KR101348745B1 - 오토 클레이브 공정 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 오토 클레이브 공정 장치에 관한 것으로서, 오토 클레이브(Auto Clave) 공정이 수행되는 공정챔버; 상기 공정챔버 내에 공압을 가하거나 해제하는 가압유닛; 상기 공정챔버 내에 온도를 상승시키거나 하강시키는 변온유닛; 및 상기 공정챔버 내에 다수의 층을 이루어 배치되며 플렉서블 표시패널을 지지하는 지지유닛;을 포함하며, 상기 가압유닛은 상기 지지유닛에 지지된 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가함으로써 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있다.
또한, 플렉서블 표시패널이 수용되는 공간에 대한 진공 상태를 공정 챔버 내부보다 더 고진공 상태로 유지하여 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있다.
또한, 공정 챔버의 내부를 대류 순환에 의한 가열 또는 냉각으로 공정 챔버 내부의 전체적인 열의 편차를 최소화시킴으로써, 오토 클레이브 공정의 신뢰성이 증대될 수 있다.

Description

오토 클레이브 공정 장치{AUTO CLAVE PROCESS DEVICE}
본 발명은 오토 클레이브 공정 장치에 관한 것이다.
최근 급속하게 발전하고 있는 반도체 기술에 힘입어, 평판표시장치의 화면 크기는 증가하고 그 무게는 경량화되는 등 평판표시장치의 성능이 개선 됨에 따라 평판표시장치의 수요가 폭발적으로 늘어나고 있다.
이러한 평판표시장치에는 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 플라즈마 표시장치(Plasma Display Device: PDP), 전계방출 표시장치(Field Emission Display Device: FED), 전기발광 표시장치(Electroluminescence Display Device: ELD), 전기영동 표시장치(Electrophoresis Display Device: EPD) 및 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode: OLED) 등이 있다.
이러한 평판표시장치는 브라운관(CRT)에 비해 경량 박형이고, 대형화에 유리한 장점이 있어 그 이용이 날로 증대되고 있다.
또한, 평판표시장치는 경량, 박형, 저전력구동, 풀-컬러, 고해상도 구현 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 확대되고 있는 실정이다. 이러한 평판표시장치는 매트릭스 형태로 배열된 다수의 제어용 스위치들에 인가되는 영상신호에 따라 광의 투과량이 조절되어 평판표시장치의 패널에 원하는 화상을 표시하며, 평판표시패널 양쪽면에는 편광판이 부착된다.
한편, 편광판 부착시 주의해야 될 사항은 편광판 부착 공정에서 발생되는 정전기에 의한 평판표시패널의 손상과 편광판 부착시 발생하는 이물의 혼입이다.
상기 사항들을 고려하여 편광판 부착을 수행한 후, 패널과 편광판의 접착력을 향상시키기 위하여, 오토 클레이브 공정을 이용하여 편광판이 부착된 패널을 고온, 고압으로 처리하는 공정을 수행하게 된다.
일반적으로 오토 클레이브 공정은 고온, 고압하에서 합성, 분해, 승화, 추출 등의 화학처리를 수행하는 내열, 내압성 용기로서, 교반 장치, 진동 장치, 그 밖에 회전 장치를 수반하는 것이 많으며, 재질은 저탄소강, 크롬, 니켈, 몰리브덴 등 합금강이 사용된다. 용기 내의 온도는 150℃ 내지 600℃ 정도이며, 기압은 250 내지 1200atm 정도이며, 5000atm 이상인 것도 있다.
이러한 오토 클레이브 공정은 평판표시장치 제조 공정 중 광학 특성을 부여하는 편광판이 부착된 액정 셀에 일정한 압력과 온도를 가하여 액정 셀과 편광판 사이에 존재하는 기포를 제거하여 편광판의 접착력을 높이는 역할을 수행하게 되며, 이에 대한 종래 기술로는 대한민국 공개특허공보 공개번호 제10-2007-0048439호에 제시된 바 있다.
한편, 평판표시장치는 제조 공정 중 발생되는 높은 열을 견딜 수 있도록 유리 기판을 사용하므로 경량 박형화 및 유연성을 부여하는데 한계가 있다. 따라서, 최근에는 기존의 유연성이 없는 유리기판 대신에 플라스틱 또는 금속 등과 같이 유연성이 있는 재료를 이용하여 형성된 기판을 사용하여 종이처럼 휘어져도 표시 성능을 그대로 유지할 수 있는 플렉서블(Flexible) 표시패널이 급부상하고 있다.
따라서, 플렉서블 표시패널의 오토 클레이브 공정이 구현되며, 플렉서블 표시패널의 액정 셀과 편광판 사이에 존재하는 기포를 원활하게 제거하여 편광판의 접착력을 높일 수 있는 기술에 대한 개발의 필요성이 대두되고 있다.
본 발명은 상기 문제점을 개선하기 위하여 창작된 것으로써, 본 발명의 목적은, 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가함으로써 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있는 오토 클레이브 공정 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 플렉서블 표시패널이 수용되는 공간에 대한 진공 상태를 공정 챔버 내부보다 더 고진공 상태로 유지하여 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있는 오토 클레이브 공정 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 공정 챔버의 내부를 대류 순환에 의한 가열 또는 냉각으로 공정 챔버 내부의 전체적인 열의 편차를 최소화시킴으로써, 오토 클레이브 공정의 신뢰성이 증대될 수 있는 기술을 제공하는 데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 오토 클레이브(Auto Clave) 공정이 수행되는 공정챔버; 상기 공정챔버 내에 공압을 가하거나 해제하는 가압유닛; 상기 공정챔버 내에 온도를 상승시키거나 하강시키는 변온유닛; 및 상기 공정챔버 내에 다수의 층을 이루어 배치되며 플렉서블 표시패널을 지지하는 지지유닛;을 포함하며, 상기 가압유닛은 상기 지지유닛에 지지된 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가하는 오토 클레이브 공정 장치에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 지지유닛은, 측단면을 기준으로 플렉서블 표시패널이 상, 하부에 각각 안착되는 지지부; 및 상기 플렉서블 표시패널이 안착된 지지부를 외부에서 커버하는 내부하우징부;를 포함한다.
또한, 상기 오토 클레이브 공정 장치는 상기 공정챔버 내부를 진공 상태로 유지시키는 진공유닛을 더 포함한다.
여기서, 상기 진공유닛은 상기 내부하우징부에 배관을 통해 연결되어 상기 내부하우징부의 내부를 공정챔버 내부보다 고진공 상태로 유지시키도록 마련된다.
본 발명에 의해, 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가함으로써 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있다.
또한, 플렉서블 표시패널이 수용되는 공간에 대한 진공 상태를 공정 챔버 내부보다 더 고진공 상태로 유지하여 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있다.
또한, 공정 챔버의 내부를 대류 순환에 의한 가열 또는 냉각으로 공정 챔버 내부의 전체적인 열의 편차를 최소화시킴으로써, 오토 클레이브 공정의 신뢰성이 증대될 수 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치의 구성을 도시한 개략도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치의 구성을 도시한 개략도이다.
도 1 을 참조하면, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치는, 공정챔버(10), 가압유닛(20), 변온유닛(30), 지지유닛(40), 진공유닛(50)을 포함한다.
공정챔버(10)는 오토 클레이브 공정이 수행되는 공간을 제공하는 구성요소로써, 금속 재질로 마련될 수 있으며, 전면 또는 후면 방향에 도어(미도시)가 설치될 수 있다.
여기서, 도어는 모터 제어에 의해 공정챔버(10)로부터 자동으로 개폐되도록 마련될 수 있으며, 공정챔버(10) 내부의 기밀(Packing)을 유지할 수 있도록 도어의 외면을 따라 실리콘 재질의 기밀부재가 부가될 수 있다.
가압유닛(20)은 공정챔버(10) 내부에 공압을 가하거나 해제하는 역할을 수행하는 구성요소로써, 공정챔버(10) 외부에 배치되는 고압 컴프레셔와 상기 고압 컴프레셔와 공정챔버(10) 내부를 연동시키는 배관을 통해 구성될 수 있다.
가압유닛(20)에 의해 공정챔버(10)의 내부는 0~18(kgf/㎠)의 범위에서 압력이 인가되거나 해제될 수 있다.
변온유닛(30)은 공정챔버(10) 내의 온도를 상승시키거나 하강시키는 역할을 수행하는 구성요소로써, 가열을 위한 히터와 냉각을 위한 열교환 장치 및 대류 순환을 위한 송풍팬으로 구성된다.
여기서, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치는 대류 순환에 의한 히팅 및 냉각을 구현함으로써, 종래의 열판(지지부)의 히팅 상태에 따라 열판에 대한 온도 편차가 발생되는 것을 해결하였으며, 공정챔버(10) 내부의 전체적인 온도 편차를 최소화시킬 수 있다.
지지유닛(40)은 공정챔버(10) 내에 다수의 층을 이루어 배치되며 플렉서블 표시패널(F)을 지지하는 역할을 수행하는 구성요소이다.
여기서, 지지유닛(40)은, 도 1 에서와 같이, 측단면을 기준으로 플렉서블 표시패널(F)이 상, 하부에 각각 안착되는 지지부(42)와 플렉서블 표시패널(F)이 안착된 지지부(42)를 외부에서 커버하는 내부하우징부(44)를 포함한다.
여기서, 플렉서블 표시패널(F) 중 지지부(42)의 하부에 안착되는 패널은 지지부(42)의 하부에 형성된 고정돌기(미도시)에 의해 고정될 수 있으며, 고정돌기의 형태 및 구조는 설계에 따라 다양하게 적용될 수 있다.
전술한 바와 같은 지지유닛(40)의 구조 및 플렉서블 표시패널(F)의 배치 상태에 따라, 가압유닛(20)으로부터 인가된 공압이 도 1 에 도시된 바와 같은, 압력 인가 방향을 따라 다방향성 형태(상, 하부에 배치된 플렉서블 표시패널로 압력 동시 인가)로 전달되어 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있다.
진공유닛(50)은 공정챔버(10) 내부를 진공 상태로 유지시키는 역할을 수행하는 구성요소로써, 공정챔버(10) 외부에 배치되는 진공펌프 및 진공펌브와 공정챔버(10) 내부를 연결시키는 배관에 의해 구성될 수 있다.
바람직하게는, 도 1 에서와 같이, 진공유닛(50)은 내부하우징부(44)에 배관(P)을 통해 연결되어 내부하우징부(44)의 내부를 공정챔버(10) 내부보다 고진공 상태로 유지시키도록 마련될 수 있으며, 이에 의해, 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치는, 공정챔버(10)의 외부에서 내부로의 공기 유입을 조절하는 공기 유입 밸브와 공정챔버(10) 내부의 압력을 배기시키는 솔레노이드 배기 밸브와 제어부의 제어에 의해 공정챔버(10) 내부의 압력이 감압되지 않을 경우 이를 수동으로 구현하는 수동 배기 밸브 및 공정챔버(10)의 내부 압력을 감지하는 압력센서와 설정된 값 이상의 압력이 측정될 경우, 이를 조절(솔레노이드 배기 밸브를 제어)하기 위한 압력 스위치를 포함할 수 있다.
또한, 안전을 위하여 공정챔버(10)에 설치된 도어의 개폐를 제어하는 인터록 유닛(미도시)이 부가될 수 있으며, 인터록 유닛은 공정챔버(10)의 가압시 또는 공정챔버(10) 내부 압력이 일정치 이상 잔류하고 있을 경우, 도어의 개폐 제어를 차단하는 역할을 수행한다.
아울러, 공정챔버(10) 내부에 설정 범위 이상의 압력이 인가될 경우, 이를 방지하는 과압 방지 유닛(미도시)이 부가될 수 있으며, 공정챔버(10)의 외벽에 배기 토출구와 연결된 안전 밸브 및 이상 신호 감지 시, 공정챔버(10) 내부로 급기 차단 및 배기 진행을 수행하는 압력 제어부 및 압력 제어 스위치 등이 포함될 수 있다. 또한, 변온유닛(30)에 의한 공정챔버(10) 가열 시, 변온유닛(히터)을 보호하기 위한 과승온 방지 수단 및 공정챔버(10) 내부 온도를 제어하기 위한 과열 방지 수단이 부가될 수 있으며, 히터, 모터 및 각 유닛의 회로 및 동작을 보호(과부하 인가 시 전원 차단)하는 보호 수단이 더 부가될 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 오토 클레이브 공정 장치는, 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가함으로써 플렉서블 표시패널의 단차, 평탄도 등 압력 편차가 발생할 수 있는 다양한 요소들이 극복될 수 있다.
또한, 플렉서블 표시패널이 수용되는 공간에 대한 진공 상태를 공정 챔버 내부보다 더 고진공 상태로 유지하여 액정 셀과 편광판의 밀착력을 극대화시킴과 동시에 진공 유지 시간 및 비용을 감소시킬 수 있다.
또한, 공정 챔버의 내부를 대류 순환에 의한 가열 또는 냉각으로 공정 챔버 내부의 전체적인 열의 편차를 최소화시킴으로써, 오토 클레이브 공정의 신뢰성이 증대될 수 있다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 공정챔버
20 : 가압유닛
30 : 변온유닛
40 : 지지유닛
42 : 지지부
44 : 내부하우징부
F : 플렉서블 표시패널
P : 배관

Claims (4)

  1. 오토 클레이브(Auto Clave) 공정이 수행되는 공정챔버;
    상기 공정챔버 내에 공압을 가하거나 해제하기 위한 고압 컴프레셔와 상기 공정챔버 내부를 연동시키는 배관을 포함하는 가압유닛;
    상기 공정챔버 내에 온도를 상승시키거나 하강시키는 변온유닛; 및
    상기 공정챔버 내에 다수의 층을 이루어 배치되며 플렉서블 표시패널을 지지하는 지지유닛;을 포함하며,
    상기 지지유닛은,
    측단면을 기준으로 플렉서블 표시패널이 상, 하부에 각각 안착되는 지지부; 및
    상기 플렉서블 표시패널이 안착된 지지부를 외부에서 커버하는 내부하우징부;를 포함하고,
    상기 지지부의 하부에 안착되는 플렉서블 표시패널은 지지부의 하부에 형성된 고정돌기에 의해 고정되며,
    상기 가압유닛은 상기 지지유닛에 지지된 플렉서블 표시패널에 다방향성 공압을 가하도록 마련되며,
    상기 공정챔버 내부를 진공 상태로 유지시키는 진공유닛을 더 포함하고,
    상기 진공유닛은 상기 내부하우징부에 배관을 통해 연결되어 상기 내부하우징부의 내부를 공정챔버 내부보다 고진공 상태로 유지시키는 것을 특징으로 하는
    오토 클레이브 공정 장치.
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