JP6524516B2 - 電気透析装置と電気透析方法およびそれを用いたエッチング装置 - Google Patents
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Description
隣接する槽とは仕切膜を共有する複数の槽を有し、エッチング装置に付随するエッチング槽中の、有機酸を含むエッチング液中の銅イオン濃度を低減する電気透析装置であって、
電極液中に陽極が浸漬された陽極槽と、
電極液中に陰極が浸漬された陰極槽と、
前記陽極と前記陰極に正極と負極がそれぞれ接続される電源と、
前記陽極槽と前記陰極槽との間に、
前記陽極槽側のアニオン交換膜と前記陰極側のカチオン交換膜で仕切られ、前記エッチング槽中のエッチング液が注入されるD槽を有し、
前記陽極槽と前記陰極槽には、電極液が注入され、
前記D槽に隣接し、前記エッチング液を希釈した濃縮液が注入され、
前記陽極槽側のカチオン交換膜と前記陰極側のアニオン交換膜で仕切られるC槽を有することを特徴とする。
被エッチング対象物にエッチング液を供給するエッチング液供給部と、
エッチング液を貯留するエッチング槽と
前記エッチング槽中の前記エッチング液の銅イオン濃度を測定するエッチング液濃度測定器と、
前記エッチング液濃度測定器の測定値が上限濃度を超えたら上記の電気透析装置の前記D槽に前記エッチング液を送ることを特徴とする。
銅をエッチングしたエッチング液から銅イオンを除去する電気透析法であって、
陽極槽と陰極槽の間に配置されたD槽に前記エッチング後のエッチング液を入れる工程と、
前記D槽に隣接したC槽に前記エッチング後のエッチング液の20%〜80%の希釈液を入れる工程と、
前記陽極槽と前記陰極槽との間に電圧を印加する工程を含むことを特徴とする。
2 チャンバー
3 移送機
4 シャワー
5 エッチング槽
5a 循環配管
5b 循環ポンプ
6 シャワー循環部
7 銅イオン濃度測定器(エッチング液濃度測定器)
6a 配管
6b ポンプ
8 エッチング液供給部
10、100、102、104、110 電気透析装置
12 陽極槽
14 陰極槽
16 第1のD槽
16 D槽
18 C槽
20 第2のD槽
22 陽極
24 陰極
16a アニオン交換膜
18a カチオン交換膜
20a アニオン交換膜
20b カチオン交換膜
28 電源
28a 正極
28b 負極
30 電極液循環配管
30a 電極液送液配管
30b 電極液戻り配管
31 電極液循環ポンプ
32 D液循環配管
32v バルブ
32a D液送液配管
32b D液戻り配管
33 D液循環ポンプ
34 C液循環配管
34a C液送液配管
34b C液戻り配管
35 C液循環ポンプ
40 電極液タンク
40e 廃棄配管
40v バルブ
42 D液タンク
43 D液濃度測定器
44 C液タンク
44e 廃棄配管
44v バルブ
45 C液濃度測定器
46 希硫酸タンク
46a 送液配管
46p 送液ポンプ
46v バルブ
50 エッチング液送液配管
50p 送液用ポンプ
50v、52v バルブ
52 エッチング液送液配管
54 エッチング液戻り配管
54v バルブ
60 制御器
80 D槽
81 C槽
82 陽極槽
83 陰極槽
82p 陽極
83n 陰極
84 電源
85 電流計
86 膜間電圧計
99 被処理物
112 陽極槽
114 陰極槽
116 D槽
116a アニオン交換膜
118a カチオン交換膜
128 電源
180 銅イオン除去装置
181 戻り配管
Claims (10)
- 隣接する槽とは仕切膜を共有する複数の槽を有し、エッチング装置に付随するエッチング槽中の、有機酸を含むエッチング液中の銅イオン濃度を低減する電気透析装置であって、
電極液中に陽極が浸漬された陽極槽と、
電極液中に陰極が浸漬された陰極槽と、
前記陽極と前記陰極に正極と負極がそれぞれ接続される電源と、
前記陽極槽と前記陰極槽との間に、
前記陽極槽側のアニオン交換膜と前記陰極側のカチオン交換膜で仕切られ、前記エッチング槽中のエッチング液が注入されるD槽を有し、
前記陽極槽と前記陰極槽には、電極液が注入され、
前記D槽に隣接し、前記エッチング液を希釈した濃縮液が注入され、
前記陽極槽側のカチオン交換膜と前記陰極側のアニオン交換膜で仕切られるC槽を有することを特徴とする電気透析装置。 - 前記濃縮液は、20%〜80%の前記エッチング液であることを特徴とする請求項1に記載された電気透析装置。
- 前記D槽中のエッチング液中の銅イオン濃度を測定するD液濃度測定器をさらに有し、
前記D液濃度測定器の測定値が下限閾値以下になったら、前記D槽中の前記エッチング液を前記エッチング槽に戻すことを特徴とする請求項1または2に記載された電気透析装置。 - 前記エッチング槽からのエッチング液を貯留するD液タンクと、
前記D液タンクと前記D槽を連通するD液循環配管と、
前記D液循環配管に設けられたD液循環ポンプを有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1の請求項に記載された電気透析装置。 - 前記エッチング槽からのエッチング液と酸性溶液を混合するC液タンクと、
前記C液タンクと前記C槽を連通するC液循環配管と、
前記C液循環配管に設けられたC液循環ポンプを有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1の請求項に記載された電気透析装置。 - 前記濃縮液中の銅イオン濃度を測定するC液濃度測定器と、
前記C液濃度測定器の測定値が所定の閾値を超えたら、通知信号を出力する制御器を有することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1の請求項に記載された電気透析装置。 - 前記電極液を貯留する電極液タンクと、
前記電極液タンクと前記陽極槽および前記陰極槽を連通する電極液循環配管と、
前記電極液循環配管に設けられた電極液循環ポンプを有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1の請求項に記載された電気透析装置。 - 前記C槽中のC液から銅イオンを除去し、再度前記C槽に戻す銅イオン除去装置を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1の請求項に記載された電気透析装置。
- 被エッチング対象物にエッチング液を供給するエッチング液供給部と、
エッチング液を貯留するエッチング槽と
前記エッチング槽中の前記エッチング液の銅イオン濃度を測定するエッチング液濃度測定器と、
前記エッチング液濃度測定器の測定値が上限濃度を超えたら請求項1乃至8のいずれかに記載された電気透析装置の前記D槽に前記エッチング液を送ることを特徴とするエッチング装置。 - 銅をエッチングしたエッチング液から銅イオンを除去する電気透析方法であって、
陽極槽と陰極槽の間に配置されたD槽に前記エッチング後のエッチング液を入れる工程と、
前記D槽に隣接したC槽に前記エッチング後のエッチング液の20%〜80%の希釈液を入れる工程と、
前記陽極槽と前記陰極槽との間に電圧を印加する工程を含むことを特徴とする電気透析方法。
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JP2014067537 | 2014-03-28 | ||
JP2014067537 | 2014-03-28 | ||
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