FR2406236A1 - Dispositif optique a source coherente pour le transfert rapide de motifs sur substrats, applique a la realisation de composants et circuits a microstructures - Google Patents
Dispositif optique a source coherente pour le transfert rapide de motifs sur substrats, applique a la realisation de composants et circuits a microstructuresInfo
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Abstract
L'invention se rapporte aux dispositifs optiques destinés au transfert de motifs sur une surface photosensible. Le dispositif photoreproducteur selon l'invention comprend une source de rayonnement cohérent destinée à fournir pendant une durée déterminée un éclairement de la surface photosensible associée à des moyens de transmission introduisant une modulation de phase du rayonnement destinés à moyenner, pendant le temps d'exposition, les figures d'interférence engendrées par la cohérence du rayonnement L'invention s'applique notamment aux machines de transfert par contact, proximité ou projection, aux photorépéteurs de masques et aux photorépéteurs directs.
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