏡面加工装置の斜視略図で
ある。
ある。
【図７】光ファイバコネクタの一部を切欠いた側面略図
である。
である。
【図８】従来の技術による球面加工装置の斜視略図であ
る。
る。
１ 被加工物 ２ 研磨テープ ３ 研磨台 ４ スポンジ ５ パイプ ６ チャック ７ ノズル ８ 端面 ８ａ エッジ部分 ９ ラック １０ ピニオン １１ 供給ロール １２ 巻き取りロール １３ チャック回転モータ １４ 研磨液貯蔵タンク １５ カセット １６ カセット装着機構 １７ 板ばね １８ テープ巻き取りモータ １９ 定荷重機構 ２０ 研磨液供給用窓 ２１ フェルール ２２ 光コネクタ ２３ 光ファイバ ２８ カセット式研磨テープ装置 ２９ 荷重変更機構 ３１ チャック往復モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平９−29599（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−264759（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−157941（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−201758（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−269553（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−272051（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−89606（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 19/00 603 B24B 21/00
Claims (6)
- 【請求項１】 長手方向に直角な断面が凹円弧形状をな
す上面を有する研磨台の上に研磨テープを配置し、被加
工物の端面を前記研磨テープに接触させて押圧し、前記
研磨テープを走行させ、前記被加工物に回転および往復
運動を与え、前記研磨テープの研磨作用により、前記被
加工物の端面を加工する球面加工方法において、 前記被加工物の端面のエッジ部分が加工される加工初期
において、前記被加工物の端面に加える加工圧力を減少
させ、エッジ部分の加工が終了した時点で前記加工圧力
を増加させることを特徴とする球状鏡面加工方法。 - 【請求項２】 長手方向に直角な断面が凹円弧形状をな
す上面を有する研磨台と、該研磨台上に前記長手方向と
直角に配置した研磨テープと、該研磨テープを走行させ
る機構と、棒状の前記被加工物の回転中心と前記研磨台
の前記断面の曲率半径の中心とが一致するように、前記
被加工物の端面を前記研磨テープに接触させて押圧する
機構と、前記棒状の被加工物を回転させながら前記研磨
台の凹面上を長手方向に往復運動させる機構とを有する
球面加工装置において、 前記研磨テープの表面に薄く均一な前記研磨液層を生成
するための、研磨液を含ませた保水性部材を有すること
を特徴とする球状鏡面加工装置。 - 【請求項３】 前記研磨テープが、研磨テープの供給ロ
ールと、研磨テープの巻き取りロールと、前記供給ロー
ルの回転に抵抗を与えるための板ばねと、前記供給ロー
ルおよび巻き取りロールを収容し、かつ前記保水性部材
により研磨テープに研磨液を供給するための開口部を有
するカセットとを含むカセット式研磨テープ装置を形成
し、該カセット式研磨テープ装置が前記研磨テープを走
行させる機構に着脱可能に設けられる、請求項２に記載
の球状鏡面加工装置。 - 【請求項４】 前記被加工物の端面に加える加工圧力を
増減可能な荷重変更装置を有する、請求項２または３に
記載の球状鏡面加工装置。 - 【請求項５】 前記被加工物の端面のエッジ部分が加工
される加工初期において、前記被加工物の端面に加える
加工圧力を減少させ、エッジ部分の加工が終了した時点
で加工圧力を増加させる荷重変更装置を有する、請求項
４に記載の球状鏡面加工装置。 - 【請求項６】 前記被加工物の回転方向を、前記往復運
動の直線運動の途中で反転させる装置を有する、請求項
２に記載の球状鏡面加工装置。
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