JP4710176B2 - 超純水製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、電気脱イオン装置を用いた超純水製造装置に係り、特に電気脱イオン装置におけるシリカの除去率を高めるようにした超純水製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造工場、液晶製造工場、製薬工業、食品工業、電力工業等の各種の産業又は民生用ないし研究施設等において使用される脱イオン水の製造には、図4に示す如く、電極(陽極11、陰極12)の間に複数のアニオン交換膜(A膜)13及びカチオン交換膜(C膜)14を交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成し、脱塩室16にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体を混合もしくは複層状に充填した電気脱イオン装置が多用されている(特許第1782943号、特許第2751090号、特許第2699256号)。なお、図4において、17は陽極室、18は陰極室である。
【0003】
脱塩室16に流入したイオンはその親和力、濃度及び移動度に基いてイオン交換体と反応し、電位の傾きの方向にイオン交換体中を移動し、更に膜を横切って移動し、すべての室において電荷の中和が保たれる。そして、膜の半浸透特性のため、及び電位の傾きの方向性のために、イオンは脱塩室16では減少し、隣りの濃縮室15では濃縮される。即ち、カチオンはカチオン交換膜14を透過して、また、アニオンはアニオン交換膜13を透過して、それぞれ濃縮室15内に濃縮される。このため、脱塩室16から生産水として脱イオン水(純水)が回収される。
【0004】
なお、陽極室17及び陰極室18にも電極水が通液されており、一般に、この電極水としては、電気伝導度の確保のためにイオン濃度の高い濃縮室15の流出水(濃縮水)が通液されている。
【0005】
即ち、原水は脱塩室16と濃縮室15とに導入され、脱塩室16からは脱イオン水(純水)が取り出される。一方、濃縮室15から流出するイオンが濃縮された濃縮水は、ポンプ(図示せず)により一部が水回収率の向上のために、濃縮室15の入口側に循環され、一部(例えば5〜30%程度)が陽極室17の入口側に送給され、残部が系内のイオンの濃縮を防止するために排水として系外へ排出される。そして、陽極室17の流出水は、陰極室18の入口側へ送給され、陰極室18の流出水は排水として系外へ排出される。
【0006】
このような電気脱イオン装置にあっては、陽極室17では、水解離によるH+の生成でpHが低下する。一方、陰極室18ではOH−の生成でpHが高くなる。このため、pHが低下した酸性の陽極室17の流出水を陰極室18に通液することで、陰極室18におけるアルカリを中和してスケール障害を抑制している。
【0007】
この電気脱イオン装置は、水解離によってH+イオンとOH−イオンを生成させ、脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続して再生することによって、効率的な脱塩処理が可能であり、従来から広く用いられてきたイオン交換樹脂装置のような薬品を用いた再生処理を必要とせず、完全な連続採水が可能で、高純度の水が得られるという優れた効果を発揮する。この電気脱イオン装置は、連続再生式電気脱イオン装置、電気再生式電気脱イオン装置等と称されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
従来の電気脱イオン装置にあっては、シリカの除去が若干不十分であった。
【0009】
即ち、上記のような電気脱イオン装置で、炭酸ガス(CO2)、シリカなどの弱電解物質を除去するためには、下記のようなイオン化反応を脱塩室内で生起させ、イオンを発生させる必要がある。
CO2+OH−→HCO3 − (pKa=6.35)
SiO2+OH−→HSiO3 − (pKa=9.86)
これらの弱電解物質のうち、CO2のように解離定数pKa値が低い物質は印加電圧を高めて水解離を起こさせれば除去することができるが、シリカなどの解離定数が高い物質は印加電圧を上げても高度には除去することができない。
【0010】
シリカ除去率を高めるために、濃縮水にNaClを添加し、電気伝導度を上げる方法も採用されている。しかし、濃縮水の一部を電極水に用いているため、電極水にClイオンの酸化による残留Clが生成したり、H+イオン発生によりHClが生成し、腐食トラブル発生要因となっている。
【0011】
本発明は上記従来の問題点を解決し、シリカを高度に除去することができる電気脱イオン装置を用いた超純水製造装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の超純水製造装置は、原水を前処理する前処理手段と、該前処理手段で処理された水を電気脱イオン処理する電気脱イオン装置とを有する超純水製造装置であって、該電気脱イオン装置は、陽極を有する陽極室と、陰極を有する陰極室と、これらの陽極室と陰極室との間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室と、該脱塩室に充填されたイオン交換体と、該陽極室及び陰極室にそれぞれ電極水を通水する手段と、該濃縮室に濃縮水を通水する濃縮水通水手段と、該脱塩室に被処理水を通水して脱イオン水を取り出す手段とを有する電気脱イオン装置である超純水製造装置において、前記前処理手段は、原水を処理して比抵抗を1MΩ・cm以上の被処理水とするものであり、前記濃縮室に供給される濃縮水及び前記電極室に供給される電極水の導電率を0.5mS/m以上にする導電率調節手段と、を備え、前記濃縮室から取り出された水の一部を前記濃縮水及び電極水として濃縮室及び電極室に供給する手段が設けられており、前記導電率調節手段は、前記前処理手段から得られる導電率が0.5mS/m以上の水を前記濃縮水及び電極水に補給する手段であり、前記前処理手段は、原水を処理して比抵抗1MΩ・cm以上の高比抵抗水を生成させると共に、この処理によって高導電率水を発生させる処理手段であり、前記導電率調節手段は、この高導電率水を前記濃縮水及び電極水に補給するものであり、前記前処理手段が逆浸透膜分離装置と、該逆浸透膜分離装置の処理水が導入される前処理用の連続再生式脱イオン装置とを備えており、前記導電率調節手段が、該逆浸透膜手段の処理水の一部及び/又は該前処理用の連続再生式脱イオン装置の濃縮水の一部を前記濃縮水及び電極水に補給するものであることを特徴とするものである。
【0013】
本発明の超純水製造装置は、電気脱イオン装置に導入される被処理水の比抵抗が1MΩ・cm以上の場合に、濃縮室に供給される濃縮水及び電極室に供給される電極水の導電率を0.5mS/m好ましくは1mS/m以上とすることにより、電気脱イオン装置において低電圧でも高電流を流すことができるようにし、これによってシリカの除去を高度に行うようにしたものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。図1は参考例に係る超純水製造装置の系統図である。
【0015】
この超純水製造装置は、前処理装置としての逆浸透膜分離装置(以下、RO装置という)1,2と、このRO装置の処理水を脱イオン処理する電気脱イオン装置10とを備えている。RO装置1,2は直列に接続されており、RO装置1の透過水がRO装置2にてさらに脱塩処理される。
【0016】
この電気脱イオン装置10は、前記図4の電気脱イオン装置と同じく、電極(陽極11、陰極12)の間に複数のアニオン交換膜(A膜)13及びカチオン交換膜(C膜)14を交互に配列して濃縮室15と脱塩室16とを交互に形成し、脱塩室16にイオン交換樹脂、イオン交換繊維もしくはグラフト交換体等からなるアニオン交換体及びカチオン交換体を混合もしくは複層状に充填したものである。
【0017】
RO装置2の透過水は、1MΩ・cm以上の比抵抗を有している。この透過水はこの電気脱イオン装置10の各脱塩室16に通水され、脱塩処理されて生産水となる。即ち、脱塩室16に流入したイオンはその親和力、濃度及び移動度に基いてイオン交換体と反応し、電位の傾きの方向にイオン交換体中を移動し、更に膜を横切って移動し、全ての室において電荷の中和が保たれる。そして、膜の半浸透特性のため、及び電位の傾きの方向性のために、イオンは脱塩室16では減少し、隣りの濃縮室15では濃縮される。カチオンはカチオン交換膜14を透過して、また、アニオンはアニオン交換膜13を透過して、それぞれ濃縮室15内に濃縮される。このため、脱塩室16から生産水として脱イオン水(純水)が回収される。
【0018】
濃縮室15から流出する濃縮水は、その一部が排出され、残部がポンプ(図示略)を介して濃縮室15及び電極室(陽極室17、陰極室18)に供給される。
【0019】
この参考例では、このRO装置1の透過水に電解質好ましくはNa2SO4又はNaOHを添加し、この電解質添加水を、循環される濃縮水に対し補給する。これにより、濃縮室15、陽極室17、及び陰極室18に導入される濃縮水の導電率が0.5mS/m以上とされる。この結果、陽極11と陰極12との間の印加電圧が低くても、濃縮室15及び脱塩室16における電流値が増大し、シリカを高度に除去することができる。
【0020】
図2は別の参考例に係る超純水製造装置の系統図である。この参考例でも前処理装置として直列に接続した2基のRO装置1,2を用いている。原水は第1段目のRO装置1にて脱塩処理され、その透過水が第2段目のRO装置2に通水され、比抵抗1MΩ・cm以上とされた透過水が電気脱イオン装置10の各脱塩室16に供給される。この電気脱イオン装置10の構成は図1の電気脱イオン装置10と同一である。
【0021】
この参考例では、第1段目のRO装置の透過水の一部A又は第2段目のRO装置の濃縮水の一部Bを循環濃縮水に添加している。これにより、電気脱イオン装置10の濃縮室15、陽極室17及び陰極室18に通水される濃縮水及び電極水の導電率が0.5mS/m以上とされ、シリカの高度除去が可能とされている。
【0022】
図3は本発明の実施の形態に係る超純水製造装置の系統図である。この実施の形態では、前処理装置としてRO装置1と連続再生式電気脱イオン装置(CDI)3とが設置されている。この電気脱イオン装置3の構成は電気脱イオン装置10と同一である。電気脱イオン装置10の構成は図1,2のものと同じである。
【0023】
原水はRO装置1で脱塩処理され、その透過水が電気脱イオン装置3で脱イオン処理されて比抵抗1MΩ・cm以上のものとされる。この水が電気脱イオン装置10の各脱塩室16に通水される。
【0024】
この実施の形態にあっては、RO装置1の透過水の一部a又は電気脱イオン装置3の循環濃縮水の一部bが電気脱イオン装置10の循環濃縮水に添加され、これにより電気脱イオン装置10の脱塩室16、陽極室17及び陰極室18に通水される水の導電率を0.5mS/m以上とし、シリカの高度除去を可能としている。
【0025】
上記実施の形態は本発明の一例であり、本発明は図示以外の形態をもとり得ることは明らかである。
【0026】
【実施例】
以下、参考例、実施例及び比較例について説明する。なお、以下の参考例、実施例及び比較例では18mS/m、pH7.4の市水をUF膜処理及び膜脱気処理した水を原水としている。この原水のCO2濃度は60μg−C/L、SiO2濃度23μg/Lである。原水流量は2.0m3/hrである。電気脱イオン装置としては栗田工業株式会社製P−30型を採用した。
【0027】
〔参考例1〕
図1の超純水製造装置によって原水を処理した。1段目RO装置1の透過水の導電率は0.3mS/m、2段目RO装置透過水の比抵抗は1.6MΩ・cm、2段目RO装置濃縮水の導電率は0.8mS/mである。
【0028】
電気脱イオン装置10の給水量を2.0m3/hr、生産水量を1.6m3/hr、濃縮水排水量を0.3m3/hr、電極水排水量を0.1m3/hrとした(回収率80%)。
【0029】
第2段目RO装置の透過水を0.4m3/hrで分取し、NaOHを添加後の循環濃縮水の導電率が0.7mS/mとなるように添加した。
【0030】
電気脱イオン装置10の電圧を200Vとしたときの電流値と、シリカ除去率は、表1に示す通り82%であった。
【0031】
〔参考例2〕
参考例1において、NaOHの添加量を添加後の循環濃縮水の導電率が1.3mS/mとなるように増大させたこと以外は参考例1と同様にして通水を行った。結果を表1に示す。循環濃縮水の導電率が高いので、シリカ除去率が88%にまで向上した。
【0032】
〔比較例1〕
参考例1にいおいてNaOHを添加しなかったこと以外は参考例1と同様にして通水を行った。結果を表1に示す。NaOHを添加しないため、循環濃縮水の導電率は0.3mS/mであった。このためシリカ除去率が72%と低い。
【0033】
〔比較例2〕
電気脱イオン装置の印加電圧を310Vとしたこと以外は比較例1と同様にして通水を行った。結果を表1に示す。表1の通り、印加電圧を高めたことにより、シリカ除去率が高い。
【0034】
〔参考例3,4〕
図2の超純水製造装置によって原水を処理した。なお、参考例3では1段目RO装置の透過水(A)を0.4m3/hrの割合で循環濃縮水に添加した。参考例4では2段目RO装置の濃縮水(B)を0.4m3/hrの割合で循環濃縮水に添加した。結果を表1に示す。
【0035】
〔実施例1,2〕
図3の超純水製造装置によって原水を処理した。なお、実施例1では1段目RO装置の透過水(a)を0.4m3/hrの割合で循環濃縮水に添加した。実施例2ではCDI装置の濃縮水(b)を0.4m3/hrの割合で循環濃縮水に添加した。結果を表1に示す。
【0036】
【表1】
【0037】
表1から明らかな通り、本発明によると電気脱イオン装置の印加電圧が低くても電流値が高く、シリカを高度に除去することができる。
【0038】
【発明の効果】
以上の通り、本発明によると電気脱イオン装置の印加電圧が低くしてもシリカを高度に除去した超純水を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 参考例に係る超純水製造装置の系統図である。
【図2】 別の参考例に係る超純水製造装置の系統図である。
【図3】 実施の形態に係る超純水製造装置の系統図である。
【図4】 従来の電気脱イオン装置の系統図である。
【符号の説明】
1,2 RO装置
3,10 電気脱イオン装置
11 陽極
12 陰極
13 アニオン交換膜(A膜)
14 カチオン交換膜(C膜)
15 濃縮室
16 脱塩室
17 陽極室
18 陰極室
Claims (1)
- 原水を前処理する前処理手段と、該前処理手段で処理された水を電気脱イオン処理する電気脱イオン装置とを有する超純水製造装置であって、
該電気脱イオン装置は、
陽極を有する陽極室と、
陰極を有する陰極室と、
これらの陽極室と陰極室との間に複数のアニオン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列することにより交互に形成された濃縮室及び脱塩室と、
該脱塩室に充填されたイオン交換体と、
該陽極室及び陰極室にそれぞれ電極水を通水する手段と、
該濃縮室に濃縮水を通水する濃縮水通水手段と、
該脱塩室に被処理水を通水して脱イオン水を取り出す手段とを有する電気脱イオン装置である超純水製造装置において、
前記前処理手段は、原水を処理して比抵抗を1MΩ・cm以上の被処理水とするものであり、
前記濃縮室に供給される濃縮水及び前記電極室に供給される電極水の導電率を0.5mS/m以上にする導電率調節手段と、
を備え、
前記濃縮室から取り出された水の一部を前記濃縮水及び電極水として濃縮室及び電極室に供給する手段が設けられており、
前記導電率調節手段は、前記前処理手段から得られる導電率が0.5mS/m以上の水を前記濃縮水及び電極水に補給する手段であり、
前記前処理手段は、原水を処理して比抵抗1MΩ・cm以上の高比抵抗水を生成させると共に、この処理によって高導電率水を発生させる処理手段であり、
前記導電率調節手段は、この高導電率水を前記濃縮水及び電極水に補給するものであり、
前記前処理手段が逆浸透膜分離装置と、該逆浸透膜分離装置の処理水が導入される前処理用の連続再生式脱イオン装置とを備えており、
前記導電率調節手段が、該逆浸透膜手段の処理水の一部及び/又は該前処理用の連続再生式脱イオン装置の濃縮水の一部を前記濃縮水及び電極水に補給するものであることを特徴とする超純水製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001189935A JP4710176B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 超純水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001189935A JP4710176B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 超純水製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003001259A JP2003001259A (ja) | 2003-01-07 |
JP4710176B2 true JP4710176B2 (ja) | 2011-06-29 |
Family
ID=19028783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001189935A Expired - Fee Related JP4710176B2 (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 超純水製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4710176B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6929748B2 (en) * | 2003-03-28 | 2005-08-16 | Chemitreat Pte Ltd | Apparatus and method for continuous electrodeionization |
WO2006100937A1 (ja) | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Kurita Water Industries Ltd. | 純水製造装置 |
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FR2937968B1 (fr) * | 2008-10-30 | 2012-10-26 | Commercialisation Rech S Realisation | Systeme de traitement et de distribution d'eau pour dialyse |
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-
2001
- 2001-06-22 JP JP2001189935A patent/JP4710176B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003001259A (ja) | 2003-01-07 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090612 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101116 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110105 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110307 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |