JP2000037693A - オゾン水供給装置 - Google Patents

オゾン水供給装置

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JP2000037693A
JP2000037693A JP10209438A JP20943898A JP2000037693A JP 2000037693 A JP2000037693 A JP 2000037693A JP 10209438 A JP10209438 A JP 10209438A JP 20943898 A JP20943898 A JP 20943898A JP 2000037693 A JP2000037693 A JP 2000037693A
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Mitsuo Nakagawa
光夫 中川
Hatsuo Yotsumoto
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Shiro Yamauchi
四郎 山内
Junichi Kawamura
淳一 河村
Shinzo Okuda
晋三 奥田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のオゾン製造装置は、オゾン水の保存が
できないという欠点があった。 【解決手段】 原料水供給配管15から供給される中性
塩が溶解された原料水を、オゾン水製造装置14によっ
て電気分解して酸性のオゾン水及びアルカリ性水を製造
し、このオゾン水をオゾン水貯蔵タンク18で酸性の状
態で保存すると共に、アルカリ性水をアルカリ性水貯蔵
タンク20で保存し、オゾン水貯蔵タンク18で保存さ
れた酸性のオゾン水を、アルカリ性水貯蔵タンク20で
保存されたアルカリ性水によって中和する中和槽21を
備えて、オゾン水を保存しながら中和された中性のオゾ
ン水を供給するようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、オゾン水(オゾ
ンが溶解している水)を供給するオゾン水供給装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】殺菌、漂白などに用いるオゾン水を得る
方法としては、水中に高濃度気体オゾンを曝気させて、
水中にオゾンを溶解させる方法が一般に知られている。
気体オゾンを曝気しても水のpHは変化しないので、元
の水が純水あるいは中性水であれば、気体オゾンの曝気
により中性のオゾン水が得られる。これ以外の方法とし
ては、例えば特開平8−134678号公報に記載され
ているように、固体電解質膜の一面と他面とに、直流電
圧を印加した陽極電極と陰極電極とを重ね、陽極電極側
に供給された水を電気分解してオゾン水を得る方法が示
されている。
【0003】図7は、この特開平8−134678号公
報に記載された従来のオゾン水製造装置の要部断面図で
ある。図において、1は固体電解質膜、2は固体電解質
膜1の一面に重ねられた陽極電極、3は固体電解質膜1
の他面に重ねられた陰極電極、4は陽極電極2を覆う陽
極ジャケット、5は陰極電極3を覆う陰極ジャケットで
ある。6は原料水が流入する水流入口、7は水流入口6
を通過した原料水が流入する陽極ジャケット4に形成さ
れた陽極側流入口、8は水流入口6を通過した原料水が
流入する陰極ジャケット5に形成された陰極側流入口、
9はオゾン水が流出する陽極ジャケット4に形成された
陽極側流出口、10は水素の気泡を含む水が流出する陰
極ジャケット5に形成された陰極側流出口である。
【0004】従来のオゾン水製造装置は、固体電解質膜
1の一面に陽極電極2を、他面に陰極電極3を重ね、こ
れを陽極ジャケット4と陰極ジャケット5で覆ったもの
で、両電極間に直流電圧を印加することにより、水流入
口6より流入した原料水を電気分解する。水流入口6か
らの原料水の内、陽極側流入口7から陽極側に流入した
原料水は、電気分解されて、酸素と水素イオンとオゾン
を発生し、発生したオゾンは水に溶けオゾン水となって
酸素とともに陽極側流出口9から流出する。また、陽極
側に流入した原料水が電気分解されて発生した水素イオ
ンは、固体電解質膜1を透過して陰極側に移動し、水素
の気泡となって、水流入口6からの原料水の内、陰極側
流入口8から陰極側に流入した原料水とともに、陰極ジ
ャケット5の陰極側流出口10から流出する。特開平8
−134678号公報には陽極側流入口7から流入する
原料水に塩化ナトリウム、塩化カリウム、硫酸ナトリウ
ムのいずれかの中性塩を溶解させることにより、酸性で
オゾン減衰率が低いオゾン水が得られるとの記載があ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】水中のオゾン濃度は、
時間の経過と共に急激に減衰することが知られており、
その減衰の速さは水温やpHの影響を受ける。従来の技
術では、製造したオゾン水は直ちに使用することが前提
で、オゾン水は貯蔵できないものとされてきた。このた
め、大量のオゾン水を一定時間のみ使用するような用途
に対しては、与えられた一定時間内に所要のオゾン水を
製造する必要があり、装置の能力は大きいものになって
いた。また、電力消費も一定時間内に集中するという弊
害があった。また、特開平8−134678号公報の記
載のごとくオゾン水を酸性にすることによりオゾン減衰
率を低くする方法は、中性のオゾン水を用いるべき用
途、例えば食品殺菌のごとく、酸性の液体で洗浄すると
味、色に影響を与えるような用途には不向きであった。
【0006】この発明は、上記のような課題を解決する
ためになされたものであり、水の電気分解や気体オゾン
の水中への曝気により製造したオゾン水のオゾン濃度の
減衰を抑制しつつ、オゾン水を保存し、中性のオゾン水
として供給することの出来るオゾン水供給装置を提供す
ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明に係わるオゾン
水供給装置においては、原料水を電気分解してオゾン水
を製造するオゾン水製造装置と、このオゾン水製造装置
によって製造されたオゾン水を酸性の状態で保存するオ
ゾン水貯蔵部と、このオゾン水貯蔵部で保存された酸性
のオゾン水をアルカリ性水によって中和する中和槽を備
えたものである。また、酸性の状態で保存されるオゾン
水は、中性塩が溶解された原料水をオゾン水製造装置に
供給することによって製造されたものである。
【0008】また、オゾン水貯蔵部に酸性溶液を供給す
る酸性溶液供給部を備えたものである。さらに、中和槽
に供給するアルカリ性水を保存するアルカリ性水貯蔵部
を備えたものである。
【0009】また、アルカリ性水貯蔵部で保存されるア
ルカリ性水は、オゾン水製造装置によって酸性のオゾン
水と同時に製造されたものである。また、アルカリ性水
貯蔵部にアルカリ性水を供給するアルカリ性水供給部を
備えたものである。
【0010】加えて、オゾン水を製造するオゾン水製造
装置と、このオゾン水製造装置によって製造されたオゾ
ン水を保存するオゾン水貯蔵部と、このオゾン水貯蔵部
に酸性溶液を供給してオゾン水貯蔵部で保存されている
オゾン水を酸性にする酸性溶液供給部と、オゾン水貯蔵
部で保存されている酸性のオゾン水をアルカリ性水によ
って中和する中和槽を備えたものである。また、オゾン
水の中和に用いられるアルカリ性水は、別途製造された
ものである。
【0011】また、オゾン水貯蔵部で酸性の状態で保存
されるオゾン水を、中和槽で中和してから取り出す流路
と、酸性の状態で取り出す流路とを備えたものである。
さらにまた、保存中のオゾン水を冷却するオゾン水冷却
装置を備えたものである。
【0012】また、中和された中和水を冷却する中和水
冷却装置及びアルカリ性水を冷却するアルカリ性水冷却
装置の少なくとも一つを備えたものである。
【0013】
【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、この発明の
実施の形態1を図に基づいて説明する。図1は、この発
明の実施の形態1によるオゾン水供給装置を示す構成図
である。図において、14は図7に示すものと同様の水
の電気分解によってオゾン水を製造するオゾン水製造装
置、15はオゾン水製造装置14に中性塩を加えた原料
水を供給する原料水供給配管で、オゾン水製造装置14
の陽極側、陰極側の両方に原料水を供給する。16はオ
ゾン水製造装置14の陽極側からオゾン水を流出するオ
ゾン水流出配管、17はオゾン水製造装置14の陰極側
から水素を含有した水が排出される流出配管である。1
8はオゾン水流出配管16によって流出されたオゾン水
を貯蔵するオゾン水貯蔵部であるオゾン水貯蔵タンクで
ある。19はオゾン水製造装置14の陽極と陰極に電圧
を印加する電源である。20はアルカリ性水貯蔵部であ
るアルカリ性水貯蔵タンクで、実施の形態1では流出配
管17からアルカリ性の水が流出される。21は酸性の
オゾン水とアルカリ性水とを中和させる中和槽、22は
中和槽21から流出される中和オゾン水流出配管であ
る。
【0014】このように構成されたオゾン水供給装置に
おいては、原料水供給配管15によりオゾン水製造装置
14の陽極側に供給された原料水は、電気分解によりオ
ゾンと酸素が溶解したオゾン水となり、オゾン水流出配
管16から流出され、オゾン水貯蔵タンク18に貯蔵さ
れる。実施の形態1においては原料水供給配管15から
供給するオゾン水に中性塩を溶解させる。原料水供給配
管15より供給する原料水に中性塩を溶解させた場合に
は、オゾン水流出配管16より流出されるオゾン水が酸
性となることは、特開平8−134678号公報に記載
されているとおりであり、水のpHが低いほど水中のオ
ゾン濃度の減衰速度が遅くなることは、一般的に知られ
ている。したがって、原料水に中性塩を溶解させること
により、オゾン水貯蔵タンク18ではオゾン水が低pH
(酸性)のままで保存されるため、オゾンの減衰が少な
いままで保存される。
【0015】一方、流出配管17からはアルカリ性水が
流出される。原料水供給配管15から供給する原料水に
中性塩を溶解させているので、単位時間当たりにオゾン
水流出配管16から流出されるオゾン水に含まれる水素
イオン数と、単位時間当たりに流出配管17から流出さ
れるアルカリ性水に含まれる水酸イオン数は等しい。し
たがって、オゾン水貯蔵タンク18内のオゾン水とアル
カリ性水貯蔵タンク20内のアルカリ性水を混合して中
性にすることは容易であり、具体的には、単位時間当た
りのオゾン水流出配管16の流量と、単位時間当たりの
流出配管17の流量との比で、オゾン水貯蔵タンク18
内のオゾン水と、アルカリ性水貯蔵タンク20内のアル
カリ性水を混合すれば良い。中和槽21はこの混合によ
り中性のオゾン水を得るためのものである。オゾン水貯
蔵タンク18内のオゾン水とアルカリ性水貯蔵タンク2
0内のアルカリ性水を混合することにより得られた中性
オゾン水は、中性オゾン水流出配管22より取り出さ
れ、使用される。
【0016】実施の形態1によれば、オゾン水貯蔵タン
ク18内では、酸性でオゾン水を貯蔵し、オゾンの減衰
を抑え、使用直前に中和槽21で中和し中性のオゾン水
を得ることから、製造したオゾン水のオゾン濃度の減衰
を抑制しつつオゾン水を保存し、中性のオゾン水として
供給することの出来るオゾン水供給装置を提供すること
が可能となる。
【0017】実施の形態2.実施の形態2を図に基づい
て説明する。図2は、この発明の実施の形態2によるオ
ゾン供給装置を示す構成図である。図において、15、
16、18、20〜22は図1におけるものと同一のも
のである。23はオゾン水製造装置であるが、実施の形
態1とは異なり、オゾン水流出配管16から得られるオ
ゾン水が中性であればよく、このオゾン水を得る方法
は、水の電気分解によるものでも、気体オゾンを水中に
曝気する方法などでもよい。26はオゾン水貯蔵タンク
18に酸性溶液を供給して酸性溶液供給部を構成する酸
性溶液供給配管である。
【0018】実施の形態2では、原料水供給配管15か
ら供給する原料水には中性塩を溶解させる必要がなく、
このため、オゾン水流出配管16から得られるオゾン水
は中性であるが、オゾン水貯蔵タンク18内では酸性溶
液供給配管26からの酸性溶液と混合されて酸性の状態
で保存される。実施の形態2では、アルカリ性水貯蔵タ
ンク20には、別途製造されたアルカリ性水を貯蔵す
る。中和槽21において中性のオゾン水を得る方法は、
実施の形態1と同様であり、オゾン水貯蔵タンク18か
ら取り出すオゾン水に含まれる水素イオンの数と、アル
カリ性水貯蔵タンク20から取り出すアルカリ性水に含
まれる水酸イオン数とを同一とすれば良い。中性オゾン
水流出配管22は、実施の形態1と同様のものである。
【0019】実施の形態2では、オゾン水貯蔵タンク1
8に酸性溶液を供給する酸性溶液供給配管26を設けた
ので、供給する水素イオン数によりオゾン水貯蔵タンク
18のpHを任意に調整することが可能となる。オゾン
水のpHが低いほどオゾン水中のオゾンの減衰は抑制さ
れるので、実施の形態2によれば、オゾン水のオゾン濃
度減衰をより少なくするために、オゾン水をより強い酸
性に保つことが可能となる。
【0020】実施の形態3.実施の形態3を図に基づい
て説明する。図3は、この発明の実施の形態3によるオ
ゾン水供給装置を示す構成図である。図において、14
〜22は図1におけるものと、また26は図2における
ものと同一のものである。27はアルカリ性水貯蔵タン
ク20にアルカリ性水を供給してアルカリ性水供給部を
構成するアルカリ性水供給配管である。図3は、実施の
形態1のオゾン水貯蔵タンク18に酸性溶液を供給する
酸性溶液供給配管26を設け、アルカリ性水貯蔵タンク
20にアルカリ性水を供給するアルカリ性水供給配管2
7を設けたものである。
【0021】酸性溶液供給配管26からの酸性溶液中の
水素イオン濃度を高めることにより、オゾン水貯蔵タン
ク18内のオゾン水の酸性を高め、オゾンの減衰をより
抑制することが可能となる。中性塩を含む水を電気分解
した場合にオゾン水製造装置14から流出する単位時間
当たりのオゾン水流出配管16中の水素イオン数と流出
配管17中の水酸イオン数は同一であるが、酸性溶液供
給配管26からオゾン水貯蔵タンク18に水素イオンを
供給することにより、中和槽21での中和に必要な水酸
イオン数が不足する。アルカリ性水供給配管27は不足
した水酸イオンを補うものであり、図3ではアルカリ性
水貯蔵タンク20にアルカリ性水を供給する場合を示し
たが、中和槽21に直接供給しても同じ効果がある。中
和槽21に流入する水素イオン数と水酸イオン数が同一
であれば中和が行われる。中性オゾン水流出配管22
は、実施の形態1及び実施の形態2と同様のものであ
る。
【0022】実施の形態3では酸性溶液供給配管26、
アルカリ性水供給配管27を設けたことにより、中性塩
を含む水を電気分解してオゾン水を得る場合でも、オゾ
ン水のオゾン濃度減衰をより少なくするために、オゾン
水貯蔵タンク18内のpHを任意に調整し、オゾン水を
より強い酸性に保つことが可能となる。
【0023】実施の形態4.実施の形態4を図に基づい
て説明する。図4は、この発明の実施の形態4によるオ
ゾン水供給装置を示す構成図である。図において、14
〜22は図1におけるものと同一のものである。29は
オゾン水貯蔵タンク18から中和槽21への配管途中に
設けられた切替弁、30は切替弁29によって切替えら
れ酸性のオゾン水を流出する酸性オゾン水流出配管であ
る。図4では、実施の形態1のオゾン水貯蔵タンク18
から中和槽21への配管途中に、切替弁29と酸性オゾ
ン水流出配管30を設け、オゾン水貯蔵タンク18から
中和槽21への経路以外に、オゾン水貯蔵タンク18か
ら酸性オゾン水を直接取り出せるようにする経路である
酸性オゾン水流出配管30を設けたものである。
【0024】実施の形態1では、中性オゾン水流出配管
22からの流出水は、オゾン水貯蔵タンク18中のオゾ
ン水とアルカリ性水貯蔵タンク20中のアルカリ性水を
混合したものであるため、オゾン水貯蔵タンク18中の
オゾン水濃度に比べると、オゾン水濃度が低くなる。実
施の形態4では、切替弁29を設けたことにより、酸性
高濃度オゾン水と中性でやや濃度の低いオゾン水との使
い分けが可能となる。この目的のためには、必ずしも切
替弁29を設ける必要はなく、オゾン水貯蔵タンク18
からの取り出し配管を2本とし、一方は中和槽21へ接
続し、もう一方はオゾン水貯蔵タンク18から直接オゾ
ン水を取り出すようにしても良い。また、図4は実施の
形態1を示す図1に切替弁29を設けた例を示したが、
酸性高濃度オゾン水と、中性でやや濃度の低いオゾン水
との使い分けを可能とする目的からは、実施の形態2を
示す図2に切替弁29を設けても良いし、実施の形態3
を示す図3に切替弁29を設けても良いことはもちろん
である。
【0025】実施の形態5.実施の形態5を図に基づい
て説明する。図5は、この発明の実施の形態5によるオ
ゾン水供給装置を示す構成図である。図において、14
〜22は図1におけるものと同一のものである。31は
オゾン水貯蔵タンク18のオゾン水を冷却するオゾン水
冷却装置である。
【0026】オゾン水の濃度減衰は、水温が低いほど遅
くなることが知られている。実施の形態5では、オゾン
水貯蔵タンク18の中のオゾン水をオゾン水冷却装置3
1によって冷却することにより、より長時間オゾン水を
保存することが可能となる。また、図5は実施の形態1
を示す図1にオゾン水冷却装置31を設けた例を示した
が、オゾン水貯蔵タンク18の中のオゾン水を冷却する
ことにより、長期間オゾン水を保存する目的のために
は、実施の形態2〜実施の形態4を示す図2〜図4にオ
ゾン水冷却装置31を設けても良いことはもちろんであ
る。
【0027】実施の形態6.実施の形態6を図に基づい
て説明する。図6は、この発明の実施の形態6によるオ
ゾン水供給装置を示す構成図である。図において、14
〜22、31は図5におけるものと同一のものである。
32はアルカリ性水貯蔵タンク20の中のアルカリ性水
を冷却するアルカリ性水冷却装置、33は中和槽21の
中の中和水を冷却する中和水冷却装置である。図6は、
図5に示す構成に、アルカリ性水冷却装置32と中和水
冷却装置33を付加したものである。
【0028】実施の形態5では、オゾン水のみを冷却す
ることとしていたため、オゾン水をアルカリ性水と混合
して中和水として使用する場合には、中和水はオゾン水
よりも高温となることが考えられ、その場合には中和水
となった後のオゾン水濃度の減衰が速くなる。実施の形
態6は、アルカリ性水冷却装置32によりアルカリ性水
を冷却し、中和水冷却装置33により中和水を冷却する
ため、オゾン水は高温になることなく、中和水となった
後のオゾン水も使用直前まで冷却されており、オゾン水
のオゾン濃度の減衰が遅いままで保つことが可能とな
る。
【0029】
【発明の効果】この発明は、以上説明したように構成さ
れているので、以下に示すような効果を奏する。原料水
を電気分解してオゾン水を製造するオゾン水製造装置
と、このオゾン水製造装置によって製造されたオゾン水
を酸性の状態で保存するオゾン水貯蔵部と、このオゾン
水貯蔵部で保存された酸性のオゾン水をアルカリ性水に
よって中和する中和槽を備えたので、オゾン濃度の減衰
を抑制しながら、オゾン水を保存し、中性のオゾン水と
して供給できる。また、酸性の状態で保存されるオゾン
水は、中性塩が溶解された原料水をオゾン水製造装置に
供給することによって得ることができ、オゾン濃度の減
衰を抑制しながらオゾン水を保存することができる。
【0030】また、オゾン水貯蔵部に酸性溶液を供給す
る酸性溶液供給部を備えたので、オゾン水をより強い酸
性に保って、オゾン水をより長い期間保存することがで
きる。さらに、中和槽に供給するアルカリ性水を保存す
るアルカリ性水貯蔵部を備えたので、すぐに中和に用い
ることができる。
【0031】また、アルカリ性水貯蔵部で保存されるア
ルカリ性水は、オゾン水製造装置によって酸性のオゾン
水と同時に製造されたものであるので、オゾン水の中和
に用いることができる。また、アルカリ性水貯蔵部にア
ルカリ性水を供給するアルカリ性水供給部を備えたの
で、オゾン水貯蔵部内のオゾン水のpHを調節して、よ
り強い酸性でオゾン水を保存することができる。
【0032】加えて、オゾン水を製造するオゾン水製造
装置と、このオゾン水製造装置によって製造されたオゾ
ン水を保存するオゾン水貯蔵部と、このオゾン水貯蔵部
に酸性溶液を供給してオゾン水貯蔵部で保存されている
オゾン水を酸性にする酸性溶液供給部と、オゾン水貯蔵
部で保存されている酸性のオゾン水をアルカリ性水によ
って中和する中和槽を備えたので、オゾン濃度の減衰を
抑制しながら、オゾン水を保存し、中性のオゾン水とし
て供給できる。また、オゾン水の中和に用いられるアル
カリ性水は、別途製造されたものであるので、中和に適
したアルカリ性水を得ることができる。
【0033】また、オゾン水貯蔵部で酸性の状態で保存
されるオゾン水を、中和槽で中和してから取り出す流路
と、酸性の状態で取り出す流路とを備えたので、酸性の
オゾン水と中性のオゾン水の使い分けが可能である。さ
らにまた、保存中のオゾン水を冷却するオゾン水冷却装
置を備えたので、より長い期間オゾン水を保存すること
ができる。
【0034】また、中和された中和水を冷却する中和水
冷却装置及びアルカリ性水を冷却するアルカリ性水冷却
装置の少なくとも一つを備えたので、使用直前までオゾ
ン水のオゾン濃度の減衰を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるオゾン水供給
装置を示す構成図である。
【図2】 この発明の実施の形態2によるオゾン水供給
装置を示す構成図である。
【図3】 この発明の実施の形態3によるオゾン水供給
装置を示す構成図である。
【図4】 この発明の実施の形態4によるオゾン水供給
装置を示す構成図である。
【図5】 この発明の実施の形態5によるオゾン水供給
装置を示す構成図である。
【図6】 この発明の実施の形態6によるオゾン水供給
装置を示す構成図である。
【図7】 従来のオゾン水製造装置要部断面図である。
【符号の説明】
14,23 オゾン水製造装置、 15 原料水供給配
管、16 オゾン水流出配管、 17 流出配管、18
オゾン水貯蔵タンク、 20 アルカリ性水貯蔵タン
ク、21 中和槽、 22 中性オゾン水流出配管、
26 酸性溶液供給配管、27 アルカリ性水供給配
管、 29 切替弁、30 酸性オゾン水流出配管、
31 オゾン水冷却装置、32 アルカリ性水冷却装
置、 33 中和水冷却装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C02F 1/78 C02F 1/78 C25B 1/30 C25B 1/30 // C01B 13/10 C01B 13/10 D (72)発明者 四元 初男 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 山内 四郎 東京都千代田区丸の内二丁目2番3号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 河村 淳一 京都府京都市南区吉祥院西ノ庄猪之馬場町 1番地 日本電池株式会社内 (72)発明者 奥田 晋三 京都府京都市南区吉祥院西ノ庄猪之馬場町 1番地 日本電池株式会社内 Fターム(参考) 4D050 AA12 AB03 AB06 BB02 CA10 4D061 AA08 AB01 AB07 AC03 BA03 BB12 BB19 CA16 4G042 CA04 CE01 4K021 AA01 AB15 BA03 BA04 BB02 BC05 BC07 CA08 CA09 CA12 CA15 DB05 DC07 DC15 EA06

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 原料水を電気分解してオゾン水を製造す
    るオゾン水製造装置、このオゾン水製造装置によって製
    造されたオゾン水を酸性の状態で保存するオゾン水貯蔵
    部、このオゾン水貯蔵部で保存された酸性のオゾン水を
    アルカリ性水によって中和する中和槽を備えたことを特
    徴とするオゾン水供給装置。
  2. 【請求項2】 酸性の状態で保存されるオゾン水は、中
    性塩が溶解された原料水をオゾン水製造装置に供給する
    ことによって製造されたものであることを特徴とする請
    求項1記載のオゾン水供給装置。
  3. 【請求項3】 オゾン水貯蔵部に酸性溶液を供給する酸
    性溶液供給部を備えたことを特徴とする請求項1または
    請求項2記載のオゾン水供給装置。
  4. 【請求項4】 中和槽に供給するアルカリ性水を保存す
    るアルカリ性水貯蔵部を備えたことを特徴とする請求項
    1〜請求項3のいずれか一項記載のオゾン水供給装置。
  5. 【請求項5】 アルカリ性水貯蔵部で保存されるアルカ
    リ性水は、オゾン水製造装置によって酸性のオゾン水と
    同時に製造されたものであることを特徴とする請求項4
    記載のオゾン水供給装置。
  6. 【請求項6】 アルカリ性水貯蔵部にアルカリ性水を供
    給するアルカリ性水供給部を備えたことを特徴とする請
    求項4または請求項5記載のオゾン水供給装置。
  7. 【請求項7】 オゾン水を製造するオゾン水製造装置、
    このオゾン水製造装置によって製造されたオゾン水を保
    存するオゾン水貯蔵部、このオゾン水貯蔵部に酸性溶液
    を供給して上記オゾン水貯蔵部で保存されているオゾン
    水を酸性にする酸性溶液供給部、上記オゾン水貯蔵部で
    保存されている酸性のオゾン水をアルカリ性水によって
    中和する中和槽を備えたことを特徴とするオゾン水供給
    装置。
  8. 【請求項8】 オゾン水の中和に用いられるアルカリ性
    水は、別途製造されたものであることを特徴とする請求
    項7記載のオゾン水供給装置。
  9. 【請求項9】 オゾン水貯蔵部で酸性の状態で保存され
    るオゾン水を、中和槽で中和してから取り出す流路と、
    酸性の状態で取り出す流路とを備えたことを特徴とする
    請求項1〜請求項8のいずれか一項記載のオゾン水供給
    装置。
  10. 【請求項10】 保存中のオゾン水を冷却するオゾン水
    冷却装置を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項9
    のいずれか一項記載のオゾン水供給装置。
  11. 【請求項11】 中和された中和水を冷却する中和水冷
    却装置及びアルカリ性水を冷却するアルカリ性水冷却装
    置の少なくとも一つを備えたことを特徴とする請求項1
    〜請求項10のいずれか一項記載のオゾン水供給装置。
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