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기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
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KR102546322B1
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藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
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基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
基材表面内に形成された凹部を充填するための周期的堆積方法および装置
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JP2020133004A
(ja)
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エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー |
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KR20200108242A
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
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KR20200116033A
(ko)
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2019-03-28 |
2020-10-08 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
도어 개방기 및 이를 구비한 기판 처리 장치
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KR20200116855A
(ko)
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2019-04-01 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
반도체 소자를 제조하는 방법
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US11447864B2
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2022-09-20 |
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KR20200125453A
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
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KR20200130121A
(ko)
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2020-11-18 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
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KR20200130652A
(ko)
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2020-11-19 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
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JP2020188255A
(ja)
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ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
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JP2020188254A
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2019-05-16 |
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USD975665S1
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Susceptor shaft
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KR20200141003A
(ko)
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2019-06-06 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
가스 감지기를 포함하는 기상 반응기 시스템
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KR20200143254A
(ko)
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2019-06-11 |
2020-12-23 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
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USD944946S1
(en)
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2019-06-14 |
2022-03-01 |
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KR20210005515A
(ko)
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2019-07-03 |
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
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JP7499079B2
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同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
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CN112216646A
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KR20210010307A
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에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
기판 처리 장치
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KR20210010816A
(ko)
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2019-07-17 |
2021-01-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
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KR20210010820A
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2019-07-17 |
2021-01-28 |
에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. |
실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
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实现高掺杂剂掺入的选择性沉积方法
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CN112309899A
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基板处理设备
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基板处理设备
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CN112323048B
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USD965044S1
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JP2021031769A
(ja)
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2019-08-21 |
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エーエスエム アイピー ホールディング ビー．ブイ． |
成膜原料混合ガス生成装置及び成膜装置
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KR20210132600A
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KR20210134226A
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KR20210134869A
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2021-11-11 |
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KR20210141379A
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2020-05-13 |
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TW202147383A
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2020-05-19 |
2021-12-16 |
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KR20210145078A
(ko)
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2020-05-21 |
2021-12-01 |
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TW202200837A
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2020-05-22 |
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TW202201602A
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2020-05-29 |
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TW202218133A
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2020-06-24 |
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TW202217953A
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2020-06-30 |
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TW202219628A
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2020-07-17 |
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TW202204662A
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2020-07-20 |
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KR20220027026A
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2022-03-07 |
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USD990534S1
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2023-06-27 |
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USD1012873S1
(en)
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US12009224B2
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TW202229613A
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2020-10-14 |
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TW202217037A
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USD1023959S1
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USD981973S1
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USD980814S1
(en)
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USD980813S1
(en)
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2021-05-11 |
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USD990441S1
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2021-09-07 |
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