JP2009297670A - 電気式脱イオン水製造装置 - Google Patents
電気式脱イオン水製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009297670A JP2009297670A JP2008156508A JP2008156508A JP2009297670A JP 2009297670 A JP2009297670 A JP 2009297670A JP 2008156508 A JP2008156508 A JP 2008156508A JP 2008156508 A JP2008156508 A JP 2008156508A JP 2009297670 A JP2009297670 A JP 2009297670A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- water
- treated
- desalting
- main
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】本発明のEDIは、陽極室20と陰極室10との間に、カチオン交換膜52とアニオン交換膜54とで区画される空間にイオン交換体が充填されて主脱塩室50が設けられ、前記主脱塩室50の両側に濃縮室60、62が設けられ、陽極室20に隣接する副脱塩室40および/または陰極室10に隣接する副脱塩室30を有し、副脱塩室30もしくは副脱塩室40を流通した被処理水を主脱塩室50に流通させる手段、および/または、前記主脱塩室50を流通した被処理水を前記副脱塩室30もしくは前記副脱塩室40に流通させる手段を有することよりなる。
【選択図】図1
Description
他方、副脱塩室40には、隣接する陽極室20からH+が豊富に移動してくる。このため、高いpHの被処理水であっても、副脱塩室40で前処理することで、被処理水を主脱塩室50での処理に適したpHに調整することができる。
(第1の実施形態)
本発明のEDIの第1の実施形態について、図2を用いて説明する。図2は、本実施形態のEDI100の断面図である。図2に示すとおり、EDI100は、陰極室110と陽極室120との間に、主脱塩室150と主脱塩室155とが濃縮室160に挟持されて配置され、陰極室110と陰極側仕切り膜114を介して隣接する副脱塩室130が設けられている。そして、EDI100は、副脱塩室130を流通した被処理水を任意の主脱塩室に流通させた後、さらに他の主脱塩室に流通させるものである。
陰極室110は、陰極112と、枠体111と、陰極側仕切り膜114とが順に配置され、枠体111の開口部にイオン交換体が充填され、形成されている。陰極室110には、電極水流入ライン116と、電極水流出ライン118とが接続されている。
陽極122は、陽極として機能を発揮するものであれば特に限定されないが、被処理水中にCl−が存在する場合には、陽極には塩素発生が起きるため、耐塩素性能を有するものが好ましい。例えば、白金、パラジウム、イリジウム等の貴金属、あるいは前記貴金属をチタン等に被覆した網状あるいは板状の電極を挙げることができる。
また、陽極室120のイオン交換体の充填形態は、上述した陰極室110の充填形態と同様に特に限定されず、アニオン交換体単床形態、カチオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態等のいずれも用いることができる。
枠体111、121の厚さは特に限定されることなく、所望する陰極室110、陽極室120の厚さに応じて設定することができる。
また、枠体111、121の開口部の面積が大きい場合には、枠体111、121のくりぬかれた空間に支持体を設けても良い。支持体を設けることで、陰極側仕切り膜114、陽極側仕切り膜124が湾曲して、イオン交換体の充填量が不均一になることを防止できるためである。前記支持体は、絶縁性を有し、被処理水の流通を妨げない素材であれば特に限定されず、例えば、スリットが設けられた、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ABS、ポリカーボネート、ノリル等の樹脂製の支持体を挙げることができる。
副脱塩室130のイオン交換体の充填形態は特に限定されないが、アニオン交換体を含むことが好ましく、より好ましくはアニオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態とすることが好ましい。アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、または、複床形態とする場合には、アニオン交換体を50体積%以上100体積%未満とすることが好ましい。陰極室110側の副脱塩室130では、主に被処理水中のCl−、HCO3 −等のアニオン成分を除去し、陰極室110から移動してくる豊富なOH−をアニオン交換体の再生に利用できるためである。
主脱塩室150のイオン交換体の充填形態は特に限定されず、アニオン交換体またはカチオン交換体の単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態のいずれの形態も用いることができる。また、主脱塩室155のイオン交換体の充填形態は、主脱塩室150と同様である。なお、主脱塩室150、155のイオン交換体の種類、充填形態は、同じであっても良いし、異なっていても良い。
濃縮室160におけるイオン交換体の充填形態は特に限定されず、被処理水の水質等を勘案して決定することができ、アニオン交換体単床形態、カチオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態等のいずれも用いることができる。例えば、濃縮室160のアニオン交換膜154面でのスケール生成防止の観点から、アニオン交換体が単床形態で充填されていても良い。アニオン交換膜154に接するアニオン交換体層を有することにより、主脱塩室150、155から濃縮室160へのアニオン成分の移動が促進され、濃縮室160側のアニオン交換膜154面にアニオン成分が高濃度にて存在して、濃度分極が生じるのを抑制できるためである。
なお、副脱塩室130内における被処理水のSVは、主脱塩室150、155のSVよりも高くすることができる。副脱塩室130では、アニオン交換体の再生が良好に行われるため、主脱塩室150、155における被処理水より高いSVとしても、良好にアニオン成分を除去できるためである。
主脱塩室155における被処理水の通水量は、主脱塩室150における通水量と同様である。
濃縮水は、特に限定されることはなく、被処理水と同じ水源の水を濃縮水として使用しても良いし、脱イオン水や純水等を使用しても良い。
陰極室110、陽極室120における電極水の流量は特に限定されず、印加電圧等に応じて決定することが好ましい。電極水の流量が少なすぎると、発生したH2、O2、Cl2ガスを充分に排出することが困難となり、電極水の流量が多すぎると、回収率が低下するため、好ましくない。
本発明のEDIの第2の実施形態について、図3を用いて説明する。図3は、本実施形態のEDI200の断面図である。図3に示すとおり、EDI200は、陰極室110と陽極室120との間に、主脱塩室250が濃縮室160に挟持されて配置され、陰極室110と陰極側仕切り膜114を介して隣接する副脱塩室230が設けられている。そして、EDI200は、副脱塩室230で処理した被処理水を分配し、複数の主脱塩室250に流通させるものである。
本発明のEDIの第3の実施形態について、図4を用いて説明する。図4は、本実施形態のEDI300の断面図である。図4に示すとおり、EDI300は、陰極室110と陽極室120との間に、主脱塩室350が濃縮室160に挟持されて配置され、陰極室110と陰極側仕切り膜114を介して隣接する副脱塩室330が設けられている。
小脱塩室352に充填するイオン交換体の充填形態は特に限定されないが、カチオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態とすることが好ましい。アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、または、複床形態とする場合には、カチオン交換体を50体積%以上100体積%未満とすることが好ましい。陰極112側の小脱塩室352では、主にカチオン成分を除去するためである。
なお、小脱塩室352、354に充填するイオン交換体の種類、充填形態は同じであっても良いし、異なっていても良い。
小脱塩室352、354における被処理水の通水量は、第1の実施形態の主脱塩室150、155における被処理水の通水量と同様である。
本発明のEDIの第4の実施形態について、図5を用いて説明する。図5は、本実施形態のEDI400の断面図である。図5に示すとおり、EDI400は、陰極室410と陽極室420との間に、主脱塩室450が濃縮室160に挟持されて配置され、陽極室420と陽極側仕切り膜424を介して隣接する副脱塩室440が設けられている。そして、主脱塩室450を流通した被処理水を合流させ、副脱塩室440に流通させるものである。
また、イオン交換体の充填形態は特に限定されないが、アニオン交換体単床形態、カチオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態等のいずれも用いることができる。
また、陽極室420のイオン交換体の充填形態は特に限定されないが、カチオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態とすることが好ましい。アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、または、複床形態とする場合には、カチオン交換体を50体積%以上100体積%未満とすることが好ましい。陽極室420では、陽極122の電極反応により生成したH+の、副脱塩室440への移動を円滑にするためである。
また、副脱塩室440のイオン交換体の充填形態は特に限定されないが、カチオン交換体を含むことが好ましく、より好ましくはカチオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態とすることが好ましい。アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、または、複床形態とする場合には、カチオン交換体を50体積%以上100体積%未満とすることが好ましい。陽極室420側の副脱塩室440では、主に被処理水中のNa+、Ca2+等のカチオン成分を除去し、陽極室420から移動してくる豊富なH+をカチオン交換体の再生に利用できるためである。
なお、副脱塩室440内における被処理水のSVは、主脱塩室450のSVよりも高くすることができる。副脱塩室440では、カチオン交換体の再生が良好に行われるため、主脱塩室450における被処理水のSVより高くしても、カチオン成分を除去できるためである。
本発明のEDIの第5の実施形態について、図6を用いて説明する。図6は、本実施形態のEDI500の断面図である。図6に示すとおり、EDI500は、陰極室110と陽極室420との間に、主脱塩室550が濃縮室160に挟持されて配置されている。陰極室110と、陰極側仕切り膜114を介して隣接する副脱塩室530が設けられ、陽極室420と、陽極側仕切り膜424を介して隣接する副脱塩室540が設けられている。そして、EDI500は、副脱塩室530を流通させた被処理水を分配し、複数の主脱塩室550に流通させ、主脱塩室550を流通させた被処理水を合流させ、副脱塩室540に流通させるものである。
副脱塩室530のイオン交換体の充填形態は特に限定されないが、アニオン交換体を含むことが好ましく、より好ましくはアニオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態とすることが好ましい。アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、または、複床形態とする場合には、アニオン交換体を50体積%以上100体積%未満とすることが好ましい。陰極室110側の副脱塩室530では、主に被処理水中のCl−、HCO3 −等のアニオン成分を除去し、陰極室110から移動してくる豊富なOH−をアニオン交換体の再生に利用できるためである。
副脱塩室540のイオン交換体の充填形態は特に限定されないが、カチオン交換体を含むことが好ましく、より好ましくはカチオン交換体単床形態、または、アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、もしくは、複床形態とすることが好ましい。アニオン交換体とカチオン交換体との混床形態、または、複床形態とする場合には、カチオン交換体を50体積%以上100体積%未満とすることが好ましい。陽極室420側の副脱塩室540では、主に被処理水中のNa+、Ca2+等のカチオン成分を除去し、陽極室420から移動してくる豊富なH+をカチオン交換体の再生に利用できるためである。
なお、副脱塩室530内における被処理水のSVは、主脱塩室550のSVよりも高くすることができる。副脱塩室530では、アニオン交換体の再生が良好に行われるため、主脱塩室550における被処理水のSVより高くしても、アニオン成分を除去できるためである。
ここで、従来のEDIにおいて、任意の主脱塩室550で処理した被処理水を他の主脱塩室550に流通することで、本実施形態と同等の多段処理を行うことができる。しかし、本実施形態においては、一段目の処理を副脱塩室530のみで行い、四段目(最終段)の処理を副脱塩室540のみで行うため、従来のEDIと同等の処理を行うための主脱塩室550の数を大幅に減らすことができる。これに伴い、濃縮室160の数も大幅に削減することができる。この結果、陰極112と陽極122との距離を短くすることができ、低電圧でEDIを運転することができる。また、主脱塩室550と濃縮室160の数を少なくできるため、EDIのコンパクト化を図ることができる。
(水質評価)
<導電率・比抵抗>
水質評価には導電率ならびに比抵抗を用いた。不純物を全く含んでいない水の場合、25℃の水における導電率の理論値は0.055μS/cm、比抵抗の理論値は18.2MΩ・cmとなる。脱イオン水の水質は、比抵抗が18.2MΩ・cmに近づき、かつ高ければ高いほど水質としては清浄であると評価できる。脱イオン水の水質評価は、比抵抗をもって行った。
導電率は、導電率計(873CC、FOXBORO社製)を用いて測定した。また、比抵抗は、比抵抗計(873RS、FOXBORO社製)を用いて測定した。
主脱塩室を1枚とした以外は、図4に示すEDI300と同様の、中間イオン交換膜で2つの小脱塩室に区画されている主脱塩室が設けられ、該主脱塩室の両側に濃縮室が設けられ、陰極室側に副脱塩室が設けられたEDIを下記仕様にて作製して、EDI−Aを得た。得られたEDI−Aについて、下記運転条件にて連続運転を行った。被処理水は、陰極室側に設けられた副脱塩室に下降流で流通した後、カチオン交換膜側の小脱塩室に下降流で流通させ、次いで、アニオン交換膜側の小脱塩室に下降流で流通させた。
濃縮水は、各濃縮室に下降流で流通させて排水し、電極水は、陰極室と陽極室にそれぞれ流通させて排水した。
運転開始1000時間後における、運転電圧と、脱イオン水の比抵抗を測定し、その結果を表1に示す。
(1)カチオン交換膜:株式会社アストム製
(2)中間イオン交換膜:株式会社アストム製アニオン交換膜
(3)アニオン交換膜:株式会社アストム製
(4)アニオン交換膜側の小脱塩室:幅100mm、高さ300mm、厚さ6mm
(5)カチオン交換膜側の小脱塩室:幅100mm、高さ300mm、厚さ6mm
(6)アニオン交換膜側の小脱塩室の充填イオン交換体:アニオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース社製)の単床形態
(7)カチオン交換膜側の小脱塩室の充填イオン交換体:カチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース社製)の単床形態
(8)濃縮室:幅100mm、高さ300mm、厚さ4mm
(9)濃縮室の充填イオン交換体:アニオン交換樹脂の単床形態
(10)陰極室:幅100mm、高さ300mm、厚さ4mm
(11)陽極室:幅100mm、高さ300mm、厚さ4mm
(12)陰極室の充填イオン交換体:アニオン交換樹脂の単床形態
(13)陽極室の充填イオン交換体:カチオン交換樹脂の単床形態
(14)副脱塩室:幅100mm、高さ300mm、厚さ4mm
(15)副脱塩室の充填イオン交換体:アニオン交換樹脂の単床形態
(1)被処理水の導電率:17〜23μS/cm(NaCl/超純水)
(2)被処理水の比抵抗:0.043〜0.059MΩ・cm
(3)被処理水流量:40L/h
(4)濃縮水の導電率:17〜23μS/cm(NaCl/超純水)
(5)濃縮水流量:20L/h
(6)電極水の比抵抗:比抵抗が15MΩ・cmを超える超純水
(7)電極水流量:10L/h
(9)運転電流値:0.25A
比較例1に用いた従来型のEDIについて、図7を用いて説明する。
図7は、従来のEDI900の断面図である。EDI900は、陰極室910と陽極室920との間に、1枚の主脱塩室950と、主脱塩室950の両側に設けられた濃縮室960とが配置されている。
陰極室910は、陰極912と、枠体911と、アニオン交換膜である陰極側仕切り膜914とが順に配置され、枠体911の開口部にアニオン交換樹脂が充填されて、形成されている。陽極室920は、陽極922と、枠体921と、カチオン交換膜である陽極側仕切り膜924とが順に配置され、枠体921の開口部にカチオン交換体が充填されて、形成されている。
陰極室910には電極水流入ライン916と、電極水流出ライン918とが接続され、陽極室920には、電極水流入ライン926と電極水流出ライン928とが接続されている。
小脱塩室951には、被処理水流入ライン970と、被処理水流出ライン972とが接続されている。小脱塩室952には、被処理水流入ライン974と、脱イオン水流出ライン976とが接続されている。そして、被処理水流出ライン972と、被処理水流入ライン974とは、図示されない配管により、接続されている。
運転開始1000時間後における、運転電圧と、脱イオン水の比抵抗を測定し、その結果を表1に示す。
(1)カチオン交換膜:株式会社アストム製
(2)中間イオン交換膜:株式会社アストム製アニオン交換膜
(3)アニオン交換膜:株式会社アストム製
(4)アニオン交換膜側の小脱塩室:幅100mm、高さ300mm、厚さ6mm
(5)カチオン交換膜側の小脱塩室:幅100mm、高さ300mm、厚さ6mm
(6)アニオン交換膜側の小脱塩室の充填イオン交換体:アニオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース社製)の単床形態
(7)カチオン交換膜側の小脱塩室の充填イオン交換体:カチオン交換樹脂(ローム・アンド・ハース社製)の単床形態
(8)濃縮室:幅100mm、高さ300mm、厚さ4mm
(9)濃縮室の充填イオン交換体:アニオン交換樹脂の単床形態
(10)陰極室:幅100mm、高さ300mm、厚さ4mm
(11)陽極室:幅100mm、高さ300mm、厚さ4mm
(12)陰極室の充填イオン交換体:アニオン交換樹脂の単床形態
(13)陽極室の充填イオン交換体:カチオン交換樹脂の単床形態
また、実施例1では運転開始1000時間後の運転電圧が7Vであったのに対し、比較例1では26Vであり、実施例1の約3.7倍となっていた。このことから、実施例1のような副脱塩室を設けたことで、電極間の距離が長くなっても、電流の有効利用が図られるため、省エネルギーで脱イオン水の製造ができることが判った。
10、110、410、910 陰極室
12、112、912 陰極
14、114、414、914 陰極側仕切り膜
24、124、424、924 陽極側仕切り膜
20、120、420、920 陽極室
22、122、922 陽極
30、40、130、230、330、440、530、540 副脱塩室
50、150、155、250、350、450、550、950 主脱塩室
32、54、132、154、957 アニオン交換膜
42、52、152、442、953 カチオン交換膜
60、62、160、960 濃縮室
136、157、236、336、364、456、534、564、568、972 被処理水流出ライン
156、158、252、360、365、444、452、544、560、565、970、974 被処理水流入ライン
254、362、562 分岐ライン
352、354、552、554、951、952 小脱塩室
356、955 中間イオン交換膜
Claims (8)
- 一側のカチオン交換膜と、他側のアニオン交換膜とで区画される空間にイオン交換体が充填されて、1以上の主脱塩室が設けられ、
前記カチオン交換膜、または、前記アニオン交換膜を介して、前記主脱塩室の両側に濃縮室が設けられ、
前記主脱塩室と前記濃縮室とが、陽極と陽極側仕切り膜とで区画される陽極室と、陰極と陰極側仕切り膜とで区画される陰極室との間に配置され、
前記陽極側仕切り膜をカチオン交換膜とし、前記陽極室にイオン交換体が充填され、前記陽極側仕切り膜と該陽極側仕切り膜と対向して配置されるカチオン交換膜とで区画される空間にイオン交換体が充填されて形成された副脱塩室、および/または、前記陰極側仕切り膜をアニオン交換膜とし、前記陰極室にイオン交換体が充填され、前記陰極側仕切り膜と該陰極側仕切り膜と対向して配置されるアニオン交換膜とで区画される空間に、イオン交換体が充填されて形成された副脱塩室が設けられ、
前記副脱塩室を流通した被処理水を前記主脱塩室に流通させる手段、および/または、前記主脱塩室を流通した被処理水を前記副脱塩室に流通させる手段が設けられている、電気式脱イオン水製造装置。 - 前記陽極室と前記陰極室との間に、2以上の前記主脱塩室が前記濃縮室を介して配置され、前記副脱塩室を流通させた被処理水を任意の主脱塩室に流通させ、前記任意の主脱塩室を流通させた被処理水を他の主脱塩室に流通させることを特徴とする、請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。
- 前記陽極室と前記陰極室との間に、2以上の前記主脱塩室が前記濃縮室を介して配置され、任意の主脱塩室を流通させた被処理水を他の主脱塩室に流通させ、その後、前記主脱塩室を流通させた被処理水を前記副脱塩室に流通させることを特徴とする、請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。
- 前記陽極室と前記陰極室との間に、2以上の前記主脱塩室が前記濃縮室を介して配置され、前記副脱塩室を流通させた被処理水を分配し、分配した被処理水を前記主脱塩室に流通させることを特徴とする、請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。
- 前記陽極室と前記陰極室との間に、2以上の前記主脱塩室が前記濃縮室を介して配置され、それぞれの主脱塩室を流通させた被処理水を合流させ、合流させた被処理水を前記副脱塩室に流通させることを特徴とする、請求項1に記載の電気式脱イオン水製造装置。
- 前記主脱塩室には、一側のカチオン交換膜と他側のアニオン交換膜との間に中間イオン交換膜を配置し、前記主脱塩室の厚さ方向に多段に区画された小脱塩室が形成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の電気式脱イオン水製造装置。
- 前記陽極室、および/または、前記陰極室には、前記主脱塩室または前記副脱塩室で処理された水が、通水されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の電気式脱イオン水製造装置。
- 前記陽極室、および/または、前記陰極室には、比抵抗値0.2〜18.2MΩ・cmの水が通水されていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の電気式脱イオン水製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008156508A JP5114307B2 (ja) | 2008-06-16 | 2008-06-16 | 電気式脱イオン水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008156508A JP5114307B2 (ja) | 2008-06-16 | 2008-06-16 | 電気式脱イオン水製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009297670A true JP2009297670A (ja) | 2009-12-24 |
JP5114307B2 JP5114307B2 (ja) | 2013-01-09 |
Family
ID=41545127
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008156508A Active JP5114307B2 (ja) | 2008-06-16 | 2008-06-16 | 電気式脱イオン水製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5114307B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010061589A1 (de) | 2009-12-28 | 2011-07-21 | TS Tech Co., Ltd., Saitama | Fahrzeugsitz, an dem ein Kindersitz angebracht werden kann |
JP2011139980A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Japan Organo Co Ltd | 電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法 |
JP2012096176A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Japan Organo Co Ltd | 電気式脱イオン水製造装置 |
WO2012108310A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | オルガノ株式会社 | 電気式脱イオン水製造装置 |
CN111615497A (zh) * | 2018-01-19 | 2020-09-01 | 奥加诺株式会社 | 用于生产去离子水的电去离子装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007007655A (ja) * | 2006-10-03 | 2007-01-18 | Ebara Corp | 電気透析装置 |
JP2007014827A (ja) * | 2005-06-09 | 2007-01-25 | Ebara Corp | 電気透析装置、排水処理方法、およびフッ素処理システム |
JP2007296444A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Ebara Corp | 排水処理方法および排水処理システム |
JP2007313421A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Ebara Corp | 純水循環供給システム、純水再利用方法、および基板処理方法 |
-
2008
- 2008-06-16 JP JP2008156508A patent/JP5114307B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007014827A (ja) * | 2005-06-09 | 2007-01-25 | Ebara Corp | 電気透析装置、排水処理方法、およびフッ素処理システム |
JP2007296444A (ja) * | 2006-04-28 | 2007-11-15 | Ebara Corp | 排水処理方法および排水処理システム |
JP2007313421A (ja) * | 2006-05-25 | 2007-12-06 | Ebara Corp | 純水循環供給システム、純水再利用方法、および基板処理方法 |
JP2007007655A (ja) * | 2006-10-03 | 2007-01-18 | Ebara Corp | 電気透析装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010061589A1 (de) | 2009-12-28 | 2011-07-21 | TS Tech Co., Ltd., Saitama | Fahrzeugsitz, an dem ein Kindersitz angebracht werden kann |
JP2011139980A (ja) * | 2010-01-06 | 2011-07-21 | Japan Organo Co Ltd | 電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法 |
JP2012096176A (ja) * | 2010-11-02 | 2012-05-24 | Japan Organo Co Ltd | 電気式脱イオン水製造装置 |
WO2012108310A1 (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-16 | オルガノ株式会社 | 電気式脱イオン水製造装置 |
JP2012161758A (ja) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Japan Organo Co Ltd | 電気式脱イオン水製造装置 |
CN103370281A (zh) * | 2011-02-08 | 2013-10-23 | 奥加诺株式会社 | 用于制备去离子水的电去离子装置 |
KR101526093B1 (ko) * | 2011-02-08 | 2015-06-04 | 오르가노 가부시키가이샤 | 전기식 탈이온수 제조 장치 |
CN111615497A (zh) * | 2018-01-19 | 2020-09-01 | 奥加诺株式会社 | 用于生产去离子水的电去离子装置 |
CN111615497B (zh) * | 2018-01-19 | 2022-05-31 | 奥加诺株式会社 | 用于生产去离子水的电去离子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5114307B2 (ja) | 2013-01-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010201361A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置及びこれを用いた脱イオン水の製造方法 | |
JP5114307B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP5145305B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP6105005B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水の製造方法 | |
JP2012239965A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP5695926B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP2011000576A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水の製造方法 | |
JP4710176B2 (ja) | 超純水製造装置 | |
JP2006015260A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP2009208046A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP5379025B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP2003145163A (ja) | 電気脱イオン装置及び電気脱イオン方法 | |
JP2007268331A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP2001191080A (ja) | 電気脱イオン装置及びそれを用いた電気脱イオン化処理方法 | |
JP5098216B2 (ja) | 電気再生式純水製造装置および純水の製造方法 | |
JP2011121027A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP5940387B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法 | |
JP5415966B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置および脱イオン水製造方法 | |
JP4505965B2 (ja) | 純水の製造方法 | |
JP2002205071A (ja) | 電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水の製造方法 | |
JP3570350B2 (ja) | 電気脱イオン装置及び純水製造装置 | |
JP4869297B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 | |
JP3729347B2 (ja) | 電気再生式脱塩装置 | |
JP4915843B2 (ja) | 電気軟化装置、軟化装置及び軟水製造方法 | |
JP4979677B2 (ja) | 電気式脱イオン水製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110627 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110825 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121002 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121015 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151019 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5114307 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |