JP2000015696A - ラミネート装置 - Google Patents
ラミネート装置Info
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- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Laminated Bodies (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ラミネート開始前の脱気が安定して行え、また
波打ちの生じないラミネート装置を提供する。 【解決手段】上面が平面である加熱機構５が内部に設け
られた下部真空容器１と、加熱機構の上面に対面するよ
うに伸縮性シート７が張架され上部真空容器２とを有
し、両真空容器を閉じたとき伸縮性シートを隔壁として
下部真空室が構成され、下部真空室内で加熱機構と伸縮
性シートの間に被ラミネート体２４を挟み、被ラミネー
ト体の脱気、および加圧加熱することによるラミネート
を行うラミネート部を有するラミネート装置において、
前記上部真空容器には伸縮性シートの下面に支持シート
が設けられ、この支持シートは少なくとも伸縮性シート
の自重に抗して伸縮性シートを支持し、圧力差がないと
き伸縮性シートは被ラミネート体を加熱機構に押しつけ
ないように支持軸３６に張架されている。
波打ちの生じないラミネート装置を提供する。 【解決手段】上面が平面である加熱機構５が内部に設け
られた下部真空容器１と、加熱機構の上面に対面するよ
うに伸縮性シート７が張架され上部真空容器２とを有
し、両真空容器を閉じたとき伸縮性シートを隔壁として
下部真空室が構成され、下部真空室内で加熱機構と伸縮
性シートの間に被ラミネート体２４を挟み、被ラミネー
ト体の脱気、および加圧加熱することによるラミネート
を行うラミネート部を有するラミネート装置において、
前記上部真空容器には伸縮性シートの下面に支持シート
が設けられ、この支持シートは少なくとも伸縮性シート
の自重に抗して伸縮性シートを支持し、圧力差がないと
き伸縮性シートは被ラミネート体を加熱機構に押しつけ
ないように支持軸３６に張架されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜光電変換素子
（セル）を可撓性を有する耐候性フィルムにより挟んで
両面を保護した薄膜光電変換モジュールなどの製造に用
いられる、接着性シートと基材シートなどの被ラミネー
ト体を加圧、加熱してラミネートするラミネート装置に
関する。
（セル）を可撓性を有する耐候性フィルムにより挟んで
両面を保護した薄膜光電変換モジュールなどの製造に用
いられる、接着性シートと基材シートなどの被ラミネー
ト体を加圧、加熱してラミネートするラミネート装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】フレキシブルな薄膜光電変換装置などの
製造方法にはラミネート装置が必要であるが、従来のラ
ミネート装置としては、本発明者にかかる、伸縮性シー
トによって仕切られた上部真空容器と下部真空容器を備
えた、いわゆる二重真空方式のラミネート装置が特開平
９−９７９１５号公報に開示されている。
製造方法にはラミネート装置が必要であるが、従来のラ
ミネート装置としては、本発明者にかかる、伸縮性シー
トによって仕切られた上部真空容器と下部真空容器を備
えた、いわゆる二重真空方式のラミネート装置が特開平
９−９７９１５号公報に開示されている。
【０００３】図５は従来のラミネート装置を示し、
（ａ）は搬送方向に沿っての断面図であり、（ｂ）は搬
送方向に垂直な面での断面図である。送り出しロール２
１に捲かれた透光性で耐候性の長尺の封止シート２４ａ
が矢印２９方向に搬送され、塔載位置２８で薄膜光電変
換セル２４ｂを手動によりまたは図示していない供給装
置により封止シート２４ａ上に塔載される。さらに配線
用の導電テープ２３ａが送り出しロール２２から供給さ
れる。そして封止シート２４ａに薄膜光電変換セル２４
ｂを固定、封止するため、耐候性の封止シート２４ｄが
送り出しロール２３から送り出されて、プレスロール２
５ａ、２５ｂにより密着され積層された積層体２４（一
般化して被ラミネート体ということにする）が搬送され
る。
（ａ）は搬送方向に沿っての断面図であり、（ｂ）は搬
送方向に垂直な面での断面図である。送り出しロール２
１に捲かれた透光性で耐候性の長尺の封止シート２４ａ
が矢印２９方向に搬送され、塔載位置２８で薄膜光電変
換セル２４ｂを手動によりまたは図示していない供給装
置により封止シート２４ａ上に塔載される。さらに配線
用の導電テープ２３ａが送り出しロール２２から供給さ
れる。そして封止シート２４ａに薄膜光電変換セル２４
ｂを固定、封止するため、耐候性の封止シート２４ｄが
送り出しロール２３から送り出されて、プレスロール２
５ａ、２５ｂにより密着され積層された積層体２４（一
般化して被ラミネート体ということにする）が搬送され
る。
【０００４】上部真空容器２の周縁部にはシリコーンゴ
ムなどの伸縮性シート７の周囲が固定され上部真空室９
を構成している。上部真空容器２の周囲にはＯリング４
が取付けられており、閉状態では、下部真空容器１の周
囲のＯリング３と合致して、伸縮性シート７と下部真空
容器１に囲まれた空間は下部真空室８となる。また、下
部真空容器１には、加熱ヒータ５ａを有する熱板５が断
熱部材６を介して取付けられており、熱板５は常時一定
温度に加熱されている。被ラミネート体２４を熱板５に
搬送後、上部真空容器２は開閉機構１０により下降し、
Ｏリング３とＯリング４は被ラミネート体２４を挟み込
み下部真空容器１の周囲のシールを行ない、下部真空室
８を構成する。
ムなどの伸縮性シート７の周囲が固定され上部真空室９
を構成している。上部真空容器２の周囲にはＯリング４
が取付けられており、閉状態では、下部真空容器１の周
囲のＯリング３と合致して、伸縮性シート７と下部真空
容器１に囲まれた空間は下部真空室８となる。また、下
部真空容器１には、加熱ヒータ５ａを有する熱板５が断
熱部材６を介して取付けられており、熱板５は常時一定
温度に加熱されている。被ラミネート体２４を熱板５に
搬送後、上部真空容器２は開閉機構１０により下降し、
Ｏリング３とＯリング４は被ラミネート体２４を挟み込
み下部真空容器１の周囲のシールを行ない、下部真空室
８を構成する。
【０００５】下部真空室８と上部真空室９はそれぞれ制
御弁１４と制御弁１５を介して真空ポンプ１６に接続さ
れており、下部真空室８と上部真空室９の中を真空状態
にし、熱板５で被ラミネート体２４を加熱すると同時
に、封止シート間を脱気する。脱気はラミネートしたモ
ジュールに気泡を残存させないためである。脱気が充分
行われた後、制御弁１５を切り替えて上部真空室９内を
大気状態にし、下部真空室８と上部真空室９の圧力差に
より伸縮性シート７を膨張させ、被ラミネート体２４を
熱板５に押し付け加圧、加熱する。この状態で所定の時
間だけラミネートを行ない、被ラミネート体２４をモジ
ュール２４ｍとした後、制御弁１４を切り替えて下部真
空室８内を大気状態にし、開閉機構１０により上部真空
容器２を上昇させモジュール２４ｍを搬送する。搬送し
ているモジュール２４ｍは前回のラミネート範囲３０と
現在の有効架橋領域３１が重複するように、有効架橋領
域３１長さより短い搬送ピッチ３３でステップ搬送し
て、有効架橋領域３１から前回ラミネート範囲３０が外
れない位置で停止させる。
御弁１４と制御弁１５を介して真空ポンプ１６に接続さ
れており、下部真空室８と上部真空室９の中を真空状態
にし、熱板５で被ラミネート体２４を加熱すると同時
に、封止シート間を脱気する。脱気はラミネートしたモ
ジュールに気泡を残存させないためである。脱気が充分
行われた後、制御弁１５を切り替えて上部真空室９内を
大気状態にし、下部真空室８と上部真空室９の圧力差に
より伸縮性シート７を膨張させ、被ラミネート体２４を
熱板５に押し付け加圧、加熱する。この状態で所定の時
間だけラミネートを行ない、被ラミネート体２４をモジ
ュール２４ｍとした後、制御弁１４を切り替えて下部真
空室８内を大気状態にし、開閉機構１０により上部真空
容器２を上昇させモジュール２４ｍを搬送する。搬送し
ているモジュール２４ｍは前回のラミネート範囲３０と
現在の有効架橋領域３１が重複するように、有効架橋領
域３１長さより短い搬送ピッチ３３でステップ搬送し
て、有効架橋領域３１から前回ラミネート範囲３０が外
れない位置で停止させる。
【０００６】この搬送の際、送り出しロール側では、封
止シート２４ａ上への薄膜光電変換セル２４ｂの塔載を
同時に行なっている。モジュール２４ｍは搬送中に冷却
ロール２６ａ、２６ｂを通過して冷却され、巻き取りロ
ール２７に巻き取られる。
止シート２４ａ上への薄膜光電変換セル２４ｂの塔載を
同時に行なっている。モジュール２４ｍは搬送中に冷却
ロール２６ａ、２６ｂを通過して冷却され、巻き取りロ
ール２７に巻き取られる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のラミネート装置
では、脱気の際両真空室を真空状態にするが、この時圧
力差が無くなり、伸縮シートが自重により下方に垂れ、
封止シート同志が接して、封止シート間の気体が抜け難
くなり脱気状態が安定化しないという問題が生じ易い。
また、量産性の向上を図るためラミネート時間を短縮す
ると伸縮シートを冷やす放熱時間が短くなり、伸縮シー
トが封止シートの軟化温度以上の状態で脱気を行わなけ
ればならず、前述したように伸縮シートが自重により垂
れ、封止シートに接した場合、加圧前に架橋反応が進行
してしまい接した部分と他の部分とで不均一になり易
く、また熱収縮して波打ちを起し易く、気泡の発生を助
長し、最終的には残痕となって現われ良質なラミネート
を行うことができないという問題もある。
では、脱気の際両真空室を真空状態にするが、この時圧
力差が無くなり、伸縮シートが自重により下方に垂れ、
封止シート同志が接して、封止シート間の気体が抜け難
くなり脱気状態が安定化しないという問題が生じ易い。
また、量産性の向上を図るためラミネート時間を短縮す
ると伸縮シートを冷やす放熱時間が短くなり、伸縮シー
トが封止シートの軟化温度以上の状態で脱気を行わなけ
ればならず、前述したように伸縮シートが自重により垂
れ、封止シートに接した場合、加圧前に架橋反応が進行
してしまい接した部分と他の部分とで不均一になり易
く、また熱収縮して波打ちを起し易く、気泡の発生を助
長し、最終的には残痕となって現われ良質なラミネート
を行うことができないという問題もある。
【０００８】本発明の目的は、ラミネート開始前の脱気
が安定して行え、また波打ちの生じないラミネート装置
を提供することにある。
が安定して行え、また波打ちの生じないラミネート装置
を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、上面が平面である加熱機構が内部に設けられた下部
真空容器と、加熱機構の上面に対面するように伸縮性シ
ートが張架され、内部が上部真空容室となる上部真空容
器とを有し、両真空容器を閉じたとき伸縮性シートを隔
壁として下部真空室が構成され、下部真空室内で加熱機
構と伸縮性シートの間に被ラミネート体を挟み、被ラミ
ネート体の脱気、および加圧加熱することによるラミネ
ートを行うラミネート部を有するラミネート装置におい
て、前記上部真空容器には伸縮性シートの下面に支持シ
ートが設けられ、この支持シートは少なくとも伸縮性シ
ートの自重に抗して伸縮性シートを支持し、両真空室に
圧力差がないとき伸縮性シートは被ラミネート体を加熱
機構に押しつけないように張架されていることとする。
め、上面が平面である加熱機構が内部に設けられた下部
真空容器と、加熱機構の上面に対面するように伸縮性シ
ートが張架され、内部が上部真空容室となる上部真空容
器とを有し、両真空容器を閉じたとき伸縮性シートを隔
壁として下部真空室が構成され、下部真空室内で加熱機
構と伸縮性シートの間に被ラミネート体を挟み、被ラミ
ネート体の脱気、および加圧加熱することによるラミネ
ートを行うラミネート部を有するラミネート装置におい
て、前記上部真空容器には伸縮性シートの下面に支持シ
ートが設けられ、この支持シートは少なくとも伸縮性シ
ートの自重に抗して伸縮性シートを支持し、両真空室に
圧力差がないとき伸縮性シートは被ラミネート体を加熱
機構に押しつけないように張架されていることとする。
【００１０】前記支持シートは両端部をそれぞれ支持軸
に固定されて張架されており、これらの支持軸を回転手
段により回転させて、支持シートの張り具合が調節され
ると良い。前記支持シートは両端部を弾性体により張力
を懸けて支持されていると良い。前記伸縮性シートの内
側には上部真空容器内には前記加熱機構の上面に対面す
る下面を有する冷却体が設けられており、上部真空容器
内が負圧のとき伸縮性シートは冷却体の下面に押しつけ
られると良い。
に固定されて張架されており、これらの支持軸を回転手
段により回転させて、支持シートの張り具合が調節され
ると良い。前記支持シートは両端部を弾性体により張力
を懸けて支持されていると良い。前記伸縮性シートの内
側には上部真空容器内には前記加熱機構の上面に対面す
る下面を有する冷却体が設けられており、上部真空容器
内が負圧のとき伸縮性シートは冷却体の下面に押しつけ
られると良い。
【００１１】前記冷却体には貫通孔が開けられており、
冷却体と伸縮性シートとの間の排気が容易に行えると良
い。
冷却体と伸縮性シートとの間の排気が容易に行えると良
い。
【００１２】
【発明の実施の形態】実施例１ 図１は本発明に係る実施例のラミネート装置の真空容器
の開放状態を示す搬送方向に垂直な面での断面図であ
る。先ず図１に基づきラミネート装置の真空容器の構造
について説明する。上部真空容器２にはシリコーンゴム
などの伸縮性シート７が張架され上部真空室９の下隔壁
をなしており、上部真空室９の内部には、冷却媒体が流
れる冷却機構１２が取り付けられ、貫通孔が多数開けら
れた冷却板１１が備えられている。上部真空室９は制御
弁１４を介して真空ポンプ１６と接続されている。伸縮
性シート７の全周は上部真空室９内の気密を保つよう上
部真空容器２に全周固定してあり、冷却板１１に開けら
れた多数の穴１１ａを通じて上部真空室９内が減圧また
は真空状態にされて外部に対して負圧にされたとき、伸
縮性シート７は冷却板１１と面密着でき、強制的に冷却
されることができる。
の開放状態を示す搬送方向に垂直な面での断面図であ
る。先ず図１に基づきラミネート装置の真空容器の構造
について説明する。上部真空容器２にはシリコーンゴム
などの伸縮性シート７が張架され上部真空室９の下隔壁
をなしており、上部真空室９の内部には、冷却媒体が流
れる冷却機構１２が取り付けられ、貫通孔が多数開けら
れた冷却板１１が備えられている。上部真空室９は制御
弁１４を介して真空ポンプ１６と接続されている。伸縮
性シート７の全周は上部真空室９内の気密を保つよう上
部真空容器２に全周固定してあり、冷却板１１に開けら
れた多数の穴１１ａを通じて上部真空室９内が減圧また
は真空状態にされて外部に対して負圧にされたとき、伸
縮性シート７は冷却板１１と面密着でき、強制的に冷却
されることができる。
【００１３】上部真空室９の搬送方向に沿った両側には
支持軸３６を設けてある。上部真空容器２の外部から個
々に図示していないモータの駆動力をシールを貫通して
導入して正転あるいは逆転させる。この支持軸３６にポ
リテトラフルオロエチレン含浸ガラスクロス等の支持シ
ート３４の両端を巻き付け、相互の支持軸３６を反対方
向に同期回転させ、被ラミネート体２４中心を基準に巻
き上げ下げを均等に行う。上部真空容器２の周囲にはＯ
リング４が取付けられており、真空容器閉状態では下部
真空容器１のＯリング３に合致し、下部真空室８の気密
を保つ。
支持軸３６を設けてある。上部真空容器２の外部から個
々に図示していないモータの駆動力をシールを貫通して
導入して正転あるいは逆転させる。この支持軸３６にポ
リテトラフルオロエチレン含浸ガラスクロス等の支持シ
ート３４の両端を巻き付け、相互の支持軸３６を反対方
向に同期回転させ、被ラミネート体２４中心を基準に巻
き上げ下げを均等に行う。上部真空容器２の周囲にはＯ
リング４が取付けられており、真空容器閉状態では下部
真空容器１のＯリング３に合致し、下部真空室８の気密
を保つ。
【００１４】図２は本発明に係る実施例のラミネート装
置の真空容器（図１）を閉じ脱気している状態を示す搬
送方向に垂直な面での断面図である。被ラミネート体で
ある被ラミネート体２４内を脱気している状態を説明す
る。開閉機構１０により上部真空容器２を下降させ、下
部真空室８と上部真空室９を構成する。下部真空室８と
上部真空室９はそれぞれ制御弁１４と制御弁１５を介し
て真空ポンプ１６に接続されており、各室を真空状態に
することにより被ラミネート体２４の重ね合わせ内部を
脱気できる。このとき下部真空室８と上部真空室９の圧
力差がなくなるため、従来の装置では伸縮シート７が自
重により下方に垂れ、被ラミネート体２４に接するが、
本実施例では支持シート３４の両端を支持軸３６に巻き
付け、巻き上げた状態で伸縮シート７を支持することに
より脱気中、伸縮シート７が被ラミネート体２４に接し
ないため、継続して冷却板１１により冷却することがで
きる。
置の真空容器（図１）を閉じ脱気している状態を示す搬
送方向に垂直な面での断面図である。被ラミネート体で
ある被ラミネート体２４内を脱気している状態を説明す
る。開閉機構１０により上部真空容器２を下降させ、下
部真空室８と上部真空室９を構成する。下部真空室８と
上部真空室９はそれぞれ制御弁１４と制御弁１５を介し
て真空ポンプ１６に接続されており、各室を真空状態に
することにより被ラミネート体２４の重ね合わせ内部を
脱気できる。このとき下部真空室８と上部真空室９の圧
力差がなくなるため、従来の装置では伸縮シート７が自
重により下方に垂れ、被ラミネート体２４に接するが、
本実施例では支持シート３４の両端を支持軸３６に巻き
付け、巻き上げた状態で伸縮シート７を支持することに
より脱気中、伸縮シート７が被ラミネート体２４に接し
ないため、継続して冷却板１１により冷却することがで
きる。
【００１５】図３は本発明に係る実施例のラミネート装
置の真空容器（図１）内で支持シートを繰出し、被ラミ
ネート体に載せ伸縮性シートにより加圧した状態を示す
搬送方向に垂直な面での断面図である。支持シートを繰
出し、伸縮シートによって被ラミネート体を加圧してい
る状態を説明する。被ラミネート体２４の重ね合わせ内
部を十分脱気した後、支持シート３４を繰出し下げる方
向に支持軸３６を回転し、被ラミネート体２４上に載せ
る。伸縮シート７は下部真空室８と上部真空室９の圧力
差がないため、重力により支持シート３４と一緒に下方
に変位する。制御弁１５を切り換えて上部真空室９内を
大気状態にし、下部真空室８と上部真空室９の圧力差に
より被ラミネート体２４と共に伸縮性シート７を下方の
熱板５に押し付け、支持シートと熱板５上の支持シート
３４を介して伸縮性シート７により被ラミネート体２４
を挟み込んで加圧する。この状態で所定の時間だけラミ
ネートを行い、制御弁１４を切り換え下部真空室８内を
大気状態にする。後に制御弁１５切り換え上部真空室９
を真空状態にし、冷却板１１に伸縮シート７を密着さ
せ、支持軸３６を回転し支持シート３４を基の位置迄巻
き上げた後、開閉機構１０により上部真空容器２を上昇
させ、ラミネートされた被ラミネート体２４を送りだ
す。
置の真空容器（図１）内で支持シートを繰出し、被ラミ
ネート体に載せ伸縮性シートにより加圧した状態を示す
搬送方向に垂直な面での断面図である。支持シートを繰
出し、伸縮シートによって被ラミネート体を加圧してい
る状態を説明する。被ラミネート体２４の重ね合わせ内
部を十分脱気した後、支持シート３４を繰出し下げる方
向に支持軸３６を回転し、被ラミネート体２４上に載せ
る。伸縮シート７は下部真空室８と上部真空室９の圧力
差がないため、重力により支持シート３４と一緒に下方
に変位する。制御弁１５を切り換えて上部真空室９内を
大気状態にし、下部真空室８と上部真空室９の圧力差に
より被ラミネート体２４と共に伸縮性シート７を下方の
熱板５に押し付け、支持シートと熱板５上の支持シート
３４を介して伸縮性シート７により被ラミネート体２４
を挟み込んで加圧する。この状態で所定の時間だけラミ
ネートを行い、制御弁１４を切り換え下部真空室８内を
大気状態にする。後に制御弁１５切り換え上部真空室９
を真空状態にし、冷却板１１に伸縮シート７を密着さ
せ、支持軸３６を回転し支持シート３４を基の位置迄巻
き上げた後、開閉機構１０により上部真空容器２を上昇
させ、ラミネートされた被ラミネート体２４を送りだ
す。
【００１６】搬送しているモジュールは前回のラミネー
ト範囲と現在の有効架橋領域が重複するように、有効架
橋領域長さより短い搬送ピッチでステップ搬送して、有
効架橋領域から前回ラミネート範囲が外れない位置で停
止させる。 実施例２ 図４は本発明に係る他の実施例のラミネート装置の断面
図である。
ト範囲と現在の有効架橋領域が重複するように、有効架
橋領域長さより短い搬送ピッチでステップ搬送して、有
効架橋領域から前回ラミネート範囲が外れない位置で停
止させる。 実施例２ 図４は本発明に係る他の実施例のラミネート装置の断面
図である。
【００１７】この実施例では、支持シート３４をばねま
たはゴム紐（またはゴムシート）等の弾性体３７により
張力を懸けて支持したものである。上部真空室９と下部
真空室８の圧力差がないか小さいときには支持シート３
４は伸縮シート７の自重による垂れ下がりを防止し、圧
力差が大きいときは伸縮シート７の変位に追従すること
ができる。
たはゴム紐（またはゴムシート）等の弾性体３７により
張力を懸けて支持したものである。上部真空室９と下部
真空室８の圧力差がないか小さいときには支持シート３
４は伸縮シート７の自重による垂れ下がりを防止し、圧
力差が大きいときは伸縮シート７の変位に追従すること
ができる。
【００１８】ラミネート方法およびその効果は実施例１
のラミネート装置と同じであり説明を省略するが、ラミ
ネート毎に支持体シートの巻き上げや繰り出しを行う必
要はなくなり、さらにラミネートは簡便化した。
のラミネート装置と同じであり説明を省略するが、ラミ
ネート毎に支持体シートの巻き上げや繰り出しを行う必
要はなくなり、さらにラミネートは簡便化した。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、上面が平面である加熱
機構が内部に設けられた下部真空容器と、加熱機構の上
面に対面するように伸縮性シートが張架され上部真空容
器とを有し、両真空容器を閉じたとき伸縮性シートを隔
壁として下部真空室が構成され、下部真空室内で加熱機
構と伸縮性シートの間に被ラミネート体を挟み、被ラミ
ネート体の脱気、および加圧加熱することによるラミネ
ートを行うラミネート部を有するラミネート装置におい
て、前記上部真空容器には伸縮性シートの下面に支持シ
ートが設けられ、この支持シートは少なくとも伸縮性シ
ートの自重に抗して伸縮性シートを支持し、圧力差がな
いとき伸縮性シートは被ラミネート体を加熱機構に押し
つけないように張架されているようにしたため、上部真
空室と下部真空室の圧力差がなく、伸縮シートの位置を
保持する力がない状態でも支持シートが伸縮シートの位
置を保持するため、熱を持つ伸縮シートが脱気中、被ラ
ミネート体に接触せず加圧、加熱前の材料状態を一定に
保つことができる。
機構が内部に設けられた下部真空容器と、加熱機構の上
面に対面するように伸縮性シートが張架され上部真空容
器とを有し、両真空容器を閉じたとき伸縮性シートを隔
壁として下部真空室が構成され、下部真空室内で加熱機
構と伸縮性シートの間に被ラミネート体を挟み、被ラミ
ネート体の脱気、および加圧加熱することによるラミネ
ートを行うラミネート部を有するラミネート装置におい
て、前記上部真空容器には伸縮性シートの下面に支持シ
ートが設けられ、この支持シートは少なくとも伸縮性シ
ートの自重に抗して伸縮性シートを支持し、圧力差がな
いとき伸縮性シートは被ラミネート体を加熱機構に押し
つけないように張架されているようにしたため、上部真
空室と下部真空室の圧力差がなく、伸縮シートの位置を
保持する力がない状態でも支持シートが伸縮シートの位
置を保持するため、熱を持つ伸縮シートが脱気中、被ラ
ミネート体に接触せず加圧、加熱前の材料状態を一定に
保つことができる。
【００２０】さらに、伸縮性シートの内側には上部真空
容器内には前記加熱機構の上面に対面する下面を有する
冷却体が設けられており、上部真空容器内が負圧のとき
伸縮性シートは冷却体の下面に押しつけられるようにし
たため、加圧前および脱気中に伸縮シートおよび支持シ
ートを冷却でき、脱気中および加圧前の被ラミネート体
への熱の伝達が極めて少なくなり、加圧前に被ラミネー
ト体が加熱されてしまうという問題が無くなり、良質な
ラミネートを効率よく行なうことができる。
容器内には前記加熱機構の上面に対面する下面を有する
冷却体が設けられており、上部真空容器内が負圧のとき
伸縮性シートは冷却体の下面に押しつけられるようにし
たため、加圧前および脱気中に伸縮シートおよび支持シ
ートを冷却でき、脱気中および加圧前の被ラミネート体
への熱の伝達が極めて少なくなり、加圧前に被ラミネー
ト体が加熱されてしまうという問題が無くなり、良質な
ラミネートを効率よく行なうことができる。
【図１】本発明に係る実施例のラミネート装置の真空容
器の開放状態を示す搬送方向に垂直な面での断面図であ
る。
器の開放状態を示す搬送方向に垂直な面での断面図であ
る。
【図２】本発明に係る実施例のラミネート装置の真空容
器（図１）を閉じ脱気している状態を示す搬送方向に垂
直な面での断面図である。
器（図１）を閉じ脱気している状態を示す搬送方向に垂
直な面での断面図である。
【図３】本発明に係る実施例のラミネート装置の真空容
器（図１）内で支持シートを繰出し、被ラミネート体に
載せ伸縮性シートにより加圧した状態を示す搬送方向に
垂直な面での断面図である。
器（図１）内で支持シートを繰出し、被ラミネート体に
載せ伸縮性シートにより加圧した状態を示す搬送方向に
垂直な面での断面図である。
【図４】本発明に係る他の実施例のラミネート装置の搬
送方向に垂直な面での断面図である。
送方向に垂直な面での断面図である。
【図５】従来のラミネート装置を示し、（ａ）は搬送方
向に沿っての断面図であり、（ｂ）は搬送方向に垂直な
面での断面図である。
向に沿っての断面図であり、（ｂ）は搬送方向に垂直な
面での断面図である。
１ 下部真空容器 ２ 上部真空容器 ３ Ｏリング ４ Ｏリング ５ 熱板 ５ａ 加熱ヒータ ６ 断熱部材 ７ 伸縮シート ８ 下部真空室 ９ 上部真空室 １０ 開閉機構 １１ 冷却板 １１ａ 穴 １２ 冷却機構 １４ 制御弁 １５ 制御弁 １６ 真空ポンプ ２１ 送り出しロール ２２ 送り出しロール ２３ 送り出しロール ２４ 被ラミネート体 ２４ａ 封止シート ２４ｂ 薄膜光電変換セル ２４ｃ 導電テープ ２４ｄ 封止シート ２４ｍ モジュール ２５ａ プレスロール ２５ｂ プレスロール ２７ 巻き取りロール ２８ 塔載位置 ２９ 搬送方向 ３０ 前回のラミネート範囲 ３１ 熱反応領域 ３３ 搬送ピッチ ３４ 支持シート ３６ 支持軸 ３７ 弾性体
Claims (5)
- 【請求項１】上面が平面である加熱機構が内部に設けら
れた下部真空容器と、加熱機構の上面に対面するように
伸縮性シートが張架され、内部が上部真空容室となる上
部真空容器とを有し、両真空容器を閉じたとき伸縮性シ
ートを隔壁として下部真空室が構成され、下部真空室内
で加熱機構と伸縮性シートの間に被ラミネート体を挟
み、被ラミネート体の脱気、および加圧加熱することに
よるラミネートを行うラミネート部を有するラミネート
装置において、前記上部真空容器には伸縮性シートの下
面に支持シートが設けられ、この支持シートは少なくと
も伸縮性シートの自重に抗して伸縮性シートを支持し、
両真空室に圧力差がないとき伸縮性シートは被ラミネー
ト体を加熱機構に押しつけないように張架されているこ
とを特徴とするラミネート装置。 - 【請求項２】前記支持シートは両端部をそれぞれ支持軸
に固定されて張架されており、これらの支持軸を回転手
段により回転させて、支持シートの張り具合が調節され
ることを特徴とする請求項１に記載のラミネート装置。 - 【請求項３】前記支持シートは両端部を弾性体により張
力を懸けて支持されていることを特徴とする請求項１に
記載のラミネート装置。 - 【請求項４】前記伸縮性シートの内側には上部真空容器
内には前記加熱機構の上面に対面する下面を有する冷却
体が設けられており、上部真空容器内が負圧のとき伸縮
性シートは冷却体の下面に押しつけられることを特徴と
する請求項１ないし３に記載のラミネート装置。 - 【請求項５】前記冷却体には貫通孔が開けられており、
冷却体と伸縮性シートとの間の排気が容易に行えること
を特徴とする請求項４に記載のラミネート装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18653198A JP3543626B2 (ja) | 1998-07-01 | 1998-07-01 | ラミネート装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18653198A JP3543626B2 (ja) | 1998-07-01 | 1998-07-01 | ラミネート装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000015696A true JP2000015696A (ja) | 2000-01-18 |
| JP3543626B2 JP3543626B2 (ja) | 2004-07-14 |
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ID=16190133
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18653198A Expired - Fee Related JP3543626B2 (ja) | 1998-07-01 | 1998-07-01 | ラミネート装置 |
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| JP (1) | JP3543626B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1998
- 1998-07-01 JP JP18653198A patent/JP3543626B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP3543626B2 (ja) | 2004-07-14 |
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