KR100804616B1 - 오토클레이브에 의한 처리방법 및 장치 - Google Patents
오토클레이브에 의한 처리방법 및 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (6)
- 처리하고자 하는 기판제품을 반송라인(1)에 의하여 반송하고 상기 반송라인(1)으로부터 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 본체(3)에 처리하고자 하는 기판제품(4)을 로딩하고 본체(3)의 내부에서 처리작업을 수행한 다음에 처리가 완료된 기판제품(4)을 상기 로딩/언로딩기구(2)에 의하여 본체(3)로부터 인출하여 상기 반송라인(1)으로 언로딩하도록 이루어지고, 양측 지지대(5,5)에 수평으로 설치되고 외부구동원(6)에 의하여 회전구동되는 수평중심축(7)과, 상기 수평중심축(7)의 외주연에 마련 설치되는 본체(3)와, 그리고 상기 본체(3)의 외측에 상기 수평중심축(7)을 중심으로 일정 각도마다 방사상으로 다수의 유니트챔버(8)를 설치하여 구성되는 적어도 하나의 챔버군(C)을 포함하여 이루어지는 통상의 오토클레이브에 의한 처리장치에 있어서,상기 본체(3)에는 상기 챔버군(C)이 설치되는 부위 이외에 유틸리티부(30)가 마련되고 이 유틸리티부(30)에는 기판제품(4)에 대하여 오토클레이브에 의한 처리를 수행하기 위하여 필요로 하는 압축공기탱크, 진공탱크 및 가열수단이 마련되고,외부로부터는 회전조인트(Rotatable Joint)에 의하여 수평중심축(7)을 통하여 연결 설치되고 외부 전원은 수평중심축(7)에 마련된 브러시(70)를 경유하여 본체(3)의 내부로 공급되게 구성되고,상기 유니트챔버(8)는 상기 본체(3)에 설치되는 챔버군(C)을 구성하도록 일정 각도마다 설치되어 마련되어지되, 상기 유니트챔버(8)는 상부 고정부재(8a)와 하부 가동부재(8b)가 서로 한 쌍을 이루어 구성되고,상기 하부 가동부재(8b)의 상부에는 스펀지를 포함하는 쿠션부재(92)를 미리 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
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- 제1항에 있어서,상기 상부 고정부재(8a)는 내측에 히터(80)가 고정 설치되고 일측에는 가압공기 유입부(82)가 마련되며 외곽하부에는 기밀유지부재(84)가 설치되어 이루어지고,상기 하부 가동부재(8b)는 내측에 가압히터(86)가 저부의 가압기구(88)에 의하여 왕복이 가능하게 설치되고 상기 하부 가동부재(8b) 전체는 양측에 설치된 공압실린더를 포함한 구동기구(90)에 의하여 전, 후진 작동이 가능하게 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
- 제1항 또는 제3항에 있어서,상기 상부 고정부재(8a) 및 상기 하부 가동부재(8b)에 히터를 일체로 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
- 제1항에 있어서,상기 챔버군(C)은 상기 수평중심축(7)의 축방향으로 복수의 다단 형태로 구성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리장치.
- 가열 및 가압공정을 포함하는 처리작업용 기판제품(4)의 로딩단계, 가열 및 가압공정이 이루어지는 처리단계, 그리고 처리가 이루어진 기판제품(4)의 언로딩단계를 거쳐 처리작업이 수행되도록 하되,수평중심축(7)을 중심으로 각도회전이 가능하게 본체(3)를 구성하고 상기 본체(3)의 내측엔 수평중심축(7)을 중심으로 일정 각도마다 방사상으로 설치되고 가열 및 가압작동되는 각각의 유니트챔버(8)를 다수 마련하고 본체(3)와 인접되게 별도의 반송라인(1)을 구성하여,상기 반송라인(1)에서 반송되는 처리용 기판제품(4)을 하부의 유니트챔버(8) 내부에 로딩하는 로딩단계와,상기 본체(3)를 수평중심축(7)을 중심으로 각도회전시키고 초기위치에 이르기까지 유니트챔버(8) 내부의 처리용 기판제품(4)에 대하여 계속적으로 처리작업이 이루어지는 처리단계와, 그리고상기 처리단계에서 처리작업이 완료된 기판제품(4)에 해당하는 유니트챔버(8)가 초기위치에 이르게 되면 처리가 완료된 기판제품(4)을 반송라인(1)에 언로딩하여 배출시키는 언로딩단계를 포함하고,상기 언로딩단계에서 언로딩이 이루어진 유니트챔버(8)엔 처리용 기판제품(4)을 다시 로딩하는 로딩단계가 순차적으로 이루어지고, 상기 로딩단계, 상기 처리단계 및 상기 언로딩단계가 반복 및 순차적으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토클레이브에 의한 처리방법.
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