KR101260952B1

KR101260952B1 - 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법

Info

Publication number: KR101260952B1
Application number: KR1020120114450A
Authority: KR
Inventors: 류성욱
Original assignee: (주)포시스
Priority date: 2012-10-15
Filing date: 2012-10-15
Publication date: 2013-05-06
Also published as: WO2014061900A1; CN103889566A; CN103889566B

Abstract

본 발명은 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법에 관한 것으로서, 가압하려는 기판을 안착한 플레이트의 구동 시 상기 플레이트에 끼움 된 패킹의 에어 홈으로 에어를 유입시켜 상기 기판에 대해 가압하는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법에 관한 것으로서, 기판이 안착되는 플레이트의 상측 외주에 형성된 끼움 홈에 패킹을 끼움 하되 상기 패킹의 하부가 개방되어 있어 에어 홈을 형성시키게 되고, 상기 에어 홈으로 에어가 주입되어 상기 플레이트를 하강시키도록 하여 플레이트에 안착된 기판을 가압할 수 있는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법을 제공함에 주안점을 두어 가압하려는 기판이 안착된 플레이트를 밀 착 시 상기 플레이트를 상승, 하강시키는 구동부가 필요하지 않아 그 구조와 구성을 간단히 하였으며, 그로 인해 상기 플레이트에 가해지는 내구성을 장기간 유지시킬 수 있게 되어 오토클레이브장치에 대한 수명을 연장할 수 있는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법이라 하겠다.

Description

에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법{Plate using air to drive the autoclave device, using the device and method of driving}

본 발명은 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법에 관한 것으로서, 가압하려는 기판을 안착한 플레이트의 구동 시 상기 플레이트에 끼움 된 패킹의 에어 홈으로 에어를 유입시켜 상기 기판에 대해 가압하는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법에 관한 것이다.

근래에 들어 컴퓨터의 모니터나 텔레비전의 모니터, 혹은 휴대전화기, 카메라, 전자계산기 등의 액정으로 널리 사용되고 있는 것에 LCD(Liquid Crystal Display) 기판이 있다. LCD 기판은 응답속도가 느리고 상대적으로 고가라는 단점을 가지고 있기는 하지만, 반도체 공정에 의해 생산되기 때문에 해상도 면에선 PDP(Plasma Display Panel) 기판보다 유리한 특성을 가지고 있다.

이러한 LCD기판은, 내부에 액정(Liquid Crystal)이 주입된 상태에서 상호 부분적으로 면 배치되는 상부 및 하부 글라스와, 상부 및 하부 글라스의 외측면에 각각 결합되는 상부 및 하부 편광판(Polarizer Film)으로 이루어져 있다.

칼라의 화상을 형성하는 상부 글라스(Color Filter Glass)는 하부 글라스(TFT Panel)에 비해 그 면적이 작게 형성된다. 상부 글라스가 중첩되지 않은 하부 글라스의 상면에는 소정의 IC칩이 실장되어 있으며, IC칩에는 FPC(Flexible Printed Circuit)가 연결되어 있다.

통상적으로, 상부 및 하부 글라스가 상호 접착된 후에는, 앞서 기술한 상부 및 하부 편광판이 부착되어 광학적인 특성을 부여하게 된다. 편광판들은 보통, 박막의 필름 형태를 가지며, 소위, 편광판 부착장치에 의해 상부 및 하부글라스의 해당 면에 부착(접착)된다.

한편, 편광판 부착장치에 의해 편광판들이 글라스의 해당 면에 접착될 경우, 들뜨지 않도록 완전히 면접착되어야 한다. 그렇지 않고, 글라스(이하, 기판이라 함)와 편광판 사이에 들뜬 부위(기포)가 발생하게 되면, 원하는 광학적인 특성을 부여할 수 없다.

이에, 통상적으로는 편광판 부착장치를 통해 기판에 편광판이 부착되고 나면, 기판과 편광판 사이에 잔존 가능한 기포를 제거하는 작업이 진행된다. 이러한 작업은 소위, 오토클레이브(Autoclave)라 불리는 장치를 통해 행해지며, 보통은 기판에 부착된 편광판의 들뜬 부위(기포)에 고온, 고압을 형성함으로써 기포를 제거하는 방식을 취한다.

이에 일반적으로 사용되는 종래기술들을 살펴보면,

등록번호 10-1139595호는 ‘오토클레이브장치’에 관한 것으로서, 내부에 충분한 내압설치공간을 갖도록 고강도의 상부프레임, 고강도의 하부프레임, 고강도의 좌측프레임 및 고강도의 우측프레임을 서로 고정 설치하고, 상기 내압설치공간엔 상부의 마감부재와 하부의 오토클레이브유니트가 서로 한 쌍을 이룬 오토클레이브세트를 복층으로 구성하고 상기 오토클레이브세트의 내측엔 처리공간을 마련하고 서로 마주하여 접하게 되는 가장자리부위엔 시일부재가 설치되며, 상기 내압설치공간의 내부로서 상기 오토클레이브유니트의 하부 위치엔 상기 오토클레이브유니트를 승, 하강시키기 위한 시일가압기구를 설치하여 이루어지되, 상기 마감부재의 내측엔 제 1가열기구 및 가압기구가 각각 마련되고 상기 오토클레이브유니트엔 제 2가열기구와 컨베이어를 마련하여 이루어지고, 상기 시일가압기구는 본체의 내측 설치공간엔 하부에 설치된 다이아프램에 의하여 가이드를 타고 승, 하강이 이루어지는 승하강부재를 내장 설치하여 이루어지는 것을 나타내고 있다.

등록번호 10-1119792호는 ‘오토클레이브 장치’에 관한 것으로서, 개폐작동과 함께 가열 및 가압처리가 가능하도록 이루어지는 처리부와, 상기 처리부의 일 측에 위치하고 처리하고자 하는 기판제품을 상기 처리부에 로딩시키기 위하여 마련되는 로딩부와, 그리고 상기 처리부에서 가압 및 가열처리가 이루어진 다음 처리된 기판제품을 외부로 언로딩시키기 위하여 마련되는 언로딩부를 갖추어 이루어지는 통상의 오토클레이브 장치에 있어서, 오토클레이브는 상기 처리부엔 처리작업이 이루어지는 처리공간을 마련하고, 상기 처리공간과 인접된 부위엔 가열수단을 설치하고, 상기 처리공간과 서로 통하도록 가압수단을 마련하되, 상기 가압수단은 상기 처리공간과 서로 통하여 통과라인과 상기 통과라인과 연결 설치되는 기체가압기구의 결합된 형태로 이루어지며, 상기 처리부엔 처리작업 시에 상기 처리공간과 외부가 서로 기밀유지가 이루어지도록 별도의 밀폐수단을 마련하여 이루어지는 것을 나타내고 있다.

등록번호 10-1032248호는 ‘오토클레이브 장치’에 관한 것으로서, 상부 고정부재와 하부 시일가압부재와의 사이에 오토클레이브유니트를 설치하되, 상기 상부 고정부재엔 가열기구 및 가압기구를 각각 내장 설치하고, 상기 하부 시일가압부재는 외측 실린더의 내부에 가압플런저부재를 밀착 설치하여 구성되며, 상기 오토클레이브유니트는 가이드 내측에서 슬라이드 이동이 가능하게 설치되어지되 본체의 상부 내측엔 상부가 개방된 처리공간이 형성되고 상기 본체의 내측엔 가열기구 및 가압기구를 내장 설치하며 상기 처리공간의 외주연에 기밀유지부재를 각각 설치하여 이루어지는 것을 나타내고 있다.

상기한 종래의 오토클레이브장치는 통상적으로 기판에 잔존하는 기포를 제거하는 방법에 대해서는 다양하게 나와 있지만, 가압하려는 기판이 안착된 플레이트를 밀폐하기 위하여 상기 플레이트의 하부에 구동부를 구성하여 상기 구동부에 구성된 실린더 및 캠 등을 이용하여 상기 플레이트를 상승시키도록 구성되어 있으며, 이는 플레이트의 상승 시 밀착되는 부분에 대한 상기 플레이트의 내구력을 저하시키는 요인이 되었다. 이로 인해 플레이트를 교체해야 하는 번거로움과 기타 부가적인 유지비용이 발생되었다.

본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출해낸 것으로서 기판이 안착되는 플레이트의 상측 외주에 형성된 끼움 홈에 패킹을 끼움 하되 상기 패킹의 하부가 개방되어 있어 에어 홈을 형성시키게 되고, 상기 에어 홈으로 에어가 주입되어 상기 플레이트를 하강시키도록 하여 플레이트에 안착된 기판을 가압할 수 있는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법을 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로서 완성해낸 것이다.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따르면, 상부지지대와 하부지지대를 잇는 측면지지대가 연결 구성되되 상기 상, 하부지지대 사이에 공간부가 형성된 본체와, 상기 본체의 공간부로 이송레일을 타며 인입, 인출되되 가압하려는 기판이 안착되는 플레이트로 구성되어 상기 본체 내부에 구성된 가압장치를 이용하여 상기 기판을 가압하되, 상기 하부지지대의 상면에는 상기 플레이트와 일정 간격 이격된 블록고정대가 구성되고, 상기 플레이트의 상측에 형성된 끼움 홈에 패킹이 끼움 되되 상기 패킹의 하부가 개방되어 에어가 주입되는 에어 홈을 형성시키고, 상기 에어 홈의 하측에는 상기 에어 홈으로 에어를 유입, 유출시키는 에어주입구가 형성되며, 상기 이송레일의 브라켓과 연결되는 플레이트의 외측에는 상기 플레이트와 브라켓을 연결하는 연결 핀과, 상기 연결 핀과 브라켓 사이에 위치되어 상기 에어주입구로 유입된 에어로 하강된 플레이트의 위치를 상승시키는 스프링이 구성되어, 에어주입구를 통해 상기 플레이트의 상측 끼움 홈에 끼움 된 패킹의 에어 홈으로 에어를 유입시켜 상기 패킹을 끼움 홈에서 이탈되지 않도록 상승시키고, 계속 유입되는 에어의 압력으로 플레이트를 하강시켜 블록고정대에 지지시켜 상기 플레이트를 구동시키고, 에어 홈의 에어를 유출시켜 패킹이 끼움 홈에 끼움 되고, 하강된 플레이트를 스프링의 완충작용으로 상승시키도록 구동시키는 것을 제공함으로서 그 과제를 해결하고자 한다.

본 발명에 따른 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법에 의하면, 가압하려는 기판이 안착된 플레이트를 밀 착 시 상기 플레이트를 상승, 하강시키는 구동부가 필요하지 않아 그 구조와 구성을 간단히 하였으며, 그로 인해 상기 플레이트에 가해지는 내구성을 장기간 유지시킬 수 있게 되어 오토클레이브장치에 대한 수명을 연장할 수 있는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법이라 하겠다.

도 1은 본 발명을 적용한 오토클레이브장치를 나타내는 정면도
도 2는 본 발명을 적용한 오토클레이브장치를 나타내는 평면도
도 3은 본 발명의 핵심구성을 나타내는 정면도
도 4는 도 3의 A에 대한 확대를 나타내는 정면도
도 5는 본 발명의 작동 중 패킹의 상승을 나타내는 정면도와 확대도
도 6은 본 발명의 작동 중 상승된 패킹에서 플레이트의 하강을 나타내는 정면도와 확대도
도 7은 본 발명의 핵심구성에 대한 작동을 나타내는 작동상태도
도 8은 본 발명의 구성 중 패킹의 다른 실시 예를 나타내는 정단면도

본 발명인 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치의 구성을 도 1 내지 도 7을 참고로 설명하면,

상부지지대와 하부지지대를 잇는 측면지지대가 연결 구성되되 상기 상, 하부지지대 사이에 공간부가 형성된 본체와, 상기 본체의 공간부로 이송레일을 타며 인입, 인출되되 가압하려는 기판이 안착되는 플레이트로 구성되어 상기 본체 내부에 구성된 가압장치를 이용하여 상기 기판을 가압하는 오토클레이브장치에 있어서, 상기 하부지지대의 상면에는 상기 플레이트와 일정 간격 이격된 블록고정대(400)가 구성되고, 상기 플레이트(300)의 상측에 형성된 끼움 홈(310)에 패킹(500)이 끼움 되되 상기 패킹(500)의 하부가 개방되어 에어가 주입되는 에어 홈(510)을 형성시키고, 상기 에어 홈(510)의 하측에는 상기 에어 홈(510)으로 에어를 유입, 유출시키는 에어주입구(320)가 형성되며, 상기 이송레일(200)의 브라켓(330)과 연결되는 플레이트(300)의 외측에는 상기 플레이트(300)와 브라켓(330)을 연결하는 연결 핀(340)과, 상기 연결 핀(340)과 브라켓(330) 사이에 위치되어 상기 에어주입구(320)로 유입된 에어로 하강된 플레이트(300)의 위치를 상승시키는 스프링(341)이 구성된다.

상기 본 발명을 적용한 오토클레이브장치(10)의 구성에 대해 도 1 내지 도 8을 참고로 보다 상세히 설명하면,

우선, 상부지지대(110)와 하부지지대(120)를 잇는 측면지지대(130)가 연결되어 내부에 공간부(140)를 형성하는 본체(100)가 구성된다.

본체(100)가 구성되면, 상기 공간부(140)로 인입, 인출되는 이송레일(200)이 구성되고, 상기 이송레일(200)에 연결되어 가압하려는 기판(600)을 안착한 플레이트(300)가 구성된다.

상기한 구성은 일반적으로 사용되는 오토클레이브장치(10)로서 간략 설명한다.

상기 플레이트(300)의 상부면 외주로는 끼움 홈(310)이 형성되어 있고, 상기 끼움 홈(310)으로 패킹(500)이 끼움 된다.

또한, 상기 플레이트(300)의 상부면 내주에는 가압하려는 기판이 안착되도록 일정 깊이의 홈이 형성되어 있으며, 이에 대한 설명은 일반적으로 사용되는 것으로서 생략한다.

상기 끼움 홈(310)에 끼움 되는 패킹(500)은 상기 끼움 홈(310)에 끼움 시 하부가 개방된 형상이며, 개방된 하부로 인해 상기 끼움 홈(310)의 바닥면과 개방된 하부로 에어 홈(510)이 형성된다.

이에 대해 상기 패킹(500)은 도 8에 도시된 바와 같이 개방되지 않은 부분에 홈(511)을 형성시킬 수도 있는데, 이는 에어의 압력으로 패킹(500)이 상승 시 개방되지 않은 부분에 형성된 홈(511)으로 인해 상기 패킹(500)이 다단으로 되도록 하여 밀폐력을 높인 것이다.

상기 플레이트(300)의 끼움 홈(310)이 형성된 하측에는 일정 부분에 상기 에어 홈(510)으로 에어의 유입, 유출하는 에어주입구(320)가 형성되어 있다.

이는 상기 끼움 홈(310)에 끼움 된 패킹(500)을 상측 방향으로 상승시키기 위한 것이며, 또한, 에어주입구(320)를 통해 유입되는 에어로 인해 상기 플레이트(300)를 하강시킬 수도 있도록 하였다.

이에 대해 보다 상세히 설명하면,

상기 플레이트(300)에 형성된 에어주입구(320)를 통해 에어를 주입하면, 상기 에어 홈(510)으로 에어가 유입되고, 유입된 에어의 압력으로 인해 패킹(500)은 끼움 홈(310)의 개방된 방향인 상측 방향으로 상승하고, 상승된 패킹(500)은 상부지지대(110)의 하부면과 닿게 된다.

상기 패킹(500)이 하부면과 닿게 된 후 상기 에어주입구(320)를 통해 에어를 주입 시 에어의 압력으로 플레이트(300)가 하강하게 되고, 하강되는 플레이트(300)는 상기 플레이트(300)와 일정 간격 이격되어 하부지지대(120)의 상면에 구성된 블록고정대(400)까지 하강하게 되어 상기 플레이트(300)의 내부를 밀착시켜 가압이 이루어진다.

상기한 블록고정대(400)는 상기 하부지지대(120)의 상측에 하나 이상 다수개 구성될 수 있으며, 이는 플레이트(300)의 지지에 따라 다양하게 구성할 수 있다.

상기 플레이트(300)와 연결되는 이송레일(200)에는 브라켓(330)이 구비되어 상기 플레이트(300)와 이송레일(200)을 연결하는데, 상기 플레이트(300)와 브라켓(330)을 연결하는 연결 핀(340)과, 상기 연결 핀(340)과 브라켓(330) 사이에 위치되어 상기 에어주입구(320)로 유입된 에어로 하강된 플레이트(300)의 위치를 상승시키는 스프링(341)이 구성된다.

상기한 스프링(341)은 하강된 플레이트(300)를 상승시켜주는 것으로서, 기판에 대한 가압이 완료되면, 에어주입구(320)를 통해 에어를 유출시키는데, 유출된 에어로 인해 패킹(500)은 끼움 홈(310)에 끼움 되지만, 하강된 플레이트(300)는 상승되지 않아 상기 스프링(341)을 이용하여 플레이트(300)를 상승시켜 원래의 자리에 위치하게 된다.

상기한 본 발명인 오토클레이브장치(10)를 이용한 구동방법을 도 1 내지 도 7을 참고로 설명하면,

상부지지대와 하부지지대를 잇는 측면지지대가 연결 구성되되 상기 상, 하부지지대 사이에 공간부가 형성된 본체와, 상기 본체의 공간부로 이송레일을 타며 인입, 인출되되 가압하려는 기판이 안착되는 플레이트로 구성되어 상기 본체 내부에 구성된 가압장치를 이용하여 상기 기판을 가압하되, 상기 하부지지대의 상면에는 상기 플레이트와 일정 간격 이격된 블록고정대(400)가 구성되고, 상기 플레이트(300)의 상측에 형성된 끼움 홈(310)에 패킹(500)이 끼움 되되 상기 패킹(500)의 하부가 개방되어 에어가 주입되는 에어 홈(510)을 형성시키고, 상기 에어 홈(510)의 하측에는 상기 에어 홈(510)으로 에어를 유입, 유출시키는 에어주입구(320)가 형성되며, 상기 이송레일(200)의 브라켓(330)과 연결되는 플레이트(300)의 외측에는 상기 플레이트(300)와 브라켓(330)을 연결하는 연결 핀(340)과, 상기 연결 핀(340)과 브라켓(330) 사이에 위치되어 상기 에어주입구(320)로 유입된 에어로 하강된 플레이트(300)의 위치를 상승시키는 스프링(341)이 구성되어, 에어주입구(320)를 통해 상기 플레이트(300)의 상측 끼움 홈(310)에 끼움 된 패킹(500)의 에어 홈(510)으로 에어를 유입시켜 상기 패킹(500)을 끼움 홈(310)에서 이탈되지 않도록 상승시키고, 계속 유입되는 에어의 압력으로 플레이트(300)를 하강시켜 블록고정대(400)에 지지시켜 상기 플레이트(300)를 구동시키고, 에어 홈(510)의 에어를 유출시켜 패킹(500)이 끼움 홈(310)에 끼움 되고, 하강된 플레이트(300)를 스프링(341)의 완충작용으로 상승시켜 원위치 시킨다.

이에 대해 본 발명을 적용한 오토클레이브장치(10)의 작동을 도 1 내지 도 7을 참고로 설명하면,

우선, 가압하려는 기판을 안착할 수 있도록 본체(100)의 내부 공간부(140)에 인입된 플레이트(300)를 이송레일(200)을 타며 외측방향으로 인출시킨다.

인출된 플레이트(300)의 상부면에는 상기 기판이 안착되는 홈이 형성되어 있어 상기 홈으로 가압하려는 기판을 안착시킨 후 본체(100)의 내부 공간부(140)로 인입시킨다.

인입된 플레이트(300)는 기판에 가압하기 위해 상기 기판이 안착된 홈을 밀폐시키는데, 이때 상기 플레이트(300)에 형성된 에어주입구(320)를 통해 에어를 주입시킨다.

상기 에어주입구(320)를 통해 유입되는 에어로 인해 상기 플레이트(300)의 끼움 홈(310)에 끼움 된 패킹(500)이 상승되는데, 이는 패킹(500)의 하부가 개방되어 상기 끼움 홈(310)의 바닥면과 이루어지는 에어 홈(510)으로 에어가 유입되어 유입된 에어의 압력으로 인해 상기 끼움 홈(310)의 개방된 상측방향으로 상기 패킹(500)이 상승된다.

상기 에어의 압력으로 인해 상승되는 패킹(500)은 상부지지대(110)의 하부면과 닿게 되고, 상기 에어 홈(510)으로 계속 유입되는 에어로 인해 상기 플레이트(300)가 하강하여 하부지지대(120)의 상부에 구성된 블록고정대(400)에 지지된다.

상기 에어의 유입으로 인해 패킹(500)이 상승하여 상부지지대(110)의 하부면과 닿고, 계속되는 에어의 유입으로 플레이트(300)가 하강하여 블록고정대(400)에 안착되어 지지되어 상기 플레이트(300)의 상부 내측에 안착된 기판에 대해 통상의 가압장치와 방법을 이용하여 가압된다.

상기에서 기판에 대한 가압이 완료되면,

에어주입구(320)를 통해 에어를 유출시키고, 유출되는 에어로 인해 패킹(500)이 끼움 홈(310)의 원위치에 끼움 된다.

이때 플레이트(300)는 하강된 위치에 있어 상승시켜야 되는데, 플레이트(300)의 상승은 상기 이송레일(200)과 연결된 브라켓(330)에 연결하는 연결 핀(340)과 상기 연결 핀(340)과 브라켓(330) 사이에 구성된 스프링(341)의 완충작용으로 인해 상기 플레이트(300)가 상승되어 원위치에 위치하게 된다.

상기 플레이트(300)가 원위치에 위치하게 되면, 이송레일을 타며 본체(100)의 외측으로 플레이트(300)가 인출하게 되어 가압이 완료된 기판에 대한 다음 공정을 진행할 수 있다.

상기한 설명과 같이 본 발명은 가압하려는 기판이 안착된 플레이트(300)를 밀 폐 시 상기 플레이트(300)를 상승, 하강시키는 구동부가 필요하지 않아 그 구조와 구성을 간단히 하였으며, 그로 인해 상기 플레이트(300)에 가해지는 내구성을 장기간 유지시킬 수 있게 되어 오토클레이브장치(10)에 대한 수명을 연장할 수 있는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치 및 그 장치를 이용한 구동방법이라 하겠다.

10 : 오토클레이브장치
100 : 본체 110 : 상부지지대 120 : 하부지지대
130 : 측면지지대 140 : 공간부
200 : 이송레일
300 : 플레이트 310 : 끼움 홈 320 : 에어주입구
330 : 브라켓 340 : 연결 핀 341 : 스프링
400 : 블럭고정대
500 : 패킹 510 : 에어 홈
600 : 기판

Claims

상부지지대(110)와 하부지지대(120)를 잇는 측면지지대(130)가 연결 구성되되 상기 상, 하부지지대(110, 120) 사이에 공간부(140)가 형성된 본체(100)와, 상기 본체(100)의 공간부(140)로 이송레일(200)을 타며 인입, 인출되되 가압하려는 기판이 안착되는 플레이트(300)로 구성되어 상기 본체(100) 내부에 구성된 가압장치를 이용하여 상기 기판을 가압하는 오토클레이브장치(10)에 있어서,
상기 하부지지대(120)의 상면에는 상기 플레이트(300)와 일정 간격 이격된 블록고정대(400)가 구성되고,
상기 플레이트(300)의 상측에 형성된 끼움 홈(310)에 패킹(500)이 끼움 되되 상기 패킹(500)의 하부가 개방되어 에어가 주입되는 에어 홈(510)을 형성시키고, 상기 에어 홈(510)의 하측에는 상기 에어 홈(510)으로 에어를 유입, 유출시키는 에어주입구(320)가 형성되며,
상기 이송레일(200)의 브라켓(330)과 연결되는 플레이트(300)의 외측에는 상기 플레이트(300)와 브라켓(330)을 연결하는 연결 핀(340)과, 상기 연결 핀(340)과 브라켓(330) 사이에 위치되어 상기 에어주입구(320)로 유입된 에어로 하강된 플레이트(300)의 위치를 상승시키는 스프링(341)이 구성된 것을 특징으로 하는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치
제 1항에 있어서,
상기 패킹(500)에는 개방되지 않은 부분에 홈(511)이 형성될 수 있는 것을 특징으로 하는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치
상부지지대와 하부지지대를 잇는 측면지지대가 연결 구성되되 상기 상, 하부지지대 사이에 공간부가 형성된 본체와, 상기 본체의 공간부로 이송레일을 타며 인입, 인출되되 가압하려는 기판이 안착되는 플레이트로 구성되어 상기 본체 내부에 구성된 가압장치를 이용하여 상기 기판을 가압하되, 상기 하부지지대의 상면에는 상기 플레이트와 일정 간격 이격된 블록고정대(400)가 구성되고, 상기 플레이트(300)의 상측에 형성된 끼움 홈(310)에 패킹(500)이 끼움 되되 상기 패킹(500)의 하부가 개방되어 에어가 주입되는 에어 홈(510)을 형성시키고, 상기 에어 홈(510)의 하측에는 상기 에어 홈(510)으로 에어를 유입, 유출시키는 에어주입구(320)가 형성되며, 상기 이송레일(200)의 브라켓(330)과 연결되는 플레이트(300)의 외측에는 상기 플레이트(300)와 브라켓(330)을 연결하는 연결 핀(340)과, 상기 연결 핀(340)과 브라켓(330) 사이에 위치되어 상기 에어주입구(320)로 유입된 에어로 하강된 플레이트(300)의 위치를 상승시키는 스프링(341)이 구성되어,
에어주입구(320)를 통해 상기 플레이트(300)의 상측 끼움 홈(310)에 끼움 된 패킹(500)의 에어 홈(510)으로 에어를 유입시켜 상기 패킹(500)을 끼움 홈(310)에서 이탈되지 않도록 상승시키고, 계속 유입되는 에어의 압력으로 플레이트(300)를 하강시켜 블록고정대(400)에 지지시켜 상기 플레이트(300)를 구동시키고, 에어 홈(510)의 에어를 유출시켜 패킹(500)이 끼움 홈(310)에 끼움 되고, 하강된 플레이트(300)를 스프링(341)의 완충작용으로 상승시키는 것을 특징으로 하는 에어를 이용하여 플레이트를 구동시키는 오토클레이브장치의 구동방법