WO2006100937A1 - 純水製造装置 - Google Patents

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Masayuki Miwa
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Definitions

  • the present invention relates to a pure water production apparatus, and more particularly to a pure water production apparatus in which raw water is treated by a reverse osmosis membrane apparatus and an electrodeionization apparatus.
  • Patent Document 1 Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-1259
  • Patent Document 2 JP 2001-29752 A
  • a first object of the present invention is to provide an apparatus for producing pure water in which fluctuations in the amount of pure water obtained without using heat exchange are prevented.
  • a second object of the present invention is to provide a pure water production apparatus that prevents fluctuations in the quality of pure water obtained without using heat exchange.
  • the pure water production apparatus is a pure water production apparatus for producing pure water by treating raw water with a reverse osmosis membrane device and then treating with pure water. Based on the water temperature detection means of the reverse osmosis membrane device and the water temperature detected by the detection means, the amount of water supplied to the reverse osmosis membrane device so that the amount of water permeated in the reverse osmosis membrane device is constant And a control means for controlling.
  • the pure water production apparatus is directed to a pure water production apparatus for producing pure water by treating raw water with a reverse osmosis membrane apparatus and then treating with an electrodeionization apparatus. Based on the deionized water temperature detection means of the deionization apparatus and the water temperature detected by the detection means, the deionized water supply to the electric deionization apparatus is made constant so that the amount of deionized water is constant. And a control means for controlling the amount of water.
  • the pure water production apparatus is a pure water production apparatus in which raw water is treated with a reverse osmosis membrane device and then treated with an electrodeionization device to produce pure water. Based on the water temperature detected by the detection means and the water temperature detected by the detection means, the voltage applied to the electrodeionization device so that the quality of the pure water produced is constant. And a control means for controlling Z or energization current.
  • the water temperature detection means may be used also as a temperature correction detector of a conductivity meter or a resistivity meter.
  • FIG. 1 is a system diagram showing an embodiment of a pure water production apparatus of the present invention.
  • FIG. 2 is a system diagram showing an embodiment of the pure water production apparatus of the present invention.
  • the pure water production apparatus of the first aspect or the second aspect detects the temperature of the permeated water of the reverse osmosis membrane apparatus or the deionized water of the electrodeionization apparatus, and based on this detected water temperature, reverse osmosis is performed.
  • film By controlling the amount of water supplied to the device or the electrodeionization device, the amount of permeated water in the reverse osmosis membrane device is made constant.
  • the amount of water supplied to the reverse osmosis membrane device in this way, fluctuations in the amount of permeated water in the reverse osmosis membrane device or deionized water in the electrodeionization device are prevented, and as a result, fluctuations in the amount of pure water are prevented. Therefore, it is not necessary to provide heat exchange on the front side of the reverse osmosis membrane device, and the equipment cost of the pure water production device is reduced.
  • the pure water production apparatus of the third aspect detects the temperature of raw water, water in the middle of treatment, or pure water obtained by treatment, and based on this detected water temperature, the The quality of pure water is kept constant by controlling the applied voltage and Z or current.
  • the applied voltage and Z or energization current of the electrodeionization device By controlling the applied voltage and Z or energization current of the electrodeionization device in this way, fluctuations in the quality of pure water can be prevented, so there is no need to provide a heat exchanger on the front side of the electrodeionization device. Equipment costs for water production equipment are reduced.
  • the water temperature detection means by using a conductivity meter for detecting the water quality of the permeated water of the reverse osmosis membrane device or the deionized water of the electrodeionization device or a temperature correction detector of a specific resistance meter, Equipment costs can be further reduced.
  • FIG. 1 is a system diagram of a pure water production apparatus according to embodiments of the first and second aspects.
  • the raw water is filtered by the activated carbon filtration device 1 and then sent to the reverse osmosis membrane device 3 through the feed water pump 2 for the reverse osmosis membrane device (indicated as RO in FIG. 1) for desalination. It is processed .
  • the water demineralized by the reverse osmosis membrane device 3 is brought into contact with the water quality sensor 4 provided with the water temperature sensor 4a, and then sent to the electrodeionization device 5 to be electrodeionized.
  • the electrodeionized treated water is taken out as treated water (pure water) after contacting the water quality sensor 6 having the water temperature sensor 6a.
  • the detection signal of the water temperature sensor 4a is input to the pump control circuit 7, and the pump is controlled so as to prevent fluctuations in the amount of water transmitted through the reverse osmosis membrane device due to fluctuations in the water temperature. Control the discharge amount of 2.
  • the pump 2 is controlled by an inverter, for example.
  • the temperature of the desalted water from the reverse osmosis membrane apparatus 3 is adjusted to the water temperature.
  • the temperature sensor 4a detects this, and based on this, the discharge amount of the pump 2 is controlled to prevent fluctuations in the amount of demineralized water, which prevents fluctuations in the amount of demineralized water without using heat exchange.
  • fluctuations in the amount of pure water obtained can be reliably prevented, and the equipment for the pure water production equipment can be reduced to 3 inches.
  • the detection signal of the water temperature sensor 6a is input to the pump control circuit 7 to prevent fluctuations in the amount of deionized water from the electrodeionization device 5 due to fluctuations in the water temperature. Control the discharge amount of 2.
  • the amount of water supplied to the electrodeionization device 5 is controlled based on the detected water temperature of the water temperature sensor 6a to prevent the amount of deionized water in the electrodeionization device 5 from changing, It is no longer necessary to provide heat exchange on the front side of device 5, and the equipment cost of the pure water production device is reduced.
  • the water temperature sensors 4a and 6a for correcting the temperature of the water quality sensors 4 and 6 are used as the water temperature sensors, so that it is not necessary to install a new water temperature sensor. The equipment cost of the manufacturing equipment is further reduced.
  • FIG. 2 is a system diagram of the pure water production apparatus according to the embodiment of the third aspect.
  • the raw water is filtered by the activated carbon filtration device 1, then sent to the reverse osmosis membrane device 3 through the reverse osmosis membrane device (RO 2) water supply pump 2, and desalted.
  • the water demineralized by the reverse osmosis membrane device 3 is brought into contact with the water quality sensor 4 provided with the water temperature sensor 4a, and then sent to the electrodeionization device 5 to be electrodeionized.
  • the electrodeionized treated water is taken out as treated water (pure water) after contacting the water quality sensor 6 having the water temperature sensor 6a.
  • the detection signal of the water temperature sensor 4a is input to the pump control circuit 7, and controls the discharge amount of the pump 2 so that the osmotic water amount of the reverse osmosis membrane device 3 is constant even when the water temperature changes. .
  • the detection signal of the water temperature sensor 6a is input to the electrodeionization device energization control circuit 8, and the conductivity or specific resistance of the treated water from the electrodeionization device 5 becomes constant.
  • the voltage applied to the electrodeionization device 5 and the Z or energization current are controlled. Specifically, when the water temperature decreases, the applied voltage and Z or energizing current to the electrodeionization device 5 are increased, and when the water temperature decreases, the applied voltage and Z or energizing current to the electrodeionization device 5 are decreased, The conductivity or specific resistance of the permeated water of the electrodeionization device 5 is constant. So that
  • the voltage applied to the electric deionization device 5 and the Z or energization current are controlled to perform the electrodeionization. Since the quality of the treated water in the ion device 5 is prevented, it is not necessary to provide a heat exchanger on the front side of the electrodeionization device 5, and the equipment cost of the pure water production apparatus is reduced.
  • the temperature of the demineralized water from the reverse osmosis membrane device 3 is detected by the water temperature sensor 4a, and based on this, the discharge speed of the pump 2 is controlled to prevent fluctuations in the amount of demineralized water.
  • the discharge speed of the pump 2 is controlled to prevent fluctuations in the amount of demineralized water.
  • the water temperature sensors 4a and 6a for correcting the temperature of the water quality sensors 4 and 6 are used as the water temperature sensor, so that it is not necessary to install a new water temperature sensor. The equipment cost of the manufacturing equipment is further reduced.
  • raw water to be treated is water, brine, well water or manufacturing process recovery water, for example, washing waste water from a manufacturing process such as semiconductor or liquid crystal, and two or more of these are used. It may be mixed to make raw water.
  • manufacturing process recovered water such as semiconductor manufacturing recovered water is used as raw water, and the organic matter (TOC) concentration of the recovered water is high, biological treatment means, heating means, catalytic decomposition means, etc. You may process beforehand with a TOC removal apparatus.
  • raw water such as water, flooded water, and well water is preferably pretreated with activated charcoal filtration device 1 or the like as in this embodiment, as necessary.
  • activated charcoal filtration device 1 or the like as in this embodiment, as necessary.
  • an ultrafiltration (UF) membrane device, a microfiltration (MF) membrane device, etc. may be used.
  • the adjusted pH is performed to remove carbon dioxide together with oxygen, and reduces the load on the subsequent desalting apparatus.
  • this deoxygenating device a membrane degassing device, a vacuum degassing device, an air gas degassing device or the like can be used. If the pH is acidic and deoxygenated with a deoxygenator, adjust the pH to 7-8 by adding alkali such as NaOH.
  • the membrane of the reverse osmosis membrane device there can be used a membrane such as polysulfone, polyamide, polyacetate vinyl, etc., which is not particularly limited.
  • a plurality of key-on exchange membranes and cation-exchange membranes are alternately arranged to alternately form a concentration chamber and a desalting chamber, and a mixed resin of key-on exchange resin and force thione exchange resin in the desalination chamber.
  • What filled ion exchangers, such as an ion exchange fiber, can be used.
  • the applied voltage of the electrodeion device 5 is preferably 10 to: LOOV, particularly about 30 to 70 V, and the current density is preferably 4 to 20 AZm 2 , particularly about 6 to 1 OAZm 2 .
  • the deionized water of the electrodeionization device 5 is treated with a second reverse osmosis membrane device or an ultrafiltration membrane device (not shown) as necessary, and a small amount of residual TOC or silica is further removed. Etc. may be removed to increase purity.
  • the present invention it is preferable to return the concentrated water of the electrodeionization apparatus 5 to the inlet side of the reverse osmosis membrane apparatus 3 and circulate it in terms of improving the water recovery rate. Even in this case, the water supply to the electrodeionization device 5 is sufficiently improved by the treatment by the reverse osmosis membrane device 3, so the electrodeionization device concentrated water is supplied to the inlet side of the reverse osmosis membrane device 3. There is no problem of deterioration of the quality of treated water due to return to the factory.
  • the amount of water flowing through each pipe may be adjusted by adjusting the valve opening degree, or the flow rate may be adjusted (set) by providing an orifice in each pipe.

Abstract

　熱交換器を用いることなく、得られる純水の水量変動が防止される純水製造装置が提供される。原水は、活性炭濾過装置１によって濾過された後、逆浸透膜装置用給水ポンプ２を経て逆浸透膜装置３へ送られ、脱塩処理される。逆浸透膜装置３で脱塩処理された水は、水温センサ４ａを備えた水質センサ４と接触した後、電気脱イオン装置５へ送られ、電気脱イオン処理される。この電気脱イオン処理水は、水温センサ６ａを有した水質センサ６と接触した後、処理水（純水）として取り出される。水温センサ４ａの検知信号は、ポンプ制御回路７に入力され、逆浸透膜装置３からの透過水の水量が一定となるように、ポンプ２の給水量を制御する。

Description

明 細 書
純水製造装置
発明の分野
[0001] 本発明は純水製造装置に係り、特に原水を逆浸透膜装置と電気脱イオン装置とに よって処理するようにした純水製造装置に関する。
発明の背景
[0002] ェ水、巿水、井水或いは半導体製造工程等からの回収水を処理して純水を製造 するシステムとして、原水を逆浸透膜装置で処理した後、電気脱イオン装置で処理 する装置が周知である（例えば下記特許文献 1, 2)。
特許文献 1 :特開 2003— 1259号公報
特許文献 2：特開 2001 - 29752号公報
[0003] 原水を逆浸透膜装置及び電気脱イオン装置によって処理して純水を製造する純水 製造装置においては、逆浸透膜装置や電気脱イオン装置によって処理される水の 水温が変動すると、該逆浸透膜装置の透過水あるいは電気脱イオン装置の脱イオン 水の水量が変動し、この結果、純水製造装置で製造される純水の水量が変動する。
[0004] 従来は、この水温変動による水量変動を防止するために、逆浸透膜装置の前段側 に熱交換器を設置し、逆浸透膜装置への流入水の水温を一定とするようにしている。 しかしながら、このような熱交 を設けると、純水製造装置の設備コストが嵩むこと になる。
[0005] 原水を逆浸透膜装置及び電気脱イオン装置によって処理して純水を製造する純水 製造装置においては、電気脱イオン装置によって処理される水の水温が変動すると 、電気脱イオン装置からの処理水の水質が変動する。
[0006] 従来は、この水温変動による水質変動を防止するために、電気脱イオン装置の前 段側に熱交換器を設置し、電気脱イオン装置への流入水の水温を一定とするよう〖こ している。し力しながら、このような熱交翻を設けると、純水製造装置の設備コストが 嵩むことになる。
発明の概要 [0007] 本発明は、熱交 を用いることなぐ得られる純水の水量変動が防止される純水 製造装置を提供することを第 1の目的とする。
[0008] 本発明は、熱交 を用いることなぐ得られる純水の水質変動が防止される純水 製造装置を提供することを第 2の目的とする。
[0009] 本発明の第 1アスペクトの純水製造装置は、原水を逆浸透膜装置で処理した後、 電気脱イオン装置で処理して純水を製造する純水製造装置にお!ゝて、逆浸透膜装 置の透過水の水温の検知手段と、該検知手段で検知された水温に基づき、逆浸透 膜装置の透過水の水量が一定となるように該逆浸透膜装置への給水量を制御する 制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
[0010] 本発明の第 2アスペクトの純水製造装置は、原水を逆浸透膜装置で処理した後、 電気脱イオン装置で処理して純水を製造する純水製造装置にぉ ヽて、電気脱イオン 装置の脱イオン水の水温の検知手段と、該検知手段で検知された水温に基づき、電 気脱イオン装置の脱イオン水の水量が一定となるように該電気脱イオン装置への給 水量を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするものである。
[0011] 本発明の第 3アスペクトの純水製造装置は、原水を逆浸透膜装置で処理した後、 電気脱イオン装置で処理して純水を製造する純水製造装置において、原水、処理 途中の水又は処理により得られた純水の水温の検知手段と、該検知手段で検知され た水温に基づき、製造される純水の水質が一定となるように該電気脱イオン装置へ の印加電圧及び Z又は通電電流を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするも のである。
[0012] 本発明では、前記水温の検知手段は、導電率計又は比抵抗計の温度補正用検出 器と兼用されていてもよい。
図面の簡単な説明
[0013] [図 1]本発明の純水製造装置の実施の形態を示す系統図である。
[図 2]本発明の純水製造装置の実施の形態を示す系統図である。
詳細な説明
[0014] 第 1アスペクト又は第 2アスペクトの純水製造装置は、逆浸透膜装置の透過水又は 電気脱イオン装置の脱イオン水の水温を検知し、この検知水温に基づ!、て逆浸透膜 装置又は電気脱イオン装置への給水量を制御することにより、該逆浸透膜装置の透 過水の水量を一定とするものである。このように逆浸透膜装置への給水量を制御する ことにより、逆浸透膜装置の透過水又は電気脱イオン装置の脱イオン水の水量変動 が防止され、この結果として純水の水量変動が防止されるので、逆浸透膜装置の前 段側に熱交 を設けることが不要となり、純水製造装置の設備コストが低減される
[0015] 第 3アスペクトの純水製造装置は、原水、処理途中の水、又は処理により得られた 純水の水温を検知し、この検知水温に基づ!/、て電気脱イオン装置への印加電圧及 び Z又は通電電流を制御することにより、純水の水質を一定とするものである。このよ うに電気脱イオン装置の印加電圧及び Z又は通電電流を制御することにより純水の 水質変動が防止されるので、電気脱イオン装置の前段側に熱交換器を設けることが 不要となり、純水製造装置の設備コストが低減される。
[0016] この水温検知手段として、逆浸透膜装置の透過水あるいは電気脱イオン装置の脱 イオン水の水質検知用の導電率計又は比抵抗計の温度補正用検出器を利用するこ とにより、設備コストをさらに低減させることが可能である。
[0017] 以下、図面を参照して実施の形態について説明する。図 1は第 1及び第 2アスペクト の実施の形態に係る純水製造装置の系統図である。
[0018] 原水は、活性炭濾過装置 1によって濾過された後、逆浸透膜装置（図 1中では RO と記載されている。）用給水ポンプ 2を経て逆浸透膜装置 3へ送られ、脱塩処理される 。逆浸透膜装置 3で脱塩処理された水は、水温センサ 4aを備えた水質センサ 4と接 触した後、電気脱イオン装置 5へ送られ、電気脱イオン処理される。この電気脱ィォ ン処理水は、水温センサ 6aを有した水質センサ 6と接触した後、処理水（純水）として 取り出される。
[0019] 第 1アスペクトの制御方式にあっては、上記の水温センサ 4aの検知信号は、ポンプ 制御回路 7に入力され、水温変動による逆浸透膜装置透過水量の変動を防止するよ うに、ポンプ 2の吐出量を制御する。このポンプ 2の制御は、例えばインバータにより 行われる。
[0020] このように、この純水製造装置によると、逆浸透膜装置 3からの脱塩水の水温を水 温センサ 4aで検知し、これに基づ 、てポンプ 2の吐出量を制御して脱塩水水量変動 を防止するようにしており、脱塩水の水量変動が熱交 を用いることなく防止され るので、得られる純水の水量変動が確実に防止されると共に、純水製造装置の設備 3ス卜ち低廉である。
[0021] 第 2アスペクトの制御方式では、上記水温センサ 6aの検知信号は、ポンプ制御回 路 7に入力され水温変動による電気脱イオン装置 5からの脱イオン水の水量変動を 防止するようにポンプ 2の吐出量を制御する。
[0022] このように水温センサ 6aの検知水温に基づいて、電気脱イオン装置 5への給水量 を制御して電気脱イオン装置 5の脱イオン水の水量変動を防止するので、電気脱ィ オン装置 5の前段側に熱交 を設けることが不要となり、純水製造装置の設備コス トが低減される。
[0023] 上記実施の形態では、水温センサとして水質センサ 4, 6の温度補正用の水温セン サ 4a, 6aを利用しているので、水温センサを新設する必要がなぐこれによつても純 水製造装置の設備コストが一層低廉化される。
[0024] 図 2は第 3アスペクトの実施の形態に係る純水製造装置の系統図である。
[0025] 図 1と同じく原水は、活性炭濾過装置 1によって濾過された後、逆浸透膜装置 (RO )用給水ポンプ 2を経て逆浸透膜装置 3へ送られ、脱塩処理される。逆浸透膜装置 3 で脱塩処理された水は、水温センサ 4aを備えた水質センサ 4と接触した後、電気脱 イオン装置 5へ送られ、電気脱イオン処理される。この電気脱イオン処理水は、水温 センサ 6aを有した水質センサ 6と接触した後、処理水（純水）として取り出される。
[0026] 上記の水温センサ 4aの検知信号は、ポンプ制御回路 7に入力され、水温が変化し ても逆浸透膜装置 3の浸透水量が一定となるように、ポンプ 2の吐出量を制御する。
[0027] この第 3アスペクトでは、上記水温センサ 6aの検知信号は、電気脱イオン装置通電 制御回路 8に入力され、電気脱イオン装置 5からの処理水の導電率又は比抵抗が一 定となるように、電気脱イオン装置 5への印加電圧及び Z又は通電電流を制御する。 具体的には、水温が低下すると電気脱イオン装置 5への印加電圧及び Z又は通電 電流を増大させ、水温が低下すると電気脱イオン装置 5への印加電圧及び Z又は通 電電流を低下させ、電気脱イオン装置 5の透過水の導電率または比抵抗が一定とな るようにする。
[0028] このように、この純水製造装置によると、水温センサ 6aの検知水温に基づ!/、て、電 気脱イオン装置 5への印加電圧及び Z又は通電電流を制御して電気脱イオン装置 5 の処理水の水質変動を防止するので、電気脱イオン装置 5の前段側に熱交換器を 設けることが不要となり、純水製造装置の設備コストが低減される。
[0029] 特に、この実施の形態では、逆浸透膜装置 3からの脱塩水の水温を水温センサ 4a で検知し、これに基づいてポンプ 2の吐出速度を制御して脱塩水の水量変動を防止 するようにしており、純水製造装置で製造される純水の水量変動が防止される。
[0030] この実施の形態でも、水温センサとして水質センサ 4, 6の温度補正用の水温セン サ 4a, 6aを利用しているので、水温センサを新設する必要がなぐこれによつても純 水製造装置の設備コストが一層低廉化される。
[0031] 本発明において、処理対象となる原水は、ェ水、巿水、井水又は製造プロセス回収 水、例えば半導体又は液晶等の製造プロセスの洗浄排水等であり、これらの 2種以 上を混合して原水としても良い。半導体製造回収水のような製造プロセス回収水を原 水とする場合であって、当該回収水の有機物 (TOC)濃度が高い場合には、生物処 理手段、加熱手段、触媒による分解手段等の TOC除去装置で予め処理してもよい。
[0032] また、ェ水、巿水、井水等の原水は、必要に応じてこの実施の形態のように、活性 炭濾過装置 1などで前処理するのが好ましい。なお、活性炭濾過装置以外のものとし て限外濾過 (UF)膜装置、精密濾過 (MF)膜装置等を用いてもよ!ヽ。
[0033] 原水又はその前処理水（又は TOC除去処理水）は、 HC1, H SO等の鉱酸を添加
2 4
して pH4〜6に調整した後、脱酸素装置で処理してもよい。
[0034] ここで、調整 pHは酸素と共に炭酸ガスを除去するために行うものであり、後段の脱 塩装置の負荷を軽減させる。この脱酸素装置としては、膜脱気装置、真空脱気装置 、空気ガス脱気装置等を用いることができる。 pHを酸性として脱酸素装置で脱酸素 処理した場合は、その後、 NaOH等のアルカリを添カ卩して pH7〜8に調整する。
[0035] 逆浸透膜装置の膜としては特に制限はなぐポリスルホン、ポリアミド、ポリ酢酸ビ- ル等の膜を用いることができる。
[0036] 電気脱イオン装置 5としては、陽極を備える陽極室と陰極を備える陰極室との間に、 複数のァ-オン交換膜及びカチオン交換膜を交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交 互に形成し、脱塩室にァ-オン交換樹脂と力チオン交換樹脂との混合榭脂ゃイオン 交換繊維等のイオン交換体を充填したもの等を使用することができる。この電気脱ィ オン装置 5の印加電圧は 10〜： LOOV特に 30〜70V程度が好適であり、通電電流密 度は 4〜 20AZm2、特に 6〜 1 OAZm2程度が好適である。
[0037] 電気脱イオン装置 5の脱イオン水は、必要に応じ、第 2の逆浸透膜装置や、限外濾 過膜装置（図示略)で処理して、更に残留する微量の TOCやシリカ等を除去して純 度を高めてもよい。
[0038] なお、本発明にお ヽては、電気脱イオン装置 5の濃縮水を逆浸透膜装置 3の入口 側に返送して循環処理するのが水回収率の向上の面で好ましい。この場合において も、電気脱イオン装置 5への給水は、逆浸透膜装置 3による処理で十分に水質が高 められて 、るため、電気脱イオン装置濃縮水を逆浸透膜装置 3の入口側に返送する ことによる処理水水質の低下の問題はない。
[0039] 本発明では、各配管を流れる水量を弁開度の調節によって調節するようにしてもよ いが、各配管にオリフィスを設けて流量調節 (設定)するようにしてもょ 、。

Claims

請求の範囲
[1] 原水を逆浸透膜装置で処理した後、電気脱イオン装置で処理して純水を製造する 純水製造装置において、
原水、処理途中の水又は処理により得られた純水の水温の検知手段と、 該検知手段で検知された水温に基づき、逆浸透膜装置の透過水の水量、電気脱 イオン装置の脱イオン水の水量及び製造される純水の水質の少なくとも 1つが一定と なるように該逆浸透膜装置への給水量、電気脱イオン装置への給水量、該電気脱ィ オン装置への印加電圧、及び該電気脱イオン装置への通電電流の少なくとも 1つを 制御する制御手段と
を備えたことを特徴とする純水製造装置。
[2] 請求項 1において、
前記検知手段は、逆浸透膜装置の透過水の水温の検知手段であり、
前記制御手段は、該検知手段で検知された水温に基づき、逆浸透膜装置の透過 水の水量が一定となるように該逆浸透膜装置への給水量を制御することを特徴とす る純水製造装置。
[3] 請求項 1において、
前記検知手段は、電気脱イオン装置の脱イオン水の水温の検知手段であり、 前記制御手段は、該検知手段で検知された水温に基づき、電気脱イオン装置の脱 イオン水の水量が一定となるように該電気脱イオン装置への給水量を制御することを 特徴とする純水製造装置。
[4] 請求項 1において、
前記制御手段は、該検知手段で検知された水温に基づき、製造される純水の水質 が一定となるように該電気脱イオン装置への印加電圧及び通電電流の少なくとも一 方を制御することを特徴とする純水製造装置。
[5] 請求項 1にお!、て、前記水温の検知手段は、導電率計又は比抵抗計の温度補正 用検出器と兼用されていることを特徴とする純水製造装置。
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