JP3511459B2 - 電気式脱イオン水製造装置 - Google Patents
電気式脱イオン水製造装置Info
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- concentrated water
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- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A20/00—Water conservation; Efficient water supply; Efficient water use
- Y02A20/124—Water desalination
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- Water Treatment By Electricity Or Magnetism (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、濃縮室内や電極室
内での硬度成分のスケール析出を防止して、脱イオン性
能を維持する電気式脱イオン水製造装置に関するもので
ある。
内での硬度成分のスケール析出を防止して、脱イオン性
能を維持する電気式脱イオン水製造装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、脱イオン水を製造するには、イオ
ン交換樹脂が利用されている。このイオン交換樹脂は、
通常薬剤による再生を必要とする。このため、該イオン
交換樹脂を利用した脱イオンと電気透析作用を組合せ、
薬剤による再生が不要で、高度な脱イオン水を得る電気
式脱イオン水製造装置が知られている。
ン交換樹脂が利用されている。このイオン交換樹脂は、
通常薬剤による再生を必要とする。このため、該イオン
交換樹脂を利用した脱イオンと電気透析作用を組合せ、
薬剤による再生が不要で、高度な脱イオン水を得る電気
式脱イオン水製造装置が知られている。
【０００３】該電気式脱イオン水製造装置は、例えば、
基本的にはカチオン交換膜とアニオン交換膜で形成され
る隙間に、イオン交換体を充填して脱塩室とし、当該イ
オン交換体に被処理水を通過させると共に、前記両イオ
ン交換膜を介して直流電流を作用させて、両イオン交換
膜の外側に流れている濃縮水中に被処理水中のイオンを
電気的に排除しながら脱イオン水を製造するものであ
る。このため、濃縮水中にはイオンが濃縮されることと
なる。
基本的にはカチオン交換膜とアニオン交換膜で形成され
る隙間に、イオン交換体を充填して脱塩室とし、当該イ
オン交換体に被処理水を通過させると共に、前記両イオ
ン交換膜を介して直流電流を作用させて、両イオン交換
膜の外側に流れている濃縮水中に被処理水中のイオンを
電気的に排除しながら脱イオン水を製造するものであ
る。このため、濃縮水中にはイオンが濃縮されることと
なる。
【０００４】この濃縮水は装置外へ排出されるが、電気
式脱イオン水製造装置の水利用率（回収率）を向上させ
るため捨てずに再利用している。すなわち、被処理水を
濃縮水とし、該濃縮水を循環使用し、その一部を装置外
へ排出することにより水利用率の向上と適度な濃縮水の
イオン濃度の維持を図っている。このように、濃縮水を
循環する方法は濃縮水中のイオン濃度が上昇するため濃
縮水の電気伝導率が上昇する。このため、電気が流れ易
く、当該装置に流れる電流量が多くなる。従って、イオ
ン除去率も向上する。また、該装置に印加する電圧を低
くできるため消費電力が少なくなるなどの効果がある。
式脱イオン水製造装置の水利用率（回収率）を向上させ
るため捨てずに再利用している。すなわち、被処理水を
濃縮水とし、該濃縮水を循環使用し、その一部を装置外
へ排出することにより水利用率の向上と適度な濃縮水の
イオン濃度の維持を図っている。このように、濃縮水を
循環する方法は濃縮水中のイオン濃度が上昇するため濃
縮水の電気伝導率が上昇する。このため、電気が流れ易
く、当該装置に流れる電流量が多くなる。従って、イオ
ン除去率も向上する。また、該装置に印加する電圧を低
くできるため消費電力が少なくなるなどの効果がある。
【０００５】しかし、その反面、濃縮水中に当初は微量
に存在するＣａ、Ｍｇなどの硬度成分も、長期間の循環
使用により濃縮されて濃縮室内や電極室内にスケールと
して析出しやすくなる。濃縮室内や電極室内にスケール
が発生すると、その部分での電気抵抗が上昇し、電流が
流れにくくなる。すなわち、スケール発生が無い場合と
同一の電流値を流すためには電圧を上昇させる必要があ
り、消費電力が増加する。また、スケール付着量が更に
増加すると電圧が更に上昇し、装置の最大電圧値を越え
た場合は電流値が低下することとなる。この場合、イオ
ン除去に必要な電流値が流せなくなり、処理水質の低下
を招く。
に存在するＣａ、Ｍｇなどの硬度成分も、長期間の循環
使用により濃縮されて濃縮室内や電極室内にスケールと
して析出しやすくなる。濃縮室内や電極室内にスケール
が発生すると、その部分での電気抵抗が上昇し、電流が
流れにくくなる。すなわち、スケール発生が無い場合と
同一の電流値を流すためには電圧を上昇させる必要があ
り、消費電力が増加する。また、スケール付着量が更に
増加すると電圧が更に上昇し、装置の最大電圧値を越え
た場合は電流値が低下することとなる。この場合、イオ
ン除去に必要な電流値が流せなくなり、処理水質の低下
を招く。
【０００６】濃縮水中に硬度成分が濃縮することを防止
する方法としては、（１）逆浸透膜装置の被処理水を軟
化処理する方法、（２）逆浸透膜装置の透過水（電気式
脱イオン水製造装置の被処理水）を軟化処理する方法、
（３）濃縮水の排出量を多くし、濃縮水中への硬度成分
の濃縮を少なくする方法、が挙げられる。
する方法としては、（１）逆浸透膜装置の被処理水を軟
化処理する方法、（２）逆浸透膜装置の透過水（電気式
脱イオン水製造装置の被処理水）を軟化処理する方法、
（３）濃縮水の排出量を多くし、濃縮水中への硬度成分
の濃縮を少なくする方法、が挙げられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
（１）及び（２）の方法は、硬水軟化処理装置の設置及
び再生剤の管理が必要となり、コスト増加や設備の複雑
化を招く。また、上記（３）の方法は、被処理水の硬度
成分濃度が比較的高い場合は当該装置の水利用率（回収
率）が低下するという問題がある。
（１）及び（２）の方法は、硬水軟化処理装置の設置及
び再生剤の管理が必要となり、コスト増加や設備の複雑
化を招く。また、上記（３）の方法は、被処理水の硬度
成分濃度が比較的高い場合は当該装置の水利用率（回収
率）が低下するという問題がある。
【０００８】従って、本発明の目的は、濃縮室内や電極
室内での硬度成分のスケール析出を防止して、脱イオン
性能を維持する電気式脱イオン水製造装置を提供するこ
とにある。
室内での硬度成分のスケール析出を防止して、脱イオン
性能を維持する電気式脱イオン水製造装置を提供するこ
とにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】かかる実情において、本
発明者は鋭意検討を行った結果、一般に、電気式脱イオ
ン水製造装置の被処理水のｐＨ値は５〜７の範囲、濃縮
水のｐＨ値は４〜８の範囲であり、濃縮水中に濃縮され
た硬度成分は、このｐＨ範囲においては溶解力に乏しく
スケールが発生し易いこと、被処理水のｐＨ値を酸性側
にすれば、硬度成分の溶解力が高まり、スケールの発生
が防止できることなどを見出し、本発明を完成するに至
った。
発明者は鋭意検討を行った結果、一般に、電気式脱イオ
ン水製造装置の被処理水のｐＨ値は５〜７の範囲、濃縮
水のｐＨ値は４〜８の範囲であり、濃縮水中に濃縮され
た硬度成分は、このｐＨ範囲においては溶解力に乏しく
スケールが発生し易いこと、被処理水のｐＨ値を酸性側
にすれば、硬度成分の溶解力が高まり、スケールの発生
が防止できることなどを見出し、本発明を完成するに至
った。
【００１０】すなわち、本発明は、脱塩室、濃縮室及び
電極室を有すると共に、一対の電極に電圧を印加するこ
とで脱塩室から脱イオン水を得る電気式脱イオン水製造
装置において、前記濃縮室に循環される濃縮水に酸性液
を添加して、該濃縮水をｐＨが２以上４未満の酸性に維
持することを特徴とする電気式脱イオン水製造装置を提
供するものである。
電極室を有すると共に、一対の電極に電圧を印加するこ
とで脱塩室から脱イオン水を得る電気式脱イオン水製造
装置において、前記濃縮室に循環される濃縮水に酸性液
を添加して、該濃縮水をｐＨが２以上４未満の酸性に維
持することを特徴とする電気式脱イオン水製造装置を提
供するものである。
【００１１】このような電気式脱イオン水製造装置によ
れば、濃縮水は酸性液が注入されて酸性側に調整され循
環使用される。このため、濃縮水はＣａ、Ｍｇなどの硬
度成分の溶解力が増加する。従って、濃縮水が高濃度に
濃縮されても濃縮室内や電極室内での炭酸カルシウムな
どのスケールの発生を防止することができる。このた
め、当該装置においては、スケールの発生により電気抵
抗が上昇することに伴う性能低下を防止することができ
る。また、濃縮水を高濃度に濃縮して使用することが可
能となるため、当該装置の水利用率を向上させると共
に、印加電圧を低くすることができ、消費電力を低減す
ることができる。
れば、濃縮水は酸性液が注入されて酸性側に調整され循
環使用される。このため、濃縮水はＣａ、Ｍｇなどの硬
度成分の溶解力が増加する。従って、濃縮水が高濃度に
濃縮されても濃縮室内や電極室内での炭酸カルシウムな
どのスケールの発生を防止することができる。このた
め、当該装置においては、スケールの発生により電気抵
抗が上昇することに伴う性能低下を防止することができ
る。また、濃縮水を高濃度に濃縮して使用することが可
能となるため、当該装置の水利用率を向上させると共
に、印加電圧を低くすることができ、消費電力を低減す
ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態における電気
式脱イオン水製造装置について、図面を参照して説明す
る。
式脱イオン水製造装置について、図面を参照して説明す
る。
【００１３】図１は、本発明の実施の形態における電気
式脱イオン水製造装置の構成を示すブロック図である。
被処理水は、電気式脱イオン水製造装置（以下、ＥＤＩ
装置ともいう）１に流入される。ＥＤＩ装置１は、イオ
ン交換樹脂、イオン交換繊維等のイオン交換体が充填さ
れた脱塩室と、この脱塩室とイオン交換膜を介して仕切
られた濃縮室と、これら脱塩室及び濃縮室に電圧を印加
する一対の電極を有している。そして、脱塩室に被処理
水を、また、濃縮室に濃縮水を流通することで、塩類を
イオン交換膜を介し濃縮室を流れる濃縮水中に移動させ
る。これによって、塩類が除去された処理水（脱イオン
水）を得ると供に、塩類が濃縮された濃縮水を濃縮室に
得ることができる。従って、脱塩室から処理水が排出さ
れ、濃縮室から濃縮水が排出される。また、一対の電極
を収納する電極室にも濃縮水（電極水）を流通する。従
って、該電極室からは電極水が排出される。
式脱イオン水製造装置の構成を示すブロック図である。
被処理水は、電気式脱イオン水製造装置（以下、ＥＤＩ
装置ともいう）１に流入される。ＥＤＩ装置１は、イオ
ン交換樹脂、イオン交換繊維等のイオン交換体が充填さ
れた脱塩室と、この脱塩室とイオン交換膜を介して仕切
られた濃縮室と、これら脱塩室及び濃縮室に電圧を印加
する一対の電極を有している。そして、脱塩室に被処理
水を、また、濃縮室に濃縮水を流通することで、塩類を
イオン交換膜を介し濃縮室を流れる濃縮水中に移動させ
る。これによって、塩類が除去された処理水（脱イオン
水）を得ると供に、塩類が濃縮された濃縮水を濃縮室に
得ることができる。従って、脱塩室から処理水が排出さ
れ、濃縮室から濃縮水が排出される。また、一対の電極
を収納する電極室にも濃縮水（電極水）を流通する。従
って、該電極室からは電極水が排出される。
【００１４】一方、ＥＤＩ装置１の濃縮室から排出され
る濃縮水の全量及び被処理水の一部の補給水は濃縮水貯
蔵槽２に流入される。また、酸性液は別途の配管により
濃縮水貯蔵槽２に添加される。そして、濃縮水貯蔵槽２
に貯蔵され、酸性に調整された濃縮水はＥＤＩ装置１の
濃縮室及び電極室にそれぞれ供給される。
る濃縮水の全量及び被処理水の一部の補給水は濃縮水貯
蔵槽２に流入される。また、酸性液は別途の配管により
濃縮水貯蔵槽２に添加される。そして、濃縮水貯蔵槽２
に貯蔵され、酸性に調整された濃縮水はＥＤＩ装置１の
濃縮室及び電極室にそれぞれ供給される。
【００１５】本発明の実施の形態によれば、濃縮水貯蔵
槽２へ酸性液を注入するため、濃縮水は酸性側に調整さ
れて循環使用される。このため、濃縮水はＣａ、Ｍｇな
どの硬度成分の溶解力が増加する。従って、濃縮水が高
濃度に濃縮されても濃縮室内や電極室内での炭酸カルシ
ウムなどのスケールの発生を防止することができる。こ
のため、当該装置１においては、スケールの発生により
電気抵抗が上昇することに伴う性能低下を防止すること
ができる。また、濃縮水を高濃度に濃縮して使用するこ
とが可能となるため、当該装置１の水利用率を向上させ
ると共に、印加電圧を低くすることができ、消費電力を
低減することができる。
槽２へ酸性液を注入するため、濃縮水は酸性側に調整さ
れて循環使用される。このため、濃縮水はＣａ、Ｍｇな
どの硬度成分の溶解力が増加する。従って、濃縮水が高
濃度に濃縮されても濃縮室内や電極室内での炭酸カルシ
ウムなどのスケールの発生を防止することができる。こ
のため、当該装置１においては、スケールの発生により
電気抵抗が上昇することに伴う性能低下を防止すること
ができる。また、濃縮水を高濃度に濃縮して使用するこ
とが可能となるため、当該装置１の水利用率を向上させ
ると共に、印加電圧を低くすることができ、消費電力を
低減することができる。
【００１６】前記被処理水としては、特に制限されない
が、市水、工業用水を逆浸透膜処理した透過水、あるい
は半導体ウェハーを超純水で洗浄した際に排出される洗
浄排水等が挙げられる。また、該被処理水に含まれるＣ
ａ、Ｍｇなどの硬度成分量は、原水の硬度成分濃度や使
用する逆浸透膜装置の２価イオン除去性能により異なる
が、０．０１〜２mg/L程度である。本発明においては、
特に、硬度成分を多く含有する水を被処理水とする場合
に有効である。
が、市水、工業用水を逆浸透膜処理した透過水、あるい
は半導体ウェハーを超純水で洗浄した際に排出される洗
浄排水等が挙げられる。また、該被処理水に含まれるＣ
ａ、Ｍｇなどの硬度成分量は、原水の硬度成分濃度や使
用する逆浸透膜装置の２価イオン除去性能により異なる
が、０．０１〜２mg/L程度である。本発明においては、
特に、硬度成分を多く含有する水を被処理水とする場合
に有効である。
【００１７】前記酸性液としては、特に制限されない
が、硫酸及び塩酸などが挙げられ、このうち、硫酸が好
ましい。塩酸を使用すると、濃縮水中の塩素イオンが増
加し、この濃縮水の一部が電極室に供給されることから
電極室内での電気分解反応により次亜塩素酸や塩素ガス
が発生し、当該装置のイオン交換膜やイオン交換樹脂を
損傷する可能性が生じるため好ましくない。
が、硫酸及び塩酸などが挙げられ、このうち、硫酸が好
ましい。塩酸を使用すると、濃縮水中の塩素イオンが増
加し、この濃縮水の一部が電極室に供給されることから
電極室内での電気分解反応により次亜塩素酸や塩素ガス
が発生し、当該装置のイオン交換膜やイオン交換樹脂を
損傷する可能性が生じるため好ましくない。
【００１８】濃縮水への酸性液の注入場所としては、特
に制限されず、濃縮水ラインの配管内への注入、濃縮水
をいったん貯蔵する濃縮水貯蔵槽への添加などが挙げら
れる。また、濃縮水への酸性液の注入方法は、連続注入
方法又は間欠注入方法のいずれでもよい。当該方法によ
り調整された濃縮水のｐＨ値は、２〜４の範囲とするの
が好ましい。ｐＨ値を２以下のように余り低くするとポ
ンプや配管の腐食原因となり、ｐＨ値が４以上になると
スケール発生防止効果が薄れる。また、酸性液の注入方
法が間欠注入方法の場合、注入していない期間に発生し
たスケールを溶解させるため、ｐＨ値は２〜２．５の範
囲とするのが好ましい。
に制限されず、濃縮水ラインの配管内への注入、濃縮水
をいったん貯蔵する濃縮水貯蔵槽への添加などが挙げら
れる。また、濃縮水への酸性液の注入方法は、連続注入
方法又は間欠注入方法のいずれでもよい。当該方法によ
り調整された濃縮水のｐＨ値は、２〜４の範囲とするの
が好ましい。ｐＨ値を２以下のように余り低くするとポ
ンプや配管の腐食原因となり、ｐＨ値が４以上になると
スケール発生防止効果が薄れる。また、酸性液の注入方
法が間欠注入方法の場合、注入していない期間に発生し
たスケールを溶解させるため、ｐＨ値は２〜２．５の範
囲とするのが好ましい。
【００１９】
【実施例】次に、実施例を挙げて、本発明を更に具体的
に説明する。 実施例１ 下記仕様のＥＤＩ装置及び図１の装置を用いて、２０日
間の処理実験を行った。被処理水は、水道水を活性炭吸
着塔に通水した後、逆浸透膜装置で処理した透過水に炭
酸カルシウム溶液を混合して、Ｃａ濃度を０．２mg/Lに
調整した水を用いた。また、酸性液は硫酸を用い、濃縮
水貯蔵槽２に注入して、濃縮水貯蔵槽内の濃縮水のｐＨ
値を２〜２．５の範囲となるように調整して運転した。
評価は２０日間経過後の処理水の電気伝導率を測定し、
濃縮室及び電極室内のスケール付着を目視観察すること
により行った。結果を表１に示す。
に説明する。 実施例１ 下記仕様のＥＤＩ装置及び図１の装置を用いて、２０日
間の処理実験を行った。被処理水は、水道水を活性炭吸
着塔に通水した後、逆浸透膜装置で処理した透過水に炭
酸カルシウム溶液を混合して、Ｃａ濃度を０．２mg/Lに
調整した水を用いた。また、酸性液は硫酸を用い、濃縮
水貯蔵槽２に注入して、濃縮水貯蔵槽内の濃縮水のｐＨ
値を２〜２．５の範囲となるように調整して運転した。
評価は２０日間経過後の処理水の電気伝導率を測定し、
濃縮室及び電極室内のスケール付着を目視観察すること
により行った。結果を表１に示す。
【００２０】
（ＥＤＩ装置）
・処理水量３．０m3/h、濃縮水量０．５m3/h、電極水量０．１m3/h
・印加電圧：２００Ｖ
・使用イオン交換体：カチオン交換樹脂アンバーライトＩＲ１２０Ｂ
アニオン交換樹脂アンバーライトＩＲＡ４００
（いずれもロームアンドハース社製）
カチオン交換樹脂とアニオン交換樹脂の混合比１：２（容積比）
・使用イオン交換膜：カチオン交換膜ＣＭＨ、アニオン交換膜ＡＭＨ
（いずれもトクヤマ社製）
【００２１】比較例１
図２の装置を用い、酸性液を注入することなく処理を行
った以外は、実施例１と同様の方法で行った。結果を表
１に示す。
った以外は、実施例１と同様の方法で行った。結果を表
１に示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】表１より、実施例１は、スケールの析出が
全く見られず、処理水質の低下もなかった。また、比較
例１において、濃縮室及び電極室内に観察された白色の
スケールは分析の結果、炭酸カルシウムと判明した。こ
のように、濃縮室内に炭酸カルシウムのスケールが発生
すると、その部分の電気抵抗が大きくなり電流が流れ難
くなる。従って、イオン交換体に吸着した不純物イオン
が再生され難くなり、その結果、当該電気式脱イオン水
製造装置の脱イオン性能が低下する。
全く見られず、処理水質の低下もなかった。また、比較
例１において、濃縮室及び電極室内に観察された白色の
スケールは分析の結果、炭酸カルシウムと判明した。こ
のように、濃縮室内に炭酸カルシウムのスケールが発生
すると、その部分の電気抵抗が大きくなり電流が流れ難
くなる。従って、イオン交換体に吸着した不純物イオン
が再生され難くなり、その結果、当該電気式脱イオン水
製造装置の脱イオン性能が低下する。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、濃縮水は酸性液が注入
されて酸性側に維持され循環使用される。このため、濃
縮水はＣａ、Ｍｇなどの硬度成分の溶解力が増加する。
従って、濃縮水が高濃度に濃縮されても濃縮室内や電極
室内での炭酸カルシウムなどのスケールの発生を防止す
ることができる。このため、当該装置においては、スケ
ールの発生により電気抵抗が上昇することに伴う性能低
下を防止することができる。また、濃縮水を高濃度に濃
縮して使用することが可能となるため、当該装置の水利
用率を向上させると共に、印加電圧を低くすることがで
き、消費電力を低減することができる。
されて酸性側に維持され循環使用される。このため、濃
縮水はＣａ、Ｍｇなどの硬度成分の溶解力が増加する。
従って、濃縮水が高濃度に濃縮されても濃縮室内や電極
室内での炭酸カルシウムなどのスケールの発生を防止す
ることができる。このため、当該装置においては、スケ
ールの発生により電気抵抗が上昇することに伴う性能低
下を防止することができる。また、濃縮水を高濃度に濃
縮して使用することが可能となるため、当該装置の水利
用率を向上させると共に、印加電圧を低くすることがで
き、消費電力を低減することができる。
【図１】本発明の実施の形態における電気式脱イオン水
製造装置の構成を示すブロック図である。
製造装置の構成を示すブロック図である。
【図２】従来の電気式脱イオン水製造装置の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
１ 電気式脱イオン水製造装置
２ 濃縮水貯蔵槽
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−232173（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−103799（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−262172（ＪＰ，Ａ)
特開 平３−26390（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−294988（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−24374（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−254356（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C02F 1/469
B01D 61/48
Claims (2)
- 【請求項１】 脱塩室、濃縮室及び電極室を有すると共
に、一対の電極に電圧を印加することで脱塩室から脱イ
オン水を得る電気式脱イオン水製造装置において、前記
濃縮室に循環される濃縮水に酸性液を添加して、該濃縮
水をｐＨが２以上４未満の酸性に維持することを特徴と
する電気式脱イオン水製造装置。 - 【請求項２】 前記酸性液が、硫酸である請求項１記載
の電気式脱イオン水製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35244397A JP3511459B2 (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | 電気式脱イオン水製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35244397A JP3511459B2 (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | 電気式脱イオン水製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11165177A JPH11165177A (ja) | 1999-06-22 |
| JP3511459B2 true JP3511459B2 (ja) | 2004-03-29 |
Family
ID=18424120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35244397A Expired - Fee Related JP3511459B2 (ja) | 1997-12-05 | 1997-12-05 | 電気式脱イオン水製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3511459B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4481417B2 (ja) * | 2000-03-23 | 2010-06-16 | オルガノ株式会社 | 脱イオン水製造方法 |
| JP2007268331A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Japan Organo Co Ltd | 電気式脱イオン水製造装置 |
| JP6524516B2 (ja) * | 2014-03-28 | 2019-06-05 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 電気透析装置と電気透析方法およびそれを用いたエッチング装置 |
-
1997
- 1997-12-05 JP JP35244397A patent/JP3511459B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11165177A (ja) | 1999-06-22 |
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