JP4505965B2 - 純水の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体、液晶、製薬、食品、電力等の分野の各種産業、民生用又は研究設備で利用される脱イオン水を製造する純水の製造方法に係り、特に逆浸透(RO)膜装置(以下「RO膜装置」と称す。)と電気脱イオン装置とを備える純水製造装置において、電気脱イオン装置の消費電力を低減した上で高純度の脱イオン水を安定にかつ高い水回収率で製造することができる純水の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、液晶工場、食品工業、電力工業等の各種産業、民生用ないし研究施設において使用される脱イオン水の製造には、図2に示す如く電極(陽極11、陰極12)の間に複数のアニオン交換膜13及びカチオン交換膜14を交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成し、脱塩室16にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体とカチオン交換体とを混合もしくは複層状に充填した電気脱イオン装置が多用されている。なお、図2において17は陽極室、18は陰極室である。
【0003】
電気脱イオン装置は、水解離によってH+イオンとOH−イオンとを生成させ、脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続して再生することによって、効率的な脱塩処理が可能であり、従来から脱塩処理に広く用いられてきたイオン交換樹脂装置のような薬品を用いた再生処理を必要とせず、完全な連続採水が可能で、高純度の水が得られるという優れた効果を奏し、純水製造装置などに組み込まれて広く使用されている。
【0004】
図3は、このような電気脱イオン装置を組み込んだ一般的な純水製造装置を示す系統図であり、市水等の原水は、活性炭装置1及びRO膜装置2で処理された後、電気脱イオン装置3で処理される。ここで、RO膜装置2は電気脱イオン装置の有機物、硬度成分、塩類の負荷を軽減させるために設けられており、RO膜としては、通常、ポリアミド製のRO膜が用いられている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図4に示すように、電気脱イオン装置では、濃縮水の導電率が100μS/cm以下の水質になると急激に電気抵抗(電気抵抗(Ω)=セル電圧(V/cell)/電流密度(A/m2))が上昇し、濃縮水導電率10〜20μS/cmでは、全く電流が流れなくなってしまう。そして、この結果、脱塩室内に通水された被処理水の水質が全く向上しなくなる。
【0006】
このようなことから、図3に示す如く、電気脱イオン装置の負荷を軽減するために電気脱イオン装置の前段にRO膜装置を配置した純水製造装置にあっては、電気脱イオン装置の給水の導電率が低くなりすぎるために、得られる処理水の水質が低下する場合があった。
【0007】
この問題を解決するために、電気脱イオン装置の水回収率を高めて、濃縮水、電極水の導電率を上昇させる方法や、RO膜装置の水回収率を高めて電気脱イオン装置の給水の導電率を上昇させる方法も考えられるが、高濃縮によるCaCO3、シリカ等の析出の問題から水回収率の上昇度合いにも制限があり、上記課題の解決には至らない。
【0008】
一方で、周知の通り、近年の地球環境保護及び省資源化の点から、純水製造システムでの水回収率の向上は常に望まれている。
【0009】
本発明は上記従来の実情に鑑みてなされたものであって、RO膜装置と電気脱イオン装置とを備える純水製造装置を用いて純水を製造する際、電気脱イオン装置における導電率を確保して脱塩に必要な電流値を十分に高め、低電力量で高水質の処理水を高い水回収率にて安定に得ることができる純水の製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の純水の製造方法は、RO膜装置と電気脱イオン装置とを有し、該逆浸透膜脱塩装置の透過水を該電気脱イオン装置に供給するようにした純水の製造方法において、該RO膜装置にpH3.0〜5.5の被処理水を導入し、該RO膜装置において、水回収率90%以上、塩類リーク率5%以上で処理することを特徴とする。
【0011】
なお、RO膜装置の水回収率とは、RO膜装置に流入する水に対する透過水として取り出す水の割合である。ここで、RO膜装置に流入する水とはRO膜装置で処理する被処理水とRO膜装置の濃縮水の循環水との合計である。従って、水回収率90%で運転するときには、RO膜装置には、90部の被処理水と10部の濃縮循環水が流入し、90部の透過水が取り出される。
【0012】
また、RO膜装置の塩類リーク率とは、被処理水の塩類(1価の塩)濃度に対する透過水の塩類(1価の塩)濃度の割合である。
【0013】
本発明では、RO膜装置の被処理水のpHを3.0〜5.5とし、かつRO膜装置を水回収率90%以上の高回収率で運転して、RO膜装置の透過水中にNaClなどのイオンをリークさせることによって、RO膜装置の透過水が導入される電気脱イオン装置に必要なイオンを確保する。
【0014】
図4から明らかなように、電気脱イオン装置における電流効率を確保するためには、電気脱イオン装置の濃縮水、電極水の導電率は少なくとも50μS/cm、好ましくは100μS/cm以上必要である。例えば、電気脱イオン装置を水回収率90%で運転するとした場合、電気脱イオン装置の給水、即ち、RO膜装置の透過水の導電率は5μS/cm以上、好ましくは10μS/cm以上であることが必要である。
【0015】
一方、図5に示す如く、RO膜装置では、水回収率90%以上で運転することにより、導入される被処理水のイオンの5%以上がリークするようになる(塩類リーク率5%以上)。ただし、ここで用いられるRO膜装置のRO膜は通常の純水製造装置に採用される脱塩率99%以上の高脱塩率のものである。従って、通常、純水製造装置の原水とされる市水レベルの水質の水(導電率150〜200μS/cm程度)を処理する場合、RO膜装置を水回収率90%以上で処理することにより導電率10μS/cm以上の透過水を得ることができる。
【0016】
また、シリカ、TOCの水質が要求されない場合には、RO膜に代えてNF膜(ナノフィルトレーション、ルーズRO)を用いても良い。例えば、日東電工(株)製「LES90」、「NTR−729HF」などを利用できる。
【0017】
ところで、市水中には通常20mg/L(SiO2換算)程度のシリカが含まれており、このような水をRO膜装置において水回収率90%以上で処理すると、RO膜装置の濃縮水のシリカ濃度は10倍濃縮で200mg/L程度となる。一方で、シリカの飽和溶解度は図6に示す通りであることから、200mg/Lでは濃縮水中にシリカが析出し、シリカスケールによるRO膜閉塞の問題が懸念される。
【0018】
しかし、本発明者らの研究により、RO膜でのシリカスケールが析出する濃度は図6の破線に示す通りであり、pH3.0〜5.5であれば、飽和溶解度を超えてシリカが析出してもRO膜に付着することはなく、例えば、pH3.0ではシリカ濃度500mg/Lでもスケールの析出はなく、膜閉塞による透過水量の低下の問題はないことが見出された。また、このようにpH酸性とすることで、炭酸カルシウム等のアルカリ領域で発生するスケールの問題も回避される。
【0019】
従って、本発明によれば、RO膜装置における水回収率を高めてもスケール障害等を引き起こすことなく、電気脱イオン装置における導電率を確保して高水質の処理水を得ることができる。
【0020】
本発明では、RO膜装置の透過水中にイオンをリークさせることにより、電気脱イオン装置の濃縮水及び/又は電極水の導電率を50μS/cm以上とすることが好ましい。
【0021】
なお、前述の如く、本発明ではシリカスケールを防止できることから、本発明はシリカ濃度20mg/L(SiO2換算)以上というようなシリカ濃度の高い被処理水の処理に有効である。
【0022】
本発明においては、RO膜装置に導入される水、またはRO膜装置の透過水を脱ガス装置で処理することが好ましく、これにより電気脱イオン装置で除去し難い炭酸ガスを予め除去して電気脱イオン装置に導入される水の炭酸ガス(CO2)濃度を1mg/L以下とすることにより、電気脱イオン装置におけるCO2以外のシリカ、ホウ素等の弱電解質の除去率も向上し、より一層高水質の処理水を得ることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下に図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
【0024】
図1は本発明の純水の製造方法の実施の形態を示す系統図である。
【0025】
図示の方法では、市水等の原水を活性炭装置1で処理した後、HCl等の酸を添加してpH3.0〜5.5に調整し、これを脱ガス装置4で処理し、次いでRO膜装置2及び電気脱イオン装置3で順次処理して処理水を得る。
【0026】
このような純水製造装置で処理するに当たり、本発明においてはRO膜装置2の被処理水のpH3.0〜5.5、水回収率90%以上、塩類リーク率5%以上で処理を行う。
【0027】
RO膜装置2の被処理水のpHが5.5を超えるとシリカスケールで経時によりRO膜装置の透過水量が低減する。このpHが3.0未満の強酸性ではpH調整のための薬剤コストの高騰、装置腐食等の問題があり好ましくない。
【0028】
なお、pH調整に用いる酸としては、特に制限はないが、塩類リーク率5%以上を確保するために一価の酸、例えばHClが好適である。
【0029】
また、RO膜装置の水回収率が90%未満では塩類リーク率5%以上を達成することが難しく、電気脱イオン装置における導電率を確保し得ない。
【0030】
この水回収率は過度に高いとRO膜装置の透過水の導電率が高くなり過ぎ、RO膜装置による前処理の効果が損なわれるため、原水の水質にもよるが、RO膜装置の水回収率は特に90〜95%で、塩類リーク率5〜25%程度で導電率5〜40μS/cm程度の透過水を得ることが望ましい。
【0031】
本発明においては、このようにRO膜装置の水回収率90%以上で塩類リーク率5%以上として、好ましくは導電率5μS/cm以上、より好ましくは10μS/cm以上の透過水を得るために、次のような条件を採用することが好ましい。
【0032】
原水水質:導電率150〜200μS/cm程度の市水、工水。なお、前述のシリカスケール防止効果の面から、本発明は、特に、シリカ濃度20mg/L以上、とりわけ25mg/L以上の原水に有効である。
RO膜装置のRO膜:脱塩率99%以上のRO膜。
【0033】
また、このような透過水を処理して電気脱イオン装置において濃縮水及び/又は電極水の導電率を50μS/cm以上、好ましくは100〜500μS/cm、電極室の電気抵抗を2Ω(V/(A/m2))以下とするために、電気脱イオン装置においては水回収率75〜90%程度で処理を行うのが好ましい。
【0034】
このような運転条件で処理を行うことにより、電気脱イオン装置の電極水供給水に電解質を注入したり、電極室内にイオン交換体を充填することなく、高い電流効率で処理を行うことが可能となる。
【0035】
なお、図1に示す純水製造装置は、本発明の実施の形態の一例であって、本発明で用いる純水製造装置の構成は、その要旨を超えない限り、何ら図示のものに限定されるわけではない。
【0036】
例えば、RO膜装置を2機以上用い、これを直列に配置しても良い。この場合には、電気脱イオン装置のカルシウムスケール負荷軽減、スライム発生防止等による処理運転の安定化、水質向上(シリカ、比抵抗)という効果が奏される。また、脱ガス装置は必ずしも必要とされないが、脱ガス装置を設けて電気脱イオン装置で除去し難いCO2を予め除去することにより、処理水の水質を高めることができ、有利である。脱ガス装置は、図1に示す如く、RO膜装置の前段に設けても良く、RO膜装置の後段に設けても良いが、脱ガス装置に導入される水のpHが酸性領域であることが重要である。脱ガス装置による処理は、電気脱イオン装置の給水のCO2濃度が1mg/L以下となるように行うのが好ましい。
【0037】
【実施例】
以下に実験例及び実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。
【0038】
実験例1
RO膜装置として下記仕様のものを用い、下記水質の水を原水として表1に示す水回収率で処理を行った。
[RO膜装置の仕様]
栗田工業(株)製「膜エースKN200」
RO膜として日東電工(株)製「NTR759」
(脱塩率99%)を装填。
[原水水質]
シリカ濃度:30mg/L
導電率 :150μS/cm
pH :5.0
【0039】
各水回収率におけるRO膜装置の流入水、濃縮水、透過水の導電率、塩類リーク率は表1に示す通りであり、水回収率90%以上で処理を行うことにより、塩類リーク率5%以上で透過水の導電率5〜10μS/cm以上を確保できることがわかる。
【0040】
【表1】
【0041】
実験例2
実験例1において、原水のpHを表2に示す通り変え、水回収率95%で同様に処理を行った。10日間処理を維続したときの運転圧力の上昇率(運転初期の圧力に対する10日間運転後の圧力上昇割合)を求め、結果を表2に示した。また、10日間運転後のRO膜装置のRO膜を取り出し、シリカスケールの付着の有無を調べ、結果を表2に示した。
【0042】
【表2】
【0043】
表2により、pH5.5以下であれば、水回収率90%以上でもシリカスケールによる透過水量の低下の問題はないことがわかる。
【0044】
実施例1
下記の活性炭装置、脱ガス装置、RO膜装置及び電気脱イオン装置を図1に示すように直列に設置した純水製造装置を用い、表3に示す水質の市水を原水として100L/hrで処理した。
【0045】
【表3】
【0046】
【0047】
上記電気脱イオン装置のイオン交換膜として下記のものを用い、また、脱塩室に充填するイオン交換樹脂として下記のアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂とをアニオン交換樹脂:カチオン交換樹脂=6:4(体積比)で混合したものを用い、図2に示すような電気脱イオン装置を組み立てた。なお、アニオン交換樹脂及びカチオン交換樹脂は超純水で十分に洗浄したものを用いた。
アニオン交換膜 :(株)トクヤマ製「ネオセプタAHA」
カチオン交換膜 :(株)トクヤマ製「ネオセプタCMB」
アニオン交換樹脂:三菱化学(株)製「SA10A」
カチオン交換樹脂:三菱化学(株)製「SK1B」
【0048】
活性炭装置の流出水にはHClを添加してpH3.5に調整した。また、RO膜装置の水回収率は95%とし、電気脱イオン装置の水回収率は90%、印加電圧30V、電流0.5Aとした。
【0049】
このときの電気脱イオン装置の給水(RO膜装置の透過水)、濃縮水及び脱イオン水の水質は表3に示す通りであり、高水質の処理水を得ることができた。また、このときの電気脱イオン装置の電極室の電気抵抗は0.5Ω(V/(A/m2))であった。
【0050】
【発明の効果】
以上詳述した通り、本発明の純水の製造方法によれば、RO膜装置と電気脱イオン装置で構成される純水製造装置において、スケール障害を引き起こすことなく、電気脱イオン装置における導電率を確保して脱塩に必要な電流値を十分に高め、低電力で高水質の処理水を高い水回収率にて安定に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の純水の製造方法の実施の形態を説明する系統図である。
【図2】一般的な電気脱イオン装置の構成を示す模式的な断面図である。
【図3】一般的な純水製造装置の系統図である。
【図4】電気脱イオン装置における濃縮水の導電率と電気抵抗との関係を示すグラフである。
【図5】RO膜装置の水回収率と塩類リーク率との関係を示すグラフである。
【図6】シリカの飽和溶解度を示すグラフである。
【符号の説明】
1 活性炭装置
2 RO膜装置
3 電気脱イオン装置
4 脱ガス装置
Claims (4)
- 逆浸透膜装置と電気脱イオン装置とを有し、該逆浸透膜脱塩装置の透過水を該電気脱イオン装置に供給するようにした純水の製造方法において、
該逆浸透膜装置にpH3.0〜5.5の被処理水を導入し、該逆浸透膜装置において、水回収率90%以上、塩類リーク率5%以上で処理することを特徴とする純水の製造方法。 - 請求項1において、該逆浸透膜装置に導入される水、又は該逆浸透膜装置の透過水を脱ガス装置で処理することにより、該電気脱イオン装置に導入される水の炭酸ガス濃度を1mg/L以下とすることを特徴とする純水の製造方法。
- 請求項1又は2において、該電気脱イオン装置の濃縮水及び/又は電極水の導電率が50μS/cm以上であることを特徴とする純水の製造方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、該被処理水のシリカ濃度が20mg/L(SiO2換算)以上であることを特徴とする純水の製造方法。
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