JP2000044775A - 半導体封止用エポキシ樹脂組成物 - Google Patents

半導体封止用エポキシ樹脂組成物

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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 速硬化性と流動性に優れ、低吸湿性と耐ハン
ダクラック性に優れた鋼化物を与える半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 (a)ノボラック型エポキシ樹脂 50
重量部以上95重量部以下、4,4′−ビフェノール型
エポキシ樹脂 5重量部〜50重量部からなるエポキシ
樹脂(b)式(II)で表される (RはC1〜10アルキル基等、ZはC1〜15炭化水
素基であり、nは、平均値で0〜8、iは0〜3)フェ
ノール樹脂、(c)無機充填剤、(d)硬化促進剤から
なる半導体封止用エポキシ樹脂組成物である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、速硬化性及び流動
性に優れ、かつ低吸湿性及び耐ハンダクラック性に優れ
た硬化物を与える半導体封止用エポキシ樹脂組成物に関
する。
【0002】
【従来の技術】エポキシ樹脂組成物は、その優れた硬化
物性や取扱いの容易さから、接着、注型、封止、積層、
成型、塗装等の広い分野で使用されている。また、エポ
キシ樹脂には、多くの種類があり、その選択により硬化
物性が大きく変わるため、使用分野目的に応じて使い分
けられている。近年、高分子材料の使用条件が苛酷にな
るにしたがって、高分子材料に対して要求される諸特性
は厳しくなり、一般に用いられている各種のエポキシ樹
脂では、要求特性を十分に満足できなくなってきた。例
えば、エポキシ樹脂組成物は、半導体封止用に用いられ
ているが、この分野でも、要求性能は、厳しくなってい
る。すなわち、半導体装置の高集積化が進み、半導体素
子の大型化が著しいとともに、パッケージそのものが小
型化、薄型化している。また、半導体装置の実装も表面
実装へと移行している。表面実装においては半導体装置
がハンダ浴に直接浸漬され、高温にさらされるため、吸
湿された水分が急速に膨張し、パッケージ全体に大きな
応力がかかり、封止材にクラックが入る。そのために、
耐ハンダクラック性の良好な封止材用のエポキシ樹脂組
成物には、高い耐熱性(すなわち高いガラス転移温度)
と低吸湿性及び低応力性が要求される。
【0003】溶融シリカ粉末のような無機充填剤を高充
填することにより、低吸湿性及び低応力性(すなわち低
熱膨張率)を改良することは広く行われており、耐ハン
ダクラック性の改良に大きな効果があるが、無機充填剤
を高充填すると成型時の流動性が損なわれるため、封止
材用のエポキシ樹脂には、低溶融粘度であることが要求
されてきた。さらに、パッケージの小型化、薄型化に伴
い封止用エポキシ樹脂組成物には、高流動性も要求され
てきており、エポキシ樹脂への低溶融粘度の要求はさら
に厳しくなっている。また、成型速度を上げるため速硬
化性も強く要求されており、他の特性がいくらよくても
速硬化性に劣る材料は使用されないのが現状である。現
在主として用いられているノボラック型エポキシ樹脂
(特にクレゾールノボラック型エポキシ樹脂)は、耐熱
性及び速硬化性には優れるが、低吸湿性及び低溶融粘度
の点において充分なものとは言えなくなってきた。また
現在主としてエポキシ樹脂硬化剤として用いられている
フェノールノボラック樹脂も、耐熱性及び速硬化性には
優れるが、低吸湿性及び低溶融粘度の点において充分で
はない。
【0004】低溶融粘度なビフェニル型エポキシ樹脂を
用いることが広く検討されているが、耐熱性に劣るため
耐ハンダクラック性も充分には改良されず、速硬化性も
充分ではない。また、特開昭61−47725号公報に
は、ビフェニル型エポキシ樹脂100重量部に対してノ
ボラック型エポキシ樹脂を20〜400重量部混合し、
硬化剤としてフェノールノボラック樹脂を使用すること
によりバランスをとることが示されているが、特に低吸
湿性が充分ではない。特開平7−118366号公報や
特開平7−216054号公報には、ノボラック型エポ
キシ樹脂にテトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂を5
0重量%以上混合し、さらに硬化剤として低吸湿性が得
られるアラルキルフェノール樹脂を使用することによ
り、耐ハンダクラック性を改良することが示されてい
る。しかし、硬化性に劣るテトラメチルビフェニル型エ
ポキシ樹脂を多量に加えると速硬化性が充分ではなくな
ってしまう。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、速硬化性及
び流動性に優れ、かつ低吸湿性及び耐ハンダクラック性
に優れた硬化物を与える新規な半導体封止用エポキシ樹
脂組成物を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記の課
題を解決するために種々研究を重ねた結果、エポキシ樹
脂としてノボラック型エポキシ樹脂に4,4′−ビフェ
ノール型エポキシ樹脂を同量以下添加し、エポキシ樹脂
硬化剤として、低吸湿性が得られるフェノール樹脂を組
み合わせ、さらに無機充填剤を高充填することによりそ
の目的を達成できたのである。すなわち、本発明の半導
体封止用エポキシ樹脂組成物は、 「1. (a)下記の各成分の混合物からなるエポキシ
樹脂 (1)ノボラック型エポキシ樹脂 50重量部以上95
重量部以下 (2)一般式(I)で表される 一般式(I)
【0007】
【化3】
【0008】(式中mは平均値で0〜0.5の数であ
る。) 4,4′−ビフェノール型エポキシ樹脂 5重量部以上
50重量部以下 (b)エポキシ樹脂硬化剤として一般式(II)で表さ
れる 一般式(II)
【0009】
【化4】
【0010】(式中Rは、互いに同一であっても異なっ
ていてもよく、炭素数1〜10のアルキル基、置換又は
無置換のフェニル基、置換又は無置換のアラルキル基、
アルコキシ基又は、ハロゲン原子であり、Zは互いに同
一であっても異なっていてもよく、炭素数1〜15の2
価の炭化水素基であり、また1分子中の少なくとも1個
のZは、炭素数5〜15の2価の炭化水素基であり、n
は、平均値で0〜8の数であり、iは、互いに同一であ
っても異なっていてもよく、0〜3の整数である。) フェノール樹脂 (c)無機充填剤 組成物全体の80〜95重量% (d)硬化促進剤 を必須成分として配合してなる半導体封止用エポキシ樹
脂組成物。 2. (1)ノボラック型エポキシ樹脂として、フェノ
ールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック
型エポキシ樹脂及びビスフェノールAノボラック型エポ
キシ樹脂から選ばれた少なくとも一種類のエポキシ樹脂
を使用することを特徴とする、1項に記載された半導体
封止用エポキシ樹脂組成物。 3. (a)成分のエポキシ樹脂の全量あるいは一部と
してノボラック型フェノール樹脂と4,4′−ビフェノ
ールの混合物を、該フェノール化合物の混合物のフェノ
ール性水酸基1モル当たり、3〜20モルのエピハロヒ
ドリンとアルカリ金属水酸化物の存在下で反応させるこ
とにより得られたエポキシ樹脂混合物を使用することを
特徴とする、1項または2項に記載された半導体封止用
エポキシ樹脂組成物。 4. さらに(a)のノボラック型エポキシ樹脂と4,
4′−ビフェノール型エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂
を両エポキシ樹脂の合計100重量部に対し100重量
部以下配合した、1項ないし3項のいずれか1項に記載
された半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 5. (b)エポキシ樹脂硬化剤として、フェノールア
ラルキル樹脂、テルペンフェノール樹脂、ジシクロペン
タジエンフェノール樹脂から選ばれた少なくとも一種類
のエポキシ樹脂硬化剤を使用することを特徴とする、1
項ないし4項のいずれか1項に記載された半導体封止用
エポキシ樹脂組成物。 6. 一般式(II)で表されるフェノール樹脂の他に
エポキシ樹脂硬化剤全量に対し50重量%以下の多価フ
ェノール類、多価フェノール樹脂類、酸無水物、アミン
類等の他の硬化剤を配合した、1項ないし5項のいずれ
か1項に記載された半導体封止用エポキシ樹脂組成物。 7. (b)エポキシ樹脂硬化剤の使用量は、全エポキ
シ樹脂成分中のエポキシ基1モルに対して、全エポキシ
樹脂硬化剤成分中のエポキシ基と反応する基の合計が
0.5〜2.0モルになる量である、1項ないし6項の
いずれか1項に記載された半導体封止用エポキシ樹脂組
成物。 8. (c)無機充填剤として、溶融及び/または結晶
シリカ粉末充填剤を組成物全体の 83〜93重量%含
有することを特徴とする、1項ないし7項のいずれか1
項に記載された半導体封止用エポキシ樹脂組成物。」 に関する。
【0011】
【発明の実施の形態】本発明のは半導体封止用エポキシ
樹脂組成物で用いられるエポキシ樹脂成分はノボラック
型エポキシ樹脂に、ビフェニル型エポキシ樹脂の中で最
も低溶融粘度で硬化性にも優れる4,4′−ビフェノー
ル型エポキシ樹脂を同量以下添加することにより、耐熱
性と速硬化性を維持したまま低溶融粘度化したものであ
る。そこに低吸湿性が得られる炭化水素基を有するフェ
ノール樹脂を組み合わせ、さらに無機充填剤を高充填
し、低吸湿化及び低応力化することにより、速硬化性、
流動性、低吸湿性及び耐ハンダクラック性の全ての要求
性能を満足する半導体封止用エポキシ樹脂組成物とする
ことができたのである。
【0012】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
で用いられる(a)エポキシ樹脂の一成分である(1)
ノボラック型エポキシ樹脂は、ノボラック型フェノール
樹脂とエピハロヒドリンとをアルカリの存在下に、縮合
反応させたエポキシ樹脂としたものである。このノボラ
ック型フェノール樹脂は、フェノール、クレゾール、キ
シレノール、エチルフェノール、プロピルフェノール、
ブチルフェノール、ブチルクレゾール、フェニルフェノ
ール、ベンジルフェノール、メトキシフェノール、ブロ
モフェノール、ナフトール、ビスフェノールA、ビスフ
ェノールF、ビスフェノールAD、ハイドロキノン、ジ
ブチルハイドロキノン、レゾルシン、メチルレゾルシ
ン、ジヒドロキシナフタレン等の各種フェノール化合物
とホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、トリオキ
サン等とを酸性触媒の存在下に、縮合反応させて製造さ
れたフェノール樹脂である。
【0013】これ等フェノール樹脂とエピハロヒドリン
との反応は公知の方法で行えるが、代表的な実施態様例
を、以下に詳述する。フェノール樹脂をそのフェノール
性水酸基1モル当り3〜20に相当する量のエピハロヒ
ドリンに溶解させて均一な溶液とする。次いで、その溶
液を撹拌しながらこれにフェノール性水酸基1モル当り
0.9〜2モル量のアルカリ金属水酸化物を固体または
水溶液で加えて反応させる。この反応は、常圧下または
減圧下で行わせることができ、反応温度は、通常、常圧
下の反応の場合に約30〜105℃であり、減圧下の反
応の場合に約30〜80℃である。反応は、必要に応じ
て所定の温度を保持しながら反応液を共沸させ、揮発す
る蒸気を冷却して得られた凝縮液を油/水分離し、水分
を除いた油を反応系に戻す方法によって反応系より脱水
する。アルカリ金属水酸化物の添加は、急激な反応をお
さえるために、1〜8時間かけて少量ずつを断続的もし
くは連続的に添加する。その全反応時間は、通常、1〜
10時間程度である。反応終了後、不溶性の副生塩を瀘
別して除くか、水洗により除去した後、未反応のエピハ
ロヒドリンを減圧留去して除くと、目的のエポキシ樹脂
が得られる。この反応におけるエピハロヒドリンとして
は、通常、エピクロルヒドリンまたはエピブロモヒドリ
ンが用いられ、またアルカリ金属水酸化物としては、通
常NaOHまたはKOHが用いられる。また、この反応
においては、テトラメチルアンモニウムクロリド、テト
ラエチルアンモニウムブロミド等の第四級アンモニウム
塩、ベンジルジメチルアミン、2,4,6−(トリスジ
メチルアミノメチル)フェノール等の第三級アミン;2
−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミ
ダゾール等のイミダゾール類;エチルトリフェニルホス
ホニウムイオダイド等のホスホニウム塩;トリフェニル
ホスフィン等のホスフィン類等の触媒を用いてもよい。
さらに、この反応においては、エタノール、イソプロパ
ノール等のアルコール類;アセトン、メチルエチルケト
ン等のケトン類;ジオキサン、エチレングリコールジメ
チルエーテル等のエーテル類;メトキシプロパノール等
のグリコールエーテル類;ジメチルスルホキシド、ジメ
チルホルムアミド等の非プロトン性極性溶媒等の不活性
な有機溶媒を用いてもよい。さらに、上記のようにして
得られたエポキシ樹脂の可鹸化ハロゲン量が多すぎる場
合には、再処理して、充分に可鹸化ハロゲン量が低下し
た精製エポキシ樹脂を得ることができる。つまり、その
粗製エポキシ樹脂を、イソプロパノール、メチルエチル
ケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、キシレ
ン、ジオキサン、メトキシプロパノール、ジメチルスル
ホキシド等の不活性な有機溶媒に再溶解し、アルカリ金
属水酸化物を固体または水溶液で加えて約30〜120
℃の温度で、0.5〜8時間再閉環反応を行った後、水
洗等の方法で過剰のアルカリ金属水酸化物や副生塩を除
去し、さらに有機溶媒を減圧留去して除くと、精製され
たエポキシ樹脂が得られる。このようにして得られる各
種ノボラック型エポキシ樹脂の中では、入手のしやすさ
や硬化物性等からフェノールノボラック型エポキシ樹
脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂及びビスフェ
ノールAノボラック型エポキシ樹脂から選ばれた少なく
とも一種類のエポキシ樹脂が好ましい。
【0014】本発明で用いられる(a)エポキシ樹脂の
他の成分である(2)4,4′−ビフェノール型エポキ
シ樹脂は4,4′−ビフェノールとエピハロヒドリンと
をアルカリの存在下に、(1)ノボラック型エポキシ樹
脂と同様に縮合反応させエポキシ樹脂としたものであ
る。その構造は次に示す一般式(I)で表されるが、低
溶融粘度を維持するために式中のmの平均値は0〜0.
5であることが好ましく、より好ましくは0〜0.3で
ある。 一般式(I)
【0015】
【化5】
【0016】(式中mは平均値で0〜0.5の数であ
る。) 本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物で用いられる
(a)エポキシ樹脂は、(1)ノボラック型エポキシ樹
脂と(2)4,4′−ビフェノール型エポキシ樹脂とを
それぞれ別々に製造または入手し、混合して使用しても
よいし、それぞれの原料であるノボラック型フェノール
樹脂と4,4′−ビフェノールとを混合して同時にエピ
ハロヒドリンと反応させ、それぞれのエポキシ樹脂の混
合物として使用してもよい。硬化剤等との相溶性のよい
エポキシ樹脂を得るためには後者の方法が好ましい。後
者の方法を用いる場合は、エポキシ化後の(1)ノボラ
ック型エポキシ樹脂と(2)4,4′−ビフェノール型
エポキシ樹脂の混合割合が所定の割合になるようにそれ
ぞれの原料の使用割合を前もって調整するか、エポキシ
化後にどちらかまたは両方のエポキシ樹脂を追加して所
定の割合になるように調整する必要がある。
【0017】(1)ノボラック型エポキシ樹脂と(2)
4,4′−ビフェノール型エポキシ樹脂との混合割合
は、(1)ノボラック型エポキシ樹脂50重量部以上9
5重量部以下に対し、(2)4,4′−ビフェノール型
エポキシ樹脂5重量部以上50重量部以下であり、好ま
しくは(1)ノボラック型エポキシ樹脂60重量部以上
90重量部以下に対して、(2)4,4′−ビフェノー
ル型エポキシ樹脂10重量部以上40重量部以下であ
る。(2)4,4′−ビフェノール型エポキシ樹脂の使
用量が少なすぎると、耐熱性及び速硬化性に優れるが、
溶融粘度が高くなる。(2)4,4′−ビフェノール型
エポキシ樹脂の使用量が多すぎると、溶融粘度は低くな
るが、耐熱性及び速硬化性に劣る。
【0018】また、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物には(1)ノボラック型エポキシ樹脂と(2)
4,4′−ビフェノール型エポキシ樹脂以外のエポキシ
樹脂を混合使用することができる。その混合することが
できる他のエポキシ樹脂としては、例えばビスフェノー
ルA、ビスフェノールF、ビスフェノールAD、ハイド
ロキノン、メチルハイドロキノン、ジブチルハイドロキ
ノン、レゾルシン、メチルレゾルシン、ジヒドロキシジ
フェニルエーテル、ジヒドロキシナフタレン等の種々の
フェノール類や、種々のフェノール類と、ヒドロキシベ
ンズアルデヒド、クロトンアルデヒド、グリオキザール
等の種々のアルデヒド類との縮合反応で得られる多価フ
ェノール樹脂等の各種のフェノール系化合物と、エピハ
ロヒドリンとから製造されるエポキシ樹脂やジアミノジ
フェニルメタン、アミノフェノール、キシレンジアミン
等の種々のアミン化合物と、エピハロヒドリンとから製
造されるエポキシ樹脂、メチルヘキサヒドロキシフタル
酸、ダイマー酸等の種々のカルボン酸類と、エピハロヒ
ドリンとから製造されるエポキシ樹脂等が挙げられる。
また、組成物に難燃性を付与するために、臭素化ビスフ
ェノールA型エポキシ樹脂や臭素化フェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂のような臭素化エポキシ樹脂を添加す
ることができる。
【0019】それ等その他のエポキシ樹脂の使用割合
は、(1)ノボラック型エポキシ樹脂と(2)4,4′
−ビフェノール型エポキシ樹脂の合計100重量部に対
して100重量部以下が好ましく、より好ましくは、5
0重量部以下である。その他のエポキシ樹脂の使用割合
が多すぎると、本発明の効果が充分に発揮されなくな
る。
【0020】次に、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物には(b)エポキシ樹脂硬化剤が必須成分として
配合されるが、このエポキシ樹脂硬化剤には、次に示す
一般式(II)で表されるフェノール樹脂が使用され
る。 一般式(II)
【0021】
【化6】
【0022】(式中Rは、互いに同一であっても異なっ
ていてもよく、炭素数1〜10のアルキル基、置換又は
無置換のフェニル基、置換又は無置換のアラルキル基、
アルコキシ基又は、ハロゲン原子であり、Zは互いに同
一であっても異なっていてもよく、炭素数1〜15の2
価の炭化水素基であり、また1分子中の少なくとも1個
のZは、炭素数5〜15の2価の炭化水素基であり、n
は、平均値で0〜8の数であり、iは、互いに同一であ
っても異なっていてもよく、0〜3の整数である。) この一般式(II)で表されるフェノール樹脂は、各フ
ェノール核をつなぐ2価の炭化水素基のうち、1分子中
に少なくとも1つは炭素数5以上であるものである。
【0023】このフェノール核間に炭化水素基を持つフ
ェノール樹脂の製法には特に制約はないが、一般的に
は、各種フェノール化合物とカルボニル基との付加縮合
反応、不飽和結合の付加反応、α−ヒドロキシアルキル
ベンゼン類、α−アルコキシアルキルベンゼン類また
は、α−ハロゲン化アルキルベンゼン類との縮合反応等
の反応を用いてオリゴマー化し樹脂とする方法が用いら
れる。ここで用いられるフェノール化合物としては、例
えばフェノール、クレゾール、キシレノール、エチルフ
ェノール、プロピルフェノール、ブチルフェノール、ブ
チルクレゾール、フェニルフェノール、ベンジルフェノ
ール、メトキシフェノール、ブロモフェノール、ビスフ
ェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールZ、ビ
フェノール、テルペンジフェノール等が挙げられる。ま
たそれ等のフェノール化合物をオリゴマー化するために
用いるカルボニル基を持つ化合物としては、各種はアル
デヒド類またはケトン類が挙げられるが、例えば、ホル
ムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒ
ド、ブチルアルデヒド、ベンズアルデヒド、アセトン、
シクロヘキサノン、イソホロン、3,3,5−トリメチ
ルシクロヘキサン、アセトフェノン、ナフトアルデヒ
ド、フルレノン等が挙げられる。その不飽和結合を持つ
化合物としては、例えば、ジビニルベンゼン、ジイソプ
ロペニルベンゼン、ジシクロペンタジエン、ノルボルネ
ン、テルペン類等が挙げられる。さらに、α−ヒドロキ
シアルキルベンゼン類、α−アルコキシアルキルベンゼ
ン類または、α−ハロゲン化アルキルベンゼン類として
は、例えばα、α′−ジヒドロキシキシレン、α、α′
−ジヒドロキシイソプロピルベンゼン、α、α′−ジメ
トキシキシレン、α、α′−ジメトキシジイソプロピル
ベンゼン、4,4′−ジヒドロキシメチルビフェニル、
4,4′−ジメトキシメチルビフェニル、α、α′−ジ
クロロキシレン、等が挙げられる。それ等、カルボニル
基または不飽和結合を持つ化合物、α−ヒドロキシアル
キルベンゼン類、α−アルコキシアルキルベンゼン類ま
たは、α−ハロゲン化アルキルベンゼン類は、1種単独
でまたは、2種以上併用して用いられるが、これ等の化
合物の選択により、目的のフェノール樹脂の各フェノー
ル核をつなぐ2価の炭化水素基[前記一般式(II)に
おける−Z−]の構造が決まるため、生成樹脂中の全Z
のうち1分子中に少なくとも1つは炭素数5以上となる
ように選択されなければならない。フェノール化合物を
オリゴマー化し樹脂とするためのカルボニル基または不
飽和結合を持つ化合物、α−ヒドロキシアルキルベンゼ
ン類、α−アルコキシアルキルベンゼン類または、α−
ハロゲン化アルキルベンゼン類との反応は、一般的な反
応方法が用いられる。すなわち、酸性触媒の存在下に、
20〜200℃の温度で1〜20時間反応させる。種々
のフェノール核間に炭化水素基を導入したフェノール樹
脂の中では、入手のし易さや、硬化物性等から、フェノ
ールアラルキル樹脂、テルペンフェノール樹脂、ジシク
ロペンタジエンフェノール樹脂等が好ましい。
【0024】また、本発明のエポキシ樹脂組成物には、
一般式(II)で表されるフェノール樹脂以外の硬化剤
を混合使用することができる。その混合することができ
る他の硬化剤としては、例えば、ビスフェノールA、ビ
スフェノールF、ビスフェノールAD、ハイドロキノ
ン、レゾルシン、メチルレゾルシン、ビフェノール、テ
トラビフェノール、ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロ
キシジフェニルエーテル、フェノールノボラック樹脂、
クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラッ
ク樹脂、ナフトールノボラック樹脂、臭素化ビスフェノ
ールA、臭素化フェノールノボラック樹脂等の種々の多
価フェノール類や種々のフェノール類とベンズアルデヒ
ド、ヒドロキシベンズアルデヒド、クロトンアルデヒ
ド、グリオキザオール等の種々のアルデヒド類との縮合
反応で得られる多価フェノール樹脂等の各種のフェノー
ルのフェノール樹脂類、それ等各種のフェノール(樹
脂)類のフェノール性水酸基の全部もしくは一部をベン
ゾエー化あるいはアセテート化等のエステル化すること
によって得られる活性エステル化合物、メチルテトラヒ
ドロ無水フタル酸、ヘキサホドル無水フタル酸、無水ピ
ロメリット酸、メチルナジック酸等の酸無水物類、ジエ
チレントリアミン、イソホロンジアミン、ジアミノジフ
ェニルメタン、ジアミノジフェニルスルホン、ジシアン
ジアミド等のアミン類等が挙げられる。それら他の硬化
剤の使用割合は、エポキシ樹脂硬化剤成分全量に対して
50重量%以下が好ましい。本発明のエポキシ樹脂硬化
剤以外の硬化剤の使用割合が多すぎると、本発明の効果
が充分に発揮されなくなる。本発明の半導体封止用エポ
キシ樹脂組成物で使用される(b)エポキシ樹脂硬化剤
の使用量は、全エポキシ樹脂成分中のエポキシ基1モル
に対して、全エポキシ樹脂硬化剤成分中のエポキシ基と
反応する基の合計が0.5〜2.0モルになる量が好ま
しく、より好ましくは、0.7〜1.2モルになる量で
ある。
【0025】次に、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物には、(c)無機充填剤が配合される。その無機
充填剤の種類としては、たとえば、溶融シリカ、結晶性
シリカ、ガラス粉、アルミナ、炭酸カルシウムなどが挙
げられている。その形状としては、破砕型又は球状であ
る。各種の無機充填剤は、単独でまたは、2種以上混合
して用いられるが、それ等の中では溶融シリカ又は結晶
性シリカが好ましい。その使用量は、組成物全体の80
〜95重量%であり、より好ましくは、83〜93重量
%でる。(c)無機充填剤の使用量が少なすぎると、低
吸湿性及び低応力性の改良効果が少なく、結果的に耐ハ
ンダクラック性に劣る。(c)無機充填剤の使用量が多
すぎると、成型時の流動性が損なわれる。
【0026】また、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物に用いられる(d)硬化促進剤は、エポキシ樹脂
中のエポキシ基と硬化剤中の活性基との反応を促進する
化合物である。その(d)硬化促進剤としては、たとえ
ば、トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、
トリス(ジメトキシフェニル)ホスフィン、トリス(ヒ
ドロキシプロピル)ホスフィン、トリス(シアノエチ
ル)ホスフィンなどのホスフィン化合物、テトラフェニ
ルホスホニウムテトラフェニルボレート、メチルトリブ
チルホスホニウムテトラフェニルボレート、メチルトリ
シアノエチルホスホニウムテトラフェニルボレートなど
のホスホニウム塩、2−メチルイミダゾール、2−フェ
ニルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾー
ル、2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−
2−メチルイミダゾール、2、4−ジシアノ−6−[2
−メチルイミダゾリル−(1)]−エチル−S−トリア
ジン、2、4−ジシアノ−6−[2−ウンデシルイミダ
ゾリル−(1)]−エチル−S−トリアジンなどのイミ
ダゾール類、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダ
ゾリウムトリメリテート、2−メチルイミダゾリウムイ
ソシアヌレート、2−エチル−4−メチルイミダゾリウ
ムテトラフェニルボレート、2−エチル−1,4−ジメ
チルイミダゾリウムテトラフェニルボレートなどのイミ
ダゾリウム塩、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメ
チル)フェノール、ベンジルジメチルアミン、テトラメ
チルブチルグアニジン、N−メチルピペラジン、2−ジ
メチルアミノ−1−ピロリンなどのアミン類、トリエチ
ルアンモニウムテトラフェニルボレートなどのアンモニ
ウム塩、1,5−ジアザビシクロ(5,4,0)−7−
ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ(4,3,0)−
5−ノネン、1,4−ジアザビシクロ(2,2,2)−
オクタンなどのジアザビシクロ化合物、それ等ジアザビ
シクロ化合物のテトラフェニルボレート、フェノール
塩、フェノールノボラック塩、2−エチルヘキサン酸塩
などが挙げられる。それらの硬化促進剤となる化合物中
では、ホスフィン化合物、イミダゾール化合物、ジアザ
ビシクロ化合物、及びそれらの塩が好ましい。それ等の
(d)硬化促進剤は、単独でまたは、2種以上混合して
用いられ、その使用量は、(a)エポキシ樹脂に対し
て、0.1〜7重量%であり、より好ましくは、1〜5
重量%である。本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成
物には、必要に応じてカップリング剤、可塑剤、顔料等
を適宜に配合することができる。また、難燃助剤とし
て、三酸化アンチモン、リン酸などを適宜に配合するこ
とができる。本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物
は、速硬化性及び流動性に優れ、かつ耐ハンダクラック
性に優れた硬化物を与えるので半導体封止の分野で有利
に使用することができる。
【0027】
【実施例】以下に、本発明の半導体封止用エポキシ樹脂
組成物で用いられる各エポキシ樹脂の製造例、さらに本
発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成物の実施例及び比
較例を挙げてさらに詳述する。
【0028】各エポキシ樹脂の製造例1〜3 温度計、撹拌装置、冷却管を備えた内容量3リットルの
三つ口フラスコに表1に示した種類及び量のフェノール
化合物、エピクロルヒドリン1300g、及びメトキシ
プロパノール500gを仕込み、50℃に昇温して均一
に溶解させたのち、48.5重量%の水酸化ナトリウム
水溶液190gを1時間かけて滴下した。その間に徐々
に昇温し、滴下終了時には系内が70℃になるようにし
た。その後、70℃で30分間保持して反応を行わせ
た。その反応終了後、水洗して副生塩及び過剰の水酸化
ナトリウムを除去した。次いで、生成物から減圧下で過
剰のエピクロルヒドリン及びメトキシプロパノールを留
去して、粗製エポキシ樹脂を得た。この粗製エポキシ樹
脂をメチルイソブチルケトン700gに溶解させ、4
8.5重量%の水酸化ナトリウム水溶液6gを加え、8
0℃の温度で1時間反応させた。その反応終了後に、第
一リン酸ナトリウムを加えて過剰の水酸化ナトリウムを
中和し、水洗して副生塩を除去した。次いで、減圧下で
メチルイソブチルケトンを完全に除去して、目的のエポ
キシ樹脂を得た。これらエポキシ樹脂の組成、エポキシ
当量、溶融粘度を表1に示した。
【0029】半導体封止用エポキシ樹脂組成物実施例1
〜6および比較例1〜4 表2に示したように、(a)エポキシ樹脂の各成分とし
て、製造例1〜3で製造した各エポキシ樹脂、市販のク
レゾールノボラック型エポキシ樹脂、市販のビスフェノ
ールAノボラック型エポキシ樹脂、および/または市販
のテトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂、および難燃
剤として臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、
(b)エポキシ樹脂硬化剤としてフェノールアラルキル
樹脂、テルペンフェノール樹脂、ジシクロペンタジエン
樹脂またはフェノールノボラック樹脂、(c)無機充填
剤として球状溶融シリカ粉末を比較例1以外は組成物全
体の85重量%、比較例1は組成物全体に78重量%、
(d)硬化促進剤としてトリフェニルホスフィンを用
い、さらに難燃助剤として三酸化アンチモン、充填剤表
面処理剤としてエポキシシラン、離型剤としてカルナバ
ワックスをそれぞれ用いて、各エポキシ樹脂組成物を配
合した。次いで、各配合物をミキシングロールを用いて
70〜130℃の温度で5分間溶融混合した。得られた
各溶融混合物はシート状に取り出し、粉砕して各成形材
料を得た。各成形材料の180℃でのゲルタイムを測定
した。
【0030】これ等の各成形材料を用い低圧トランスフ
ァー成形機で金型温度180℃、成形時間180秒で成
形して、各試験片を得、180℃で8時間ポストキュア
ーさせた。また、各成形材料のスパイラルフローを測定
した。各成形材料のゲルタイム、スパイラルフロー及び
各試験片のポストキュアー後のガラス転移温度、吸湿率
及び耐ハンダクラック性を試験した結果は表2に示す通
りであり、実施例1〜6の各成形材料は、比較例1〜4
の成形材料に較べて速硬化性(すなわち短ゲルタイ
ム)、流動性(即ち高スパイラルフロー)、低吸湿性及
び耐ハンダクラック性のバランスに優れていた。
【0031】
【表1】
【0032】(註) *1:旭有機材社製 軟化点75℃ *2:明和化成社製 軟化点98℃ *3:原料仕込量から算出
【0033】
【表2】
【0034】(註) *1:A;クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(油化
シェルエポキシ社商品名エピコート180S62、エポ
キシ当量:210) *2:B;ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂
(油化シェルエポキシ社商品名 エピコート157S6
5、エポキシ当量:206) *3:製造例2で製造したエポキシ樹脂(混合物)を使
用 *4:製造例2で製造したエポキシ樹脂(混合物)8
5.0重量部と製造例1で製造したエポキシ樹脂15,
0重量部とを混合して使用 *5:製造例2で製造したエポキシ樹脂(混合物)8
0.0重量部とクレゾールノボラック型エポキシ樹脂2
0.0重量部とを混合して使用 *6:製造例3で製造したエポキシ樹脂(混合物)を使
用 *7:C;テトラメチルビフェニル型エポキシ樹脂(油
化シェルエポキシ社商品名エピコートYX4000H、
エポキシ当量:192)なお、この樹脂Cは4,4′−
ビフェノール樹脂ではない。 *8:臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂(油化シ
ェルエポキシ社商品名エピコート5050、エポキシ当
量:385、臭素含有量:49%) *9:D;フェノールアラルキル樹脂(三井東圧社商品
名 XL225−3L、水酸基当量:170、軟化点:
71℃) *10:E;テルペンフェノール樹脂(油化シェルエポ
キシ社商品名 エピキュアMP402FPY、水酸基当
量:175、軟化点:125℃) *11:F;ジシクロペンタジエンフェノール樹脂(日
本石油化学社製商品名DDP−M、水酸基当量:17
0、軟化点:95℃) *12:G;フェノールノボラック樹脂(群栄化学社
製、水酸基当量:103、軟化点:85℃) *13:球状溶融シリカ粉末(日本アエロジル社商品名
ELSIL BF100) *14:エポキシシラン(信越化学工業社商品名 KB
M−403) *15:TMAを用いて熱膨張曲線の転移点より求め
た。 *16:85℃、85%RH 300時間後の吸湿率 *17:80ピンQFP16個を85℃、85%RHに
おいて300時間吸湿後、260℃ハンダ浴に10秒間
浸漬し、クラックの発生した個数を求めた。
【0035】
【発明の効果】本発明の半導体封止用エポキシ樹脂組成
物は、速硬化性及び流動性に優れ、かつ低吸湿性及び耐
ハンダクラック性に優れた硬化物を与えることができる
ので、半導体封止の用途において有利に使用できる。
フロントページの続き Fターム(参考) 4J002 CD014 CD034 CD044 CD052 CD053 CD054 CD061 CD062 CD072 CD074 CD104 CD124 CD134 CE003 DE147 DE237 DJ017 DL007 EJ016 EU118 EU138 EU198 EW148 EW178 FD017 FD143 FD146 FD158 GQ05 4J036 AA05 AD07 AF06 AF08 AF27 AG03 AG07 AH07 AH09 DB06 DB07 DB21 DB22 DC03 DC06 DC10 DC31 DC41 DC46 DD05 DD07 FA05 FB07 FB08 GA04 JA07 4M109 AA01 BA01 CA21 EA03 EB03 EB04 EB13 EC01 EC03

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a)下記の各成分の混合物からなるエ
    ポキシ樹脂 (1)ノボラック型エポキシ樹脂 50重量部以上95
    重量部以下 (2)一般式(I)で表される 一般式(I) 【化1】 (式中mは平均値で0〜0.5の数である。) 4,4′−ビフェノール型エポキシ樹脂 5重量部以上
    50重量部以下 (b)エポキシ樹脂硬化剤として一般式(II)で表さ
    れる 一般式(II) 【化2】 (式中Rは、互いに同一であっても異なっていてもよ
    く、炭素数1〜10のアルキル基、置換又は無置換のフ
    ェニル基、置換又は無置換のアラルキル基、アルコキシ
    基又は、ハロゲン原子であり、Zは互いに同一であって
    も異なっていてもよく、炭素数1〜15の2価の炭化水
    素基であり、また1分子中の少なくとも1個のZは、炭
    素数5〜15の2価の炭化水素基であり、nは、平均値
    で0〜8の数であり、iは、互いに同一であっても異な
    っていてもよく、0〜3の整数である。) フェノール樹脂 (c)無機充填剤 組成物全体の80〜95重量% (d)硬化促進剤 を必須成分として配合してなる半導体封止用エポキシ樹
    脂組成物。
  2. 【請求項2】 (1)ノボラック型エポキシ樹脂とし
    て、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾール
    ノボラック型エポキシ樹脂及びビスフェノールAノボラ
    ック型エポキシ樹脂から選ばれた少なくとも一種類のエ
    ポキシ樹脂を使用することを特徴とする、請求項1に記
    載された半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 (a)成分のエポキシ樹脂の全量あるい
    は一部としてノボラック型フェノール樹脂と4,4′−
    ビフェノールの混合物を、該フェノール化合物の混合物
    のフェノール性水酸基1モル当たり、3〜20モルのエ
    ピハロヒドリンとアルカリ金属水酸化物の存在下で反応
    させることにより得られたエポキシ樹脂混合物を使用す
    ることを特徴とする、請求項1または2に記載された半
    導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  4. 【請求項4】 さらに(a)のノボラック型エポキシ樹
    脂と4,4′−ビフェノール型エポキシ樹脂以外のエポ
    キシ樹脂を両エポキシ樹脂の合計100重量部に対し1
    00重量部以下配合した、請求項1ないし3のいずれか
    1項に記載された半導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  5. 【請求項5】 (b)エポキシ樹脂硬化剤として、フェ
    ノールアラルキル樹脂、テルペンフェノール樹脂、ジシ
    クロペンタジエンフェノール樹脂から選ばれた少なくと
    も一種類のエポキシ樹脂硬化剤を使用することを特徴と
    する、請求項1ないし4のいずれか1項に記載された半
    導体封止用エポキシ樹脂組成物。
  6. 【請求項6】 一般式(II)で表されるフェノール樹
    脂の他にエポキシ樹脂硬化剤全量に対し50重量%以下
    の多価フェノール類、多価フェノール樹脂類、酸無水
    物、アミン類等の他の硬化剤を配合した、請求項1ない
    し5のいずれか1項に記載された半導体封止用エポキシ
    樹脂組成物。
  7. 【請求項7】 (b)エポキシ樹脂硬化剤の使用量は、
    全エポキシ樹脂成分中のエポキシ基1モルに対して、全
    エポキシ樹脂硬化剤成分中のエポキシ基と反応する基の
    合計が0.5〜2.0モルになる量である、請求項1な
    いし6のいずれか1項に記載された半導体封止用エポキ
    シ樹脂組成物。
  8. 【請求項8】 (c)無機充填剤として、溶融及び/ま
    たは結晶シリカ粉末充填剤を組成物全体の 83〜93
    重量%含有することを特徴とする、請求項1ないし7の
    いずれか1項に記載されな半導体封止用エポキシ樹脂組
    成物。
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