KR100874682B1

KR100874682B1 - 평판디스플레이의 제조방법 및 장치

Info

Publication number: KR100874682B1
Application number: KR1020070079962A
Authority: KR
Inventors: 박웅기
Original assignee: 주식회사 신도기연
Priority date: 2007-08-09
Filing date: 2007-08-09
Publication date: 2008-12-18
Also published as: WO2009020339A1

Abstract

본 발명은 평판디스플레이의 제조공정 중에 기판의 표면에 편광필름을 부착하기 위한 것으로, 특히 연속적으로 기판의 표면에 편광필름을 부착하고 편광필름이 부착된 기판으로부터는 가열 가압에 의한 탈포 접합작업이 순차 및 연속적으로 이루어질 수 있도록 한 평판디스플레이의 제조방법 및 장치에 관한 것이다.

본 발명에 의하면, 서로 나란히 상,하 병렬로 설치되는 한 쌍의 제1 및 제2 작업대를 이용하여 동시에 기판과 편광필름을 각각 미리 준비하고 상기 한 쌍의 제1 및 제2 작업대가 서로 마주하는 스테이지에서는 편광필름의 부착작업을 수행하고 편광필름이 부착된 기판은 별도의 제3 작업대에 마련한 유니트챔버를 이용하여 가열 및 가압에 의한 탈포 접합작업이 언로딩이 이루어지기 전까지 순차 및 연속적으로 이루어져 기판에 편광필름을 부착하고 탈포 부착까지 연속 및 순차적으로 이루어지는 평판디스플레이의 제조방법과 장치를 제공한다.

액정, 디스플레이, 기판, 편광필름, 탈포

Description

평판디스플레이의 제조방법 및 장치{A manufacturing Method and Apparatus for flat panel display}

일반적으로 평판디스플레이를 제조하는 공정에 있어서 기판의 표면에 편광필름을 부착하는 공정은 단일 형태의 작업대 위에서 공정별로 나누어 각각 수작업에 의존하여 작업이 수행되고 있고, 아니면 그 중 일부 공정만을 기계식으로 작업하는 정도가 주종을 이루고 있다.

이러한 방식은 관련 분야에서 고도로 숙련된 작업자만이 작업을 수행할 수 있어 비 숙련공에게는 작업이 불가능하고, 숙련공이 작업을 한다 하더라도 생산성이 크게 떨어지게 되는 단점이 있다.

또한, 그 이외에 조금 진보된 형태의 것은 전체적인 생산라인에서 구분하여 편광필름의 경우에는 로딩(Loading)공정, 클리닝(Cleaning)공정, 얼라인(Align)공 정, 그리고 보호필름을 제거하는 필링(Peeling)공정이 하나의 생산라인 상에서 이동이 이루어지면서 연속적으로 이루어지고, 편광필름을 부착하여야 하는 기판의 경우에는 로딩(Loading)공정, 클리닝(Cleaning)공정, 그리고 얼라인(Align)공정이 별도의 생산라인 상에서 이동이 이루어지면서 연속적으로 이루어지며 그 다음에 이들 라인 이 서로 만나 비로소 편광필름의 부착공정이 이루어지게 되고, 이와 같이 편광필름이 부착된 기판은 언로딩(Unloading)이 이루어지는 공정 형태로 생산라인이 길게 구성되게 된다.

그러나, 위와 같은 자동화된 생산라인을 채택하는 경우에 있어서는 전체적으로 생산라인이 나열식으로 길게 연장되어 구성이 이루어지게 되므로 생산라인이나 관련 설비가 함께 차지하게 되는 공간이 커서 비효율적이고 이들 작업공간은 외부로부터 미세한 분진이나 이물질이 유입되면 안 되는 클린룸 형태로 구성하여야 하므로 설비의 투자비용이 크게 상승하고 유지 및 관리비용도 많이 들게 되어 생산원가의 상승요인이 되며 비경제적이다.

더욱이 위와 같이 편광필름의 부착작업이 이루어진 다음에는 서로 부착된 편광필름과 기판의 사이에 미세한 기포가 존재하게 되므로 이를 제거하기 위한 별도의 탈포공정를 수행하여야 하나, 이는 별도의 처리설비를 구성하여 수작업에 의존하거나 또는 다량의 적층된 상태로 동시에 가열 및 가압처리가 이루어지도록 하는 형태가 주종을 이루고 있는데 이와 같은 종래의 방식은 다량의 기판제품이 적층된 상태에 있기 때문에 전체 기판제품의 처리에 요구되는 가열온도나 가압조건에 도달하기 위하여는 많은 시간이 소요되게 되고 생산성이 떨어지며 인라인화가 되기 위 해서는 공정마다 순차적으로 스테이지를 구성하여 일직선 형태로 길게 구성하여야 하는데 이 경우에는 생산라인이 길게 구성되어 설치공간이 많이 소요되고 작업공간의 활용면에서 비효율적이어서 제조원가를 상승시키게 되는 단점이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위하여 연구 개발이 이루어진 것으로 다음과 같은 목적을 갖는다.

본 발명의 목적은 서로 나란히 상,하 병렬로 설치되는 한 쌍의 작업대를 이용하여 이들 각각의 작업대마다 각각 마련된 스테이지를 이용하여 매엽식으로 편광필름과 기판의 준비작업을 순차적으로 수행하고 매엽식으로 부착작업을 보다 효과적으로 수행하고, 편광필름이 부착된 기판은 곧바로 별도의 작업대에 구성한 매엽식 챔버를 활용하여 탈포작업도 연속적으로 수행할 수 있도록 하여 작업성의 개선에 의한 생산성 향상은 물론 설비의 설치공간을 획기적으로 축소하여 공간의 활용면에서 효율의 극대화를 가져올 수 있도록 하여 생산원가의 절감이 가능하도록 하고자 함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 스테이지마다 매엽식으로 기판의 전,후진 왕복작동이 개별 및 독립적으로 이루어질 수 있도록 하여 작업공정의 변화에 효과적으로 대처하면서 작업성을 개선하고자 함에 있다.

본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 서로 나란히 상,하 병렬로 설치되는 한 쌍의 제1 및 제2 작업대를 이용하여 동시에 기판과 편광필름을 각각 미리 준비하고 상기 한 쌍의 제1 및 제2 작업대가 서로 마주하는 스테이지에서는 편광필름의 부착작업을 수행하고 편광필름이 부착된 기판은 별도의 제3 작업대에 마련한 유니트챔버를 이용하여 가열 및 가압에 의한 탈포 접합작업이 언로딩이 이루어지기 전까지 순차 및 연속적으로 이루어져 기판에 편광필름을 부착한 후 탈포 부착까지 연속적으로 이루어지는 평판디스플레이의 제조방법을 제공한다.

또한, 본 발명은 기대 상에 외부구동원에 의하여 각각 각도회전이 이루어지는 제1작업대, 제2작업대 및 제3작업대를 각각 설치하고, 그 중 한 쌍의 제1작업대와 제2작업대는 서로 수평방향으로 나란히 상,하 병렬로 설치되어 기판에 편광필름의 부착작업을 수행하도록 구성하고, 상기 한 쌍의 제1 및 제2작업대와 인접되게 설치되는 나머지 제3작업대는 편광필름이 부착된 기판의 탈포 접합작업을 수행하도록 구성하며, 상기 제1 및 제2작업대와 상기 제3작업대의 사이엔 별도의 급송수단을 마련하여 이루어지는 평판디스플레이 제조장치를 제공한다.

이와 같이, 본 발명에 의하면 서로 병렬로 설치되는 한 쌍의 제1 및 제2작업대를 이용하되, 이들 각각의 작업대마다 각각 마련된 스테이지를 이용하여 매엽식으로 기판과 편광필름의 준비작업을 순차적으로 수행하고 이들 제1 및 제2작업대에서 매엽식으로 부착작업을 보다 효과적으로 수행하고, 편광필름이 부착된 기판은 곧바로 별도의 제3작업대에 구성한 매엽식 유니트챔버를 활용하여 탈포작업도 연속적으로 수행할 수 있도록 하여 작업성의 개선에 의한 생산성 향상은 물론 설비의 설치공간을 획기적으로 축소하여 공간의 활용면에서 효율의 극대화를 가져올 수 있도록 하여 생산원가의 획기적인 절감이 가능하게 된다.

또한, 본 발명은 제1작업대에 있어서도 스테이지마다 진공흡인부재가 매엽식으로 기판의 전,후진 왕복작동이 개별 및 독립적으로 이루어질 수 있도록 하여 작 업공정의 변화에 효과적으로 대처하면서 작업성을 개선할 수 있게 되는 등의 우수한 효과를 갖게 된다.

이하, 첨부된 도면에 의하여 본 발명에 대하여 보다 상세히 살펴 보기로 한다.

우선, 본 발명의 제조장치에 대하여 살펴보기로 한다.

본 발명인 제조장치는 다양한 형태로 구성이 이루어지게 되는데, 공통적으로 기대(1) 상에 외부구동원에 의하여 각각 각도회전이 이루어지는 제1작업대(3), 제2작업대(5) 및 제3작업대(7)를 각각 설치하되, 그 중 한 쌍의 제1작업대(3)와 제2작업대(5)는 서로 수평방향으로 나란히 상,하 병렬로 설치되어 기판(10)에 편광필름의 부착작업을 수행하도록 구성하고, 상기 한 쌍의 제1 및 제2작업대(3,5)와 인접되게 설치되는 나머지 제3작업대(7)는 편광필름이 부착된 기판의 탈포 접합작업을 수행하도록 이루어지며, 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)와 상기 제3작업대(7)의 사이엔 별도의 급송수단(9)을 마련하여 이루어지게 된다.

이때, 상기 제1작업대(3)의 경우 중심본체(30)의 외측에는 일정각도마다 왕복실린더(32)에 의하여 가이더(34)를 타고 슬라이드 왕복이 가능하게 구성된 진공흡인부재(36)를 각각 설치하고, 이들 진공흡인부재(36)의 외측 인접위치엔 작업스테이지로서 기판로더(40), 기판클리너(42) 및 기판언로더(44)를 각각 구분하여 설치하여 그 구성이 이루어지게 된다.

또한, 상기 제2작업대(5)의 경우 중심본체(50)의 외측에는 일정각도마다 일 측이 힌지부(54)가 마련되어 이를 중심으로 각도변위가 가능하게 구성된 진공흡인부재(56)를 각각 설치하고, 상기 진공흡인부재(56)의 후부와 상기 중심본체(50) 사이에는 왕복실린더(52)가 설치되어 상기 힌지부(54)를 중심으로 상기 진공흡인부재(56)의 각도변위가 가능하게 구성되며, 이들 진공흡인부재(56)의 외측 인접위치엔 작업스테이지로서 필름로더(60), 필름클리너(62), 보호필름제거기(64)를 각각 구분하여 설치하여 그 구성이 이루어지게 된다.

이때, 상기 제1 및 제2작업대(3,5)의 경우 진공흡인부재(36,56)가 장착되는 중심본체(30,50)를 제자리에서 각도회전에 의한 변위작동을 수행하게 되는 외부구동원은 예를들면 도시한 실시예의 경우에는 한번에 90도씩 회전이 이루어질 수 있도록 외부에 별도의 구동모터(38,58)를 각각 설치하여 그 구성이 이루어지게 된다.

다음, 상기 제1 및 제2작업대(3,5)에 각각 설치되는 진공흡인부재(36)(56)의 경우에 진공흡인라인은 중심본체(30)(50)의 내부에 각각 구성하고 외부에 별도로 설치된 진공펌프와 서로 연결 설치하되, 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)가 제자리에서 회전작동하더라도 기밀이 유지되도록 연결 구성할 수도 있고, 그 이외의 방식으로서 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)의 내부에 충분한 공간의 확보가 가능한 경우에는 진공펌프를 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)에 직접 설치하여 진공흡인라인을 연결 구성하고 이들 진공펌프의 구동을 위하여 필요한 전원은 외부로부터 브러시타입의 전원연결방식으로 연결 구성하여 그 구성을 이룰 수 있다.

또한, 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)에 각각 설치되는 왕복실린더(32)(52)의 경우에 이들을 작동시키기 위한 공압라인은 중심본체(30)(50)의 내부에 각각 구성 하고 외부에 별도로 설치된 컴프레서와 서로 연결 설치하되, 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)가 제자리에서 회전작동하더라도 기밀이 유지되도록 연결 구성할 수도 있고, 그 이외의 방식으로서 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)의 내부에 충분한 공간의 확보가 가능한 경우에는 컴프레서를 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)에 직접 설치하여 공압라인을 연결 구성하고 이들 컴프레서의 구동을 위하여 필요한 전원은 외부로부터 브러시타입의 전원연결방식으로 연결 구성하여 그 구성을 이룰 수 있다.

다음, 상기 제3작업대(7)는 외부구동원에 의하여 회전구동되는 중심본체(70)에 다수의 유니트챔버(72)를 설치하여 이루어지되, 상기 유니트챔버(72)는 도 2에 도시한 바와 같이 중심본체(70)의 둘레 표면에 위치하도록 배치하거나, 도 3에 도시한 바와 같이 중심본체(70)의 중심으로부터 방사상으로 배치하여 구성이 이루어지도록 하거나 아니면 도 4에 예시한 바와 같이 상기 제3작업대(7)는 내부에서 승하강이 이루어지는 엘리베이터에 상하 복층형으로 유니트챔버(72)를 설치하여 구성할 수 있다.

이때, 상기 유니트챔버(72)는 일측의 고정부재(74)와 다른 일측의 가동부재(76)가 서로 한 쌍을 이루고 상기 가동부재(76)는 슬라이드 개폐가 가능하게 구성되고, 상기 고정부재(74)는 내측에 히터(74a)가 고정 설치되고 일측에는 내부공기배출부(74b)가 마련되고 외곽에는 기밀유지부재(74c)가 설치되어 이루어지고, 상기 가동부재(76)는 내측에 가압히터(76a)가 가압기구(76b)에 의하여 가압작동이 가능하게 설치되어 이루어지게 된다.

상기 가동부재(76)를 슬라이드 개폐하는 방식은 도시한 바와 같이 양측에 설 치된 공압실린더(76c)에 의하여 전,후진이 이루어지면서 개폐가 가능하게 구성할 수 있고, 물론 외부에 별도로 설치한 왕복구동기구에 의하여 개폐가 가능하게 구성할 수도 있으며, 그 이외에도 착탈식이나 기타 적절한 방식을 채택하여 구성할 수 있다.

또한, 상기 가압기구(76b)는 다이아프램, 에어백, 공압실린더 형태 등 다양한 형태의 것을 선택적으로 설치하여 구성할 수 있는데, 이는 상기 가동부재(76)의 내측에 마련된 공압라인(76d)에 의하여 작동이 이루어지도록 구성할 수 있다.

이때, 상기 가동부재(76)에 설치된 가압히터(76a)의 상부에는 쿠션부재(76e)를 미리 설치하여 처리하거나 처리하고자 하는 제품으로서 편광필름이 부착된 기판(10)을 상기 고정부재(74)와 가동부재(76)의 사이에 위치시킨 상태에서 중심본체(70)를 각도회전시키더라도 유니트챔버(72)의 내부에서 안전하게 정위치 상태를 유지하고 안전한 상태로 변위가 이루어지도록 함이 바람직하다.

상기 제3작업대(7)에 있어서 외부구동원은 구동모터(78)에 의하여 제자리에서 각도회전 또는 회전에 의한 변위작동이 가능하도록 구성하게 되고, 작동시에 필요로 하게 되는 진공흡인라인 및 공압라인은 제1 및 제2 작업대(3)(5)에서와 마찬가지로 중심본체(70)가 제자리에서 회전이 이루어지더라도 기밀유지가 가능하게 연결 설치하고, 필요한 전원공급라인은 외부로부터 브러시타입의 전원연결방식으로 연결 구성하여 그 구성을 이룰 수 있다.

또한, 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)와 상기 제3작업대(7)의 사이에 설치되는 별도의 급송수단(9)은 통상적인 형태로서 컨베이어에 의한 급송방식이나 산업용 로 보트에 의한 급송방식 등 다양한 형태의 것을 선택적으로 설치하여 구성하게 된다.

다음은 전술한 바와 같이 이루어지는 제조장치의 작동이 이루어지는 과정을 본 발명에 의한 제조방법을 토대로 하여 단계별로 보다 상세하게 살펴보기로 한다.

우선 그 단계별로 요약하면, 서로 나란히 병렬로 설치되는 한 쌍의 제1 및 제2 작업대를 이용하여 동시에 기판과 편광필름을 각각 미리 준비하고 상기 한 쌍의 제1 및 제2 작업대가 서로 마주하는 스테이지에서는 편광필름의 부착작업을 수행하고 편광필름이 부착된 기판은 별도의 제3 작업대에 마련한 유니트챔버를 이용하여 가열 및 가압에 의한 탈포 접합작업이 언로딩이 이루어지기 전까지 순차 및 연속적으로 이루어져 기판에 편광필름을 부착한 후 탈포 부착까지 연속적으로 이루어지는 평판디스플레이의 제조방법이 시행되게 된다.

그리하여 위와 같이 순차적으로 편광필름의 부착과정과 편광판이 부착된 기판의 탈포접합공정을 순차적으로 실행하되, 그 중 편광필름의 부착과정은 기판의 준비공정, 편광필름의 준비공정, 편광필름의 부착공정으로 구분하고 다음 탈포접합공정은 로딩공정, 처리공정, 언로딩공정으로 구분하여 상세하게 살펴보기로 한다.

물론, 상기 제1작업대(3), 제2작업대(5), 제3작업대(7)에서 이루어지게 되는 편광필름의 부착과정과 편광판이 부착된 기판의 탈포접합공정은 동시에 함께 순차적으로 이루어지게 되지만 편의상 이를 구분하여 각각 살펴보기로 한다.

편광필름의 부착공정

기판의 준비공정

제1작업대(3)의 중심본체(30)에 마련한 진공흡인부재(36)에 기판(10)을 기판 로더(40)에 의하여 정위치한 상태에서 정렬시키고 로딩작업을 수행하고, 구동모터(38)에 의하여 중심본체(30)를 90도 각도회전시키며 그 각도변위가 이루어진 상태에서 기판클리너(42)에 의하여 기판(10)의 표면을 세정하는 작업을 수행하여 기판(10)에 편광필름을 부착하기 위한 준비공정을 수행한다.

편광필름의 준비공정

제2작업대(5)의 중심본체(50)에 마련한 진공흡인부재(56)에 보호필름이 표면에 위치하도록 편광필름을 필름로더(60)에 의하여 정위치한 상태에서 정렬시키고 로딩작업을 수행하고, 구동모터(58)에 의하여 중심본체(50)를 90도 각도회전시키며 그 각도변위가 이루어진 위치에서 필름클리너(62)에 의하여 편광필름의 표면을 세정하는 작업을 수행하며, 다시 구동모터(58)에 의하여 중심본체(50)를 90도 각도회전시키며 그 각도변위가 이루어진 위치에서 보호필름제거기(64)에 의하여 보호필름을 제거하여 편광필름의 부착을 위한 준비공정을 수행한다.

편광필름의 부착공정

전술한 바와 같이, 기판과 편광필름의 준비공정이 이루어진 후에는 구동모터(38)(58)를 각각 작동시켜 동시에 제1 및 제2작업대(3,5)의 중심본체(30)(50)가 90도 각도회전하여 서로 마주하는 위치에서 왕복실린더(52)를 가동시켜 진공흡인부재(56)가 힌지부(54)를 중심으로 각도변위가 이루어져 진공흡인부재(56)에 준비되어 있던 편광필름의 선단부분과 상기 제1작업대(3)에 있어서 중심본체(30)의 진공흡인부재(36)에 준비되어 있었던 기판(10)의 일측이 서로 선접촉이 이루어지면서 편광필름의 표면에 도포되어 있던 점착제에 의하여 서로 부착이 되고, 이와 같이 일부가 부착된 상태에서 제1작업대(3)의 왕복실린더(32)가 작동되면 상기 기판(10)과 함께 진공흡인부재(36)는 가이더(32)를 타고 전진하면서 상기 편광필름이 기판(10) 전체표면에 걸쳐 정확하고도 균일하게 부착이 이루어지게 된다.

물론, 위와 같이 편광필름의 부착작업이 완료되게 되면 왕복실린더(52)를 원위치시켜 편광필름이 제거되고 빈 상태에 있게 되는 진공흡인부재(56)를 수평상태로 원위치시키고 구동모터(58)에 의하여 90도 각도회전에 의한 변위작동을 행하여 다음의 작업을 진행하기 위한 준비상태를 유지하고, 진공흡인부재(36)에 위치하고 편광필름이 부착된 기판(10)은 구동모터(38)에 의하여 90도 각도회전에 의한 변위작동을 행하여 다음의 작업을 진행하기 위한 준비상태를 유지한다. 이때, 진공흡인부재(36)는 왕복실린더(32)에 의하여 가이더(34)를 타고 원위치로 복귀하게 된다.

편광필름이 부착된 기판의 탈포접합공정

전술한 편광필름의 부착공정에서 공정이 이루어진 편광필름이 부착된 기판(10)을 언로딩하여 급송수단(9)을 이용하여 제3작업대(7)에 이르도록 하고 상기 제3작업대(7)에서는 가동부재(76)를 공압실린더(76c)에 의하여 열어 놓고 가동부재(76)의 내측에 편광필름이 부착된 기판(10)을 정위치시킨 다음, 다시 공압실린더(76c)에 의하여 가동부재(76)를 밀어 넣어 처리를 위한 정위치로 위치시키고, 기밀유지부재(74c)에 의하여 서로 기밀이 유지된 상태에서 공압라인(76d)과 연결되는 가압기구(76b)에 의하여 가압히터(76a)를 가압하여 기판(10)의 가압상태를 유지하고 히터(74a), 및 가압히터(76a)에 의한 가열상태를 동시에 유지하여 기판(10)과 편광필름 사이에 존재하게 되는 기포를 제거하는 탈포접합공정을 수행하되, 중심본 체(70)가 360도 회전하여 초기 원위치에 이르게 될 때까지 위와 같은 탈포접합공정이 지속적으로 이루어지게 되고 다시 원위치에 이르게 되면 탈포접합공정인 가압 및 가열작동을 중단하고 가압기구(76b)에 의한 가동부재(76)의 원위치 작동과 공압실린더(76c)에 의한 가동부재(76)의 개방, 그리고 탈포접합공정이 이루어진 기판(10)을 외부로 언로딩하여 급송수단(9)에 의하여 외부로 배출시키는 작동을 수행하고 개방된 가동부재(76)엔 다시 탈포접합을 위한 기판(10)의 로딩을 행하고 전술한 탈포접합공정을 수행하게 된다.

그리하여, 제1작업대(3)에서 이루어지는 기판(10)의 준비공정, 제2작업대(5)에서 이루어지는 편광필름의 준비공정, 제1작업대(3) 및 제2작업대(5)에서 이루어지는 편광필름의 부착공정, 제3작업대(7)에서 이루어지는 편광필름이 부착된 기판(10)의 탈포접합공정이 순차적으로 이루어지되, 이들 공정은 동시에 이루어지게 되어 연속적인 공정 형태로 작업이 이루어지게 된다.

도 1은 본 발명의 개념을 설명하기 위한 공정도,

도 2는 도 1에 예시한 개념을 실현하기 위한 장치의 계통도,

도 3은 도 2의 변형례를 나타낸 계통도,

도 4는 도 2의 또 다른 변형례를 나타낸 계통도,

도 5는 도 2에 예시한 계통도에 의하여 구체적으로 구성한 장치의 전체 구성도,

도 6은 도 5에 있어서 제1작업대와 제2작업대를 중심으로 나타낸 일부 발췌 측면도,

도 7은 도 5에 있어서 제3작업대를 중심으로 나타낸 측면도,

도 8은 도 7의 제3작업대에 적용하는 유니트챔버를 중심으로 확대 예시한 종단면도,

도 9는 도 8의 평면 예시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 기대, 3: 제1작업대,

5: 제2작업대, 7: 제3작업대,

9: 급송수단, 10: 기판,

30,50,70: 중심본체, 32,52: 왕복실린더,

34: 가이더, 36, 56: 진공흡인부재,

38,58,78: 구동모터, 40: 기판로더,

42: 기판클리너, 44: 기판언로더,

54: 힌지부, 60: 필름로더,

62: 필름클리너, 64: 보호필름제거기,

72: 유니트챔버, 74: 고정부재,

76: 가동부재

Claims

기대(1) 상에 외부구동원에 의하여 각각 각도회전이 이루어지는 제1작업대(3), 제2작업대(5) 및 제3작업대(7)를 각각 설치하고, 그 중 한 쌍으로 구성되는 제1작업대(3)와 제2작업대(5)는 서로 수평방향으로 나란히 상,하 병렬로 설치되어 기판(10)에 편광필름의 부착작업을 수행하도록 구성하고, 상기 한 쌍의 제1 및 제2작업대(3,5)와 인접되게 설치되는 나머지 제3작업대(7)에서는 편광필름이 부착된 기판의 탈포 접합작업을 수행하도록 이루어지며, 상기 제1 및 제2작업대(3)(5)와 상기 제3작업대(7)의 사이엔 별도의 급송수단(9)을 마련하여 이루어지되,

상기 제1작업대(3)는 중심본체(30)의 외측에 일정각도마다 왕복실린더(32)에 의하여 가이더(34)를 타고 슬라이드 왕복이 가능하게 구성된 진공흡인부재(36)를 각각 설치하고, 이들 진공흡인부재(36)의 외측 인접위치엔 작업스테이지로서 기판로더(40), 기판클리너(42) 및 기판언로더(44)를 각각 구분하여 설치하여 그 구성이 이루어지고,

상기 제2작업대(5)는 중심본체(50)의 외측에 일정각도마다 일측이 힌지부(54)가 마련되어 이를 중심으로 각도변위가 가능하게 구성된 진공흡인부재(56)를 각각 설치하고, 상기 진공흡인부재(56)의 후부와 상기 중심본체(50) 사이에는 왕복실린더(52)가 설치되어 상기 힌지부(54)를 중심으로 상기 진공흡인부재(56)의 각도변위가 가능하게 구성되며, 이들 진공흡인부재(56)의 외측 인접위치엔 작업스테이지로서 필름로더(60), 필름클리너(62), 보호필름제거기(64)를 각각 구분하여 설치하여 그 구성이 이루어지며,

상기 제3작업대(7)는 외부구동원에 의하여 회전구동되는 중심본체(70)에 다수의 유니트챔버(72)를 설치하여 이루어지되, 상기 제1작업대(3), 상기 제2작업대(5) 및 상기 제3작업대(7)는 중심본체(30,50)를 제자리에서 회전에 의한 변위작동을 수행하게 되는 외부구동원은 외부에 별도의 구동모터(38,58,78)를 각각 설치하여 그 구성이 이루어지게 되는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이의 제조장치.
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제1항에 있어서,

상기 제3작업대(7)는 외부구동원에 의하여 회전구동되는 중심본체(70)에 다수의 유니트챔버(72)를 설치하여 이루어지되, 상기 유니트챔버(72)는 중심본체(70)의 둘레 표면에 위치하도록 배치하여 이루어짐을 특징으로 하는 평판디스플레이의 제조장치.
제1항에 있어서,

상기 제3작업대(7)는 외부구동원에 의하여 회전구동되는 중심본체(70)에 다수의 유니트챔버(72)를 설치하여 이루어지되, 상기 유니트챔버(72)는 상기 중심본체(70)의 중심으로부터 방사상으로 배치하여 구성이 이루어지도록 함을 특징으로 하는 평판디스플레이의 제조장치.
제1항에 있어서,

상기 제3작업대(7)는 내부에서 승하강이 이루어지는 엘리베이터에 상하 복층형으로 유니트챔버(72)를 설치하여 구성이 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이의 제조장치.
제3항, 제4항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 유니트챔버(72)는 일측의 고정부재(74)와 다른 일측의 가동부재(76)가 서로 한 쌍을 이루고 상기 가동부재(76)는 슬라이드 개폐가 가능하게 구성되고, 상기 고정부재(74)는 내측에 히터(74a)가 고정 설치되고 일측에는 내부공기배출부(74b)가 마련되고 외곽에는 기밀유지부재(74c)가 설치되어 이루어지고, 상기 가동부재(76)는 내측에 가압히터(76a)가 가압기구(76b)에 의하여 가압작동이 가능하게 설치되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이의 제조장치.
서로 나란히 병렬로 설치되는 한 쌍의 제1 및 제2 작업대를 이용하여 동시에 기판과 편광필름을 각각 미리 준비하는 기판의 준비공정 및 편광필름의 준비공정, 상기 한 쌍의 제1 및 제2 작업대가 서로 마주하는 스테이지에서는 편광필름의 부착작업을 수행하는 편광필름의 부착공정, 그리고 편광필름이 부착된 기판은 별도의 제3 작업대에 마련한 유니트챔버를 이용하여 가열 및 가압에 의한 탈포 접합작업이 언로딩이 이루어지기 전까지 순차 및 연속적으로 이루어지는 편광판이 부착된 기판의 탈포접합공정을 포함하여, 기판에 편광필름을 부착한 후 탈포 부착까지 연속 및 순차적으로 이루어지되,

상기 기판의 준비공정은 제1작업대(3)의 중심본체(30)에 마련한 진공흡인부재(36)에 기판(10)을 기판로더(40)에 의하여 정위치한 상태에서 정렬시키고 로딩작업을 수행하고, 구동모터(38)에 의하여 중심본체(30)를 90도 각도회전시키며 그 각도변위가 이루어진 상태에서 기판클리너(42)에 의하여 기판(10)의 표면을 세정하는 작업을 수행하여 기판(10)에 편광필름을 부착하기 위한 준비공정을 수행하고,

상기 편광필름의 준비공정은 제2작업대(5)의 중심본체(50)에 마련한 진공흡인부재(56)에 보호필름이 표면에 위치하도록 편광필름을 필름로더(60)에 의하여 정위치한 상태에서 정렬시키고 로딩작업을 수행하고, 구동모터(58)에 의하여 중심본체(50)를 90도 각도회전시키며 그 각도변위가 이루어진 위치에서 필름클리너(62)에 의하여 편광필름의 표면을 세정하는 작업을 수행하며, 다시 구동모터(58)에 의하여 중심본체(50)를 90도 각도회전시키며 그 각도변위가 이루어진 위치에서 보호필름제거기(64)에 의하여 보호필름을 제거하여 편광필름의 부착을 위한 준비공정을 수행하고,

상기 편광필름의 부착공정은 기판과 편광필름의 준비공정이 이루어진 후에는 구동모터(38)(58)를 각각 작동시켜 동시에 제1 및 제2작업대(3,5)의 중심본체(30)(50)가 90도 각도회전하여 서로 마주하는 위치에서 왕복실린더(52)를 가동시켜 진공흡인부재(56)가 힌지부(54)를 중심으로 각도변위가 이루어져 진공흡인부재(56)에 준비되어 있던 편광필름의 선단부분과 상기 제1작업대(3)에 있어서 중심본체(30)의 진공흡인부재(36)에 준비되어 있었던 기판(10)의 일측이 서로 선접촉이 이루어지면서 편광필름의 표면에 도포되어 있던 점착제에 의하여 서로 부착이 되고, 이와 같이 일부가 부착된 상태에서 제1작업대(3)의 왕복실린더(32)가 작동되면 상기 기판(10)과 함께 진공흡인부재(36)는 가이더(32)를 타고 전진하면서 상기 편광필름이 기판(10) 전체표면에 걸쳐 정확하고도 균일하게 부착이 이루어지며,

상기 편광필름이 부착된 기판의 탈포접합공정은 상기 편광필름의 부착공정에서 공정이 이루어진 편광필름이 부착된 기판(10)을 언로딩하여 급송수단(9)을 이용하여 제3작업대(7)에 이르도록 하고 상기 제3작업대(7)에서는 가동부재(76)를 공압실린더(76c)에 의하여 열어 놓고 가동부재(76)의 내측에 편광필름이 부착된 기판(10)을 정위치시킨 다음, 다시 공압실린더(76c)에 의하여 가동부재(76)를 밀어 넣어 처리를 위한 정위치로 위치시키고, 기밀유지부재(74c)에 의하여 서로 기밀이 유지된 상태에서 공압라인(76d)과 연결되는 가압기구(76b)에 의하여 가압히터(76a)를 가압하여 기판(10)의 가압상태를 유지하고 히터(74a), 및 가압히터(76a)에 의한 가열상태를 동시에 유지하여 기판(10)과 편광필름 사이에 존재하게 되는 기포를 제거하는 탈포접합공정을 수행하되, 중심본체(70)가 360도 회전하여 초기 원위치에 이르게 될 때까지 위와 같은 탈포접합공정이 지속적으로 이루어지게 되고 다시 원위치에 이르게 되면 탈포접합공정인 가압 및 가열작동을 중단하고 가압기구(76b)에 의한 가동부재(76)의 원위치 작동과 공압실린더(76c)에 의한 가동부재(76)의 개방, 그리고 탈포접합공정이 이루어진 기판(10)을 외부로 언로딩하여 급송수단(9)에 의하여 외부로 배출시키는 작동을 수행하고 개방된 가동부재(76)엔 다시 탈포접합을 위한 기판(10)의 로딩을 행하고 상기 탈포접합공정을 수행하게 되며,

상기 제1작업대(3)에서 이루어지는 기판(10)의 준비공정, 상기 제2작업대(5)에서 이루어지는 편광필름의 준비공정, 제1작업대(3) 및 제2작업대(5)에서 이루어지는 편광필름의 부착공정, 제3작업대(7)에서 이루어지는 편광필름이 부착된 기판(10)의 탈포접합공정이 순차적으로 이루어지되, 이들 공정은 동시에 이루어지게 되어 연속적인 공정 형태로 작업이 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판디스플레이의 제조방법.
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